JP5994135B2 - 圧力センサ素子 - Google Patents
圧力センサ素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5994135B2 JP5994135B2 JP2011018715A JP2011018715A JP5994135B2 JP 5994135 B2 JP5994135 B2 JP 5994135B2 JP 2011018715 A JP2011018715 A JP 2011018715A JP 2011018715 A JP2011018715 A JP 2011018715A JP 5994135 B2 JP5994135 B2 JP 5994135B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure sensor
- sensor element
- material film
- resistance material
- piezoelectric element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 73
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims description 8
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 7
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 7
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 claims description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 3
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 13
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017083 AlN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003564 SiAlON Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004541 SiN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021486 amorphous silicon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 229910000154 gallium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- LWFNJDOYCSNXDO-UHFFFAOYSA-K gallium;phosphate Chemical compound [Ga+3].[O-]P([O-])([O-])=O LWFNJDOYCSNXDO-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/08—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of piezoelectric devices, i.e. electric circuits therefor
- G01L9/085—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of piezoelectric devices, i.e. electric circuits therefor with temperature compensating means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/04—Means for compensating for effects of changes of temperature, i.e. other than electric compensation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L23/00—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid
- G01L23/08—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid operated electrically
- G01L23/10—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid operated electrically by pressure-sensitive members of the piezoelectric type
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
- G01L9/0008—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations
- G01L9/0022—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations of a piezoelectric element
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/008—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using piezoelectric devices
Description
上面と下面とを有する圧電素子と、前記上面と前記下面との少なくとも一方を少なくとも部分的に覆う高抵抗材料膜とを備える圧力センサ素子であって、
前記高抵抗材料膜の電気抵抗値は前記圧電素子の電気抵抗値よりも大きい
圧力センサ素子が得られる。
前記圧電素子の前記上面全体と前記下面全体との少なくとも一方が前記高抵抗材料膜で覆われている
圧力センサ素子が得られる。
前記高抵抗材料膜は誘電体からなる
圧力センサ素子が得られる。
前記高抵抗材料膜の抵抗率は、1×1011Ω・cm以上かつ1×1018Ω・cm以下である
圧力センサ素子が得られる。
前記圧電素子と前記高抵抗材料膜との合成抵抗値は、1×1011Ω以上である
圧力センサ素子が得られる。
前記高抵抗材料膜は、アモルファス構造のSiO2からなり、
前記高抵抗材料膜の膜厚は、0.1μm以上かつ10μm以下である
圧力センサ素子が得られる。
前記高抵抗材料膜は、浸漬、ゾルゲル法、印刷、スパッタリング、蒸着法又は化学気相堆積法のいずれかの方法により形成されたものである
圧力センサ素子が得られる。
前記圧電素子から電荷を取り出すための電極を更に備えている
圧力センサ素子が得られる。
前記高抵抗材料膜の少なくとも一部は、前記圧電素子と前記電極との間に挟まれるように形成されている
圧力センサ素子が得られる。
前記電極は、1以上の金属膜によって形成されており、
前記金属膜のそれぞれは、Pt、Ti、Au、Cr、W、Pd、Ni、Ag、Al、Ta、又はMoのいずれかからなる
圧力センサ素子が得られる。
前記圧電素子は、酸化亜鉛からなる
圧力センサ素子が得られる。
まず、酸化亜鉛単結晶を材料とする平板状の圧電素子を作製した。圧電素子は2×2mmの上面及び下面を有しており、厚さは0.5mmである。圧電素子は上下方向に分極している。
実施例と同様に、酸化亜鉛単結晶を材料とする平板状の圧電素子を作製した。圧電素子は2×2mmの上面及び下面を有しており、厚さは0.5mmである。圧電素子は上下方向に分極している。この圧電素子の上側及び下側に電極を取り付けたものを比較例の圧力センサ素子とした。比較例の圧力センサ素子は高抵抗材料膜を備えていない。即ち、従来の圧力センサ素子である。
10 圧電素子
10a 上面
10b 下面
20 高抵抗材料膜
30 電極(電極膜)
50 チャージアンプ
51a、51b 接点
52a、52b 接点
Claims (11)
- 内燃機関内において用いられる圧力センサ素子であって、上面と下面とを有する圧電素子と、前記上面と前記下面との少なくとも一方を少なくとも部分的に覆う高抵抗材料膜とを備える圧力センサ素子において、
前記高抵抗材料膜の電気抵抗値は前記圧電素子の電気抵抗値よりも大きく、
前記圧電素子から電荷を取り出すため2つの電極を更に備えており、
前記高抵抗材料膜の少なくとも一部は、前記圧電素子と前記電極との間に挟まれるように形成されており、
前記電極の夫々は、前記圧力センサ素子の使用時に、チャージアンプに接続され、
前記圧力センサ素子が使用される前には、前記電極のうちの一方は上方に露出しており、前記電極のうちの他方は下方に露出している
圧力センサ素子。 - 請求項1記載の圧力センサ素子であって、
前記高抵抗材料膜と前記圧電素子との間の境界面は、前記圧電素子の圧電分極軸と直交している
圧力センサ素子。 - 請求項1又は請求項2記載の圧力センサ素子であって、
前記圧電素子の前記上面全体と前記下面全体との両方が前記高抵抗材料膜で覆われている
圧力センサ素子。 - 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の圧力センサ素子であって、
前記高抵抗材料膜は誘電体からなる
圧力センサ素子。 - 請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の圧力センサ素子であって、
前記圧電素子は、単結晶材料からなる
圧力センサ素子。 - 請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の圧力センサ素子であって、
前記高抵抗材料膜の抵抗率は、1×1011Ω・cm以上かつ1×1018Ω・cm以下である
圧力センサ素子。 - 請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の圧力センサ素子であって、
前記圧電素子と前記高抵抗材料膜との合成抵抗値は、1×1011Ω以上である
圧力センサ素子。 - 請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の圧力センサ素子であって、
前記高抵抗材料膜は、アモルファス構造のSiO2からなり、
前記高抵抗材料膜の膜厚は、0.1μm以上かつ10μm以下である
圧力センサ素子。 - 請求項1乃至請求項8のいずれかに記載の圧力センサ素子であって、
前記高抵抗材料膜は、浸漬、ゾルゲル法、印刷、スパッタリング、蒸着法又は化学気相堆積法のいずれかの方法により形成されたものである - 請求項1乃至請求項9のいずれかに記載の圧力センサ素子であって、
前記電極は、1以上の金属膜によって形成されており、
前記金属膜のそれぞれは、Pt、Ti、Au、Cr、W、Pd、Ni、Ag、Al、Ta、又はMoのいずれかからなる
圧力センサ素子。 - 請求項1乃至請求項10のいずれかに記載の圧力センサ素子であって、
前記圧電素子は、酸化亜鉛からなる
圧力センサ素子。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011018715A JP5994135B2 (ja) | 2011-01-31 | 2011-01-31 | 圧力センサ素子 |
US13/982,962 US20130305830A1 (en) | 2011-01-31 | 2012-01-30 | Pressure sensor element |
PCT/JP2012/052021 WO2012105514A1 (ja) | 2011-01-31 | 2012-01-30 | 圧力センサ素子 |
EP12742224.4A EP2660577B1 (en) | 2011-01-31 | 2012-01-30 | Pressure sensor element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011018715A JP5994135B2 (ja) | 2011-01-31 | 2011-01-31 | 圧力センサ素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012159374A JP2012159374A (ja) | 2012-08-23 |
JP5994135B2 true JP5994135B2 (ja) | 2016-09-21 |
Family
ID=46602728
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011018715A Expired - Fee Related JP5994135B2 (ja) | 2011-01-31 | 2011-01-31 | 圧力センサ素子 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20130305830A1 (ja) |
EP (1) | EP2660577B1 (ja) |
JP (1) | JP5994135B2 (ja) |
WO (1) | WO2012105514A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20150023886A1 (en) | 2013-07-16 | 2015-01-22 | The Procter & Gamble Company | Antiperspirant Spray Devices and Compositions |
US11186424B2 (en) | 2013-07-16 | 2021-11-30 | The Procter & Gamble Company | Antiperspirant spray devices and compositions |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50149370A (ja) * | 1974-05-20 | 1975-11-29 | ||
US4445384A (en) * | 1982-03-30 | 1984-05-01 | Honeywell Inc. | Piezoelectric pressure sensor |
JP2533887Y2 (ja) | 1991-03-25 | 1997-04-23 | 株式会社ユニシアジェックス | 圧電素子 |
JPH0786656A (ja) * | 1993-07-09 | 1995-03-31 | Canon Inc | 圧電薄膜素子 |
JPH0777474A (ja) * | 1993-09-08 | 1995-03-20 | Unisia Jecs Corp | 圧力センサ |
JPH0850072A (ja) | 1994-08-08 | 1996-02-20 | Unisia Jecs Corp | 筒内圧センサ |
JPH09236504A (ja) * | 1996-02-29 | 1997-09-09 | Amp Japan Ltd | 圧電式感圧センサ |
JPH10281909A (ja) * | 1997-04-10 | 1998-10-23 | Fuji Electric Co Ltd | 流体圧力測定方法及び流体圧力測定装置 |
JP4103421B2 (ja) * | 2001-03-28 | 2008-06-18 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス及び電子機器 |
JP4126370B2 (ja) * | 2002-12-04 | 2008-07-30 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 薄膜型圧電センサ |
JP4798424B2 (ja) * | 2005-04-18 | 2011-10-19 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 管内圧力センサ |
JP2008300476A (ja) * | 2007-05-30 | 2008-12-11 | Sumitomo Electric Ind Ltd | パワーモジュール |
JP2009042073A (ja) * | 2007-08-09 | 2009-02-26 | Meiji Univ | 圧力センサ及びその製造方法 |
JP2010185852A (ja) | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Tdk Corp | 圧力センサ |
JP2010232247A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Murata Mfg Co Ltd | 電磁波抑制材料 |
JP5279639B2 (ja) | 2009-07-08 | 2013-09-04 | 京セラ株式会社 | グラファイトシート |
-
2011
- 2011-01-31 JP JP2011018715A patent/JP5994135B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-01-30 EP EP12742224.4A patent/EP2660577B1/en not_active Not-in-force
- 2012-01-30 US US13/982,962 patent/US20130305830A1/en not_active Abandoned
- 2012-01-30 WO PCT/JP2012/052021 patent/WO2012105514A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2660577A4 (en) | 2014-10-15 |
EP2660577A1 (en) | 2013-11-06 |
WO2012105514A1 (ja) | 2012-08-09 |
EP2660577B1 (en) | 2016-12-28 |
JP2012159374A (ja) | 2012-08-23 |
US20130305830A1 (en) | 2013-11-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7126255B2 (en) | Piezoelectric/electrostrictive film-type device | |
Sapper et al. | Cycling stability of lead-free BNT–8BT and BNT–6BT–3KNN multilayer actuators and bulk ceramics | |
JP2013057616A (ja) | 環境センサ | |
US7812506B2 (en) | Piezoelectric/electrostrictive membrane type measuring device | |
Gröttrup et al. | Piezotronic‐based magnetoelectric sensor: Fabrication and response | |
JP5994135B2 (ja) | 圧力センサ素子 | |
JP5928863B2 (ja) | 歪抵抗薄膜および当該歪抵抗薄膜を用いたセンサ | |
CN102472721B (zh) | 在传感器区域具有多层结构的离子敏感传感器 | |
JP4168035B2 (ja) | 白金抵抗体式温度センサ | |
CN103975226B (zh) | 热式空气流量传感器 | |
TW202109007A (zh) | 濕度感測器及其製造方法 | |
JP3894112B2 (ja) | 圧電/電歪膜型素子 | |
RU190637U1 (ru) | Высокотемпературный термостабильный чувствительный элемент акселерометра | |
JP6451395B2 (ja) | センサ素子 | |
JP4611251B2 (ja) | 流体特性測定装置 | |
EP1319944A2 (en) | Solid electrolyte gas-sensing device | |
JP2695938B2 (ja) | ガス検知器 | |
JP5009507B2 (ja) | 圧電/電歪膜型素子 | |
JP7388177B2 (ja) | 圧電素子 | |
JP5170905B2 (ja) | 非共振型ノッキングセンサ | |
JP2016058960A (ja) | 弾性表面波素子 | |
JP4894363B2 (ja) | 加速度センサ | |
Mirea et al. | AlN-based solidly mounted resonators on glass substrates for high temperature applications | |
JP2005278121A (ja) | 圧電素子およびこれを用いた圧電部品 | |
Hrovat et al. | An investigation of thick-film materials for temperature and pressure sensors on self-constrained LTCC substrates |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140115 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20140115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140911 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150402 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151104 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151217 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160706 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160801 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5994135 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |