CZ2014768A3 - Zobrazovací zařízení zobrazující svazkem nabitých částic a detekující signální nabité částice víceúčelovým selektivním detektorem - Google Patents

Zobrazovací zařízení zobrazující svazkem nabitých částic a detekující signální nabité částice víceúčelovým selektivním detektorem

Info

Publication number
CZ2014768A3
CZ2014768A3 CZ2014-768A CZ2014768A CZ2014768A3 CZ 2014768 A3 CZ2014768 A3 CZ 2014768A3 CZ 2014768 A CZ2014768 A CZ 2014768A CZ 2014768 A3 CZ2014768 A3 CZ 2014768A3
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
charged particle
particle beam
primary
display device
multipurpose
Prior art date
Application number
CZ2014-768A
Other languages
English (en)
Other versions
CZ305883B6 (cs
Inventor
Petr Sytař
Original Assignee
Tescan Orsay Holding, A.S.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tescan Orsay Holding, A.S. filed Critical Tescan Orsay Holding, A.S.
Priority to CZ2014-768A priority Critical patent/CZ305883B6/cs
Publication of CZ2014768A3 publication Critical patent/CZ2014768A3/cs
Publication of CZ305883B6 publication Critical patent/CZ305883B6/cs

Links

Landscapes

  • Electron Tubes For Measurement (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)

Abstract

Vynález se týká zobrazovacího zařízení zobrazujícího svazkem nabitých částic a detekujícího signální nabité částice víceúčelovým selektivním detektorem s alespoň jednou souvislou aktivní plochou pro detekci svazku nabitých částic zahrnujících alespoň sekundární elektrony nebo zpětně odražené elektrony, přičemž alespoň jedna aktivní plocha detektoru obsahuje alespoň jednu zaslepenou oblast. Zobrazovací zařízení dále zahrnuje zdroj nabitých částic generující primární svazek nabitých částic, optický systém clon a čoček sloužících k formování a optimalizaci primárního svazku nabitých částic, systém deflektorů pro vychylování primárního svazku nabitých částic a pro rastrování primárním svazkem nabitých částic po vzorku, objektivovou čočku fokusující primární svazek nabitých částic, energiový separátor vychylující signální svazek nabitých částic do jednoho nebo více směrů od optické osy zobrazovacího zařízení tak, že primární svazek nabitých částic procházející tímto energiovým separátorem nabitých částic vychýlen není. Dále obsahuje alespoň jeden pomocný detektor signálního svazku nabitých částic umístěný uvnitř tubusu zobrazovacího zařízení.
CZ2014-768A 2014-11-07 2014-11-07 Zobrazovací zařízení zobrazující svazkem nabitých částic a detekující signální nabité částice víceúčelovým selektivním detektorem CZ305883B6 (cs)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ2014-768A CZ305883B6 (cs) 2014-11-07 2014-11-07 Zobrazovací zařízení zobrazující svazkem nabitých částic a detekující signální nabité částice víceúčelovým selektivním detektorem

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ2014-768A CZ305883B6 (cs) 2014-11-07 2014-11-07 Zobrazovací zařízení zobrazující svazkem nabitých částic a detekující signální nabité částice víceúčelovým selektivním detektorem

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ2014768A3 true CZ2014768A3 (cs) 2016-04-20
CZ305883B6 CZ305883B6 (cs) 2016-04-20

Family

ID=56020665

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ2014-768A CZ305883B6 (cs) 2014-11-07 2014-11-07 Zobrazovací zařízení zobrazující svazkem nabitých částic a detekující signální nabité částice víceúčelovým selektivním detektorem

Country Status (1)

Country Link
CZ (1) CZ305883B6 (cs)

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4632407B2 (ja) * 2004-06-21 2011-02-16 株式会社トプコン 電子線装置
JP5033310B2 (ja) * 2005-02-18 2012-09-26 株式会社日立ハイテクノロジーズ 検査装置
US7705301B2 (en) * 2006-07-07 2010-04-27 Hermes Microvision, Inc. Electron beam apparatus to collect side-view and/or plane-view image with in-lens sectional detector
US7714287B1 (en) * 2008-06-05 2010-05-11 Kla-Tencor Corporation Apparatus and method for obtaining topographical dark-field images in a scanning electron microscope
US8481962B2 (en) * 2010-08-10 2013-07-09 Fei Company Distributed potential charged particle detector
DE102011080341A1 (de) * 2011-08-03 2013-02-07 Carl Zeiss Nts Gmbh Verfahren und Teilchenstrahlgerät zur Erzeugung eines Bildes eines Objekts
US9000395B2 (en) * 2013-03-25 2015-04-07 Hermes Microvision, Inc. Energy filter for charged particle beam apparatus
CZ304659B6 (cs) * 2013-04-19 2014-08-20 Delong Instruments A.S. Způsob detekce signálních elektronů v elektronovém mikroskopu a zařízení pro provádění tohoto způsobu

Also Published As

Publication number Publication date
CZ305883B6 (cs) 2016-04-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2508903A3 (en) Inspection device using secondary charged particle detection
IL280646B (en) Method and system for charged particle microscopy with improved imaging and probe stabilization
WO2019108752A3 (en) Optical designs and detector designs for improved resolution in lidar systems
EP3279624A4 (en) LIGHT VOLUME DETECTION APPARATUS AND IMMUNE ANALYSIS DEVICE AND LOADED PARTICLE BEAM DEVICE THEREFOR
GB2560474A8 (en) Imaging mass spectrometer
EP3222245A3 (en) Arrangement for cleaning of a canal
WO2012112894A3 (en) Focusing a charged particle imaging system
MX2017000611A (es) Sistema quirurgico oftalmico de angulo amplio movil.
GB2542539A (en) Assembly, apparatus, system and method
JP2014054670A5 (cs)
TR201909753T4 (tr) Gölgeleme fonksiyonuna sahip ışık etkilerinin üretilmesine yönelik düzenleme.
MY179786A (en) Particle detection system and related methods
EP2662880A3 (en) Electron beam device
GB2547120A (en) A multi-reflecting time-of-flight analyzer
JP2012243802A5 (cs)
IN2015DN00908A (cs)
JP2014209482A5 (cs)
TW201614329A (en) Image display apparatus
SG10201807071TA (en) An optical interference device
MX2016001618A (es) Dispositivo de inspección del ángulo del eje óptico.
TW200715337A (en) Device for generating X-ray or XUV radiation
MX364467B (es) Sistemas de exploración por rayos de energía dual, metodos de exploración y sistemas de inspección.
EP2772930A3 (en) Focused ion beam low kv enhancement
EP2950324A8 (en) Charged particle optical apparatus having a selectively positionable differential pressure module
MX387585B (es) Punto focal dinámicamente ajustable.

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Patent lapsed due to non-payment of fee

Effective date: 20211107