JP5989360B2 - リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 321
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 239
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 126
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 126
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 9
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 7
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 24
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 14
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 14
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 13
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 9
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 6
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 6
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 6
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 5
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 208000031481 Pathologic Constriction Diseases 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 208000037804 stenosis Diseases 0.000 description 3
- 230000036262 stenosis Effects 0.000 description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009304 pastoral farming Methods 0.000 description 2
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 2
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 108010023321 Factor VII Proteins 0.000 description 1
- 239000006091 Macor Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 1
- 238000001900 extreme ultraviolet lithography Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000004071 soot Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 230000005469 synchrotron radiation Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70908—Hygiene, e.g. preventing apparatus pollution, mitigating effect of pollution or removing pollutants from apparatus
- G03F7/70933—Purge, e.g. exchanging fluid or gas to remove pollutants
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
- G03F7/70866—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature of mask or workpiece
- G03F7/70875—Temperature, e.g. temperature control of masks or workpieces via control of stage temperature
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
- G03F7/70883—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature of optical system
- G03F7/70891—Temperature
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Toxicology (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
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Description
開口部を通りかつ基板のターゲット部分上にパターン付き放射ビームを投影するように構成された投影システムと、開口部内に出口を有する導管であって、ガスを開口部に供給するように構成された導管とを含むリソグラフィ装置が提供される。リソグラフィ装置は、制御システムによって制御される冷却装置であって、開口部から基板に移動するガスが基板に入射したときにガスが所定の温度を有するようにガスを冷却するように構成された冷却装置をさらに含む。
1.ステップモードにおいては、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTおよび基板テーブルWTを基本的に静止状態に保ちつつ、放射ビームに付けられたパターン全体を一度にターゲット部分C上に投影する(すなわち、単一静的露光)。その後、基板テーブルWTは、Xおよび/またはY方向に移動され、それによって別のターゲット部分Cを露光することができる。
2.スキャンモードにおいては、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTおよび基板テーブルWTを同期的にスキャンする一方で、放射ビームに付けられたパターンをターゲット部分C上に投影する(すなわち、単一動的露光)。サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPSの(縮小)拡大率および像反転特性によって決めることができる。
3.別のモードにおいては、プログラマブルパターニングデバイスを保持した状態で、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTを基本的に静止状態に保ち、また基板テーブルWTを動かす、またはスキャンする一方で、放射ビームに付けられているパターンをターゲット部分C上に投影する。このモードにおいては、通常、パルス放射源が採用されており、さらにプログラマブルパターニングデバイスは、基板テーブルWTの移動後ごとに、またはスキャン中の連続する放射パルスと放射パルスとの間に、必要に応じて更新される。この動作モードは、前述の型のプログラマブルミラーアレイといったプログラマブルパターニングデバイスを利用するマスクレスリソグラフィに容易に適用することができる。
上記の実施形態と組み合わせて用いることができるダクトの別の実施形態は、図4の平面、すなわち、壁302の上記のZ方向に沿って向いている対称軸を含む平面内の環状チャンバ308の断面積に関係している。この別の実施形態では、断面積は、パイプ310の断面積の少なくとも6倍である。そのような断面積では、環状スリット306の前にて改善されたガス圧の均一性を得ることができる。
先ほど説明した2つの実施形態のうちのいずれかと組み合わせて用いることができるダクトのさらなる実施形態では、環状スリット306から出るガス流を供給チューブ310から出るガス流から切り離すように、供給チューブ310のすぐ下流にプレートが提供される。
先ほど説明した3つの実施形態のうちのいずれかと組み合わせて用いることができるダクトの次のさらなる実施形態では、単一のガス供給パイプ310は、上記のZ方向に対して垂直の伸張方向、すなわち、図4の平面に対して垂直の伸張方向を有する長形の断面を有する。そのような長形の断面のガス供給パイプ310はチャンバ308内のパイプ出口の前にある流れ抵抗と組み合わされてよく、流れ抵抗は、非長形の断面を有するパイプ310または複数のパイプ310を用いたときのチャンバ308内のパイプ出口におけるガス流速度より低いチャンバ308内のパイプ出口におけるガス流速度を提供するように構成される。
先ほど説明した4つの実施形態のうちのいずれかと組み合わせて用いることができるダクトの次のさらなる実施形態では、環状の多孔板がチャンバ308内に設けられており、この多孔板は、チャンバ308をパイプ310に接続された環状チャンバ部と環状スリット306に接続された環状チャンバ部とに分ける。例えば、多孔板は、環状スリットの前のすぐ上流(ガス流によって規定される)に配置されてよい。環状スリットの周囲に沿って、穿孔のサイズまたは穿孔の密度あるいは穿孔のサイズおよび密度の両方は変動することがあり、変動は、多孔板と環状スリット306との間の空間内のガス圧の均一性を改善するように構成される。
図4では、ガス供給パイプ310から出るガス流がパイプ310の方向の向きにより、環状スリット306の周囲に対して垂直の方向に誘導される一実施形態が示される。それとは対照的に、ダクトの別の実施形態では、ガス供給パイプ310から出るガス流は、環状スリット306の周囲に沿った方向に誘導される。例えば、チャンバ308内のパイプ310の出口の近くのその方向の向きは、パイプ出口のすぐ下流(ガス流によって規定される)の環状スリット306の周囲の一部に沿った方向に構成されてよい。この構成は、供給パイプ310を出るガス流が環状スリット306に対して主として垂直に誘導されず、に環状スリット306の少なくとも一部に対して実質的に平行に誘導されることを確実にし、結果的に環状スリット306の周囲に沿った実質的に均一のガス圧となる。
Claims (20)
- 基板を保持する基板テーブルと、
開口部を通りかつ前記基板のターゲット部分上にパターン付き放射ビームを投影する投影システムと、
前記開口部内に出口を有する導管であって、ガスを前記開口部に供給する導管と、
制御システムによって制御される冷却装置であって、前記開口部から前記基板に移動するガスが前記基板に入射したときに前記ガスが所定の温度を有するように前記ガスを冷却する、冷却装置と、
前記基板上に投影されたパターンのオーバーレイを測定するメトロロジ装置と、を含み、
前記制御システムは、前記メトロロジ装置からの出力に基づいて前記ガスの前記所定の温度の調整を決定する、リソグラフィ装置。 - 基板を保持する基板テーブルと、
開口部を通りかつ前記基板のターゲット部分上にパターン付き放射ビームを投影する投影システムと、
前記開口部内に出口を有する導管であって、ガスを前記開口部に供給する導管と、
制御システムによって制御される冷却装置であって、前記開口部から前記基板に移動するガスが前記基板に入射したときに前記ガスが所定の温度を有するように前記ガスを冷却する、冷却装置と、を含み、
前記出口は環状スリットであり、前記環状スリットの角は丸い、リソグラフィ装置。 - 基板を保持する基板テーブルと、
開口部を通りかつ前記基板のターゲット部分上にパターン付き放射ビームを投影する投影システムと、
前記開口部内に出口を有する導管であって、ガスを前記開口部に供給する導管と、
制御システムによって制御される冷却装置であって、前記開口部から前記基板に移動するガスが前記基板に入射したときに前記ガスが所定の温度を有するように前記ガスを冷却する、冷却装置と、を含み、
前記導管は、前記開口部の周りに延在する環状チャンバを含み、前記環状チャンバ内にバッフルが設けられており、前記バッフルは熱シンクおよび/または能動冷却装置に接続される、リソグラフィ装置。 - 基板を保持する基板テーブルと、
開口部を通りかつ前記基板のターゲット部分上にパターン付き放射ビームを投影する投影システムと、
前記開口部内に出口を有する導管であって、ガスを前記開口部に供給する導管と、
制御システムによって制御される冷却装置であって、前記開口部から前記基板に移動するガスが前記基板に入射したときに前記ガスが所定の温度を有するように前記ガスを冷却する、冷却装置と、
一端で前記開口部の壁に接続されかつ他端で温度制御装置に接続された熱パイプと、を含む、リソグラフィ装置。 - 基板を保持する基板テーブルと、
開口部を通りかつ前記基板のターゲット部分上にパターン付き放射ビームを投影する投影システムと、
前記開口部内に出口を有する導管であって、ガスを前記開口部に供給する導管と、
制御システムによって制御される冷却装置であって、前記開口部から前記基板に移動するガスが前記基板に入射したときに前記ガスが所定の温度を有するように前記ガスを冷却する、冷却装置と、
前記基板の赤外放射反射率を測定する測定装置と、を含み、
前記制御システムは、前記基板の測定された赤外反射率を考慮に入れるように前記所定のガス温度の調整を決定する、リソグラフィ装置。 - 前記所定の温度は、前記リソグラフィ装置の基準温度である、請求項1〜5のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記所定の温度は、前記リソグラフィ装置の基準温度より低い、請求項1〜5のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記冷却装置は、前記ガスの前記温度を前記リソグラフィ装置の前記基準温度より少なくとも5K低く冷却する、請求項6または7に記載のリソグラフィ装置。
- 前記開口部は、前記投影システムの壁に接続された開口部画定壁によって画定されており、前記開口部画定壁と前記投影システムの前記壁との間にギャップおよび/または絶縁材料が設けられている、請求項1〜8のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記導管はパイプを含んでおり、ギャップおよび/または絶縁材料は前記パイプと前記投影システムの前記壁との間に設けられている、請求項1〜9のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。
- 投影システム内の開口部を通って基板上にパターン付き放射ビームを投影することと、
前記開口部内に出口を有する導管を介して前記投影システム内の前記開口部にガスを供給することと、
前記ガスが前記開口部を通過した後に前記基板に入射したときに前記ガスが所定の温度を有するように冷却装置を用いて前記ガスを冷却することと、を含み、
前記投影システム内の前記開口部は、前記投影システムの壁に接続された開口部画定壁によって画定されており、前記開口部画定壁と前記リソグラフィ装置の他の部分との間の熱伝導は、前記ガスの単位時間当たりの熱容量の半分より少ない、デバイス製造方法。 - 投影システム内の開口部を通って基板上にパターン付き放射ビームを投影することと、
前記開口部内に出口を有する導管を介して前記投影システム内の前記開口部にガスを供給することと、
前記ガスが前記開口部を通過した後に前記基板に入射したときに前記ガスが所定の温度を有するように冷却装置を用いて前記ガスを冷却することと、
前記基板上に投影されたパターンのオーバーレイを測定して、前記オーバーレイの測定値に基づいて前記ガスの前記所定の温度の調整を決定することと、を含む、デバイス製造方法。 - 投影システム内の開口部を通って基板上にパターン付き放射ビームを投影することと、
前記開口部内に出口を有する導管を介して前記投影システム内の前記開口部にガスを供給することと、
前記ガスが前記開口部を通過した後に前記基板に入射したときに前記ガスが所定の温度を有するように冷却装置を用いて前記ガスを冷却することと、を含み、
前記出口は環状スリットであり、前記環状スリットの角は丸い、デバイス製造方法。 - 投影システム内の開口部を通って基板上にパターン付き放射ビームを投影することと、
前記開口部内に出口を有する導管を介して前記投影システム内の前記開口部にガスを供給することと、
前記ガスが前記開口部を通過した後に前記基板に入射したときに前記ガスが所定の温度を有するように冷却装置を用いて前記ガスを冷却することと、を含み、
前記導管は、前記開口部の周りに延在する環状チャンバを含み、前記環状チャンバ内にバッフルが設けられており、前記バッフルは熱シンクおよび/または能動冷却装置に接続される、デバイス製造方法。 - 投影システム内の開口部を通って基板上にパターン付き放射ビームを投影することと、
前記開口部内に出口を有する導管を介して前記投影システム内の前記開口部にガスを供給することと、
前記ガスが前記開口部を通過した後に前記基板に入射したときに前記ガスが所定の温度を有するように冷却装置を用いて前記ガスを冷却することと、を含み、
熱パイプの一端が前記開口部の壁に接続され、前記熱パイプの他端が温度制御装置に接続される、デバイス製造方法。 - 投影システム内の開口部を通って基板上にパターン付き放射ビームを投影することと、
前記開口部内に出口を有する導管を介して前記投影システム内の前記開口部にガスを供給することと、
前記ガスが前記開口部を通過した後に前記基板に入射したときに前記ガスが所定の温度を有するように冷却装置を用いて前記ガスを冷却することと、
前記基板の赤外放射反射率を測定して、前記基板の測定された赤外反射率を考慮に入れるように前記所定のガス温度の調整を決定することと、を含む、デバイス製造方法。 - 前記所定の温度は、前記リソグラフィ装置の基準温度である、請求項11〜16のいずれか1項に記載のデバイス製造方法。
- 前記所定の温度は、前記リソグラフィ装置の基準温度より低い、請求項11〜16のいずれか1項に記載のデバイス製造方法。
- リソグラフィ装置で用いるダクトであって、前記ダクトは冷却ガスの流れを前記ダクトの開口部に提供するように構成され、使用中、前記開口部は前記リソグラフィ装置の基板テーブルに面し、前記ダクトはダクト画定壁の傾斜内面によって前記開口部を形成し、前記ダクトは、
前記傾斜内面に形成されかつ前記ダクトを横切る平面に環状周囲を有する環状スリットと、
前記環状スリットに接続された環状チャンバであって、ガスを前記環状チャンバに供給するためのパイプを収容する入口を含む環状チャンバと
を含み、
前記環状スリットは、前記環状スリットの前記周囲に沿って変動する前記ダクトを横切る前記平面に対して実質的に垂直な方向に沿ったスリット幅を有し、前記スリット幅変動は、前記開口部の中に実質的に均一なガスの流れ場を提供する、ダクト。 - リソグラフィ装置で用いるダクトであって、前記ダクトは冷却ガスの流れを前記ダクトの開口部に提供するように構成され、使用中、前記開口部は前記リソグラフィ装置の基板テーブルに面し、前記ダクトはダクト画定壁の傾斜内面によって前記開口部を形成し、前記ダクトは、
前記傾斜内面に形成されかつ前記ダクトを横切る平面に環状周囲を有する環状スリットと、
前記環状スリットに接続された環状チャンバであって、ガスを前記環状チャンバに供給するためのパイプを収容する入口を含む環状チャンバと
を含み、
ガスを供給するための前記パイプから出るガス流は、前記環状スリットの前記周囲に沿った方向に誘導される、ダクト。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201161450392P | 2011-03-08 | 2011-03-08 | |
US61/450,392 | 2011-03-08 | ||
US201161489524P | 2011-05-24 | 2011-05-24 | |
US61/489,524 | 2011-05-24 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012191206A JP2012191206A (ja) | 2012-10-04 |
JP5989360B2 true JP5989360B2 (ja) | 2016-09-07 |
Family
ID=46795282
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012048439A Active JP5989360B2 (ja) | 2011-03-08 | 2012-03-05 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8797504B2 (ja) |
JP (1) | JP5989360B2 (ja) |
CN (1) | CN102681351B (ja) |
NL (1) | NL2008250A (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9625835B2 (en) * | 2011-11-17 | 2017-04-18 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP2016507763A (ja) * | 2012-12-17 | 2016-03-10 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置のための基板サポート及びリソグラフィ装置 |
US9389180B2 (en) | 2013-02-15 | 2016-07-12 | Kla-Tencor Corporation | Methods and apparatus for use with extreme ultraviolet light having contamination protection |
JP6286862B2 (ja) * | 2013-05-07 | 2018-03-07 | セイコーエプソン株式会社 | プロジェクター |
US10416574B2 (en) * | 2015-04-21 | 2019-09-17 | Asml Netherlands B.V | Lithographic apparatus |
CN109154085B (zh) * | 2016-03-22 | 2021-05-18 | 东京毅力科创株式会社 | 用于等离子体处理系统中的温度控制的系统和方法 |
NL2019411A (en) * | 2016-09-02 | 2018-03-06 | Asml Netherlands Bv | Lithographic Apparatus |
CN110678812B (zh) * | 2017-05-29 | 2023-09-01 | Asml荷兰有限公司 | 光刻设备 |
US11287752B2 (en) | 2017-06-26 | 2022-03-29 | Asml Netherlands B.V. | Cooling apparatus and plasma-cleaning station for cooling apparatus |
US10503085B2 (en) * | 2017-11-16 | 2019-12-10 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Lithography apparatus and method |
US11320751B2 (en) | 2018-02-16 | 2022-05-03 | Asml Netherlands B.V. | Apparatus incorporating a gas lock |
NL2023213A (en) * | 2018-07-05 | 2020-01-09 | Asml Netherlands Bv | A lithographic apparatus and cooling apparatus |
CN110966916B (zh) * | 2018-09-30 | 2021-10-15 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种气浴装置及光刻机 |
CN112445072A (zh) * | 2019-08-28 | 2021-03-05 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 气帘装置及光栅尺测量系统 |
EP4163721A1 (en) * | 2021-10-06 | 2023-04-12 | ASML Netherlands B.V. | Chamber for a projection system of a lithographic apparatus, projection system and lithographic apparatus |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3014513B2 (ja) * | 1991-10-22 | 2000-02-28 | 松下電子工業株式会社 | 微細パターンの露光方法及び縮小投影露光装置 |
US6545746B1 (en) * | 1996-03-04 | 2003-04-08 | Nikon Corporation | Projection exposure apparatus |
US6459472B1 (en) * | 1998-05-15 | 2002-10-01 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic device |
WO2001006548A1 (fr) * | 1999-07-16 | 2001-01-25 | Nikon Corporation | Procede et systeme d'exposition |
US20010016302A1 (en) | 1999-12-28 | 2001-08-23 | Nikon Corporation | Wafer chucks allowing controlled reduction of substrate heating and rapid substrate exchange |
JP2001284210A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-12 | Canon Inc | 露光装置、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法 |
JP3363882B2 (ja) * | 2000-10-17 | 2003-01-08 | 株式会社日立製作所 | 露光装置 |
JP2002248344A (ja) * | 2001-02-26 | 2002-09-03 | Nikon Corp | 極端紫外光発生装置並びにそれを用いた露光装置及び半導体製造方法 |
EP1381919A1 (en) | 2001-04-17 | 2004-01-21 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Euv-transparent interface structure |
US20050175497A1 (en) * | 2002-08-29 | 2005-08-11 | Nikon Corporation | Temperature control method and apparatus and exposure method and apparatus |
JP4366098B2 (ja) * | 2003-03-04 | 2009-11-18 | キヤノン株式会社 | 投影露光装置および方法ならびにデバイス製造方法 |
WO2005083759A1 (ja) | 2004-02-27 | 2005-09-09 | Nikon Corporation | 露光装置、及び微細パターンを有するデバイスの製造方法 |
US7701550B2 (en) * | 2004-08-19 | 2010-04-20 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP2006100363A (ja) * | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Canon Inc | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法。 |
JP2006308996A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 露光装置 |
US7738075B2 (en) * | 2005-05-23 | 2010-06-15 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic attribute enhancement |
US7367138B2 (en) | 2005-10-11 | 2008-05-06 | Nikon Corporation | Devices and methods for thermophoretic and electrophoretic reduction of particulate contamination of lithographic reticles |
US7745079B2 (en) | 2006-03-09 | 2010-06-29 | Nikon Corporation | Apparatus for and method of thermophoretic protection of an object in a high-vacuum environment |
JP2007281142A (ja) * | 2006-04-05 | 2007-10-25 | Canon Inc | 露光装置及び方法、並びに、デバイス製造方法 |
US7655925B2 (en) * | 2007-08-31 | 2010-02-02 | Cymer, Inc. | Gas management system for a laser-produced-plasma EUV light source |
JP6099883B2 (ja) * | 2011-05-24 | 2017-03-22 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置及び部品 |
-
2012
- 2012-02-07 NL NL2008250A patent/NL2008250A/en not_active Application Discontinuation
- 2012-02-29 US US13/408,471 patent/US8797504B2/en active Active
- 2012-03-01 US US13/409,752 patent/US8730448B2/en active Active
- 2012-03-05 CN CN201210055428.7A patent/CN102681351B/zh active Active
- 2012-03-05 JP JP2012048439A patent/JP5989360B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8730448B2 (en) | 2014-05-20 |
NL2008250A (en) | 2012-09-11 |
US20120229782A1 (en) | 2012-09-13 |
US20120229783A1 (en) | 2012-09-13 |
US8797504B2 (en) | 2014-08-05 |
CN102681351A (zh) | 2012-09-19 |
CN102681351B (zh) | 2016-08-17 |
JP2012191206A (ja) | 2012-10-04 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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