JP6099883B2 - リソグラフィ装置及び部品 - Google Patents
リソグラフィ装置及び部品 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6099883B2 JP6099883B2 JP2012115281A JP2012115281A JP6099883B2 JP 6099883 B2 JP6099883 B2 JP 6099883B2 JP 2012115281 A JP2012115281 A JP 2012115281A JP 2012115281 A JP2012115281 A JP 2012115281A JP 6099883 B2 JP6099883 B2 JP 6099883B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- lithographic apparatus
- projection system
- gas
- wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 223
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 153
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 89
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 claims description 79
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 29
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 29
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 22
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 21
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 19
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 19
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 14
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 11
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 9
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 9
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 6
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 6
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 6
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 5
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 5
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 5
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 5
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 3
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 3
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 3
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 3
- OFNHPGDEEMZPFG-UHFFFAOYSA-N phosphanylidynenickel Chemical compound [P].[Ni] OFNHPGDEEMZPFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001096 P alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 description 2
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 210000000887 face Anatomy 0.000 description 2
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 description 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000009304 pastoral farming Methods 0.000 description 2
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 2
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 2
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 2
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- -1 Li vapor Substances 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000007743 anodising Methods 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 description 1
- 238000001900 extreme ultraviolet lithography Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 1
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000005469 synchrotron radiation Effects 0.000 description 1
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
- G03F7/70883—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature of optical system
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Atmospheric Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Epidemiology (AREA)
- Public Health (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
ここで、λは使用される放射の波長、NAはパターン印刷に用いられる投影系の開口数、k1はプロセス依存の調整係数(レイリー定数とも呼ばれる)、CDは印刷されるフィーチャのフィーチャサイズ(または臨界寸法)である。式(1)から、フィーチャの印刷可能な最小サイズを三つの方法で低下させられることが分かる。すなわち、露光波長λの短縮、開口数NAの増加、またはk1値の減少である。
1.ステップモードでは、放射ビームに付与されたパターンの全体が1回の照射で一つの目標部分Cに投影される間、支持構造(例えばマスクテーブル)MT及び基板テーブルWTは実質的に静止状態とされる(すなわち1回の静的な露光)。そして基板テーブルWTがX方向及び/またはY方向に移動されて、異なる目標部分Cが露光される。
2.スキャンモードでは、放射ビームに付与されたパターンが目標部分Cに投影される間、支持構造(例えばマスクテーブル)MT及び基板テーブルWTは同期して走査される(すなわち1回の動的な露光)。支持構造(例えばマスクテーブル)MTに対する基板テーブルWTの速度及び方向は、投影系PSの拡大(縮小)特性及び像反転特性により定められる。
3.別のモードでは、放射ビームに付与されたパターンが目標部分Cに投影される間、支持構造(例えばマスクテーブル)MTはプログラム可能パターニングデバイスを保持して実質的に静止状態とされ、基板テーブルWTは移動または走査される。パルス放射源が用いられ、プログラム可能パターニングデバイスは走査中に基板テーブルWTが移動するたびに、または連続する放射パルスの間に必要に応じて更新される。この動作モードは、上記のプログラム可能ミラーアレイなどのプログラム可能パターニングデバイスを使用するマスクレスリソグラフィに直ちに適用することができる。
ここで、Ei及びErsは、気体分子の熱エネルギーによる入射エネルギー束及び反射エネルギー束であり、Essは、材料の実質的に滑らかな表面と気体が熱的平衡にある場合に反射されるエネルギー束である。熱適応係数は、理論上、0(気体から材料に熱が伝達されない)と1(全ての熱が気体から材料に伝達される)の間で変化する。
ここで、Ei及びErは、気体分子の熱エネルギーによる入射エネルギー束及び反射エネルギー束であり、Esは、材料の表面と気体が熱的平衡にある場合に反射されるエネルギー束である。式(2)は、投影系の壁313の構造を考慮に入れている(すなわち、投影系の壁が実質的に滑らかな表面でないと仮定している)。投影系の壁313に構造(例えば反復構造)を設けることによって、投影系の実効熱適応係数αEEFを増加させることができる。構造は、例えば、一連のリッジを含んでもよいし、ハニカム構造などの複数の穴の配列であってもよい。
例えば0.05よりも大きな性能指数を有する反復構造を提供することが望ましい場合もある。例えばハニカム構造、または複数の穴の配列を備える他の反復構造に性能指数を適用してもよい。特定の熱適応係数(例えば0.3)を有する材料に性能指数を適用してもよい。例えばリッジなどの他の構造に性能指数を適用してもよい(例えば、0.2を越えるアスペクト比などの別の基準と組み合わせて)。
ここで、Aは分子の熱伝達係数(以下参照)、pは圧力、ΔTはプレート間の温度差、Hはプレート間の距離、kは気体の熱伝導率(295Kの水素では0.17Wm−1K−1)、hRは放射熱伝達係数(表面材料の特性及び温度に依存する。典型的な値は0.15<hR<5Wm−2K−1)である。式(4)の気体に関連する部分は、熱伝達のSherman-Leesモデルとして知られている。
ここで、ζは気体分子の内部自由度(水素ではζ=2、ヘリウムではζ=0)、Ru=8.3Jmol−1K−1は一般気体定数、Mはモル質量(水素では0.002kg/mol)である。例えば、295K、α=0.3の水素では、A=0.8Wm−2K−1Pa−1である。
Claims (9)
- 基板を保持するように構成された基板テーブルと、
パターン付与された放射ビームを前記基板の目標部分に投影するように構成された投影系と、を備え、
リソグラフィ装置の部品であって使用時に真空環境内にある部品が使用時に前記基板または前記基板テーブルと対面する表面を有し、前記表面に反復構造が設けられ、前記反復構造は、該反復構造が設けられていない滑らかな表面と比べて該表面の実効熱適応係数を増加させるように構成されていることを特徴とする、リソグラフィ装置。 - 構造が設けられた表面を有するリソグラフィ装置部品であって、前記表面の水素ガスに対する実効熱適応係数が0.4以上であり、
前記リソグラフィ装置部品が、
使用時に基板または基板テーブルと対面する表面を有する投影系の壁、
基板テーブル、
投影系または照明系のミラー、
該ミラーのためのヒートシンク、または、
位置合わせ測定及び/または基板露光中に基板がその中に配置されるチャンバの内壁であることを特徴とするリソグラフィ装置部品。 - 前記構造が反復構造であることを特徴とする請求項2に記載のリソグラフィ装置部品。
- 前記反復構造が一連のリッジを含むことを特徴とする請求項3に記載のリソグラフィ装置部品。
- 前記反復構造が部品表面に設けられた複数の穴の配列を含むことを特徴とする請求項3に記載のリソグラフィ装置部品。
- 前記複数の穴の配列がハニカム構造または複数の円形穴の配列を含むことを特徴とする請求項5に記載のリソグラフィ装置部品。
- 前記反復構造が一定のピッチを有することを特徴とする請求項3に記載のリソグラフィ装置部品。
- リソグラフィ装置の動作中に当該構造の近傍にある気体の平均自由行程よりも小さいピッチを有する構造が設けられた表面を有するリソグラフィ装置部品であって、前記気体は20パスカルから1パスカルの圧力を有し、
前記リソグラフィ装置部品が、
使用時に基板または基板テーブルと対面する表面を有する投影系の壁、または、
基板テーブルであるリソグラフィ装置部品。 - 請求項2から8のいずれかに記載のリソグラフィ装置部品を備えるリソグラフィ装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201161489539P | 2011-05-24 | 2011-05-24 | |
US61/489,539 | 2011-05-24 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012248834A JP2012248834A (ja) | 2012-12-13 |
JP6099883B2 true JP6099883B2 (ja) | 2017-03-22 |
Family
ID=47198210
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012115281A Active JP6099883B2 (ja) | 2011-05-24 | 2012-05-21 | リソグラフィ装置及び部品 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8970818B2 (ja) |
JP (1) | JP6099883B2 (ja) |
CN (1) | CN102799074B (ja) |
NL (1) | NL2008845A (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL2008250A (en) * | 2011-03-08 | 2012-09-11 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method. |
US10416574B2 (en) * | 2015-04-21 | 2019-09-17 | Asml Netherlands B.V | Lithographic apparatus |
NL2019411A (en) * | 2016-09-02 | 2018-03-06 | Asml Netherlands Bv | Lithographic Apparatus |
US20180204747A1 (en) * | 2017-01-17 | 2018-07-19 | Applied Materials, Inc. | Substrate support assembly having surface features to improve thermal performance |
CN110945433B (zh) * | 2017-07-28 | 2022-07-01 | Asml荷兰有限公司 | 用于粒子抑制的粒子捕获器和阻挡件 |
US10866519B1 (en) * | 2019-10-01 | 2020-12-15 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Reticle-masking structure, extreme ultraviolet apparatus, and method of forming the same |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4100813B2 (ja) * | 1999-04-09 | 2008-06-11 | 信越化学工業株式会社 | ペリクルフレームおよびこれを用いたリソグラフィー用ペリクル |
JP2004029314A (ja) * | 2002-06-25 | 2004-01-29 | Nikon Corp | 光学素子冷却装置、光学素子冷却方法及び露光装置 |
JP4333090B2 (ja) * | 2002-07-03 | 2009-09-16 | 株式会社ニコン | ミラー冷却装置及び露光装置 |
JP2004140132A (ja) * | 2002-10-17 | 2004-05-13 | Taiheiyo Cement Corp | 試料載置ステージ |
JP2004264371A (ja) * | 2003-02-21 | 2004-09-24 | Tadahiro Omi | 液晶パネル用露光装置 |
EP2267535A1 (en) * | 2003-11-05 | 2010-12-29 | ASML Netherlands BV | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
EP1530088B1 (en) * | 2003-11-05 | 2007-08-08 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus |
KR101236120B1 (ko) * | 2004-10-26 | 2013-02-28 | 가부시키가이샤 니콘 | 기판 처리 방법, 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 |
US20070242248A1 (en) * | 2004-10-26 | 2007-10-18 | Nikon Corporation | Substrate processing method, exposure apparatus, and method for producing device |
EP1681597B1 (en) * | 2005-01-14 | 2010-03-10 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7502095B2 (en) * | 2005-03-29 | 2009-03-10 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, device manufacturing method, and device manufactured thereby |
JP2007027212A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-01 | Canon Inc | フィルター、露光装置及びデバイス製造方法 |
JP4929845B2 (ja) * | 2006-05-31 | 2012-05-09 | 凸版印刷株式会社 | 露光装置 |
US20100033704A1 (en) * | 2008-08-11 | 2010-02-11 | Masayuki Shiraishi | Deformable mirror, mirror apparatus, and exposure apparatus |
-
2012
- 2012-05-21 JP JP2012115281A patent/JP6099883B2/ja active Active
- 2012-05-21 NL NL2008845A patent/NL2008845A/en not_active Application Discontinuation
- 2012-05-22 CN CN201210160312.XA patent/CN102799074B/zh active Active
- 2012-05-23 US US13/478,888 patent/US8970818B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8970818B2 (en) | 2015-03-03 |
NL2008845A (en) | 2012-11-27 |
CN102799074A (zh) | 2012-11-28 |
CN102799074B (zh) | 2016-12-28 |
JP2012248834A (ja) | 2012-12-13 |
US20120300187A1 (en) | 2012-11-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6487519B2 (ja) | リソグラフィ装置用の汚染トラップ | |
TWI616724B (zh) | 微影裝置及元件製造方法 | |
US7382436B2 (en) | Mirror, lithographic apparatus, device manufacturing method, and device manufactured thereby | |
TWI605313B (zh) | 用於微影裝置之投影系統、鏡及輻射源 | |
JP6099883B2 (ja) | リソグラフィ装置及び部品 | |
JP6434582B2 (ja) | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | |
TWI576669B (zh) | 掠角入射反射器、微影裝置、製造掠角入射反射器的方法及製造元件的方法 | |
JP6126798B2 (ja) | 放射源およびリソグラフィ装置 | |
US20160041374A1 (en) | Radiation Collector, Radiation Source and Lithographic Apparatus | |
JP5732257B2 (ja) | リソグラフィ装置、デバイス製造方法およびコンピュータ読取可能媒体 | |
JP2016522568A (ja) | 支持構造、その温度を制御する方法、及びそれを含む装置 | |
TWI539242B (zh) | 微影裝置及元件製造方法 | |
TWI510821B (zh) | 光譜純度濾光器 | |
NL2014324A (en) | Housing for an array of densely spaced components and associated manufacturing method. | |
TW202119124A (zh) | 微影設備及偵測輻射光束之方法 | |
KR20160091979A (ko) | 장치, 디바이스 및 디바이스 제조 방법 | |
EP1521272B1 (en) | Mirror and lithographic apparatus with mirror | |
NL2009618A (en) | Lithographic apparatus and device manufacturing method. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150520 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160324 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160405 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160531 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161011 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161114 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170214 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170222 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6099883 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |