JP4805787B2 - 圧電/電歪膜型センサ - Google Patents
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Description
2 厚肉部
3 薄肉ダイヤフラム部
4 下部電極
5 圧電/電歪体
6 上部電極
7 結合層
8 補助電極
9 貫通孔
10 空洞
12 圧電/電歪素子
18 端子電極
19 端子電極
20 圧電/電歪膜型センサ
Claims (7)
- 薄肉ダイヤフラム部、及びその薄肉ダイヤフラム部の周縁に一体的に架設された厚肉部、を有し、それら薄肉ダイヤフラム部及び厚肉部によって、外部に連通した空洞が形成されたセラミック基体と、
そのセラミック基体の前記薄肉ダイヤフラム部の外表面上に配設された、膜状の圧電/電歪体、及びその圧電/電歪体を挟んだ下部電極及び上部電極、を含む積層構造を有する圧電/電歪素子と、
前記下部電極及び上部電極を電源に接続するためのそれぞれの端子電極を具備し、
前記圧電/電歪素子の駆動に連動して、前記セラミック基体の薄肉ダイヤフラム部が振動する圧電/電歪膜型センサであって、
前記圧電/電歪体の表面近傍に、前記端子電極の主成分を含有する圧電/電歪膜型センサ。 - 前記圧電/電歪体の表面近傍に含有される前記端子電極の主成分は、その端子電極を形成した後の加熱処理によって、その端子電極から前記圧電/電歪体の表面近傍に拡散したものである請求項1に記載の圧電/電歪膜型センサ。
- 前記端子電極が、銀、又はこれを主成分とする導電材料からなる請求項1又は2に記載の圧電/電歪膜型センサ。
- 前記上部電極が、金、又はこれを主成分とする導電材料からなる請求項3に記載の圧電/電歪膜型センサ。
- 前記圧電/電歪体が、アルカリ金属又はアルカリ土類金属を含有する請求項1〜4の何れか一項に記載の圧電/電歪膜型センサ。
- 前記圧電/電歪体が、(Bi0.5Na0.5)TiO3、又はこれを主成分とする圧電/電歪材料からなる請求項5に記載の圧電/電歪膜型センサ。
- 前記圧電/電歪体が、ジルコン酸チタン酸鉛、又はこれを主成分とする圧電/電歪材料からなる請求項1〜4の何れか一項に記載の圧電/電歪膜型センサ。
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