JP5986391B2 - コンタクトプローブを用いた検査装置 - Google Patents

Description

本発明は電子部品などの検査に用いられる検査装置に関するものの中で、検査対象物としての半田端子との導通を確保する機能を有するコンタクトプローブを用いた検査装置に関する。

電子部品や回路基板の電極端子に接触させ、電極端子を外部装置と一時的に導通させるためのコンタクトプローブを用いた検査装置が知られている。このコンタクトプローブは、回路基板の検査を行う際、回路基板の電極端子に針状のプランジャーを弾性的に当接させて電気的測定を行うものであるが、例えば電極端子としての半田端子を検査する際、半田端子に形成された酸化膜によりコンタクトプローブと半田端子の良好な導通が確保できなくなるという問題が起こることがあった。この問題に対し、プランジャーが摺動する際に回転する機構を設け、その回転により半田端子の酸化膜を破壊し導通を確保するコンタクトプローブが開示されている（例えば、特許文献１参照。）。

図２５は従来のプランジャーが回転機能を有するコンタクトプローブの一例を示す図で、図２５（ａ）は断面図、図２５（ｂ）は、プランジャーを示す正面図である。図２５に示すようにコンタクトプローブ１１０は螺旋状の案内面１０１ａを設けたプランジャー１０１と、螺旋状の案内面１０１ａに接触するようにカシメにより内部に摺動凸部１０２ａが形成されたバレル１０２と、バレル１０２の内部に配置されるプランジャー１０１を軸方向へ付勢するバネ１０３とを備えている。このバネ１０３の一方の端部にはプランジャー１０１が配置され、他方の端部には基板側プランジャー１０４が配置されている。また、バレル１０２の一方の端部からプランジャー１０１の一部が露出するように配置されており、他方の端部の内側には、基板側プランジャー１０４の抜け止め用の搾り縁部１０２ｂが形成されている。この搾り縁部１０２ｂに基板側プランジャー１０４が当接して脱落が防止されている。

図２６は上記コンタクトプローブを用いた検査装置の主要部の一例を示す概略断面図である。図２６に示すように、コンタクトプローブを用いた検査装置１２０は、コンタクトプローブ１１０と、プランジャー１０１の一部が露出するようにコンタクトプローブ１１０を収納する収納孔１０６ａを有するソケット１０６と、ソケット１０６の一方の面側における収納孔１０６ａの端部に設ける段部１０６ｂ及び収納孔１０６ａから外部に貫通する貫通孔１０６ｃと、他方の面に固定された配線基板１０５とを備えている。貫通孔１０６ｃにはプランジャー１０１が挿通されており、この貫通孔１０６ｃの内径はプランジャー１０１の外径より大きく、且つコンタクトプローブ１１０の外径よりも小さい値に設定されているため、コンタクトプローブ１１０の脱落が防止されるようになっている。なお、プリント配線基板１０５には基板側プランジャー１０４の突出部１０４ａが当接されコンタクトプローブ１１０がソケット１０６に保持されている。
ソケット１０６には、通常、複数のコンタクトプローブ１１０が配置されており、この複数のコンタクトプローブ１１０のプランジャー１０１が、それぞれ回転を伴って摺動して検査対象物としての半田端子１０８に接触する。この際プランジャー１０１の回転により半田端子１０８の酸化膜が破壊され導通を確保するようになっている。

図２７は上記コンタクトプローブを用いた検査装置の主要部の他の例を示す概略断面図である。図２７に示すように、コンタクトプローブを用いた検査装置１３０は、ソケット１１６が上ソケット１０７と下ソケット１０９を有する例であり、基本的な構成は図２６のコンタクトプローブを用いた検査装置１２０と同様である。上ソケット１０７と下ソケット１０９にはそれぞれコンタクトプローブ１１０を収納する収納孔１０７ａ、１０９ａが設けられており、上ソケット１０７と下ソケット１０９のそれぞれの一方の面が互いに当接され、収納孔１０７ａ、１０９ａが連通する収納孔を形成している。下ソケット１０９の他方の面側における収納孔１０９ａの端部には段部１０９ｂ及び収納孔１０９ａから外部に貫通する貫通孔１０９ｃが設けられており、貫通孔１０９ｃにはプランジャー１０１が挿通されている。また、上ソケット１０７の一方の面には配線基板１０５が固定されており、収納孔１０７ａの端部には段部１０７ｂ及び収納孔１０７ａから外部に貫通する貫通孔１０７ｃが設けられている。この貫通孔１０７ｃには基板側プランジャー１０４の突出部１０４ａが挿通されている。貫通孔１０７ｃ、１０９ｃの内径はコンタクトプローブ１１０の外径よりも小さい値に設定されている。その他は、前述のコンタクトプローブを用いた検査装置１２０と同様である。

特開平７−７７５３９号公報（第３−４頁、図１−３参照）

しかしながら、従来技術におけるコンタクトプローブを用いた検査装置においては、コンタクトプローブ１１０のプランジャー１０１と検査対象物としての半田端子１０８が当接した際に摩擦が強すぎると、ソケット１０６がコンタクトプローブ１１０を保持している力を超えコンタクトプローブ１１０が回ってしまい、複数のプランジャー１０１とこれに対応する半田端子１０８との摩擦の強弱によってそれぞれのプランジャー１０１の回転量に違いが生じ動作が一定にならない。このため良好な導通が確保できず、コンタクトプローブごとの動作も一定にならない為、導通の安定が保証されないという問題点があった。

（発明の目的）
本発明は上記問題を解決して、プランジャーの回転量を規定通り確実に回転させることができ、安定した導通が得られるコンタクトプローブを用いた検査装置を提供することを目的とする。

上記の問題を解決するために、本発明におけるコンタクトプローブを用いた検査装置は、筒状体からなるバレル、該バレル内に摺動自在に嵌合するプランジャー、及び前記バレル内に配置され前記プランジャーを軸方向に付勢するバネを有し、前記プランジャーが前記バレル内部を回転しながら摺動する構造を有するコンタクトプローブと、前記コンタクトプローブを収納する収納孔を有するソケットとを備えたコンタクトプローブを用いた検査装置において、前記コンタクトプローブが前記収納孔内部で回転することを防止する回転防止手段を有し、前記回転防止手段は、前記バレルの端部に設ける切り欠きと、前記ソケットにおける前記バレルの切り欠けに対応する位置に設ける嵌合凹部と、前記切り欠き及び嵌合凹部に嵌合するコマとを有し、前記ソケットには複数のコンタクトプローブが収納されており、一つのコマが前記複数のコンタクトプローブのそれぞれのバレルの切り欠きと嵌合することを特徴とする。

上記構成とすることにより、プランジャーが指定された回転量通り回転して、検査対象物としての半田端子の酸化膜を破壊し導通を確保することができる上、ソケットに収納されたコンタクトプローブの回転量にバラつきが無くなり回転動作が一定になる。このことから指定の回転動作を保証できる。

また、上記構成とすることにより、コマの数が減るのでコマの加工数も減りコストを削減できる。

また、上記構成とすることにより、切り欠きと嵌合するコマの嵌合部の形状をより正確に製造することができ、コンタクトプローブの回転防止をより確実にすることができる。

前記ソケットは上ソケットと凹部を有する下ソケットからなり、前記凹部にインナーソケットが収納配置され、前記上ソケットと前記インナーソケットにはそれぞれコンタクトプローブを収納する収納孔が設けられていると共に前記上ソケットの一方の面と下ソケット、インナーソケットのそれぞれの一方の面とが互いに当接されて形成されていることを特徴とする。

上記構成とすることにより、コンタクトプローブの回転防止のためのコマの落下防止を図ることができると共にソケットの加工を容易にすることができる。

また、コマはシリコン、炭化シリコン、酸化シリコン、セラミック、ガラス、樹脂、ゴムのいずれかの絶縁体からなることを特徴とする。

上記構成とすることにより、コマの耐久性を向上させることができる。

また、プランジャーの先端部が略平面状、略円筒状、略円錐形状、略半球状のいずれかの形状からなることを特徴とする。

上記構成とすることにより、摺動し回転するプランジャー先端部が検査対象物としての半田端子と接触した際に効率よく酸化膜を破壊し半田端子との導通を確保することができる。

以上のように本発明によれば、プランジャーが検査対象物としての半田端子に当接しバレル内部を回転しながら摺動する際に、ソケットに対するコンタクトプローブの回転を防止する回転防止手段を有するため、プランジャーが指定された回転量通り回転して、検査対象物としての半田端子の酸化膜を破壊し導通を確保することができる上、ソケットに収納されたコンタクトプローブの回転量にバラつきが無くなり回転動作が一定になる。このことから指定の回転動作を保証でき、安定した導通が得られるコンタクトプローブを用いた検査装置を提供することができる。

本発明における実施例１のコンタクトプローブを用いた検査装置を示す断面図である。 図１におけるＡ部の部分拡大断面図である。 図１におけるＢ−Ｂ断面図である。 実施例１のコンタクトプローブの一部を示す斜視図である。 実施例１のバレルの切り欠きとマークの位置関係を示す図で、図５（ａ）は斜視図、図５（ｂ）は図５（ａ）における矢印Ｐ方向からみた平面図である。 実施例１におけるソケットの係止凸部の形状を示す断面図である。 実施例１における係止凸部の他の例を示す断面図である。 実施例１における係止凸部の他の例を示す断面図である。 本発明における実施例２のコンタクトプローブを用いた検査装置を示した断面図である。 図９におけるＢ部の部分拡大断面図である。 実施例２のコンタクトプローブを用いた検査装置の主要部を下ソケットを外した状態において検査対象物側から見た平面図である。 実施例２におけるバレルの切り欠きとマークの位置関係を示す図で、図１２（ａ）は斜視図、図１２（ｂ）はマーク部分を示す断面図である。 実施例２におけるコマの形状を示す断面図である。 実施例２におけるコマの形状の他の例を示す断面図である。 実施例２におけるコマの形状の他の例を示す断面図である。 本発明における実施例３のコンタクトプローブを用いた検査装置を示した断面図である。 実施例３のコンタクトプローブを用いた検査装置の主要部をストッパープレートを外した状態において、検査対象物側から見た平面図である。 実施例３におけるバレルの切り欠きとマークの位置関係を示す図で、図１８（ａ）斜視図、図１８（ｂ）はマーク部分を示す断面図である。 本発明における実施例４のコンタクトプローブを用いた検査装置を示す断面図である。 実施例４のコンタクトプローブを用いた検査装置の主要部を下ソケットを外した状態において検査対象物側から見た平面図である。 実施例４におけるバレルの切り欠きとマークの位置関係を示す図で、図２１（ａ）は斜視図、図２１（ｂ）は図２１（ａ）における矢印Ｐ方向からみた平面図である。 本発明における実施例５のコンタクトプローブを用いた検査装置を示す断面図である。 実施例５のコンタクトプローブを用いた検査装置の主要部を下ソケットを外した状態において検査対象物側から見た平面図である。 本発明の各実施例におけるプランジャーの先端形状を示す図である。 従来技術におけるコンタクトプローブを示し、図２５（ａ）は断面図、図２５（ｂ）は、コンタクトプローブのプランジャーを示す正面図である。 従来技術におけるコンタクトプローブを用いた検査装置を示す断面図である。 従来技術におけるコンタクトプローブを用いた検査装置の他の例を示す断面図である。

以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。

図１は、実施例１のコンタクトプローブを用いた検査装置の構成の例を示す断面図である。図１に示すように、本実施例のコンタクトプローブを用いた検査装置２０は、コンタクトプローブ１０と、コンタクトプローブ１０を複数収納しているソケット１１と、ソケット１１における検査対象物としての半田端子１４の反対側の面に固定された配線基板１５と、回路の導通状態を検査する際ソケット１１に対するコンタクトプローブ１０の回転を防止するコンタクトプローブの回転防止手段とを備えている。また、コンタクトプローブ１０は、螺旋状の案内面２を設けたプランジャー１と、基板側プランジャー９と、プランジャー１及び基板側プランジャー９を摺動可能に保持し内部に螺旋状の案内面２と接触する摺動凸部５が形成され、検査対象物としての半田端子１４側（プランジャー１が突出する側）の端部の一部に切り欠き６を設けたバレル４と、プランジャー１、基板側プランジャー９を互いに逆の方向で、且つ軸方向（バレル４の中心から離反する方向）へ付勢するバネ８とを備えている。

図２は、図１におけるＡ部の部分拡大図、図３は、図１におけるＢ−Ｂ断面図である。図２、図３に示すように、ソケット１１にはコンタクトプローブ１０が収納される収納孔１２が形成されており、このソケット１１の収納孔１２には、バレル４の切り欠き６に係合するように、切り欠き６に対応する位置に係止凸部１３ａが設けられている。このソケット１１の係止凸部１３ａにバレル４の切り欠き６を係合させることにより、ソケット１１に対するコンタクトプローブ１０の回転を防止することができる。このように、本実施例におけるコンタクトプローブの回転防止手段は、ソケット１１の係止凸部１３ａとバレル４の切り欠き６とを有し、ソケット１１の係止凸部１３ａにバレル４の切り欠き６を係合させるものである。

また、ソケット１１の検査対象物としての半田端子１４側（プランジャー１が突出する側）における収納孔１２の端部には段部１１及び収納孔１２から外部に貫通する貫通孔１１ｂとが設けられている。貫通孔１１ｂにはプランジャー１が挿通されており、この貫通孔１１ｂの内径はプランジャー１の外径より大きく、且つコンタクトプローブ１０の外径よりも小さい値に設定されているため、コンタクトプローブ１０の端部が段部１１に当接してコンタクトプローブ１０がソケット１１から脱落するのを防止するようになっている。
なお、配線基板１５には基板側プランジャー９の突出部９ａが当接されコンタクトプローブ１０がソケット１１に保持されている。

コンタクトプローブ１０の材料として導電性材質が用いられ、プランジャー１の材料には銀パラジウム銅合金、バレル４の材料には金メッキが施されたリン青銅、バネ８の材料にはピアノ線を用いた。また、ソケット１１の材料としては絶縁性材質のプラスチック（樹脂）を用いた。

図２４は、プランジャーの先端の形状の例を示す側面図である。本実施例におけるプランジャー１は、図２４（ａ）に示すプランジャーＡの形状である。また、プランジャー１の先端部３の形状は図２４（ａ）に示すプランジャーＡの先端ａのように平面状に形成されているため、通電性を向上させることができる。また、プランジャーの先端部の形状は、本実施例の平面状の他に、図２４（ｂ）に示すプランジャーＢの先端ｂのように平面の中心を同一の軸とする円筒状の窪みを設けた略円筒状、図２４（ｃ）に示すプランジャーＣの先端ｃのように略円錐形状、図２４（ｄ）に示すプランジャーＤの先端ｄのように略半球形状でも良く、通電性を向上させることができる。

図５は、バレル４を示す図で、図５（ａ）は斜視図、図５（ｂ）は図５（ａ）における矢印Ｐ方向からみた平面図である。図５に示すようにバレル４は筒状体の形状で、一方の端部に切り欠き６が形成されており、配線基板１５側の他方の端部には、内方に向けてカシメ加工によって突設された３個のカシメ突部４ａ、４ｂ、４ｃが形成されており、このカシメ突部４ａ、４ｂ、４ｃに基板側プランジャー９が当接してバレル４からの脱落が防止される。また、配線基板１５側の他方の端部には、切り欠き６と対応する位置に印刷により位置合わせ用のマーク７が端面に設けられている。このマーク７は、ソケット１１の収納孔１２にコンタクトプローブ１０を挿入して、バレル４の切り欠き６と、ソケット１１の係止凸部１３ａとを係合させる際の位置合わせに用いるものである。
また、このマーク７は、印として機能するためペイント、刻印、切り欠きによって形成されていても良い。

また、図４はバレル４の切り欠き６を示す斜視図、図６は、ソケット１１の係止凸部１３ａを示す断面図である。図６に示すようにソケット１１の係止凸部１３ａがバレル４の切り欠き６と係合する係合部の断面形状は略円弧状であり、ソケット１１の収納孔１２の内側に向かって突出するように形成されている。また、バレル４の切り欠き６は、図４示すようにソケット１１の係止凸部１３ａの係合部と係合する略円弧状の凹部を形成する。なお、コンタクトプローブ１０のその他の基本的な構成は従来例のコンタクトプローブと類似しているため、詳細な説明は省略する。

図７、図８は、ソケット１１の係止凸部の他の例を示す断面図である。図７に示すように係止凸部１３ｂの形状は、収納孔１２の断面形状がＤカット状になるように収納孔１２の内側に向かって突出する面を平面に形成しても良い。この係止凸部１３ｂに係合するようにバレル４の切り欠きを平面形状がＤカット状に切り欠いた凹部に形成することでコンタクトプローブの回転を防止することができる。また、図８に示すように係止凸部１３ｃの形状が収納孔１２の内側に向かって突出する略角状の突起でも、係止凸部１３ｃに係合するようにバレル４に設ける切り欠きの形状を略角状の凹部に形成することで、コンタクトプローブの回転を防止することができる。

以上のように本実施例のコンタクトプローブを用いた検査装置２０は、コンタクトプローブ１０のバレル４に設けられた切り欠き６と、ソケット１１に設けられた係止凸部１３ａが係合するように収納孔１２へ、コンタクトプローブ１０を挿入し、プランジャー１先端部３を検査対象の半田端子１４と当接させ回路の導通状態を検査する。この際、プランジャー１がバレル４内部を回転しながら摺動するが、コンタクトプローブの回転防止手段として、バレル４の切り欠き６とソケット１１に設けられた係止凸部１３ａが係合しているので、半田端子１４とプランジャー先端部３の摩擦力の影響を受けることなく、バレル４の回転が防止され、ソケット１１に対するコンタクトプローブ１０の回転を防止することができる。
これにより、プランジャー１が指定された回転量通り回転して、検査対象物としての半田端子１４の酸化膜を破壊し導通を確保することができる。さらに、ソケット１１に収納された複数のコンタクトプローブの回転量にバラつきが無くなり、回転動作が一定となる。これにより指定の回転動作を保証でき、安定した導通が得られるコンタクトプローブを用いた検査装置を実現することができる。

図９は、実施例２のコンタクトプローブを用いた検査装置の構成の例を示す断面図である。図９に示すように、本実施例のコンタクトプローブを用いた検査装置４０は、コンタクトプローブ２６と、コンタクトプローブ２６を複数収納しているソケット２７と、ソケット２７における検査対象物としての半田端子１４の反対側の面に固定された配線基板１５と、回路の導通状態を検査する際ソケット２７に対するコンタクトプローブ２６の回転を防止するコンタクトプローブの回転防止手段とを備えている。また、コンタクトプローブ２６は、螺旋状の案内面２を設けたプランジャー２１と、基板側プランジャー９と、プランジャー２１及び基板側プランジャー９を摺動可能に保持し、内部に螺旋状の案内面２と接触する摺動凸部５が形成され、半田端子１４側の端部の一部に切り欠き２４を設けたバレル２３と、プランジャー２１、基板側プランジャー９を互いに逆の方向（バレル２３の中心から離反する方向）へ付勢するバネ８とを備えている。

ソケット２７は上ソケット１７と下ソケット１８とを有し、下ソケット１８には凹部１８ａが設けられており、この凹部１８ａにインナーソケット１９が収納配置されている。上ソケット１７とインナーソケット１９にはそれぞれコンタクトプローブ２６を収納する収納孔２８ａ、２８ｂが設けられている。上ソケット１７の一方の面と、下ソケット１８、インナーソケット１９のそれぞれの一方の面とが互いに当接され、ソケット２７が形成されており、収納孔２８ａ、２８ｂは連通する一個の収納孔を形成してコンタクトプローブ２６が収納されている。下ソケット１８の他方の面側である底部１８ｂには、収納孔２８ｂに対応する位置に収納孔２８ｂから外部に貫通する貫通孔１８ｃが設けられており、貫通孔１８ｃにはプランジャー２１が挿通されており、この貫通孔１８ｃの内径はプランジャー２１の外径より大きく、且つコンタクトプローブ２６の外径よりも小さい値に設定されているため、コンタクトプローブ２６の一方の端部が底部１８ｂに当接してコンタクトプローブ２６が下ソケット１８から脱落するのを防止するようになっている。また、上ソケット１７の他方の面には配線基板１５が固定されており、収納孔２８ａの配線基板１５側には段部１７ａ及び収納孔２８ａから外部に貫通する貫通孔１７ｂが設けられている。この貫通孔１７ｂには基板側プランジャー９の突出部９ａが挿通されており、貫通孔１７ｂの内径は基板側プランジャー９の突出部９ａの外径より大きく、コンタクトプローブ２６の外径よりも小さい値に設定されているため、コンタクトプローブ２６の他方の端部が段部１７ａに当接してコンタクトプローブ２６が上ソケット１７から脱落するのを防止するようになっている。また、上ソケットと１７下ソケット１８とには、それぞれ貫通孔３４ａ、３４ｂが設けられている。この貫通孔３４ａ、３４ｂに固定用ピン３５が圧入され、上ソケットと１７下ソケット１８とが位置決めされ、固定されている。

図１０は、図９におけるＢ部の部分拡大図、図１１は、図９におけるコンタクトプローブを用いた検査装置４０の主要部を下ソケットを外した状態において検査対象の半田端子１４側から見た平面図である。図１０、図１１に示すように、インナーソケット１９には、コンタクトプローブ２６が収納される収納孔２８ｂが形成されており、このインナーソケット１９の検査対象物としての半田端子１４側の端面には、収納孔２８ｂに隣接しバレル２３の切り欠き２４と向かい合う位置に嵌合凹部２９が形成され、バレル２３の切り欠き２４とインナーソケット１９の嵌合凹部２９にはコマ３０ａが嵌合されている。この嵌合凹部２９は、その一部が収納孔２８ｂと干渉するように設けられており、嵌合凹部２９にコマ３０ａを嵌合したとき、コマ３０ａの一部が収納孔２８ｂの内部に突出するようになっている。この突出した部分がコマ３０ａの嵌合部３１ａである。この嵌合部３１ａに切り欠き２４を嵌合させることによって、インナーソケット１９に対するコンタクトプローブ２６の回転が防止される。このように、本実施例におけるコンタクトプローブの回転防止手段は、バレル２３の端部に設ける切り欠き２４と、インナーソケット１９におけるバレル２３の切り欠け２４に対応する位置に設ける嵌合凹部２９とにコマ３０ａを嵌合させたものである。なお、配線基板１５には基板側プランジャー９の突出部９ａが当接されコンタクトプローブ２６がソケット１１に保持されている。

コンタクトプローブ２６の材料として導電性材質が用いられ、プランジャー２１の材料には銀パラジウム銅合金、バレル２３の材料には金メッキが施されたリン青銅、バネ８の材料にはピアノ線を用いた。また、上ソケット１７、下ソケット１８、インナーソケット１９の材料としては絶縁性材質のプラスチック（樹脂）を用い、コマ３０ａの材料としては絶縁性の樹脂を用いた。

また、コンタクトプローブ２６とコマ３０ａとの導通を防ぐことができるため、コマ３０ａの材料としては、絶縁性を有するシリコン、炭化シリコン、酸化シリコン、セラミック、ガラス、ゴムを用いても良い。

プランジャー先端部２２の形状は、図２４（ｂ）に示すプランジャーＢの先端ｂのように平面の中心を同一の軸とする円筒状の窪みを設けた略円筒状になるよう形成されている。また、通電性をあげることができるためプランジャー先端部の形状は図２４（ａ）に示す平面、図２４（ｃ）に示す略円錐、図２４（ｄ）に示す略半球でも良い。

図１２は、バレル２３を示す図で、図１２（ａ）は斜視図、図１２（ｂ）はマーク部分を示す断面図である。図１２に示すようにバレル２３は筒状体の形状で、一方の端部に切り欠き２４が形成されており、配線基板１５側の他方の端部には、基板側プランジャー９の抜け止め用の搾り縁部２３ａが形成されている。この搾り縁部２３ａに基板側プランジャー９が当接して脱落が防止されている。また、この縁部２３ａの上面には切り欠き２４と対応する位置にペイントにより位置合わせ用のマーク２５が設けられている。このマーク２５は、ソケット２７の収納孔２８にコンタクトプローブ２６を挿入して、バレル２３の切り欠き２４と、ソケット２７の嵌合凹部２９に嵌合されたコマ３０ａとを嵌合させる際の位置合わせに用いるものである。また、マーク２５は印として機能するため印刷、刻印、切り欠きによって形成されていても良い。
なお、コンタクトプローブ２６のその他の基本的な構成は実施例１と同様であるため詳細な説明は省略する。

図１３は、インナーソケット１９の嵌合凹部２９と、この嵌合凹部２９に嵌合するコマ３０ａとを示す断面図である。図１３に示すようにインナーソケット１９における嵌合凹部２９の平面形状は略円形形状である。また、コマ３０ａの平面形状は円形形状の両側をカットした略俵型であり、バレル２３の切り欠き２４と嵌合するコマ３０ａの嵌合部３１ａの側面は平面である。また、図１２に示すようにバレル２３の切り欠き２４は、嵌合部３１ａと嵌合して嵌合部３１ａの側面と接触する面を平面形状に形成し、バレル２３の横断面形状がＤカット状になるように凹部を形成する。

図１４、図１５は、コマの他の例を示す断面図である。図１４に示すようにコマ３０ｂの断面形状は略円形形状に形成しても良い。このコマ３０ｂの略円弧状の嵌合部３１ｂに係合するようにバレル２３の切り欠きを略円弧状の凹部に形成することでコンタクトプローブの回転を防止することができる。また、図１５に示すようにコマ３０ｃの断面形状が略ひし形の形状でも、コマ３０ｃの略角状の嵌合部３１ｃに係合するようにバレル２３の切り欠きを略角状の凹部に形成することで、コンタクトプローブの回転を防止することができる。

以上のように本実施例のコンタクトプローブを用いた検査装置４０は、コマ３０ａがソケット２７の嵌合凹部２９に嵌合された状態で、コマ３０ａが切り欠き２４に嵌合するように収納孔２８へコンタクトプローブ２６を挿入し、プランジャー２１を検査対象の半田端子１４と当接させて回路の導通状態を検査する。この際、プランジャー２１がバレル２３内部を回転しながら摺動するが、コンタクトプローブ４０の回転防止手段として、ソケット２７のインナーソケット１９に設ける嵌合凹部２９に嵌合されたコマ３０ａが切り欠き２４に嵌合しているので、半田端子１４とプランジャー先端部３の摩擦力の影響を受けることなく、バレル４の回転が防止され、ソケット２７に対するコンタクトプローブ２６の回転を防止することができる。これにより、プランジャー２１が指定された回転量通り回転して、検査対象物としての半田端子１４の酸化膜を破壊し導通を確保することができる。

また、本実施例のインナーソケット１９に設けた嵌合凹部２９、コマ３０ａは加工が簡単で形状をより正確に形成することができ、コンタクトプローブの回転防止をより確実にすることができるとともにコストを削減できる。

図１６は、実施例３のコンタクトプローブを用いた検査装置の構成の例を示す断面図である。本実施例におけるコンタクトプローブを用いた検査装置は、１個のコマで２個のコンタクトプローブの回転を防止した例である。図１６に示すように、本実施例のコンタクトプローブを用いた検査装置６０は、コンタクトプローブ５０、５１と、コンタクトプローブ５０、５１をそれぞれ収納する収納孔５３、５４を有するソケット５２と、ソケット５２における一方の面（検査対象物としての半田端子１４側）にネジ３３で固定されたストッパープレート１６と、他方の面に固定された配線基板１５と、回路の導通状態を検査する際ソケット５２に対するコンタクトプローブ５０、５１の回転を防止するコンタクトプローブの回転防止手段とを備えている。
また、コンタクトプローブ５０は、螺旋状の案内面２を設けたプランジャー４１と、基板側プランジャー９と、プランジャー４１及び基板側プランジャー９を摺動可能に保持し、内部に螺旋状の案内面２と接触する摺動凸部５が形成され、半田端子１４側の端部の一部に切り欠き４７を設けたバレル４５と、プランジャー４１、基板側プランジャー９を互いに逆の方向（バレル４５の中心から離反する方向）へ付勢するバネ８とを備えている。なお、コンタクトプローブ５０、５１は、互いに同じ構成であるが、説明の都合で一部の構成要素に異なる番号を付与してある。コンタクトプローブ５１においては、プランジャー４２、切り欠き４８を設けたバレル４６である。

ストッパープレート１６には、収納孔５３、５４のそれぞれに対応する位置に収納孔５３、５４から外部に貫通する貫通孔１６ａ、１６ｂが設けられており、貫通孔１６ａ、１６ｂにはプランジャー４１、４２が挿通されている。この貫通孔１６ａ、１６ｂの内径はプランジャー４１、４２の外径より大きく、且つコンタクトプローブ５０、５１の外径よりも小さい値に設定されているため、コンタクトプローブ５０、５１の一方の端部がストッパープレート１６に当接してコンタクトプローブ５０、５１がソケット５２から脱落するのを防止するようになっている。

図１７は、図１６におけるコンタクトプローブを用いた検査装置６０の主要部をストッパープレート１６を外した状態において検査対象の半田端子１４側から見た平面図である。図１７に示すように、ソケット５２の検査対象物としての半田端子１４側の端面には、コンタクトプローブ５０が収納されている収納孔５３と、コンタクトプローブ５１が収納されている収納孔５４との間に嵌合凹部５５が収納孔に隣接して配置されている。この嵌合凹部５５を挟んで、コンタクトプローブ５０のバレル４５の切り欠き４７と、コンタクトプローブ５１のバレル４６の切り欠き４８とが互いに向かい合う形になるようにコンタクトプローブ５０、５１がそれぞれ収納孔５３、５４に配置されており、この切り欠き４７と切り欠き４８と嵌合凹部５５にコマ５６が嵌合されている。この嵌合凹部５５は、その一部が収納孔５３、５４と干渉するように設けられており、嵌合凹部５５にコマ５６を嵌合したとき、コマ５６の一部が収納孔５３、５４の内部に突出するようになっている。この突出した部分がコマ５６の嵌合部５６ａ、５６ｂである。この嵌合部５６ａ、５６ｂに切り欠き４７、４８をそれぞれ嵌合させることによって、ソケット５２に対するコンタクトプローブ５０、５１の回転を防止することができる。このように、本実施例におけるコンタクトプローブの回転防止手段は、バレル４５の切り欠き４７、バレル４６の切り欠き４８及びソケット５２の嵌合凹部５５にコマ５６を嵌合させたものである。なお、配線基板１５には基板側プランジャー９の突出部９ａが当接されコンタクトプローブ５０、５１がソケット５２に保持されている。

ソケット５２における嵌合凹部５５の平面形状は略円形形状である。また、コマ５６の平面形状は円形形状の両側をカットした略俵型であり、バレル４５、４６の切り欠き４７、４８と嵌合するコマ５６の嵌合部５６ａ、５６ｂの側面は平面である。また、バレル４５、４６の切り欠き４７、４８は、コマ５６の嵌合部５６ａ、５６ｂの側面と接触する面を平面形状とする凹部を形成する。

また、実施例２と同じく、コマ５６の形状が略円形や略ひし形であり、嵌合部の形状が略円弧状、略角状の形であっても良い。また、バレル４５、４６に設けられた切り欠き４７、４８の形状は実施例２と同様に略円弧状の凹部や略角状の凹部でも良い。

コンタクトプローブ５０、５１の材料として導電性材質が用いられ、プランジャー４１、４２の材料には銀パラジウム銅合金、バレルの材料には金メッキが施されたリン青銅、バネ８の材料にはピアノ線を用いた。
また、ソケット５２の材料としては絶縁性材質のプラスチックを用い、コマ５６の材料としてはシリコンを用いた。
また、コンタクトプローブ５０、５１とコマ５６との導通を防ぐことができるため、コマ５６の材料としては炭化シリコン、酸化シリコン、セラミック、ガラス、ゴム、樹脂を用いても良い。

図１８は、バレル４５を示す図で、図１８（ａ）は斜視図、図１８（ｂ）はマーク部分を示す断面図である。図１８に示すようにバレル４５は筒状体の形状で、一方の端部に切り欠き４７が形成されており、配線基板１５側の他方の端部には、基板側プランジャー９の抜け止め用の搾り縁部４５ａが形成されている。この搾り縁部４５ａに基板側プランジャー９が当接して脱落が防止されている。また、この搾り縁部４５ａの上面には、切り欠き４７と対応する位置に刻印により位置合わせ用のマーク４９が設けられている。このマーク４９は、ソケット５２の収納孔５３にコンタクトプローブ５０を挿入して、バレル４５の切り欠き４７と、ソケット５２の嵌合凹部５５に嵌合されたコマ５６とを嵌合させる際の位置合わせに用いるものである。また、印として機能するためマーク４９は印刷、ペイント、切り欠きによって形成されていても良い。なお、バレル４６については、バレル４５と同様であるため説明を省略する。

プランジャー４１、４２の先端部４３、４４の形状は、図２４（ｃ）に示すプランジャーＣの先端ｃのように略円錐になるよう形成されている。また、通電性をあげることができるためプランジャー４１、４２の先端部４３、４４の形状は図２４（ａ）に示すように平面、図２４（ｂ）に示すように平面の中心を同一の軸とする円筒状の窪みを設けた略円筒状、図２４（ｄ）に示すように略半球でも良い。
また、コンタクトプローブ５０、５１のその他の基本的な構成は実施例２と同様であるため詳細な説明は省略する。

以上のように本実施例のコンタクトプローブを用いた検査装置６０は、コマ５６が嵌合凹部５５に嵌合された状態で、収納孔５３と収納孔５４へコンタクトプローブ５０とコンタクトプローブ５１を挿入し、向かい合う切り欠き４７と切り欠き４８にコマ５６が嵌合されるようにし、プランジャー４１とプランジャー４２を検査対象の半田端子１４に当接させて回路の導通状態を検査する。この際、プランジャー４１、４２がバレル４６内部を回転しながら摺動するが、コンタクトプローブ４０の回転防止手段として、ソケット５２の嵌合凹部５５に嵌合されたコマ５６が切り欠き４７、切り欠き４８に嵌合しているので半田端子１４とプランジャー４１、４２の先端部４３、４４との摩擦力の影響を受けることなく、バレル４５とバレル４６の回転が防止され、ソケット５２に対するコンタクトプローブ５０、５１の回転を防止することができる。これにより、プランジャー４１、４２が指定された回転量通り回転して、検査対象物としての半田端子１４の酸化膜を破壊し導通を確保することができる。

また、一つのコマ５６を複数のコンタクトプローブ５０、５１のそれぞれのバレル４５、４６の切り欠き４７、４８と嵌合させているので、コマの数が減り、コマの加工数も減りコストを削減できる。なお、本実施例においても実施例２と同様の効果を得ることができる。

図１９は、実施例４のコンタクトプローブを用いた検査装置の構成の例を示す断面図である。また、図２０は、実施例４のコンタクトプローブを用いた検査装置の主要部を下ソケットを外した状態で検査対象物側から見た平面図である。なお、図１９は、図２０におけるＣ−Ｃ断面に対応するものである。本実施例におけるコンタクトプローブを用いた検査装置は、１個のコマで４個のコンタクトプローブの回転を防止した例であり、コンタクトプローブの回転防止手段の基本的な構成は実施例３と同様である。また、ソケットの構造についは、実施例２と同様あるため詳細な説明は省略する。図１９、図２０に示すように、本実施例のコンタクトプローブを用いた検査装置９０は、コンタクトプローブ７８、７９、８０、８１と、コンタクトプローブ７８、７９、８０、８１をそれぞれ収納する収納孔８３ａ、８３ｂ、８４ａ、８４ｂ、８５ａ、８５ｂ、８６ａ、８６ｂを有するソケット８２と、ソケット８２における検査対象物としての半田端子１４の反対側の面に固定された配線基板１５と、回路の導通状態を検査する際ソケット８２に対するコンタクトプローブ７８、７９、８０、８１の回転を防止するコンタクトプローブの回転防止手段とを備えている。コンタクトプローブ７８、７９、８０、８１は、互いに同じ構成であるが、説明の都合で一部の構成要素に異なる番号を付与してある。なお、コンタクトプローブ７８、７９、８０、８１の基本的な構成は実施例３と同様であるため詳細な説明は省略する。

図１９に示すように、ソケット８２は上ソケット３７と下ソケット３８とを有し、下ソケット３８には凹部３８ａが設けられており、この凹部３８ａにインナーソケット３９が収納配置されている。上ソケット３７とインナーソケット３９にはそれぞれコンタクトプローブ７８を収納する収納孔８３ａ、８３ｂ、コンタクトプローブ８１を収納する収納孔８６ａ、８６ｂが設けられている。上ソケット３７の一方の面と、下ソケット３８、インナーソケット３９のそれぞれの一方の面とが互いに当接され、ソケット８２が形成されており、収納孔８３ａ、８３ｂは連通する一個の収納孔を形成してコンタクトプローブ７８が収納されている。なお、収納孔８６ａ、８６ｂ、その他の収納孔についても同様であるため説明は省略する。下ソケット３８の他方の面側である底部３８ｂには、収納孔８３ｂ、８６ｂに対応する位置に収納孔８３ｂ、８６ｂから外部に貫通する貫通孔３８ｃが設けられており、貫通孔３８ｃにはプランジャー６１、６４が挿通されており、この貫通孔３８ｃの内径はプランジャー６１、６４の外径より大きく、且つコンタクトプローブ７８、８１の外径よりも小さい値に設定されているため、コンタクトプローブ６１、６４の一方の端部が底部３８ｂに当接してコンタクトプローブ６１、６４が下ソケット３８から脱落するのを防止するようになっている。また、上ソケット３７の他方の面には配線基板１５が固定されており、収納孔８３ａ、８６ａの配線基板１５側には段部３７ａ及び収納孔８３ａ、８６ａから外部に貫通する貫通孔３７ｂが設けられている。この貫通孔３７ｂには基板側プランジャー９の突出部９ａが挿通されており、貫通孔３７ｂの内径は基板側プランジャー９の突出部９ａの外径より大きく、コンタクトプローブ６１、６４の外径よりも小さい値に設定されているため、コンタクトプローブ６１、６４の他方の端部が段部３７ａに当接してコンタクトプローブ６１、６４が上ソケット３７から脱落するのを防止するようになっている。なお、図示していないが、収納孔８４ａ、８４ｂ、８５ａ、８５ｂについても同様に上ソケット３７とインナーソケット３９に設けられており、コンタクトプローブ７９、８０が収納されている。また、上ソケット３７の貫通孔３７ｂ、下ソケット３８の貫通孔３８ｃについても、それぞれの収納孔に対応する位置に設けられている。
また、上ソケットと３７と、下ソケット３８とには、それぞれ貫通孔３４ａ、３４ｂが設けられている。この貫通孔３４ａ、３４ｂに固定用ピン３５が圧入され、上ソケットと３７下ソケット３８とが位置決めされ、固定されている。

図２０に示すように、インナーソケット３９には収納孔８３ｂ、８４ｂ、８５ｂ、８６ｂが縦横に所定の間隔でマトリックス状に配置されており、インナーソケット３９の検査対象物（図示せず）側の端面には、４個の収納孔８３ｂ、８４ｂ、８５ｂ、８６ｂの中央付近に嵌合凹部８７が収納孔８３ｂ、８４ｂ、８５ｂ、８６ｂに隣接して設けられている。収納孔８３ｂ、８４ｂ、８５ｂ、８６ｂには、バレル６９の切り欠き７３、バレル７０の切り欠き７４、バレル７１の切り欠き７５、バレル７２の切り欠き７６が対角方向で互いの中心を向く形になるようコンタクトプローブ７８、７９、８０、８１がそれぞれ収納されており、この切り欠き７３、７４、７５、７６と嵌合凹部８７にコマ８８が嵌合されている。この嵌合凹部８７は、その一部が収納孔８３ｂ、８４ｂ、８５ｂ、８６ｂと干渉するように設けられており、嵌合凹部８７にコマ８８を嵌合したとき、コマ８８の一部が収納孔８３ｂ、８４ｂ、８５ｂ、８６ｂの内部に突出するようになっている。この突出した部分（嵌合部）に切り欠き７３、７４、７５、７６をそれぞれ嵌合させることによって、インナーソケット３９に対するコンタクトプローブ７８、７９、８０、８１の回転を防止する。このように、本実施例におけるコンタクトプローブの回転防止手段は、切り欠き７３、７４、７５、７６及び嵌合凹部８７にコマ８８を嵌合させたものである。

インナーソケット３９における嵌合凹部８７の平面形状は略円形形状である。また、コマ８８の平面形状は四辺形であり、切り欠き７３、７４、７５、７６と嵌合するコマ８８の嵌合部は四辺形の角部であり、その形状は略角状である。また、切り欠き７３、７４、７５、７６は、コマ８８の嵌合部である角部と嵌合する略角状の凹部を形成する。
また、コマの形状を略円形や略俵型とし、嵌合部の形状を略円弧状、平面状の形としても良い。また、上記コマに対応するバレルに設けられた切り欠きの形は略円弧状の凹部や平面状とする。

コンタクトプローブ７８、７９、８０、８１の材料として導電性材質が用いられ、プランジャー６１、６２、６３、６４の材料には銀パラジウム銅合金、バレル６９、７０、７１、７２の材料には金メッキが施されたリン青銅を用いた。
また、上ソケット３７、下ソケット３８、インナーソケット３９の材料としては絶縁性材質のプラスチックを用い、コマ８８の材料としては炭化シリコンを用いた。

また、コンタクトプローブ７８、７９、８０、８１とコマ８８との導通を防ぐことができるため、コマ８８の材料としては絶縁性を有するシリコン、酸化シリコン、セラミック、ガラス、ゴム、樹脂を用いても良い。

図２１は、バレル６９を示す図で、図２１（ａ）は斜視図、図２１（ｂ）は図２１（ａ）における矢印Ｐ方向からみた平面図である。図２１に示すようにバレル６９は筒状体の形状で、一方の端部に切り欠き７３が形成されており、他方の端部には、内方に向けてカシメ加工によって突設された３個のカシメ突部６９ａ、６９ｂ、６９ｃが形成されており、このカシメ突部６９ａ、６９ｂ、６９ｃに基板側プランジャー９が当接してバレル６９からの脱落が防止される。また、配線基板１５側の他方の端部には、バレル６９の切り欠き７３と対応する位置に切り欠きにより位置合わせ用のマーク７７が端面に設けられている。このマーク７７は、インナーソケット３９の収納孔８３ｂにコンタクトプローブ７８を挿入して、バレル６９の切り欠き７３と、インナーソケット３９の嵌合凹部８７に嵌合されたコマ８８とを嵌合させる際の位置合わせに用いるものである。
また、マーク７７は印として機能するため印刷、ペイント、刻印によって形成されていても良い。なお、バレル７０、７１、７２については、バレル６９と同様であるため説明を省略する。

プランジャー６１６４の先端部６５、６６の形状は図２４（ｄ）に示す略半球になるよう形成されている。また、通電性をあげることができるためプランジャー６１６４の先端部の形状は図２４（ａ）に示す平面、図２４（ｂ）に示す略円筒状、図２４（ｃ）に示す略円錐でも良い。なお、プランジャー６２、６３の先端部の形状についても同様である。

以上のように本実施例のコンタクトプローブを用いた検査装置９０は、インナーソケット３９の収納孔８３ｂ、８４ｂ、８５ｂ、８６ｂの間の嵌合凹部８７にコマ８８が嵌合された状態で、コマ８８が切り欠き７３、７４、７５、７６に嵌合するように収納孔８３ａ、８３ｂ、８４ａ、８４ｂ、８５ａ、８５ｂ、８６ａ、８６ｂへ、コンタクトプローブ７８、７９、８０、８１をそれぞれ挿入し、プランジャー６１、６２、６３、６４を検査対象物としての半田端子（図示せず）と当接させ回路の導通状態を検査する。この際、プランジャー６１、６２、６３、６４がバレル８３、８４、８５、８６内部をそれぞれ回転しながら摺動するが、コンタクトプローブ７８、７９、８０、８１の回転防止手段として、インナーソケット３９の嵌合凹部８７に嵌合されたコマ８８が切り欠き７３、７４、７５、７６に嵌合しているのでバレル６９、７０、７１、７２の回転が防止され、ソケット８２に対するコンタクトプローブ７８、７９、８０、８１の回転を防止することができる。

また、一つのコマ８８を４個のコンタクトプローブ７８、７９、８０、８１のそれぞれのバレル６９、７０、７１、７２の切り欠き７３、７４、７５、７６と嵌合させているので、コマの数が減り、コマの加工数も減りコストを削減できる。なお、本実施例においても実施例３と同様の効果を得ることができる。

図２２は、実施例５のコンタクトプローブを用いた検査装置の構成の例を示す断面図である。また、図２３は、実施例５のコンタクトプローブを用いた検査装置の主要部を下ソケットを外した状態で検査対象物側から見た平面図である。なお、図２２は、図２３におけるＤ−Ｄ断面に対応するものである。本実施例におけるコンタクトプローブを用いた検査装置は、１個のコマで多数のコンタクトプローブの回転を防止した例であり、コンタクトプローブの回転防止手段の基本的な構成は実施例３と同様である。図２２、図２３に示すように、本実施例のコンタクトプローブを用いた検査装置１００は、複数のコンタクトプローブ９６ａ、９６ｂがそれぞれ直線状に配置され、所定の間隔で並行して配列されたコンタクトプローブ群９１、９２と、コンタクトプローブ群９１、９２をそれぞれ収納する複数の収納孔９７ａ、９７ｂを有するソケット９３とソケット９３における検査対象物としての半田端子１４の反対側の面に固定された配線基板１５と、回路の導通状態を検査する際ソケット９３に対するコンタクトプローブ９６ａ、９６ｂの回転を防止するコンタクトプローブの回転防止手段とを備えている。コンタクトプローブ９６ａ、９６ｂの基本的な構成は実施例３と同様であるため詳細な説明は省略する。

本実施例のソケットの構造は、上ソケット、インナーソケットに凹部が形成されている点が実施例４と異なり、その他の基本的な構成は同様である。以下、簡単に説明する。図２２に示すように、ソケット９３は上ソケット５７と下ソケット５８とを有し、下ソケット５８に設ける凹部５８ａにインナーソケット５９が収納配置されている。上ソケット５７とインナーソケット５９には、それぞれコンタクトプローブ９６ａを収納する収納孔９７ｃ、９７ａ、コンタクトプローブ９６ｂを収納する収納孔９７ｄ、９７ｂが設けられている。上ソケット５７と、下ソケット５８、インナーソケット５９とは互いに当接されソケット９３が形成されており、収納孔９７ｃ、９７ａは連通する一個の収納孔を形成してコンタクトプローブ９６ａが収納されている。なお、収納孔９７ｄ、９７ｂについても同様であるため説明は省略する。また、上ソケット５７には凹部５７ｃが形成され、インナーソケット５９には凹部５９ａが形成されていて、コンタクトプローブ９６ａ、９６ｂの一部が露出されている。下ソケット５８の底部５８ｂには、プランジャー９９ａが挿通される貫通孔５８ｃが設けられており、コンタクトプローブ９６ａ、９６ｂの端部が底部３８ｂに当接してコンタクトプローブ９６ａ、９６ｂ脱落するのを防止するようになっている。また、上ソケット５７には、収納孔９７ｃ、９７ｄの配線基板１５側には段部５７ａ及び基板側プランジャー９の突出部９ａが挿通されている貫通孔５７ｂが設けられており、コンタクトプローブ９６ａ、９６ｂの端部が段部５７ａに当接してコンタクトプローブ９６ａ、９６ｂが脱落するのを防止するようになっている。
また、上ソケットと５７と、下ソケット５８とには、それぞれ貫通孔３４ａ、３４ｂが設けられている。この貫通孔３４ａ、３４ｂに固定用ピン３５が圧入され、上ソケットと５７下ソケット５８とが位置決めされ、固定されている。

図２３に示すように、インナーソケット５９には複数の収納孔９７ａと、複数の収納孔９７ｂとがそれぞれ直線状に所定の間隔で配置された収納孔群Ａと、収納孔群Ｂとが所定の間隔で並行して配列されている。また、インナーソケット５９における検査対象物（図示せず）側の端面には、収納孔群Ａと、収納孔群Ｂとの間に長尺で帯状に形成された嵌合凹部９４が設けられている。それぞれの収納孔９７ａ、９７ｂには、コンタクトプローブのバレル８９ａの切り欠き９８ａとバレル８９ｂの切り欠き９８ｂとが互いに対向し、嵌合凹部９４側を向く形になるようにコンタクトプローブ９６ａ、９６ｂがそれぞれ収納されており、この切り欠き９８ａ、９８ｂと嵌合凹部９４にコマ９５が嵌合されている。この嵌合凹部９４は、その一部が複数の収納孔９７ａ、９７ｂと干渉するように設けられており、嵌合凹部９４にコマ９５を嵌合したとき、長方形のコマ９５の長手方向の辺側が収納孔９７ａ、９７ｂの内部に突出するようになっている。この突出した部分（嵌合部）にコンタクトプローブ群９１、９２におけるコンタクトプローブ９６ａ、９６ｂの切り欠き９８ａ、９８ｂをそれぞれ嵌合させることによって、ソケット９３に対するコンタクトプローブ群９１、９２におけるコンタクトプローブ９６ａ、９６ｂの回転を防止することができる。このように、本実施例におけるコンタクトプローブの回転防止手段は、複数の切り欠き９８ａ、９８ｂ及び嵌合凹部９４にコマ９５を嵌合させたものである。

コンタクトプローブ９６ａ、９６ｂの材料、及び上ソケット５７、下ソケット５８、インナーソケット５９の材料は、実施例４と同様であるため説明を省略する。なお、コマ９５の材料としては酸化シリコンを用いた。
また、コマ９５の材料としてはシリコン、炭化シリコン、セラミック、ガラス、ゴム、樹脂を用いても良い。

インナーソケット５９における嵌合凹部９４の平面形状は長尺なので帯状をなす長方形である。また、コマ９５は平面形状が長方形の棒状であり、切り欠き９８ａ、９８ｂと嵌合するコマ９５の嵌合部である長手方向の側面は平面である。また、切り欠き９８ａ、９８ｂは、実施例３と同様であり詳細な説明を省略するが、コマ９５と嵌合する面を平面状の凹部を形成する。

なお、図示していないが、コンタクトプローブ９６ａ、９６ｂのバレル８９ａ、８９ｂは、実施例３と同じように筒状体の形状で、一方の端部に切り欠き９８ａ、９８ｂが形成されており、他方の端部には、実施例３と同じように切り欠き９８ａ、９８ｂと対応する位置に、切り欠きにより位置合わせ用のマーク４９が端面に設けられている。このマーク７７は印として機能するため印刷、ペイント、刻印によって形成されていても良い。

プランジャー９９ａ、９９ｂの先端部６７、６８の形状は図２４（ｄ）に示す略半球になるよう形成されている。また、プランジャー先端部６７、６８の形状は通電性をあげることができるため図２４（ａ）に示す平面状、図２４（ｂ）に示す略円筒状、図２４（ｃ）に示す略円錐形でも良い。なお、コンタクトプローブ９６ａ、９６ｂのその他の点については、実施例３と同様である。

以上のように本実施例のコンタクトプローブを用いた検査装置１００は、ソケット９３におけるインナーソケット５９の収納孔９７ａ、９７ｂの間に形成された嵌合凹部９４にコマ９５が嵌合された状態で、コマ９５が切り欠き９８ａ、９８ｂに嵌合するように収納孔９７ａ、９７ｂへ、コンタクトプローブ９６ａ、９６ｂを挿入し、切り欠き９８ａ、９８ｂにコマ９５を嵌合させた状態で、プランジャー９９ａ、９９ｂを検査対象の半田端子（図示せず）と当接させ回路の導通状態を検査する。この際、プランジャー９９ａ、９９ｂがバレル８９ａ、８９ｂ内部をそれぞれ回転しながら摺動するが、コンタクトプローブ９６ａ、９６ｂの回転防止手段として、ソケット９３におけるインナーソケット５９の嵌合凹部９４に嵌合されたコマ９５が切り欠き９８ａ、９８ｂに嵌合しているのでバレル８９ａ、８９ｂの回転が防止され、ソケット９３に対するコンタクトプローブ９６ａ、９６ｂの回転を防止することができる。なお、本実施例においても実施例３と同様の効果を得ることができる。

本発明のコンタクトプローブを用いた検査装置は、安定した導通が得られため、電子部品や回路基板の電気検査を行なうためのコンタクトプローブを用いた検査装置に適用することができるため、産業上の利用可能性は大きい。

１、２１、４１、４２、６１、６２、６３、６４、９９ａ、９９ｂ プランジャー
２ 螺旋状の案内面
３、２２、４３、４４、６５、６６、６７、６８ プランジャー先端部
４、２３、４５、４６、６９、７０、７１、７２、８９ａ、８９ｂ バレル
４ａ、４ｂ、４ｃ、６９ａ、６９ｂ、６９ｃ カシメ突部
５ 摺動凸部
６、２４、４７、４８、７３、７４、７５、７６、９８ａ、９８ｂ 切り欠き
７、２５、４９、７７ マーク
８ バネ
９ 基板側プランジャー
９ａ 突出部
１０、２６、５０、５１、７８、７９、８０、８１、９６ａ、９６ｂ コンタクトプローブ
１１、２７、５２、８２、９３ ソケット
１１ａ 段部
１１ｂ 貫通孔
１２、２８ａ、２８ｂ、５３、５４、８３ａ、８３ｂ、８４ｂ、８５ｂ、８６ａ、８６ｂ、９７ａ、９７ｂ、９７ｃ、９７ｄ 収納孔
１３ａ、１３ｂ、１３ｃ 係止凸部
１４ 半田端子
１５ 配線基板
１６ ストッパープレート
１６ａ ストッパープレートの貫通孔
１７、３７、５７ 上ソケット
１７ａ、３７ａ、５７ａ 上ソケットの段部
１７ｂ、３７ｂ、５７ｂ 上ソケットの貫通孔
１８、３８、５８ 下ソケット
１８ａ、３８ａ、５８ａ 下ソケットの凹部
１８ｂ、３８ｂ、５８ｂ 下ソケットの底部
１８ｃ、３８ｃ、５８ｃ 底部の貫通孔
１９、３９、５９ インナーソケット
２０、４０、６０、９０、１００ コンタクトプローブを用いた測定装置
２３ａ、４５ａ 搾りカシメ縁部
２９、５５、８７、９４ 嵌合凹部
３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、５６、８８、９５ コマ
３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、５６ａ、５６ｂ 嵌合部
３４ａ、３４ｂ 固定用穴
３５ 固定用ピン
５７ｃ 上ソケットの凹部
５９ａ インナーソケットの凹部
９１、９２ コンタクトプローブ群
Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ プランジャー
ａ、ｂ、ｃ、ｄ プランジャーの先端部

Claims (4)

1. 筒状体からなるバレル、該バレル内に摺動自在に嵌合するプランジャー、及び前記バレル内に配置され前記プランジャーを軸方向に付勢するバネを有し、前記プランジャーが前記バレル内部を回転しながら摺動する構造を有するコンタクトプローブと、前記コンタクトプローブを収納する収納孔を有するソケットとを備えたコンタクトプローブを用いた検査装置において、前記コンタクトプローブが前記収納孔内部で回転することを防止する回転防止手段を有し、前記回転防止手段は、前記バレルの端部に設ける切り欠きと、前記ソケットにおける前記バレルの切り欠きに対応する位置に設ける嵌合凹部と、前記切り欠き及び嵌合凹部に嵌合するコマとを有し、前記ソケットには複数のコンタクトプローブが収納されており、一つのコマが前記複数のコンタクトプローブのそれぞれのバレルの切り欠きと嵌合することを特徴とするコンタクトプローブを用いた検査装置。
2. 前記ソケットは上ソケットと凹部を有する下ソケットからなり、前記凹部にインナーソケットが収納配置され、前記上ソケットと前記インナーソケットにはそれぞれコンタクトプローブを収納する収納孔が設けられていると共に前記上ソケットの一方の面と下ソケット、インナーソケットのそれぞれの一方の面とが互いに当接されて形成されていることを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブを用いた検査装置。
3. 前記コマはシリコン、炭化シリコン、酸化シリコン、セラミック、ガラス、樹脂、ゴムのいずれかの絶縁体からなることを特徴とする請求項１又は２に記載のコンタクトプローブを用いた検査装置。
4. 前記プランジャーの先端部は略平面状、略円筒状、略円錐形状、略半球状のいずれかの形状からなることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のコンタクトプローを用いた検査装置。

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