JP3388176B2 - 圧電センサ装置とそれを用いた電気的定数変化の検出方法 - Google Patents
圧電センサ装置とそれを用いた電気的定数変化の検出方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、流体の粘度、比
重、濃度等の特性を測定するために用いられる圧電体振
動子を使用したセンサ装置に関する。
重、濃度等の特性を測定するために用いられる圧電体振
動子を使用したセンサ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】 化学薬品、食品、潤滑油、カーワック
ス等のように流体の形態で製造、使用又は販売される製
品は、その製造工程を管理したり、性能を保証する上で
流体の粘度、比重、濃度等の特性を測定することが重要
である。近年、このような流体の特性を測定するため、
圧電体振動子を利用することが提案されており、例えば
特開平８−２０１２６５号公報には、電極を挟着された
圧電体からなる圧電体振動子と、この圧電体振動子に振
動を励起する電圧を印加する電源と、該圧電体の振動に
伴う電気的定数の変化を検出する電気的定数監視手段と
を備える流体の粘度測定装置が開示されている。
ス等のように流体の形態で製造、使用又は販売される製
品は、その製造工程を管理したり、性能を保証する上で
流体の粘度、比重、濃度等の特性を測定することが重要
である。近年、このような流体の特性を測定するため、
圧電体振動子を利用することが提案されており、例えば
特開平８−２０１２６５号公報には、電極を挟着された
圧電体からなる圧電体振動子と、この圧電体振動子に振
動を励起する電圧を印加する電源と、該圧電体の振動に
伴う電気的定数の変化を検出する電気的定数監視手段と
を備える流体の粘度測定装置が開示されている。
【０００３】 このような装置においては、流体中で圧
電体振動子を振動させ、その際、この振動子が流体の粘
性等に基づいて機械的抵抗を受けることにより、振動子
を構成する圧電体の電気的定数が変化するのを検出し、
その流体の粘度等を検出する。なお、通常、前記圧電体
の電気的定数の変化は、定められた条件を満たすような
ある電気的定数を与える時の圧電体の振動の周波数の変
化として検出される。従来は、例えば図６のように、電
気的定数として共振点近傍における位相θを用い、この
位相θの値がａとなるような周波数ｆaを、θの極大値
を与える周波数ｆmaxの片側（本例では左側）の１点で
求めていた。
電体振動子を振動させ、その際、この振動子が流体の粘
性等に基づいて機械的抵抗を受けることにより、振動子
を構成する圧電体の電気的定数が変化するのを検出し、
その流体の粘度等を検出する。なお、通常、前記圧電体
の電気的定数の変化は、定められた条件を満たすような
ある電気的定数を与える時の圧電体の振動の周波数の変
化として検出される。従来は、例えば図６のように、電
気的定数として共振点近傍における位相θを用い、この
位相θの値がａとなるような周波数ｆaを、θの極大値
を与える周波数ｆmaxの片側（本例では左側）の１点で
求めていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】 ところで、被測定流
体が同一（粘度、比重等が同じ）であっても、圧電状態
の変化、振動を抑制するものの付加、温度の変化等によ
って、振動系の振動のしやすさ（例えば振幅）が変化し
た場合には、θの形状にも変化が起こる。単に、振動の
しやすさが変化しただけでは、多くの場合、図７のよう
に、θの極大値を与える周波数ｆmaxの値はほとんど変
化しないが、線の傾きが変化するため、θがａとなる時
の周波数はｆaからｆa’へと大きく変化し、上記検出手
法では測定値にバラツキが生じる。なお、上記のように
θの極大値を与える周波数ｆmaxの値はほとんど変化し
ないので、このｆmaxを測定するという方法も考えられ
るが、θはｆmaxの前後で値がほとんど変わらないため
測定誤差が大きくなる。
体が同一（粘度、比重等が同じ）であっても、圧電状態
の変化、振動を抑制するものの付加、温度の変化等によ
って、振動系の振動のしやすさ（例えば振幅）が変化し
た場合には、θの形状にも変化が起こる。単に、振動の
しやすさが変化しただけでは、多くの場合、図７のよう
に、θの極大値を与える周波数ｆmaxの値はほとんど変
化しないが、線の傾きが変化するため、θがａとなる時
の周波数はｆaからｆa’へと大きく変化し、上記検出手
法では測定値にバラツキが生じる。なお、上記のように
θの極大値を与える周波数ｆmaxの値はほとんど変化し
ないので、このｆmaxを測定するという方法も考えられ
るが、θはｆmaxの前後で値がほとんど変わらないため
測定誤差が大きくなる。
【０００５】 また、圧電体振動子は、その作製時に分
極処理として、キュリー点近傍の温度で、比較的長時間
にわたり抗電界以上の電界を印加した後、分極状態安定
のため数時間〜数日間エージング（室温又はキュリー点
以下の高温下で放置）されるが、このようなセンサ装置
に使用される圧電体振動子は、非常に感度が高い反面、
安定性が悪い場合が多く、上記のようなエージングを施
したとしても、応力の印加、経時変化等によって分極状
態の変化（脱極、分極状態の劣化）が起こりやすい。そ
して、このような分極状態の変化が起こると、図８のよ
うに、θがａとなる時の周波数がｆaからｆa’に変化す
るのみならず、θの最大値を与える周波数もｆmaxから
ｆmax’へと変化し、測定値のバラツキがより一層大き
くなる。
極処理として、キュリー点近傍の温度で、比較的長時間
にわたり抗電界以上の電界を印加した後、分極状態安定
のため数時間〜数日間エージング（室温又はキュリー点
以下の高温下で放置）されるが、このようなセンサ装置
に使用される圧電体振動子は、非常に感度が高い反面、
安定性が悪い場合が多く、上記のようなエージングを施
したとしても、応力の印加、経時変化等によって分極状
態の変化（脱極、分極状態の劣化）が起こりやすい。そ
して、このような分極状態の変化が起こると、図８のよ
うに、θがａとなる時の周波数がｆaからｆa’に変化す
るのみならず、θの最大値を与える周波数もｆmaxから
ｆmax’へと変化し、測定値のバラツキがより一層大き
くなる。
【０００６】 本発明は、このような従来の問題に鑑み
てなされたものであり、その目的とするところは、振動
系の振動のしやすさや圧電体振動子の分極状態の変化に
起因する測定値のバラツキを小さくすることが可能な圧
電センサ装置とそれを用いた電気的定数の変化の検出方
法を提供することにある。
てなされたものであり、その目的とするところは、振動
系の振動のしやすさや圧電体振動子の分極状態の変化に
起因する測定値のバラツキを小さくすることが可能な圧
電センサ装置とそれを用いた電気的定数の変化の検出方
法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】 本発明によれば、一対
の電極によって挟着された圧電体からなる圧電体振動子
と、該圧電体振動子に振動を励起する電圧を印加する電
源と、該圧電体の振動に伴う電気的定数の変化を検出す
る電気的定数監視手段とを備え、該電気的定数の変化
を、定められた条件を満たす電気的定数を与える時の該
圧電体の振動の周波数の変化として検出する圧電センサ
装置であって、該周波数の値を、定まった電気的定数を
与える２点以上の周波数から求める手段を備えたことを
特徴とする圧電センサ装置、が提供される。
の電極によって挟着された圧電体からなる圧電体振動子
と、該圧電体振動子に振動を励起する電圧を印加する電
源と、該圧電体の振動に伴う電気的定数の変化を検出す
る電気的定数監視手段とを備え、該電気的定数の変化
を、定められた条件を満たす電気的定数を与える時の該
圧電体の振動の周波数の変化として検出する圧電センサ
装置であって、該周波数の値を、定まった電気的定数を
与える２点以上の周波数から求める手段を備えたことを
特徴とする圧電センサ装置、が提供される。
【０００８】 また本発明によれば、上記圧電センサ装
置を用いた電気的定数の変化の検出方法であって、該周
波数の値を、該電気的定数の変化が極値を与える周波数
を挟む、同じ電気的定数を与える直近の２点の周波数の
平均値として求めることを特徴とする電気的定数変化の
検出方法が、提供される。
置を用いた電気的定数の変化の検出方法であって、該周
波数の値を、該電気的定数の変化が極値を与える周波数
を挟む、同じ電気的定数を与える直近の２点の周波数の
平均値として求めることを特徴とする電気的定数変化の
検出方法が、提供される。
【０００９】
【発明の実施の形態】 上記のとおり、本発明の圧電セ
ンサ装置は、圧電体の振動の周波数の値を、定まった電
気的定数を与える２点以上の周波数から求める手段を備
えたものである。そして、このような手段を備えること
により、本発明の装置を用いた検出方法においては、例
えば図１のように、電気的定数である位相θの変化がそ
の極値を与える周波数ｆmax挟んで、定まった同じ電気
的定数ａを与える直近の２点の周波数ｆaL及びｆaRを求
め、このｆaL及びｆaRからそれらの平均値（ｆaL＋
ｆaR）／２を周波数の値として求めることができる。
ンサ装置は、圧電体の振動の周波数の値を、定まった電
気的定数を与える２点以上の周波数から求める手段を備
えたものである。そして、このような手段を備えること
により、本発明の装置を用いた検出方法においては、例
えば図１のように、電気的定数である位相θの変化がそ
の極値を与える周波数ｆmax挟んで、定まった同じ電気
的定数ａを与える直近の２点の周波数ｆaL及びｆaRを求
め、このｆaL及びｆaRからそれらの平均値（ｆaL＋
ｆaR）／２を周波数の値として求めることができる。
【００１０】 このようにして周波数の値を求めると、
図１のように位相θの線の傾きが変化して、同じ電気的
定数ａを与える２点の周波数がｆaLとｆaRからｆaL’と
ｆaR’に変化しても極値を与える周波数ｆmaxに変化が
なければ、（ｆaL＋ｆaR）／２と（ｆaL’＋ｆaR’）／
２とはほぼ同じ値となるので、従来の１点の周波数を求
める測定に比べて、振動系の振動のしやすさの変化によ
る影響を受けにくい。また、図２は、定まった電気定数
を２つ用いた例であり、本発明の装置により、同じ電気
的定数ａを与える２点の周波数ｆaL及びｆaRと、同じ電
気的定数ｂを与える２点の周波数ｆbL及びｆbRと求め、
それらの平均値（ｆaL＋ｆaR＋ｆbL＋ｆbR）／４を周波
数の値として求めたものである。
図１のように位相θの線の傾きが変化して、同じ電気的
定数ａを与える２点の周波数がｆaLとｆaRからｆaL’と
ｆaR’に変化しても極値を与える周波数ｆmaxに変化が
なければ、（ｆaL＋ｆaR）／２と（ｆaL’＋ｆaR’）／
２とはほぼ同じ値となるので、従来の１点の周波数を求
める測定に比べて、振動系の振動のしやすさの変化によ
る影響を受けにくい。また、図２は、定まった電気定数
を２つ用いた例であり、本発明の装置により、同じ電気
的定数ａを与える２点の周波数ｆaL及びｆaRと、同じ電
気的定数ｂを与える２点の周波数ｆbL及びｆbRと求め、
それらの平均値（ｆaL＋ｆaR＋ｆbL＋ｆbR）／４を周波
数の値として求めたものである。
【００１１】 ところで、上記装置とそれを用いた検出
方法は、単に振動系の振動のしやすさが変化した程度
で、電気的定数θの極大値を与える周波数ｆmaxの値が
ほとんど変化しないような場合には有効であるが、圧電
体振動子の分極状態が大きく変化して、図８のように、
θが最大値となるときの周波数がｆmaxからｆmax’に変
化するような場合には、その影響で検出される周波数に
バラツキが生じる。そこで、このような影響を抑えるた
め、本発明のセンサ装置は、圧電体振動子の分極状態を
一定に保つ手段（分極処理手段）を備えることが好まし
い。
方法は、単に振動系の振動のしやすさが変化した程度
で、電気的定数θの極大値を与える周波数ｆmaxの値が
ほとんど変化しないような場合には有効であるが、圧電
体振動子の分極状態が大きく変化して、図８のように、
θが最大値となるときの周波数がｆmaxからｆmax’に変
化するような場合には、その影響で検出される周波数に
バラツキが生じる。そこで、このような影響を抑えるた
め、本発明のセンサ装置は、圧電体振動子の分極状態を
一定に保つ手段（分極処理手段）を備えることが好まし
い。
【００１２】 すなわち、上述のように、本発明のよう
なセンサ装置に用いられる圧電体振動子は、分極状態が
変化しやすいという性質があり、従来はこの性質が測定
値のバラツキを招く要因となっていたが、この変化しや
すい、すなわち分極されやすいという性質を逆に利用
し、前記分極処理手段にて圧電体振動子をフル状態に分
極しながら測定を行うことで、測定中の圧電体振動子の
分極状態を一定に保つことが可能となる。なお、このよ
うな分極されやすいという性質は、後述するセンサ素子
の材料、構造の組み合わせにて特にその特性を発揮す
る。
なセンサ装置に用いられる圧電体振動子は、分極状態が
変化しやすいという性質があり、従来はこの性質が測定
値のバラツキを招く要因となっていたが、この変化しや
すい、すなわち分極されやすいという性質を逆に利用
し、前記分極処理手段にて圧電体振動子をフル状態に分
極しながら測定を行うことで、測定中の圧電体振動子の
分極状態を一定に保つことが可能となる。なお、このよ
うな分極されやすいという性質は、後述するセンサ素子
の材料、構造の組み合わせにて特にその特性を発揮す
る。
【００１３】 上記のような分極処理手段としては、圧
電体振動子を分極処理せしめる電源が挙げられ、この電
源で圧電体の抗電界を超える電界を印加しつつ、周波数
の測定を行うことで、圧電体振動子の分極状態を一定に
保ち、図８のようなｆmaxの変化を抑えることができ
る。ただし、このように常時分極しながら測定を行うこ
とは、分極状態を一定に保つという意味では好ましい
が、圧電体振動子に常に電圧がかかっているため、振動
が抑制されて分解能が悪くなったり、圧電体振動子の耐
久性に悪影響を及ぼすといった問題もある。
電体振動子を分極処理せしめる電源が挙げられ、この電
源で圧電体の抗電界を超える電界を印加しつつ、周波数
の測定を行うことで、圧電体振動子の分極状態を一定に
保ち、図８のようなｆmaxの変化を抑えることができ
る。ただし、このように常時分極しながら測定を行うこ
とは、分極状態を一定に保つという意味では好ましい
が、圧電体振動子に常に電圧がかかっているため、振動
が抑制されて分解能が悪くなったり、圧電体振動子の耐
久性に悪影響を及ぼすといった問題もある。
【００１４】 このような問題を回避するため、圧電体
に対する電界の印加を測定中に常時行わず、周波数を測
定する毎に所定の時間だけ分極処理を行うようにしても
よい。この場合の分極処理は、室温において圧電体の抗
電界を超える電界を３秒以下、より好ましくは１秒以下
の短い時間印加することが望ましい。また、同じく室温
において圧電体の抗電界を超える電界を３秒以下、より
好ましく１秒以下の間逆極性で印加した後、更に正極性
で３秒以下、より好ましくは１秒以下印加することも望
ましい。このように先に逆極性で電界を印加しておく
と、分極状態の安定性がより向上する。なお、各々の電
界の印加時間を３秒以下とするのが好ましい理由は、電
界の印加は一瞬で十分であり、長く行うことは測定時間
の長期化や消費電力の増大を招くためである。
に対する電界の印加を測定中に常時行わず、周波数を測
定する毎に所定の時間だけ分極処理を行うようにしても
よい。この場合の分極処理は、室温において圧電体の抗
電界を超える電界を３秒以下、より好ましくは１秒以下
の短い時間印加することが望ましい。また、同じく室温
において圧電体の抗電界を超える電界を３秒以下、より
好ましく１秒以下の間逆極性で印加した後、更に正極性
で３秒以下、より好ましくは１秒以下印加することも望
ましい。このように先に逆極性で電界を印加しておく
と、分極状態の安定性がより向上する。なお、各々の電
界の印加時間を３秒以下とするのが好ましい理由は、電
界の印加は一瞬で十分であり、長く行うことは測定時間
の長期化や消費電力の増大を招くためである。
【００１５】 また、このような分極処理を行う場合に
は、分極処理後、一定時間が経過してから測定を行うの
が好ましい。これは、分極処理後に行う測定のタイミン
グを一定にするという意味である。したがって、上記一
定時間は特に限定されるものではなく、分極処理の終了
時から測定時までの時間が一定であれば、分極処理の直
後に測定をしてもよいし、分極処理後しばらく間をおい
てから測定するようにしてもよい。ただし、分極処理の
終了から測定を行うまでにあまり長時間を要すると、測
定時間の長時間化を招いて、実用上不具合があるため、
好ましくは分極処理の直後〜６０秒の間、更に好ましく
は分極処理後０．１秒〜３秒の間に測定する。
は、分極処理後、一定時間が経過してから測定を行うの
が好ましい。これは、分極処理後に行う測定のタイミン
グを一定にするという意味である。したがって、上記一
定時間は特に限定されるものではなく、分極処理の終了
時から測定時までの時間が一定であれば、分極処理の直
後に測定をしてもよいし、分極処理後しばらく間をおい
てから測定するようにしてもよい。ただし、分極処理の
終了から測定を行うまでにあまり長時間を要すると、測
定時間の長時間化を招いて、実用上不具合があるため、
好ましくは分極処理の直後〜６０秒の間、更に好ましく
は分極処理後０．１秒〜３秒の間に測定する。
【００１６】 ところで、このような分極処理を行った
場合、分極処理後の圧電体には電荷が貯えられるが、こ
の電荷も測定値のバラツキの要因となるので、本発明の
装置は、上記分極処理手段に加え、分極処理後の圧電体
に貯えられた電荷を放電する手段（放電処理手段）を備
えることが好ましい。この放電処理手段としては、単に
圧電体振動子の両極をショートさせるような手段でもよ
いし、両極間に抵抗を入れて緩やかに放電させるような
手段でもよい。
場合、分極処理後の圧電体には電荷が貯えられるが、こ
の電荷も測定値のバラツキの要因となるので、本発明の
装置は、上記分極処理手段に加え、分極処理後の圧電体
に貯えられた電荷を放電する手段（放電処理手段）を備
えることが好ましい。この放電処理手段としては、単に
圧電体振動子の両極をショートさせるような手段でもよ
いし、両極間に抵抗を入れて緩やかに放電させるような
手段でもよい。
【００１７】 このような放電処理手段によって分極処
理後の圧電体を放電処理してから測定を行うことによ
り、測定値のバラツキをより一層小さくすることが可能
となる。なお、このような放電処理を行う場合には、上
記分極処理を行う場合と同様に、放電処理後、一定時間
が経過してから測定を行うのが好ましい。これは、放電
処理後に行う測定のタイミングを一定にするという意味
である。
理後の圧電体を放電処理してから測定を行うことによ
り、測定値のバラツキをより一層小さくすることが可能
となる。なお、このような放電処理を行う場合には、上
記分極処理を行う場合と同様に、放電処理後、一定時間
が経過してから測定を行うのが好ましい。これは、放電
処理後に行う測定のタイミングを一定にするという意味
である。
【００１８】 また、本発明のセンサ装置には、定めら
れた条件を満たす電気的定数を与える時の該圧電体の振
動の周波数を検出する際に、該電気的定数及び該周波数
のうちのどちらか一方に対する他方の変化を検出する機
構において、一方の値に対応する他方の値を、その値を
中心に定められた範囲の一方の値に対応する他方の値か
ら算出される値にて代用する手段を備えることが好まし
い。
れた条件を満たす電気的定数を与える時の該圧電体の振
動の周波数を検出する際に、該電気的定数及び該周波数
のうちのどちらか一方に対する他方の変化を検出する機
構において、一方の値に対応する他方の値を、その値を
中心に定められた範囲の一方の値に対応する他方の値か
ら算出される値にて代用する手段を備えることが好まし
い。
【００１９】 例えば、図９の周波数に対する電気的定
数（位相）の変化のグラフように、電気的定数の測定分
解能が低く、同じ電気的定数を与える周波数が複数個存
在するような場合には、周波数の測定精度が劣化し、バ
ラツキが大きくなる。このような場合、上記手段によっ
て、図中×印で示されるように、周波数に対する電気的
定数の値をその前後のある範囲にわたる周波数に対する
電気的定数から算出される値にて代用することにより、
みかけ上の電気的定数の測定分解能が向上し、その結
果、周波数の測定精度が向上しバラツキが小さくなる。
なお、図９の×印においては、電気的定数の値を、前後
二点を加えた三点からなる移動平均にて代用している
が、上記算出方法はこれに限られるものではない。
数（位相）の変化のグラフように、電気的定数の測定分
解能が低く、同じ電気的定数を与える周波数が複数個存
在するような場合には、周波数の測定精度が劣化し、バ
ラツキが大きくなる。このような場合、上記手段によっ
て、図中×印で示されるように、周波数に対する電気的
定数の値をその前後のある範囲にわたる周波数に対する
電気的定数から算出される値にて代用することにより、
みかけ上の電気的定数の測定分解能が向上し、その結
果、周波数の測定精度が向上しバラツキが小さくなる。
なお、図９の×印においては、電気的定数の値を、前後
二点を加えた三点からなる移動平均にて代用している
が、上記算出方法はこれに限られるものではない。
【００２０】 以上、本発明について、電気的定数とし
て位相を例に説明してきたが、電気的定数は位相に限定
されるものではなく、損失係数、位相、抵抗、リアクタ
ンス、コンダクタンス、サセプタンス、インダクタン
ス、キャパシタンス等の各種電気的定数のいずれかを用
いることができる。本発明の装置に備えられる電気的定
数監視手段は、これら電気的定数のいずれかを検知する
ものであればよい。
て位相を例に説明してきたが、電気的定数は位相に限定
されるものではなく、損失係数、位相、抵抗、リアクタ
ンス、コンダクタンス、サセプタンス、インダクタン
ス、キャパシタンス等の各種電気的定数のいずれかを用
いることができる。本発明の装置に備えられる電気的定
数監視手段は、これら電気的定数のいずれかを検知する
ものであればよい。
【００２１】 本発明のセンサ装置において、圧電体振
動子は次のような構造を有する基体と一体となってセン
サ素子を構成することが好ましい。基体は、一方の表面
に圧電体振動子が固定される薄板状の振動部と、該振動
部の他方の面に流体を導くことができる空所とを有す
る。図３はこのような基体と圧電体振動子とを一体化し
て構成したセンサ素子の一例を示す分解斜視図で、図４
はそのＸ−Ｘ線に沿った断面図である。
動子は次のような構造を有する基体と一体となってセン
サ素子を構成することが好ましい。基体は、一方の表面
に圧電体振動子が固定される薄板状の振動部と、該振動
部の他方の面に流体を導くことができる空所とを有す
る。図３はこのような基体と圧電体振動子とを一体化し
て構成したセンサ素子の一例を示す分解斜視図で、図４
はそのＸ−Ｘ線に沿った断面図である。
【００２２】 基体３０は、薄板状の振動板２０と枠３
２と貫通孔３８を有するベースプレート３４とを重ね合
わせることによって構成される。こうして構成された基
体３０は薄肉状の振動部２２を有し、この振動部２２の
一方の表面に、圧電体振動子１０が固定される。振動部
２２の形状は特に限定されれものではなく種々の形状を
採ることができ、その厚みとしては、１〜１００μｍが
好ましく、３〜５０μｍが更に好ましく、５〜２０μｍ
が更に好ましい。
２と貫通孔３８を有するベースプレート３４とを重ね合
わせることによって構成される。こうして構成された基
体３０は薄肉状の振動部２２を有し、この振動部２２の
一方の表面に、圧電体振動子１０が固定される。振動部
２２の形状は特に限定されれものではなく種々の形状を
採ることができ、その厚みとしては、１〜１００μｍが
好ましく、３〜５０μｍが更に好ましく、５〜２０μｍ
が更に好ましい。
【００２３】 また、基体３０は空所３６を有し、この
空所３６は貫通孔３８を介して、特性を測定すべき被測
定流体を振動部２２の他方の面（圧電体振動子が固定さ
れた面と反対側の面）に導くことができるようになって
いる。空所３６の形状は特に限定されない。また、貫通
孔３８は、被測定流体を空所３６に導入できる限り、そ
の個数は１つであっても複数であってもよい。
空所３６は貫通孔３８を介して、特性を測定すべき被測
定流体を振動部２２の他方の面（圧電体振動子が固定さ
れた面と反対側の面）に導くことができるようになって
いる。空所３６の形状は特に限定されない。また、貫通
孔３８は、被測定流体を空所３６に導入できる限り、そ
の個数は１つであっても複数であってもよい。
【００２４】 圧電体振動子１０は、圧電体１２の両面
に一対の電極１４ａ、１４ｂを接合したものである。電
極１４ａ、１４ｂのリード部１６ａ、１６ｂは、圧電体
振動子１０に振動を励起するための電源と、圧電体１２
の振動に伴う電気的定数の変化を検出するための電気的
定数監視手段に接続される。電極１４ａ、１４ｂを介し
て、圧電体１２に電圧を印加すると、誘導分極を生じ、
圧電体振動子１０が振動部２２とともに圧電体振動子１
０及び振動部２２の厚さ方向に屈曲振動する。圧電体１
２の厚さは、１〜１００μｍであることが好ましく、５
〜５０μｍが更に好ましく、５〜３０μｍが更になお好
ましい。
に一対の電極１４ａ、１４ｂを接合したものである。電
極１４ａ、１４ｂのリード部１６ａ、１６ｂは、圧電体
振動子１０に振動を励起するための電源と、圧電体１２
の振動に伴う電気的定数の変化を検出するための電気的
定数監視手段に接続される。電極１４ａ、１４ｂを介し
て、圧電体１２に電圧を印加すると、誘導分極を生じ、
圧電体振動子１０が振動部２２とともに圧電体振動子１
０及び振動部２２の厚さ方向に屈曲振動する。圧電体１
２の厚さは、１〜１００μｍであることが好ましく、５
〜５０μｍが更に好ましく、５〜３０μｍが更になお好
ましい。
【００２５】 圧電体１２は、緻密質であっても、多孔
質であってもよく、多孔質のときは、気孔率が４０％以
下であることが好ましい。また、圧電体１２は、一層か
らなるものであってもよいし、二層以上の積層構造であ
ってもよい。２層以上の積層構造であるときは、各層は
横設してもよいし、また、立設してもよい。電極１４
ａ、１４ｂは、用途に応じて適宜な厚さとするが、０．
１〜５０μｍの厚さであることが好ましい。
質であってもよく、多孔質のときは、気孔率が４０％以
下であることが好ましい。また、圧電体１２は、一層か
らなるものであってもよいし、二層以上の積層構造であ
ってもよい。２層以上の積層構造であるときは、各層は
横設してもよいし、また、立設してもよい。電極１４
ａ、１４ｂは、用途に応じて適宜な厚さとするが、０．
１〜５０μｍの厚さであることが好ましい。
【００２６】 このような構成のセンサ素子において、
貫通孔３８より空所３６に被測定流体を流入させて振動
部２２に接触させ、その状態で圧電体１２に電圧を印加
して圧電体１２及び振動部２２に振動を与えると、被測
定流体の粘度、比重、濃度等の変化に応じて、圧電体１
２の振動形態が変化し、更にそれに伴って圧電体の電気
的定数が変化する。本発明は、このように被測定流体の
特性を圧電体の振動形態に関連させ、その振動形態の変
化に伴う電気的定数の変化を電気的定数監視手段で検出
することによって、被測定流体の特性を測定するもので
ある。
貫通孔３８より空所３６に被測定流体を流入させて振動
部２２に接触させ、その状態で圧電体１２に電圧を印加
して圧電体１２及び振動部２２に振動を与えると、被測
定流体の粘度、比重、濃度等の変化に応じて、圧電体１
２の振動形態が変化し、更にそれに伴って圧電体の電気
的定数が変化する。本発明は、このように被測定流体の
特性を圧電体の振動形態に関連させ、その振動形態の変
化に伴う電気的定数の変化を電気的定数監視手段で検出
することによって、被測定流体の特性を測定するもので
ある。
【００２７】 次に、センサ素子の各部の材質について
説明する。基体３０は、セラミックスからなることが好
ましい。例えば、安定化された酸化ジルコニウム、酸化
アルミニウム、酸化マグネシウム、ムライト、窒化アル
ミニウム、窒化珪素、ガラス等を用いることができる。
安定化された酸化ジルコニウムは、振動部が薄くても機
械強度が高いこと、靱性が高いこと、圧電体及び電極と
化学反応性が小さいこと等のため好ましい。
説明する。基体３０は、セラミックスからなることが好
ましい。例えば、安定化された酸化ジルコニウム、酸化
アルミニウム、酸化マグネシウム、ムライト、窒化アル
ミニウム、窒化珪素、ガラス等を用いることができる。
安定化された酸化ジルコニウムは、振動部が薄くても機
械強度が高いこと、靱性が高いこと、圧電体及び電極と
化学反応性が小さいこと等のため好ましい。
【００２８】 圧電体１２には、好適には、圧電性セラ
ミックスを用いることができるが、電歪セラミックス又
は強誘電体セラミックスであってもよい。圧電体に用い
るセラミックスとしては、例えば、ジルコン酸鉛、マグ
ネシウムニオブ酸鉛、ニッケルニオブ酸鉛、亜鉛ニオブ
酸鉛、マンガンニオブ酸鉛、アンチモンスズ酸鉛、チタ
ン酸鉛、マンガンタングステン酸鉛、コバルトニオブ酸
鉛、チタン酸バリウム等、又はこれらの何れかを組み合
わせた成分を含有するセラミックスが挙げられる。
ミックスを用いることができるが、電歪セラミックス又
は強誘電体セラミックスであってもよい。圧電体に用い
るセラミックスとしては、例えば、ジルコン酸鉛、マグ
ネシウムニオブ酸鉛、ニッケルニオブ酸鉛、亜鉛ニオブ
酸鉛、マンガンニオブ酸鉛、アンチモンスズ酸鉛、チタ
ン酸鉛、マンガンタングステン酸鉛、コバルトニオブ酸
鉛、チタン酸バリウム等、又はこれらの何れかを組み合
わせた成分を含有するセラミックスが挙げられる。
【００２９】 上記セラミックスに、更に、ランタン、
カルシウム、ストロンチウム、モリブデン、タングステ
ン、バリウム、ニオブ、亜鉛、ニッケル、マンガン等の
酸化物、若しくはこれらの何れかの組み合わせ、又は他
の化合物を、適宜、添加したセラミックスを用いてもよ
い。例えば、マグネシウムニオブ酸鉛と、ジルコン酸鉛
と、チタン酸鉛とからなる成分を主成分とし、更にラン
タンやストロンチウムを含有するセラミックスを用いる
ことが好ましい。
カルシウム、ストロンチウム、モリブデン、タングステ
ン、バリウム、ニオブ、亜鉛、ニッケル、マンガン等の
酸化物、若しくはこれらの何れかの組み合わせ、又は他
の化合物を、適宜、添加したセラミックスを用いてもよ
い。例えば、マグネシウムニオブ酸鉛と、ジルコン酸鉛
と、チタン酸鉛とからなる成分を主成分とし、更にラン
タンやストロンチウムを含有するセラミックスを用いる
ことが好ましい。
【００３０】 電極１４ａは、室温で固体であって、導
電性の金属で構成されていることが好ましい。例えば、
アルミニウム、チタン、クロム、鉄、コバルト、ニッケ
ル、銅、亜鉛、ニオブ、モリブデン、ルテニウム、ロジ
ウム、銀、スズ、タンタル、タングステン、イリジウ
ム、白金、金、鉛等を含有する金属単体又は合金が挙げ
られる。
電性の金属で構成されていることが好ましい。例えば、
アルミニウム、チタン、クロム、鉄、コバルト、ニッケ
ル、銅、亜鉛、ニオブ、モリブデン、ルテニウム、ロジ
ウム、銀、スズ、タンタル、タングステン、イリジウ
ム、白金、金、鉛等を含有する金属単体又は合金が挙げ
られる。
【００３１】 振動板２０と当接させる電極１４ｂは、
接着剤を用いないで両者を接合することが望ましいこと
から高融点金属が好ましく、白金、ルテニウム、ロジウ
ム、パラジウム、イリジウム、チタン、クロム、モリブ
デン、タンタル、タングステン、ニッケル、コバルト等
を任意の組み合わせで含有する金属単体又は合金を例示
することができる。これらのうち、白金、ロジウム、パ
ラジウム等の白金族金属又はこれらを含有する銀−白
金、白金−パラジウム等の合金を主成分とするものが、
高融点で化学的安定性が高いことから特に好ましく用い
ることができる。また、これらの高融点金属と、アルミ
ナ、酸化ジルコニウム、酸化ケイ素、ガラス等のセラミ
ックスとを含有するサーメットを用いることもできる。
接着剤を用いないで両者を接合することが望ましいこと
から高融点金属が好ましく、白金、ルテニウム、ロジウ
ム、パラジウム、イリジウム、チタン、クロム、モリブ
デン、タンタル、タングステン、ニッケル、コバルト等
を任意の組み合わせで含有する金属単体又は合金を例示
することができる。これらのうち、白金、ロジウム、パ
ラジウム等の白金族金属又はこれらを含有する銀−白
金、白金−パラジウム等の合金を主成分とするものが、
高融点で化学的安定性が高いことから特に好ましく用い
ることができる。また、これらの高融点金属と、アルミ
ナ、酸化ジルコニウム、酸化ケイ素、ガラス等のセラミ
ックスとを含有するサーメットを用いることもできる。
【００３２】 次に、センサ素子の製造方法を説明す
る。基体は、グリーンシート又はグリーンテープである
成形層を、熱圧着等で積層し、次いで、焼結することで
一体化できる。例えば、図３及び図４に示す基体１０で
は、振動板２０と枠３２とベースプレート３４のそれぞ
れの形状に加工した三層のグリーンシート又はグリーン
テープを積層する。
る。基体は、グリーンシート又はグリーンテープである
成形層を、熱圧着等で積層し、次いで、焼結することで
一体化できる。例えば、図３及び図４に示す基体１０で
は、振動板２０と枠３２とベースプレート３４のそれぞ
れの形状に加工した三層のグリーンシート又はグリーン
テープを積層する。
【００３３】 また、成形型を用いる加圧成形、鋳込み
成形、射出成形等によって、成形層を作成し、切削、研
削加工、レーザー加工、プレス加工による打ち抜き等の
機械加工により、空所等を設けてもよい。成形層は、互
いに同一の厚さである必要はないが、焼結による収縮が
同じ程度になるようにしておくことが好ましい。
成形、射出成形等によって、成形層を作成し、切削、研
削加工、レーザー加工、プレス加工による打ち抜き等の
機械加工により、空所等を設けてもよい。成形層は、互
いに同一の厚さである必要はないが、焼結による収縮が
同じ程度になるようにしておくことが好ましい。
【００３４】 振動部２２の一方の表面に、圧電体振動
子１０を形成する方法としては、金型を用いたプレス成
形法又はスラリー原料を用いたテープ成形法等によって
圧電体を成形し、この焼結前の圧電体を、焼結前の基体
における振動部に、熱圧着で積層し、同時に焼結して、
基体と圧電体とを形成する方法がある。この場合には、
電極は後述する膜形成法により、基体又は圧電体に予め
形成しておく必要がある。
子１０を形成する方法としては、金型を用いたプレス成
形法又はスラリー原料を用いたテープ成形法等によって
圧電体を成形し、この焼結前の圧電体を、焼結前の基体
における振動部に、熱圧着で積層し、同時に焼結して、
基体と圧電体とを形成する方法がある。この場合には、
電極は後述する膜形成法により、基体又は圧電体に予め
形成しておく必要がある。
【００３５】 圧電体の焼結温度は、これを構成する材
料によって適宜定められるが、一般には、８００〜１４
００℃であり、好ましくは、１０００〜１４００℃であ
る。この場合、圧電体の組成を制御するために、圧電体
材料の蒸発源の存在下に焼結することが好ましい。
料によって適宜定められるが、一般には、８００〜１４
００℃であり、好ましくは、１０００〜１４００℃であ
る。この場合、圧電体の組成を制御するために、圧電体
材料の蒸発源の存在下に焼結することが好ましい。
【００３６】 一方、膜形成法では、振動部２２に、電
極１４ｂ、圧電体１２、及び電極１４ａをこの順序に積
層して、圧電体振動子１０を形成する。公知の膜形成
法、例えば、スクリーン印刷のごとき厚膜法、ディッピ
ング等の塗布法、イオンビーム、スパッタリング、真空
蒸着、イオンプレーティング、化学蒸着法（ＣＶＤ）、
メッキ等の薄膜法等が適宜用いられるが、これらに何等
限定されるものではない。この中では、スクリーン印刷
法が安定に製造することができるので好ましい。
極１４ｂ、圧電体１２、及び電極１４ａをこの順序に積
層して、圧電体振動子１０を形成する。公知の膜形成
法、例えば、スクリーン印刷のごとき厚膜法、ディッピ
ング等の塗布法、イオンビーム、スパッタリング、真空
蒸着、イオンプレーティング、化学蒸着法（ＣＶＤ）、
メッキ等の薄膜法等が適宜用いられるが、これらに何等
限定されるものではない。この中では、スクリーン印刷
法が安定に製造することができるので好ましい。
【００３７】 このように圧電体を膜形成法によって形
成すると、接着剤を用いることなく、圧電体振動子と振
動部とを一体的に接合することができるため、信頼性、
再現性に優れ、更に、集積化し易いことから、特に好ま
しい。また、そのような膜の形状は、適当なパターンを
形成してもよい。スクリーン印刷法、フォトリソグラフ
ィ法等によって、パターン形成してもよく、また、レー
ザー加工法、スライシング、超音波加工等の機械加工法
を用い、不必要な部分を除去してパターン形成してもよ
い。
成すると、接着剤を用いることなく、圧電体振動子と振
動部とを一体的に接合することができるため、信頼性、
再現性に優れ、更に、集積化し易いことから、特に好ま
しい。また、そのような膜の形状は、適当なパターンを
形成してもよい。スクリーン印刷法、フォトリソグラフ
ィ法等によって、パターン形成してもよく、また、レー
ザー加工法、スライシング、超音波加工等の機械加工法
を用い、不必要な部分を除去してパターン形成してもよ
い。
【００３８】 そして、このようにして基体上に形成さ
れたそれぞれの膜（１２、１４ａ、１４ｂ）は、各膜の
形成の都度、熱処理して、基体と一体構造となるように
してもよく、又は、これらの膜を形成した後に、これら
の膜を同時に熱処理して、各膜を基体に一体的に接合せ
しめてもよい。
れたそれぞれの膜（１２、１４ａ、１４ｂ）は、各膜の
形成の都度、熱処理して、基体と一体構造となるように
してもよく、又は、これらの膜を形成した後に、これら
の膜を同時に熱処理して、各膜を基体に一体的に接合せ
しめてもよい。
【００３９】
【実施例】 以下、本発明を実施例に基づいて更に詳細
に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるも
のではない。
に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるも
のではない。
【００４０】［実施例１］図４に示すような構造のセン
サ素子を備えた圧電センサ装置を用い、周波数に対する
位相の変化のグラフ（図５）から、次の３種類の検出法
Ａ〜Ｃで、４０％−Ｈ2ＳＯ4を被測定流体として各々１
０回ずつ測定を行い、各検出法における測定値のバラツ
キ（測定値の最大値と最小値との差）を調べた。その結
果を表１に示す。
サ素子を備えた圧電センサ装置を用い、周波数に対する
位相の変化のグラフ（図５）から、次の３種類の検出法
Ａ〜Ｃで、４０％−Ｈ2ＳＯ4を被測定流体として各々１
０回ずつ測定を行い、各検出法における測定値のバラツ
キ（測定値の最大値と最小値との差）を調べた。その結
果を表１に示す。
【００４１】（検出法Ａ）位相θが極大値となる時の圧
電体の振動の周波数ｆmaxを測定した。
電体の振動の周波数ｆmaxを測定した。
【００４２】（検出法Ｂ）位相θが−７０゜となる時の
圧電体の振動の周波数であって、θの極大値を与える周
波数ｆmaxの左側にあるｆ-70゜Lのみを測定した。
圧電体の振動の周波数であって、θの極大値を与える周
波数ｆmaxの左側にあるｆ-70゜Lのみを測定した。
【００４３】（検出法Ｃ）位相θが−７０゜となる時の
圧電体の振動の周波数であって、θの極大値を与える周
波数ｆmaxの左側にあるｆ-70゜Lと右側にあるｆ-70゜Rと
を測定し、両者の平均値(ｆ-70゜L＋ｆ-70゜R)／２を求め
た。
圧電体の振動の周波数であって、θの極大値を与える周
波数ｆmaxの左側にあるｆ-70゜Lと右側にあるｆ-70゜Rと
を測定し、両者の平均値(ｆ-70゜L＋ｆ-70゜R)／２を求め
た。
【００４４】
【表１】
【００４５】 表１に示すとおり、本発明の装置にて実
施可能な検出法Ｃのバラツキは、従来行われてきた検出
法Ａ及びＢに比して小さくなることがわかる。
施可能な検出法Ｃのバラツキは、従来行われてきた検出
法Ａ及びＢに比して小さくなることがわかる。
【００４６】［実施例２］上記実施例１で用いた圧電セ
ンサ装置よりも圧電体振動子の分極状態が変化しやすい
センサ装置を用い、上記実施例１の検出法Ｃにて、圧電
体振動子の分極処理をしなかった場合と次の４種の処理
法Ａ〜Ｄで分極処理又は分極処理と放電処理を施した場
合とで、４０％−Ｈ2ＳＯ4を被測定流体として各々１０
回ずつ測定を行い、各処理法における測定値のバラツキ
（測定値の最大値と最小値との差）を調べた。その結果
を表２に示す。
ンサ装置よりも圧電体振動子の分極状態が変化しやすい
センサ装置を用い、上記実施例１の検出法Ｃにて、圧電
体振動子の分極処理をしなかった場合と次の４種の処理
法Ａ〜Ｄで分極処理又は分極処理と放電処理を施した場
合とで、４０％−Ｈ2ＳＯ4を被測定流体として各々１０
回ずつ測定を行い、各処理法における測定値のバラツキ
（測定値の最大値と最小値との差）を調べた。その結果
を表２に示す。
【００４７】（処理法Ａ）圧電体に３０Ｖで電界を印加
しながら測定した。
しながら測定した。
【００４８】（処理法Ｂ）圧電体に３０Ｖで電界を１秒
間印加し、その後１秒経過してから測定した。
間印加し、その後１秒経過してから測定した。
【００４９】（処理法Ｃ）圧電体に３０Ｖで電界を１秒
間印加し、続いて圧電体振動子の両極を１秒間ショート
させ、その後１秒経過してから測定した。
間印加し、続いて圧電体振動子の両極を１秒間ショート
させ、その後１秒経過してから測定した。
【００５０】（処理法Ｄ）圧電体に−３０Ｖで電界を１
秒間印加し、続いて３０Ｖで電界を１秒間印加し、更に
続けて圧電体振動子の両極を１秒間ショートさせ、その
後１秒経過してから測定した。
秒間印加し、続いて３０Ｖで電界を１秒間印加し、更に
続けて圧電体振動子の両極を１秒間ショートさせ、その
後１秒経過してから測定した。
【００５１】
【表２】
【００５２】 表２に示すとおり、上記処理法Ａ〜Ｄに
て分極処理又は分極処理と放電処理を施した場合は、処
理無しの場合に比して、測定値のバラツキが小さくなる
ことがわかった。
て分極処理又は分極処理と放電処理を施した場合は、処
理無しの場合に比して、測定値のバラツキが小さくなる
ことがわかった。
【００５３】
【発明の効果】 以上説明したように、本発明によれ
ば、振動系の振動のしやすさや圧電体振動子の分極状態
の変化に起因する測定値のバラツキを小さくすることが
でき、検出精度を向上させることができる。
ば、振動系の振動のしやすさや圧電体振動子の分極状態
の変化に起因する測定値のバラツキを小さくすることが
でき、検出精度を向上させることができる。
【図１】 周波数に対する位相の変化のグラフに基づい
て、本発明の装置を用いた検出方法を説明した説明図で
ある。
て、本発明の装置を用いた検出方法を説明した説明図で
ある。
【図２】 周波数に対する位相の変化のグラフに基づい
て、本発明の装置を用いた検出方法を説明した説明図で
ある。
て、本発明の装置を用いた検出方法を説明した説明図で
ある。
【図３】 本発明の装置に備えられるセンサ素子の一例
を示す分解斜視図である。
を示す分解斜視図である。
【図４】 図３のＸ−Ｘ線に沿った断面図である。
【図５】 周波数に対する位相の変化のグラフに基づい
て、実施例における検出法を説明した説明図である。
て、実施例における検出法を説明した説明図である。
【図６】 周波数に対する位相の変化のグラフに基づい
て、従来の装置を用いた検出方法を説明した説明図であ
る。
て、従来の装置を用いた検出方法を説明した説明図であ
る。
【図７】 周波数に対する位相の変化のグラフであっ
て、振動系の振動のしやすさ（振幅）が変化したときの
状態を示したものである。
て、振動系の振動のしやすさ（振幅）が変化したときの
状態を示したものである。
【図８】 周波数に対する位相の変化のグラフであっ
て、分極状態が大きく変化したときの状態を示したもの
である。
て、分極状態が大きく変化したときの状態を示したもの
である。
【図９】 周波数に対する電気的定数（位相）の変化の
グラフであって、電気的定数の測定分解能が低いときの
状態を示したものである。
グラフであって、電気的定数の測定分解能が低いときの
状態を示したものである。
１０…圧電体振動子、１２…圧電体、１４ａ…電極、１
４ｂ…電極、１６ａ…リード部、１６ｂ…リード部、２
０…振動板、２２…振動部、３０…基体、３２…枠、３
４…ベースプレート、３６…空所、３８…貫通孔。
４ｂ…電極、１６ａ…リード部、１６ｂ…リード部、２
０…振動板、２２…振動部、３０…基体、３２…枠、３
４…ベースプレート、３６…空所、３８…貫通孔。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 柴田 和義
愛知県名古屋市瑞穂区須田町２番56号
日本碍子株式会社内
(56)参考文献 特開 平８−201265（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−167124（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−190919（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−38788（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01N 11/16
G01L 1/10
G01N 9/00
H01L 41/08
Claims (7)
- 【請求項１】 一対の電極によって挟着された圧電体か
らなる圧電体振動子と、該圧電体振動子が一方の表面に
固定される薄板状の振動部及び該振動部の他方の面に流
体を導くことができる空所を有する基体と、該圧電体振
動子に振動を励起する電圧を印加する電源と、該圧電体
の振動に伴う電気的定数の変化を検出する電気的定数監
視手段とを備え、該電気的定数の変化を、定められた条
件を満たす電気的定数を与える時の該圧電体の振動の周
波数の変化として検出する圧電センサ装置であって、該
圧電体振動子の分極処理後に該圧電体に貯えられた電荷
を放電する手段を備えたことを特徴とする圧電センサ装
置。 - 【請求項２】 該電気的定数が、損失係数、位相、抵
抗、リアクタンス、コンダクタンス、サセプタンス、イ
ンダクタンス及びキャパシタンスのうちのいずれかであ
る請求項１に記載の圧電センサ装置。 - 【請求項３】 請求項１又は２に記載の圧電センサ装置
を用いた電気的定数の変化の検出方法であって、該圧電
体の抗電界を超える電界を逆極性で印加し、更に正極性
で印加することにより圧電体振動素子の分極処理を行っ
た後、該周波数を測定することを特徴とする電気的定数
変化の検出方法。 - 【請求項４】 該分極処理が、室温において該圧電体の
抗電界を超える電界を逆極性で３秒以下印加した後、正
極性で３秒以下印加することにより行われる請求項３に
記載の検出方法。 - 【請求項５】 分極処理を行った後、一定時間経過して
から該周波数の測定を行う請求項３又は４に記載の検出
方法。 - 【請求項６】 請求項１記載の圧電センサ装置を用いた
電気的定数の変化の検出方法であって、分極処理を行っ
た後に、該圧電体に貯えられた電荷を放電する手段によ
り該電荷を放電することを特徴とする電気的定数変化の
検出方法。 - 【請求項７】 該放電処理を行った後、一定時間経過し
てから該周波数の測定を行う請求項６に記載の検出方
法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08150098A JP3388176B2 (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | 圧電センサ装置とそれを用いた電気的定数変化の検出方法 |
| US09/267,562 US6360606B2 (en) | 1998-03-27 | 1999-03-12 | Piezoelectric sensor device and a method for detecting change in electric constants using the device |
| EP99302298A EP0950889A1 (en) | 1998-03-27 | 1999-03-24 | A piezoelectric sensor device and a method for detecting change in electric constants using the device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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