CZ2014768A3 - Zobrazovací zařízení zobrazující svazkem nabitých částic a detekující signální nabité částice víceúčelovým selektivním detektorem - Google Patents
Zobrazovací zařízení zobrazující svazkem nabitých částic a detekující signální nabité částice víceúčelovým selektivním detektoremInfo
- Publication number
- CZ2014768A3 CZ2014768A3 CZ2014-768A CZ2014768A CZ2014768A3 CZ 2014768 A3 CZ2014768 A3 CZ 2014768A3 CZ 2014768 A CZ2014768 A CZ 2014768A CZ 2014768 A3 CZ2014768 A3 CZ 2014768A3
- Authority
- CZ
- Czechia
- Prior art keywords
- charged particle
- particle beam
- primary
- display device
- multipurpose
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
Vynález se týká zobrazovacího zařízení zobrazujícího svazkem nabitých částic a detekujícího signální nabité částice víceúčelovým selektivním detektorem s alespoň jednou souvislou aktivní plochou pro detekci svazku nabitých částic zahrnujících alespoň sekundární elektrony nebo zpětně odražené elektrony, přičemž alespoň jedna aktivní plocha detektoru obsahuje alespoň jednu zaslepenou oblast. Zobrazovací zařízení dále zahrnuje zdroj nabitých částic generující primární svazek nabitých částic, optický systém clon a čoček sloužících k formování a optimalizaci primárního svazku nabitých částic, systém deflektorů pro vychylování primárního svazku nabitých částic a pro rastrování primárním svazkem nabitých částic po vzorku, objektivovou čočku fokusující primární svazek nabitých částic, energiový separátor vychylující signální svazek nabitých částic do jednoho nebo více směrů od optické osy zobrazovacího zařízení tak, že primární svazek nabitých částic procházející tímto energiovým separátorem nabitých částic vychýlen není. Dále obsahuje alespoň jeden pomocný detektor signálního svazku nabitých částic umístěný uvnitř tubusu zobrazovacího zařízení.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CZ2014-768A CZ2014768A3 (cs) | 2014-11-07 | 2014-11-07 | Zobrazovací zařízení zobrazující svazkem nabitých částic a detekující signální nabité částice víceúčelovým selektivním detektorem |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CZ2014-768A CZ2014768A3 (cs) | 2014-11-07 | 2014-11-07 | Zobrazovací zařízení zobrazující svazkem nabitých částic a detekující signální nabité částice víceúčelovým selektivním detektorem |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CZ305883B6 CZ305883B6 (cs) | 2016-04-20 |
CZ2014768A3 true CZ2014768A3 (cs) | 2016-04-20 |
Family
ID=56020665
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CZ2014-768A CZ2014768A3 (cs) | 2014-11-07 | 2014-11-07 | Zobrazovací zařízení zobrazující svazkem nabitých částic a detekující signální nabité částice víceúčelovým selektivním detektorem |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CZ (1) | CZ2014768A3 (cs) |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4632407B2 (ja) * | 2004-06-21 | 2011-02-16 | 株式会社トプコン | 電子線装置 |
JP5033310B2 (ja) * | 2005-02-18 | 2012-09-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 検査装置 |
US7705301B2 (en) * | 2006-07-07 | 2010-04-27 | Hermes Microvision, Inc. | Electron beam apparatus to collect side-view and/or plane-view image with in-lens sectional detector |
US7714287B1 (en) * | 2008-06-05 | 2010-05-11 | Kla-Tencor Corporation | Apparatus and method for obtaining topographical dark-field images in a scanning electron microscope |
US8481962B2 (en) * | 2010-08-10 | 2013-07-09 | Fei Company | Distributed potential charged particle detector |
DE102011080341A1 (de) * | 2011-08-03 | 2013-02-07 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Verfahren und Teilchenstrahlgerät zur Erzeugung eines Bildes eines Objekts |
US9000395B2 (en) * | 2013-03-25 | 2015-04-07 | Hermes Microvision, Inc. | Energy filter for charged particle beam apparatus |
CZ304659B6 (cs) * | 2013-04-19 | 2014-08-20 | Delong Instruments A.S. | Způsob detekce signálních elektronů v elektronovém mikroskopu a zařízení pro provádění tohoto způsobu |
-
2014
- 2014-11-07 CZ CZ2014-768A patent/CZ2014768A3/cs not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CZ305883B6 (cs) | 2016-04-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2508903A3 (en) | Inspection device using secondary charged particle detection | |
GB2542540A (en) | Assembly, apparatus, system and method | |
GB2560474A8 (en) | Imaging mass spectrometer | |
EP3222245A3 (en) | Arrangement for cleaning of a canal | |
MX2019004370A (es) | Limitacion de ruido en detectores de luz utilizando una apertura. | |
WO2012122036A3 (en) | Electrostatic lenses and systems including the same | |
IL280646B (en) | Method and system for charged particle microscopy with improved imaging and probe stabilization | |
WO2019108752A3 (en) | Optical designs and detector designs for improved resolution in lidar systems | |
WO2012112894A3 (en) | Focusing a charged particle imaging system | |
MY179786A (en) | Particle detection system and related methods | |
GB2547120A (en) | A multi-reflecting time-of-flight analyzer | |
CN103733299A (zh) | 扫描电子显微镜 | |
JP2012243802A5 (cs) | ||
TR201909753T4 (tr) | Gölgeleme fonksiyonuna sahip ışık etkilerinin üretilmesine yönelik düzenleme. | |
JP2013033671A5 (cs) | ||
UA114690C2 (uk) | Пристрій для впливу на сипкий матеріал прискореними електронами | |
TW201614329A (en) | Image display apparatus | |
SE2050142A1 (en) | Analyser arrangement for particle spectrometer | |
IN2015DN00908A (cs) | ||
JP2014216182A5 (cs) | ||
SG10201807071TA (en) | An optical interference device | |
MX364467B (es) | Sistemas de exploración por rayos de energía dual, metodos de exploración y sistemas de inspección. | |
EP2680295A3 (en) | On-axis detector for charged particle beam system | |
MX358091B (es) | Dispositivo de inspección del ángulo del eje óptico. | |
WO2015200649A3 (en) | Electron energy loss spectrometer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | Patent lapsed due to non-payment of fee |
Effective date: 20211107 |