JP4611251B2 - 流体特性測定装置 - Google Patents
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Description
2 厚肉部
3 薄肉ダイヤフラム部
4 下部電極
5 圧電/電歪体
6 上部電極
7B 不完全結合部
7C 結合層
8 補助電極
9 貫通孔
10 空洞部
11 (圧電/電歪体の)張り出し部
12 圧電/電歪素子
20 圧電/電歪膜型センサ
21 電源
22 電気的定数監視手段
23 絶縁抵抗計測手段
40 流体特性測定装置
Claims (3)
- 薄肉ダイヤフラム部と、その薄肉ダイヤフラム部の周縁に一体的に架設された厚肉部と、を有し、それら薄肉ダイヤフラム部及び厚肉部によって、外部に連通した空洞が形成されたセラミック基体、及び、そのセラミック基体の前記薄肉ダイヤフラム部の外表面上に配設された、膜状の圧電/電歪体と、その圧電/電歪体を挟んだ一対の膜状の電極と、を含む積層構造を有する圧電/電歪素子、を備え、その圧電/電歪素子の駆動に連動して、前記セラミック基体の薄肉ダイヤフラム部が振動する圧電/電歪膜型センサであり、前記圧電/電歪体が、アルカリ金属又はアルカリ土類金属を含有するとともに、前記電極が、金又は白金を含有する圧電/電歪膜型センサと、
その圧電/電歪膜型センサの圧電/電歪素子を駆動する電圧を印加する電源と、
前記圧電/電歪膜型センサの薄肉ダイヤフラム部の振動に伴う電気的定数の変化を検出する電気的定数監視手段と、
前記圧電/電歪膜型センサの、圧電/電歪体で挟まれた前記一対の電極の間の絶縁抵抗の計測をする絶縁抵抗計測手段と、を備え、
自らの測定信頼性を確認することが可能な流体特性測定装置。 - 前記絶縁抵抗の計測が、高湿度環境下で実施される請求項1に記載の流体特性測定装置。
- 薄肉ダイヤフラム部と、その薄肉ダイヤフラム部の周縁に一体的に架設された厚肉部と、を有し、それら薄肉ダイヤフラム部及び厚肉部によって、外部に連通した空洞が形成されたセラミック基体、及び、そのセラミック基体の前記薄肉ダイヤフラム部の外表面上に配設された、膜状の圧電/電歪体と、その圧電/電歪体を挟んだ一対の膜状の電極と、を含む積層構造を有する圧電/電歪素子、を備え、その圧電/電歪素子の駆動に連動して、前記セラミック基体の薄肉ダイヤフラム部が振動する圧電/電歪膜型センサであり、前記圧電/電歪体が、アルカリ金属又はアルカリ土類金属を含有するとともに、前記電極が、金又は白金を含有し、自らの測定信頼性を確認することが可能な圧電/電歪膜型センサが使用をされ、その使用によって、前記圧電/電歪膜型センサにおける前記圧電/電歪体で挟まれた前記一対の電極の間の絶縁性が低下した場合に、これを再生する方法であって、
少なくとも前記圧電/電歪膜型センサの前記圧電/電歪体の、加熱をする工程と、
酸性液又は純水を用いて、少なくとも前記圧電/電歪素子の、洗浄をする工程と、
前記圧電/電歪体の、分極をする工程と、を有する圧電/電歪膜型センサの再生方法。
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