JP5975511B2 - 消音器及び消音器付超音波流量計 - Google Patents

Description

本発明は、パイプ内を流れる流体を伝搬して超音波流量計へと向かう超音波ノイズを減衰させるための消音器及び消音器付超音波流量計に関する。

従来の消音器として、メインパイプの長手方向の２位置の間をサブパイプで連絡し、第１の連絡位置でメインパイプとサブパイプとに分かれた超音波が、それらメインパイプ内とサブパイプ内とを伝搬してから第２の連絡位置に到達したときに、ノイズの波が半波長分、互いにずれた状態で重ねられるようにして、ノイズの減衰を図ったものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開平９−１７７５３５号公報（段落［００４１］、図１〜図５）

しかしながら、ノイズが超音波ノイズである場合、通常の音域のノイズに比べて直進性が高いので、上述した従来の消音器では、超音波ノイズが、メインパイプから分岐したサブパイプ内に進入し難く、十分な消音効果を奏することができないという問題があった。また、上記した従来の消音器では、サブパイプが側方に張り出して嵩張るため、広い設置スペースが必要になるという問題もあった。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、従来よりコンパクトでかつ超音波ノイズの消音効果が高い消音器及び消音器付超音波流量計の提供を目的とする。

上記目的を達成するため、請求項１に係る消音器は、流体が流れるパイプの途中に超音波流量計と直列に並べて接続される消音筒を備えて、消音筒内に流体を通過させてその流体を伝搬する騒音を軽減させる消音器において、消音筒のうち超音波流量計と反対側の端部に配置されて消音筒の軸方向と直交する境界壁と、境界壁に貫通形成されて消音筒の内部断面積よりも開口面積が小さな境界開口と、境界壁の外面のうち境界開口の開口縁に形成されて消音筒をパイプに接続するためのパイプ接続部とを備え、消音筒の内側に設けられて、境界壁と平行な板状をなして境界開口と対向し、その境界開口全体を投影可能な大きさをなすと共に、消音筒の内側面との間に１対の側部開口を形成する中央障害板と、境界壁と平行な板状をなして、側部開口に対して境界壁と反対側から対向しかつその側部開口全体を投影可能な大きさをなし、中央障害板と対向した中央開口を有する外側障害板とを備え、消音筒の内側断面形状は、四角形であり、中央障害板は、消音筒の内側面に架け渡されて、消音筒の断面形状である四角形の縦横の一方の辺と同じ幅で、他方の辺より小さい四角形をなすと共に、消音筒の内側面との間に四角形の側部開口を１対形成し、外側障害板は、１対の側部開口それぞれに対向配置された１対の側部障害板で構成され、消音筒のうち中央障害板が架け渡された１対の内側面の対向方向から見た境界壁と中央障害板との間隔をＨ１、中央障害板と側部障害板との間隔をＨ２、一方の側部開口の開口幅をＨ３、他方の側部開口の開口幅をＨ４、中央開口の開口幅をＨ５とすると共に、中央障害板が架け渡された１対の内側面の間隔をＬとし、境界開口の開口面積をＳ１とした場合に、Ｓ１＝２・Ｌ・Ｈ１＝２・Ｌ・Ｈ２＝Ｌ・（Ｈ３＋Ｈ４）＝Ｌ・Ｈ５になっているところに特徴を有する。

請求項２の発明は、請求項１に記載の消音器において、境界開口は、円形であるところに特徴を有する。

請求項３の発明は、請求項１に記載の消音器において、境界開口は、消音筒の内側の断面形状である四角形の縦横の一方の辺と同じ幅で、他方の辺より小さい四角形をなし、パイプ接続部は、境界壁の外面から突出した筒状をなしかつその基端部の内側の断面形状が境界開口と同じ四角形をなすと共に、先端部の内側の断面形状が円形をなし、先端部から基端部に向かって内部断面積を一定に維持しながら内側の断面形状が円形から四角形に徐変しているところに特徴を有する

請求項４の発明は、請求項１乃至３の何れか１の請求項に記載の消音器において、消音筒のうち中央障害板が架け渡された１対の内側面の対向方向から見て、境界開口から一方の側部開口を通過して中央開口に至るまでの第１流路の幅方向の中心における超音波の伝搬距離と、境界開口から他方の側部開口を通過して中央開口に至るまでの第２流路の幅方向の中心における超音波の伝搬距離とを、超音波の半波長の奇数倍だけ異ならせたところに特徴を有する。

請求項５に係る消音器は、流体が流れるパイプの途中に超音波流量計と直列に並べて接続される消音筒を備え、消音筒内に流体を通過させてその流体を伝搬する騒音を軽減させる消音器において、消音筒のうち超音波流量計と反対側の端部に配置されて消音筒の軸方向と直交する境界壁と、境界壁に貫通形成されて消音筒の内部断面積よりも開口面積が小さな境界開口と、境界壁の外面のうち境界開口の縁部に形成されて消音筒をパイプに接続するためのパイプ接続部と、消音筒の内側に設けられて、境界壁と平行な板状をなして境界開口と対向し、その境界開口全体を投影可能な大きさをなすと共に、消音筒の内側面との間に１対の側部開口又は環状の側部開口を形成する中央障害板と、境界壁と平行な板状をなして、側部開口に対して境界壁と反対側から対向しかつその側部開口全体を投影可能な大きさをなし、中央障害板と対向した中央開口を有する外側障害板とを備え、中央障害板には、消音筒の軸方向に延び、且つ、内側に第１貫通孔を有する第１支軸が一体に形成されると共に、外側障害板には、消音筒の軸方向に延び、且つ、内側に第２貫通孔を有する第２支軸が一体に形成され、第１支軸は、境界壁に突き当てられると共に、第２支軸は、第１支軸に突き当てられ、且つ、第１貫通孔と第２貫通孔とは互いに連通し、第１貫通孔と第２貫通孔とに挿通されて、境界壁のうち第１支軸の延長線上に設けられた雌螺子孔と螺合するボルトをさらに備えているところに特徴を有する。

請求項６の発明は、請求項５に記載の消音器において、中央障害板と同一形状をなし、外側障害板に対して中央障害板と反対側に対向配置された追加中央障害板と、外側障害板と同一形状をなし、追加中央障害板に対して外側障害板と反対側に対向配置された追加外側障害板とを備えて、追加中央障害板の第１支軸は、外側障害板の第２支軸に突き当てられると共に、追加外側障害板の第２支軸は、追加中央障害板の第１支軸に突き当てられ、ボルトは、中央障害板と追加中央障害板のそれぞれに形成された第１支軸の第１貫通孔と、外側障害板と追加外側障害板のそれぞれに形成された第２支軸の第２貫通孔とに挿通されているところに特徴を有する。
請求項７の発明は、請求項６に記載の消音器において、中央障害板と追加中央障害板の第１支軸は、消音筒の軸方向の一方側の端部に、段付き状に縮径されてなる第１係合突部を備えると共に、他方側の端部に、第１貫通孔が拡径されてなる第１受容凹部を備え、外側障害板と追加外側障害板の第２支軸は、消音筒の軸方向の一方側の端部に、段付き状に縮径されてなる第２係合突部を備えると共に、他方側の端部に、第２貫通孔が拡径されてなる第２受容凹部を備え、第１支軸の第１係合突部は、その第１支軸に対して消音筒の軸方向の一方側から隣接する第２支軸の第２受容凹部と凹凸係合し、第２支軸の第２係合突部は、その第２支軸に対して消音筒の軸方向の一方側から隣接する第１支軸の第１受容凹部と凹凸係合しているところに特徴を有する。

請求項８の発明は、請求項５乃至７の何れか１の請求項に記載の消音器において、境界壁には、第１支軸と係合して中央障害板を位置決めする板材取付部が形成されているところに特徴を有する。

請求項９の発明は、請求項１乃至８の何れか１の請求項に記載の消音器において、中央障害板における各側部開口側の開口縁と、外側障害板における中央開口側の開口縁とに沿って突出形成された縁部突条か、それら開口縁を膨出させた縁部膨出部かの何れかを備えたところに特徴を有する。
請求項１０に係る消音器は、流体が流れるパイプの途中に超音波流量計と直列に並べて接続される消音筒を備え、消音筒内に流体を通過させてその流体を伝搬する騒音を軽減させる消音器において、消音筒のうち超音波流量計と反対側の端部に配置されて消音筒の軸方向と直交する境界壁と、境界壁に貫通形成されて消音筒の内部断面積よりも開口面積が小さな境界開口と、境界壁の外面のうち境界開口の縁部に形成されて消音筒をパイプに接続するためのパイプ接続部と、消音筒の内側に設けられて、境界壁と平行な板状をなして境界開口と対向し、その境界開口全体を投影可能な大きさをなすと共に、消音筒の内側面との間に１対の側部開口又は環状の側部開口を形成する中央障害板と、境界壁と平行な板状をなして、側部開口に対して境界壁と反対側から対向しかつその側部開口全体を投影可能な大きさをなし、中央障害板と対向した中央開口を有する外側障害板とを備え、中央障害板における側部開口側の開口縁と、外側障害板における中央開口側の開口縁とに沿って突出形成された縁部突条か、それら開口縁を膨出させた縁部膨出部かの何れかを備えたところに特徴を有する。

請求項１１の発明は、請求項９又は１０に記載の消音器において、中央障害板に備えた縁部突条又は縁部膨出部を幅方向に横切って側部開口に連通した側部連通溝と、外側障害板に備えた縁部突条又は縁部膨出部を幅方向に横切って中央開口に連通した中央連通溝とを備えたところに特徴を有する。

請求項１２の発明は、請求項９乃至１１の何れか１の請求項に記載の消音器において、中央障害板及び外側障害板には、縁部突条又は縁部膨出部と交差したリブが突出形成されたところに特徴を有する。

請求項１３の発明は、請求項９乃至１２のうち何れか１の請求項に記載の消音器において、縁部突条は、断面多角形又は断面半円形であるところに特徴を有する。

請求項１４の発明は、請求項９乃至１２のうち何れか１の請求項に記載の消音器において、縁部膨出部は、断面多角形又は断面円形であるところに特徴を有する。

請求項１５の発明は、請求項１乃至４の何れか１の請求項に記載の消音器において、各側部開口の内部で、中央障害板と平行になって消音筒の内側面に架け渡され、中央障害板が架け渡された１対の内側面の対向方向から見た断面形状が、中央障害板の縁部を中心として湾曲した円弧状をなした１対の円弧形側部ガイドと、中央開口の内部で、１対の側部障害板と平行になって消音筒の内側面に架け渡され、側部障害板が架け渡された１対の内側面の対向方向から見た断面形状が、各側部障害板の縁部を中心として湾曲した円弧状をなした１対の円弧形中央ガイドとを備えたところに特徴を有する。

請求項１６の発明に係る消音器付超音波流量計は、請求項１乃至１５の何れか１の請求項に記載の消音器を備えたところに特徴を有する。

請求項１，１６の発明では、消音筒がパイプの途中に超音波流量計と直列に並べて接続され、超音波ノイズは、消音筒のうち超音波流量計と反対側の端部の境界壁に形成された境界開口から消音筒内に進入する。ここで、消音筒のうち境界開口との対向位置には、中央障害板が備えられ、その中央障害板は、境界開口全体を投影可能な大きさをなしているので、超音波ノイズが消音筒を素通りすることが防がれると共に、超音波ノイズが中央障害板に衝突して減衰される。そして、超音波ノイズは、外側障害板が有する中央開口に到達するまでの間に複数回に亘って進行方向を変えられるので、その進行方向が変わる度に壁に衝突して減衰していく。このように、本発明の消音器における消音筒内には超音波ノイズが直進して通過する経路はなく、直進性の高い超音波ノイズを効率よく減衰させることができる。また、従来のようにサブパイプが側方に張り出すこともないので嵩張らない。即ち、本発明の消音器では、従来よりコンパクトになりかつ超音波ノイズに対する消音効果が高くなる。

また、本発明によれば、流体がパイプから消音器に流入してから中央開口を通過するまでの通過断面積が略均一であるので、流体の圧力損失を抑えることができる。

また、請求項２の構成では、境界開口が円形になっているので、断面円形のパイプを境界開口の開口縁に備えたパイプ接続部と容易に接続することができる。

さらに、請求項３の構成では、境界開口が四角形になっていて、その境界開口の開口縁に備えたパイプ接続部の基端部の内側の断面形状が四角形をなす一方、先端部の内側の断面形状が円形をなし、先端部から基端部に向かって内部断面積を一定に維持しながら内側の断面形状が円形から四角形に除変した構成になっているので、パイプと消音筒との間においても、流体の圧力損失をおさえることができる。

請求項４の消音器では、第１流路を伝搬する超音波ノイズと、第２流路を伝搬する超音波ノイズとが中央開口に到達したときに、半波長分ずれて重なることになり、超音波ノイズ同士を相殺させることができる。

請求項６の発明によれば、追加中央障害板と追加外側障害板とによって、超音波ノイズに対する消音効果を高めることが可能になる。しかも、追加中央障害板と追加外側障害板は、それぞれ、中央障害板と外側障害板と同一形状になっているので、部材の共通化が図られる。

請求項９及び１０の消音器によれば、中央障害板の開口縁と外側障害板における中央開口側の開口縁に縁部突条又は縁部膨出部を備えたことにより、流体の流れの偏流を防いで、圧力損失を抑えることができる。

また、請求項１１の発明のように、中央障害板に備えた縁部突条又は縁部膨出部を幅方向に横切って側部開口に連通した側部連通溝と、外側障害板に備えた縁部突条又は縁部膨出部を幅方向に横切って中央開口に連通した中央連通溝とを備えた構成とすれば、中央障害板のうち縁部突状同士又は縁部膨出部同士に挟まれた部分や、外側障害板のうち縁部突条又は縁部膨出部と消音筒の内側面に挟まれた部分に流体中の汚物等が溜まることが防がれる。

さらに、請求項１２の発明のように、中央障害板及び外側障害板に、縁部突条又は縁部膨出部と交差したリブを突出形成すれば、中央障害板及び外側障害板の補強が図られる。

ここで、縁部突条は、断面多角形又は断面半円形の何れであっても良く、縁部膨出部は、断面多角形又は断面円形の何れであっても良い（請求項１３，１４の発明）。

［請求項１５の発明］
請求項１５の消音器によれば、各側部開口の内部に１対の円弧形側部ガイドを設けると共に、中央開口の内部に１対の円弧形中央ガイドを設けることにより、流体の流れの偏流を防いで、圧力損失を抑えることができる。

本発明の一実施形態に係る消音器の接続状態を示す概要図 消音器の側断面図 （Ａ）図２におけるＡ−Ａ切断面における消音筒の断面図、（Ｂ）図２におけるＢ−Ｂ切断面における消音筒の断面図、（Ｃ）図２におけるＣ−Ｃ切断面における消音筒の断面図 第２実施形態における消音器の側断面図 第３実施形態における消音器の側断面図 第４実施形態における消音器の側断面図 第５実施形態における消音器の側断面図 第６実施形態における消音器の側断面図 第７実施形態における消音器の側断面図 （Ａ）中央障害板の平面図、（Ｂ）そのＤ−Ｄ切断面における断面図 （Ａ）外側障害板の平面図、（Ｂ）そのＥ−Ｅ切断面における断面図 板材積層体の斜視図 板材積層体の支柱及び境界壁の側断面図 （Ａ）第１実施形態の消音筒における圧力分布図、（Ｂ）第３実施形態における圧力分布図 （Ｃ）第４実施形態の消音筒における圧力分布図、（Ｄ）第５実施形態における圧力分布図 （Ａ）第１実施形態の消音筒における流速分布図、（Ｂ）第３実施形態における流速分布図 （Ｃ）第４実施形態の消音筒における流速分布図、（Ｄ）第５実施形態における流速分布図 （Ａ）第１実施形態の消音筒における流線図、（Ｂ）第３実施形態における流線図 （Ｃ）第４実施形態の消音筒における流線図、（Ｄ）第５実施形態における流線図 消音器付超音波流量計の側断面図

［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態を、図１〜図３に基づいて説明する。図１には、ガス配管網を構成するパイプ９０の途中に接続された減圧弁９１，９２と、それら減圧弁９１，９２の間に備えられた超音波流量計８０とが示されている。減圧弁９１，９２は、公知な構造の所謂ガバナであって、減圧弁９１で一度、減圧されたガスは超音波流量計８０に向かって流れ、その後再び減圧弁９２によって減圧されて下流側に流される。また、超音波流量計８０は、直線状に延びた計測管８１の軸方向と斜めに交差する方向に１対の超音波センサ８２，８２を対向配置して備えた公知な構造をなし、この超音波流量計８０によって減圧弁９１の下流側の流量が計測される。

上記した減圧弁９１，９２では、ガスが減圧される際に超音波ノイズが発生し得る。そして、その超音波ノイズは、パイプ９０内のガスを伝搬して超音波流量計８０に向かい得る。また、ガス配管網には、減圧弁９１，９２以外にノイズ発生源となり得るガス器具（例えば、流量調整弁、クイックカプラ、レデューサ等）が接続されていて、それらガス器具からの超音波ノイズも、パイプ９０内のガスを伝搬して超音波流量計８０に向かい得る。即ち、超音波流量計８０に向かって上流側及び下流側の両方から超音波ノイズが伝達し得る。これに対し、以下詳説する本発明に係る消音器１０が、対をなして超音波流量計８０の流入側端部と流出側端部の両方に接続されている。

消音器１０は、図２に示すように、消音筒１１とノイズ導入筒１７とを同軸上に配置して備えている。図３（Ａ）に示すように、消音筒１１は、断面四角形の角筒構造をなす一方、ノイズ導入筒１７は、消音筒１１の断面である四角形より小さい円形断面の円筒構造をなしている。また、図２に示すように、消音筒１１の一端部には、消音筒１１の軸方向と直交した板状の境界壁１１Ｋが備えられ、その境界壁１１Ｋの中央部にノイズ導入筒１７の一端部が接続されている。そして、消音筒１１の内部とノイズ導入筒１７の内部とが連通し、境界壁１１Ｋの内面のうちノイズ導入筒１７の内側面が交差してなる開口が、本発明に係る境界開口１２になっている。また、消音筒１１の他端部には、境界壁１１Ｋと同様に、消音筒１１の軸方向と直交した終端壁１１Ｌが備えられ、その終端壁１１Ｌの中央には、ノイズ導入筒１７の内径と同じ大きさ径の円形の境界孔１３が貫通形成されている。

図１に示すように、消音筒１１のうちノイズ導入筒１７から離れた端部外面からは固定フランジ１１Ｆが側方に張り出されている。そして、超音波流量計８０における計測管８１の両端部から側方に張り出した固定フランジ８０Ｆ，８０Ｆに、１対の消音器１０，１０の固定フランジ１１Ｆ，１１Ｆがそれぞれ重ね合わされ、それら各固定フランジ１１Ｆ，８０Ｆの図示しない複数のボルト挿通孔に通したボルトの締め付けにより１対の消音器１０，１０が超音波流量計８０の両端部に対称的に固定されている。また、各消音器１０におけるノイズ導入筒１７のうち消音筒１１から離れた端部外面からは固定フランジ１７Ｆが側方に張り出されている。そして、パイプ９０の末端から側方に張り出した固定フランジ９０Ｆと各消音器１０の固定フランジ１７Ｆとが重ね合わされ、それら固定フランジ１７Ｆ，９０Ｆの図示しない複数のボルト挿通孔に通したボルトの締め付けにより各消音器１０がパイプ９０に固定されている。

なお、本実施形態では、固定フランジ１７Ｆを含むノイズ導入筒１７が、本発明に係る「パイプ接続部」に相当する。

超音波は、通常の音波に比べて直進性が高いことに鑑み、消音筒１１の内部には、境界壁１１Ｋから終端壁１１Ｌに向かって順番に、第１中央障害板６１（本発明の「中央障害板」に相当する）と、１対の第１側部障害板７１，７１と、第２中央障害板６２と、１対の第２側部障害板７２，７２と、第３中央障害板６３とが設けられ（以下、これらを総称して「障害壁６０」という）、これら障害壁６０によりガスが消音筒１１内を蛇行して流れるようになっている。具体的には、第１中央障害板６１は、境界壁１１Ｋと平行で四角形の平板状をなし、消音筒１１のうち図３（Ｂ）における左右方向で対向する１対の第１筒内側面１１Ａ，１１Ａの間に架け渡されている。また、第１中央障害板６１は、消音筒１１のうち図３（Ｂ）の上下方向で対向する１対の第２筒内側面１１Ｂ，１１Ｂとの間の中央に位置して境界開口１２と対向しかつ、境界開口１２全体を投影可能な大きさをなしている。さらに、第１中央障害板６１と１対の第２筒内側面１１Ｂ，１１Ｂとの間には、１対の四角形の側部開口６１Ａ，６１Ａが開口していて、それら側部開口６１Ａ，６１Ａは互いに同じ大きさになっている。

１対の第１側部障害板７１，７１は、境界壁１１Ｋと平行な共通の基準面（図示せず）内に配置された１対の四角形の平板状をなしている。これら１対の第１側部障害板７１，７１は、同じ大きさをなし、消音筒１１のうち図３（Ｃ）における上下方向で対向する１対の第２筒内側面１１Ｂ，１１Ｂのうち一方の第２筒内側面１１Ｂと１対の第１筒内側面１１Ａ，１１Ａとに一方の第１側部障害板７１の３辺が接続される一方、他方の第２筒内側面１１Ｂと１対の第１筒内側面１１Ａ，１１Ａとに他方の第１側部障害板７１の３辺が接続されている。そして、１対の第１側部障害板７１，７１の間が四角形の中央開口７１Ａになって、第１中央障害板６１と次述する第２中央障害板６２とに対向している。また、各第１側部障害板７１は、各側部開口６１Ａと対向しかつ各側部開口６１Ａ全体を投影可能な大きさをなしている。なお、１対の第１側部障害板７１，７１が本発明の「外側障害板」に相当する。

第２中央障害板６２は、第１中央障害板６１と同じ大きさ・形状の平板状をなし、１対の第１側部障害板７１，７１に対して第１中央障害板６１と対称となる位置に配置されている。また、第２中央障害板６２と１対の第２筒内側面１１Ｂ，１１Ｂとの間には、１対の側部開口６１Ａ，６１Ａと同じ大きさの１対の側部開口６２Ａ，６２Ａが開口している。

１対の第２側部障害板７２，７２は、１対の第１側部障害板７１，７１と同じ大きさ・形状の平板状をなし、第２中央障害板６２に対して１対の第１側部障害板７１，７１と対称となる位置に配置されている。また、１対の第２側部障害板７２，７２の間には、中央開口７１Ａと同じ大きさの中央開口７２Ａが開口している。

第３中央障害板６３は、第１及び第２の中央障害板６１，６２と同じ大きさ・形状の平板状をなし、１対の第２側部障害板７２，７２に対して第２中央障害板６２と対称となる位置に配置されている。また、第３中央障害板６３と１対の第２筒内側面１１Ｂ，１１Ｂとの間には、１対の側部開口６１Ａ，６１Ａと同じ大きさの１対の側部開口６３Ａ，６３Ａが開口している。

ところで、ガスの通過断面積が増減する部位では、ガスの圧力損失が生じる。本実施形態では、ガスの圧力損失を抑えるために、超音波流量計８０として、その前後のパイプ９０，９０の内径と同じ内径の計測管８１を有するものが使用され、消音器１０として、その接続相手であるパイプ９０の内径と同じ内径のノイズ導入筒１７を有するものが使用されている。そして、消音筒１１では、第１側部障害板７１，７１の間の中央開口７１Ａの開口面積が、パイプ９０の内側断面積、即ち、境界開口１２の開口面積と同じ大きさをなすと共に、第１中央障害板６１の側方の１対の側部開口６１Ａ，６１Ａを合わせた開口面積が境界開口１２の開口面積と同じ大きさをなしている。第２側部障害板７２，７２の間の中央開口７２Ａ、第２中央障害板６２の側方の１対の側部開口６２Ａ，６２Ａ、第３中央障害板６３の側方の１対の側部開口６３Ａ，６３Ａに関しても同様である。より詳細には、境界開口１２の開口面積をＳ１、１対の第１筒内側面１１Ａ，１１Ａの間隔をＬとすると、以下説明する消音筒１１の各部位の間隔が、以下の式（１）で求められる間隔Ｈに設定されている。

Ｈ＝（Ｓ１／Ｌ）／２ ・・・・・（１）

即ち、消音筒１１の軸方向において、境界壁１１Ｋと第１中央障害板６１との対向面間の間隔Ｈ１と、第１中央障害板６１と各第１側部障害板７１との対向面間、各第１側部障害板７１と第２中央障害板６２との対向面間、第２中央障害板６２と各第２側部障害板７２との対向面間、第２側部障害板７２と第３中央障害板６３との対向面間及び第３中央障害板６３と終端壁１１Ｌとの対向面間の間隔Ｈ２とが、全て同じ間隔Ｈ（即ち、Ｈ＝Ｈ１＝Ｈ２）になっている。また、第１〜第３の各中央障害板６１，６２，６３と消音筒１１の各第２筒内側面１１Ｂとの対向面間の間隔Ｈ３，Ｈ４も、全て同じ間隔Ｈ（即ち、Ｈ＝Ｈ３＝Ｈ４）になっている。さらには、１対の第１側部障害板７１，７１同士の対向面間及び１対の第２側部障害板７２，７２同士の対向面間の間隔Ｈ５は、全て間隔Ｈの２倍（即ち、２×Ｈ）になっている。つまり、境界開口１２から第１中央障害板６１の側面に沿って一方の側部開口６１Ａを通過して１対の第１側部障害板７１，７１の間の中央開口７１Ａまで到達するまでの間の一方の分流経路の流体通過断面積が、その分流経路全体で略均一で境界開口１２の開口面積Ｓ１の半分の大きさをなすと共に、他方の側部開口６１Ａを通過する他方の分流経路の流体通過断面積も、その分流経路全体で略均一で境界開口１２の開口面積Ｓ１の半分の大きさをなしている。また、１対の第１側部障害板７１，７１の間の中央開口７１Ａから終端壁１１Ｌの境界孔１３までの間に関しても同様になっている。

なお、本実施形態では、上記した間隔Ｈは、消音対象である超音波ノイズの波長の３倍に設定されている。

本実施形態の消音器１０の構成に関する説明は、以上である。次に、本実施形態の消音筒１０の作用効果について説明する。減圧弁９１を通過したガスは、一方の消音器１０、超音波流量計８０、他方の消音器１０を通過して流れる。そして、超音波流量計８０の上流側の一方の消音器１０では、ガスが境界開口１２から消音筒１１内に進入して第１中央障害板６１に衝突し、第１中央障害板６１の側方の１対の側部開口６１Ａ，６１Ａへと分流してから１対の第１側部障害板７１，７１の間の中央開口７１Ａで合流する。ここで、前記したように１対の第１側部障害板７１，７１の間の中央開口７１Ａの開口面積は境界開口１２の開口面積Ｓ１と同じ大きさをなすと共に、第１中央障害板６１の側面に沿って一方の側部開口６１Ａを通過して中央開口７１Ａまで到達する一方の分流経路の流体通過断面積と、他方の側部開口６１Ａを通過して中央開口７１Ａまで到達する他方の分流経路の流体通過断面積とが、共に各分流経路全体で略均一で共に境界開口１２の開口面積Ｓ１の半分の大きさをなしているので、境界開口１２から１対の第１側部障害板７１，７１の間の中央開口７１Ａまでの間でガスの圧力損失が小さく抑えられる。また、１対の第１側部障害板７１，７１の間の中央開口７１Ａから終端壁１１Ｌの境界孔１３までの間も、境界開口１２から中央開口７１Ａまでの間と同様に、分流と合流を繰り返すが、その合流部分である１対の第２側部障害板７２，７２の間の中央開口７２Ａ及び境界孔１３の開口面積が境界開口１２の開口面積Ｓ１と同じで、各分流経路の流体通過断面積が、各分流経路全体で略均一で境界開口１２の開口面積Ｓ１の半分の大きさをなしているので、同様にガスの圧力損失が小さく抑えられる。

そして、上流側の消音器１０を通過したガスが、超音波流量計８０の計測管８１を通過して下流側の消音器１０における終端壁１１Ｌの境界孔１３から消音筒１１内に進入する。そして、上流側の消音器１０とは逆の順序で、第３中央障害板６３の側方の１対の側部開口６３Ａ，６３Ａ、１対の第２側部障害板７２，７２の間の中央開口７２Ａ等を通過して境界開口１２から下流側のパイプ９０へと流出する。この場合も、上流側の消音器１０と同様に、ガスの圧力損失は小さく抑えられる。

ガスは、超音波流量計８０の計測管８１内では一方の超音波センサ８２が出力した超音波が計測管８１内のガスを伝搬して他方の超音波センサ８２に受波され、それら超音波センサ８２，８２の間の超音波の到達時間に基づいて計測管８１内を流れるガスの流量が計測される。このとき、計測管８１の上流側又は下流側から超音波ノイズが計測管８１内まで伝搬されると、流量測定の妨げになる。

しかしながら、本実施形態の消音器１０では、超音波ノイズの直進性が高いことを利用して以下のようにして超音波ノイズを減衰させて、超音波流量計８０による流量計測が超音波ノイズによって妨げられることを防いでいる。即ち、超音波ノイズは、各消音器１０における消音筒１１のうち超音波流量計８０と反対側の端部の境界壁１１Ｋの境界開口１２から消音筒１１内に進入する。ここで、境界開口１２との対向位置には、第１中央障害板６１が備えられ、その第１中央障害板６１は、境界開口１２全体を投影可能な大きさをなしているので、超音波ノイズが消音筒１１を素通りすることが防がれると共に、超音波ノイズが第１中央障害板６１に衝突して減衰される。そして、超音波ノイズは、１対の第１側部障害板７１，７１の間の中央開口７１Ａに到達するまでの間に複数回に亘って進行方向を変えられるので、その進行方向が変わる度に壁に衝突して減衰していく。そして、超音波ノイズは、１対の第１側部障害板７１，７１の間の中央開口７１Ａから終端壁１１Ｌの境界孔１３の間でも同様に複数回に亘って進行方向を変えられて減衰する。このようにして、計測管８１の計測に悪影響を与えない程度の大きさになるまで超音波ノイズが減衰される。このように本実施形態の消音器１０における消音筒１１内には、超音波ノイズが直進して通過する経路はなく、直進性の高い超音波ノイズを効率よく減衰させることができる。また、従来のようにサブパイプが側方に張り出すこともないので嵩張らない。即ち、本実施形態の消音器１０では、従来よりコンパクトになりかつ超音波ノイズに対する消音効果が高くなる。

なお、本実施形態の消音器１０では、消音器１０の入口側で、ガスの流速分布の中心がパイプ９０の中心からずれていても、消音器１０の出口側では、ガスの流速分布の中心を超音波流量計８０の計測管８１の中心寄りに近づけることができるという整流効果があることも確認された。

［第２実施形態］
以下、本発明の第２実施形態を図４に基づいて説明する。本実施形態の消音器１０Ｖは、１対の第１側部障害板７１Ｃ，７１Ｄの大きさが異なっていて、第１側部障害板７１Ｃ，７１Ｄの対向方向における中央開口７１Ｂの中心が、同方向における境界開口１２の中心に対して、ズレ量Ｘ分、詳細には、超音波ノイズの波長の１／４だけ図４の下側の側部開口６１Ａ側にずれた配置になっている。その他の構成は、上記第１実施形態と同一であるので、重複する説明は省略する。

本実施形態の消音器１０Ｖによれば、上記第１実施形態と同等の作用効果に加え、第１中央障害板６１の一方の側部開口６１Ａを通過する一方の分流経路（本発明の「第１流路」に相当する）を伝搬する超音波ノイズと、他方の側部開口６１Ａを通過する他方の分流経路（本発明の「第２流路」に相当する）を伝搬する超音波ノイズとが中央開口７１Ｂの中心に到達したときに、半波長分ずれて重なることになり、超音波ノイズ同士が相殺される。また、仮に、超音波ノイズの一部が中央開口７１Ｂで相殺しきれなくても、中央開口７１Ｂから第２中央障害板６２の両側方に分かれて進んだ超音波ノイズが、各側部開口６２Ａを通過して１対の第２側部障害板７２，７２の間の中央開口７２Ａの中心に到達したときに、また、半波長分ずれて重なることになり、ここでも超音波ノイズ同士が相殺される。これにより、超音波ノイズに対する消音効果がより一層高くなる。

［第３実施形態］
以下、本願発明の第３実施形態を図５に基づいて説明する。本実施形態の消音器１０Ｗは、前記第１実施形態の消音器１０に円弧形側部ガイド６５と円弧形中央ガイド６６と追加した構成になっている。円弧形側部ガイド６５及び円弧形中央ガイド６６は、共に第１筒内側面１１Ａ，１１Ａ（図３（Ａ）参照）の間に差し渡されかつ断面半円形の溝形構造をなしている。そして、円弧形側部ガイド６５は、第１中央障害板６１の両側方の側部開口６１Ａ，６１Ａ内にそれぞれ設けられて、それら円弧形側部ガイド６５の溝開口が第１中央障害板６１側に向けられて、各円弧形側部ガイド６５が丁度第１中央障害板６１の縁部を中心として湾曲するように配置されている。また、円弧形側部ガイド６５は、第２中央障害板６２の両側方の側部開口６２Ａ，６２Ａ内及び、第３中央障害板６３の両側方の側部開口６３Ａ，６３Ａ内にも同様に設けられている。

一方、円弧形中央ガイド６６は、１対の第１側部障害板７１，７１の間の中央開口７１Ａ内に対をなして設けられ、それら各円弧形中央ガイド６６の溝開口が各第１側部障害板７１側に向けられて、各円弧形中央ガイド６６が丁度第１側部障害板７１の縁部を中心として湾曲するように配置されている。また、円弧形中央ガイド６６は、１対の第２側部障害板７２，７２の間の中央開口７２Ａ内にも同様に対をなして設けられている。

なお、円弧形側部ガイド６５及び円弧形中央ガイド６６の板厚は、第１中央障害板６１、第１側部障害板７１等の板厚に比べて薄くなっている。その他の構成は、上記第１実施形態と同一であるので、重複する説明は省略する。

本実施形態の消音器１０Ｗによれば、上記第１実施形態と同等の作用効果に加え、消音器１０Ｗ内におけるガスの流れの偏流を防いで、圧力損失を抑えることができる。

［第４実施形態］
以下、本発明の第４実施形態を図６に基づいて説明する。本実施形態の消音器１０Ｘは、側部縁部突条６７及び中央縁部突条６８が設けられている点が前記第１実施形態の消音器１０と異なる。側部縁部突条６７は、第１中央障害板６１のうち境界開口１２側の側面における各側部開口６１Ａ側の開口縁に沿って突出形成され、断面半円形状をなしている。また、側部縁部突条６７は、第２中央障害板６２のうち境界開口１２側の側面における各側部開口６２Ａ側の開口縁及び、第３中央障害板６３のうち境界開口１２側の側面における各側部開口６３Ａ側の開口縁にも同様に設けられている。

一方、中央縁部突条６８は、１対の各第１側部障害板７１，７１のうち境界開口１２側の側面における中央開口７１Ａ側の開口縁に沿って突出形成され、断面半円形状をなしている。また、中央縁部突条６８は、１対の各第２側部障害板７２，７２における境界開口１２側の側面における中央開口７１Ａ側の開口縁にも同様に設けられている。

なお、これら側部縁部突条６７及び中央縁部突条６８の半径は、共に、間隔Ｈの１／４に設定されている。また、側部縁部突条６７及び中央縁部突条６８は、断面半円形状に限るものではなく、断面三角形や四角形などの断面多角形であってもよい。さらに、側部縁部突条６７及び中央縁部突条６８は、開口縁に沿って連続したものに限るものではなく、部分的に設けられたものであってもよい。その他の構成は、上記第１実施形態と同一であるので、重複する説明は省略する。

本実施形態の消音器１０Ｘによれば、上記第１実施形態と同等の作用効果に加え、消音器１０Ｘ内におけるガスの流れの偏流を防いで、圧力損失を抑えることができる。

［第５実施形態］
以下、本発明の第５実施形態を図７に基づいて説明する。本実施形態の消音器１０Ｙには、側部縁部膨出部７３と中央縁部膨出部７４とが設けられている点が前記第１実施形態の消音器１０と異なる。側部縁部膨出部７３は、第１中央障害板６１の各側部開口６１Ａ側の開口縁を断面円形状に膨出させてなる。また、側部縁部膨出部７３は、第２中央障害板６２の各側部開口６２Ａ側の開口縁及び、第３中央障害板６３の各側部開口６３Ａ側の開口縁にも同様に設けられている。

一方、中央縁部膨出部７４は、１対の各第１側部障害板７１，７１の中央開口７１Ａ側の開口縁を断面円形状に膨出されてなる。また、中央縁部膨出部７４は、１対の各第２側部障害板７２，７２の中央開口７１Ａ側の開口縁にも同様に設けられている。

なお、これら側部縁部膨出部７３及び中央縁部膨出部７４の半径は、共に、間隔Ｈの１／４に設定されている。また、側部縁部膨出部７３及び中央縁部膨出部７４は、断面円形状に限るものではなく、断面三角形や四角形などの断面多角形であってもよい。さらに、側部縁部膨出部７３及び中央縁部膨出部７４は、開口縁に沿って連続したものに限るものではなく、部分的に設けられたものであってもよい。その他の構成は、上記第１実施形態と同一であるので、重複する説明は省略する。

本実施形態の消音器１０Ｙによれば、上記第１実施形態と同等の作用効果に加え、消音器１０Ｙ内におけるガスの流れの偏流を防いで、圧力損失を抑えることができる。

［第６実施形態］
以下、本発明の第６実施形態を図８に基づいて説明する。本実施形態の消音器１０Ｚは、上記第２実施形態と上記第５実施形態を組み合わせたものである。具体的には、図８に示すように、消音器１０Ｚは、１対の第１側部障害板７１Ｃ，７１Ｄの大きさが異なっていて、第１側部障害板７１Ｃ，７１Ｄの対向方向における中央開口７１Ｂの中心が、同方向における境界開口１２の中心に対して、ズレ量Ｘ分、詳細には、超音波ノイズの波長の１／４だけ図８の下側の側部開口６１Ａ側にずれた配置になっている。

また、消音器１０Ｚは、上記第５実施形態と同様に、側部縁部膨出部７３と中央縁部膨出部７４を備えている。なお、詳細には、中央縁部膨出部７４は、第１側部障害板７１Ｃ，７１Ｄ及び１対の第２側部障害板７２，７２の中央開口７１Ａ，７１Ｂ側の開口縁を断面円形状に膨出されてなる。その他の構成は、上記第２実施形態と同一であるので、重複する説明は省略する。

本実施形態の消音器１０Ｚによれば、上記第２実施形態と同等の作用効果に加え、消音器１０Ｚ内におけるガスの流れの偏流を防いで、圧力損失を抑えることができる。

［第７実施形態］
本実施形態は、図９〜図１３に示されており、第１実施形態の消音器１０を変形させたものである。本実施形態の消音器１１０は、図９に示すように、全体の幅が軸方向で略均一の筒状をなし、消音筒１１１とノイズ導入筒１１７とを同軸上に並べて備えている。具体的には、消音器１１０は、軸方向の中間位置で内側面が段付き状になった段差部１１０Ｄを有し、パイプ９０側（図９における左側）の内部断面積が、超音波流量計８０側（図９における右側）の内部断面積に比べて小さくなっている。そして、その内部断面積の小さなパイプ９０側の部分がノイズ導入筒１１７を形成し、内部断面積の大きな超音波流量計８０側の部分が消音筒１１１を形成している。消音筒１１１及びノイズ導入管１１７は共に、内部断面形状が円形になっている。

また、段差部１１０Ｄは、消音筒１１１の内側に臨んだ面が消音器１１０の軸方向（消音筒１１１の軸方向）と直交した構成になっていて、この段差部１１０Ｄによって本発明の境界壁１１１Ｋが形成されている。そして、段差部１１０Ｄの内側に形成された開口が、本発明の境界開口１１２になっている。なお、ノイズ導入筒１１７は、本発明の「パイプ接続部」に相当する。

消音筒１１１のうちノイズ導入筒１１７と反対側の端部は、境界開口１１２より開口面積が大きな開口を有した大径開口部１１１Ｄになっていて、その大径開口部１１１Ｄに超音波流量計８０の計測管８１が嵌合することで、消音器１１１が超音波流量計８０に接続可能になっている。なお、大径開口部１１１Ｄの外面には、計測管８１の端面と当接可能な段差が設けられている。

ノイズ導入管１１７のうち消音筒１１１から離れた端部内面には、雌螺子部１１７Ｎが形成され、その雌螺子部１１７Ｎをパイプ９０の端部外面に形成された雄螺子部（図示せず）に螺合結合することで、消音器１１０がパイプ９０に接続され、パイプ９０を流れる流体が消音筒１１１内を通過するようになっている。

図９に示すように、消音筒１１１の内部には、複数の障害壁１６０が境界壁１１１Ｋと平行に配置されている。具体的には、複数の障害壁１６０は、境界壁１１１Ｋから大径開口部１１１Ｄに向かって順番に、中央板１６１と外側板１７１とを交互に配置した構成になっている。なお、最も境界壁１１１Ｋ側に位置する中央板１６１が本発明の「中央障害板」に相当し、最も境界壁１１１Ｋ側に位置する外側板１７１が本発明の「外側障害板」に相当する。また、境界壁１１１Ｋから数えて２番目以降の中央板１６１が本発明の「追加中央障害板」に相当し、境界壁１１１Ｋから数えて２番目の外側板１７１が本発明の「追加外側障害板」に相当する。

図９及び図１０（Ａ）に示すように、中央板１６１は、円形の平板状をなし、その中心軸が消音筒１１１の中心軸と一致するように配置されている。中央板１６１は、境界開口１１２全体を投影可能な大きさをなし、複数の中央板１６１のうち最も境界壁１１１Ｋ側の中央板１６１は、境界開口１１２に対向配置されている。また、中央板１６１と消音筒１１１の内側面との間には、円環状の側部開口１６１Ａが開口している。

中央板１６１の外縁部（即ち、側部開口１６１Ａ側の開口縁）には、中央板１６１の表側（図９における左側）と裏側（図９における右側）の両方に突出した外側縁部膨出部１７３が、突出形成されている。なお、図９には、外側縁部膨出部１７３の断面形状が円形の例が示されているが、断面三角形や四角形などの断面多角形であってもよい。

図１０（Ａ）に示すように、外側縁部膨出部１７３は、中央板１６１の周方向に沿った環状をなし、その径方向で外側縁部膨出部１７３を横切って（即ち、外側縁部膨出部１７３を幅方向に横切って）側部開口１６１Ａに連通した側部連通溝１７３Ｍを複数備えている。側部連通溝１７３Ｍは、外側縁部膨出部１７３の表側（図９における左側）と裏側（図９における右側）の両方に同じ数ずつ設けられ、表側の側部連通溝１７３Ｍと裏側の側部連通溝１７３Ｍとが、中央板１６１の板厚方向で重ならないように配置されている。

図９及び図１１（Ａ）に示すように、外側板１７１は、平面形状が円環状をなした平板状になっていて、その中心軸が消音筒１１１の中心軸と一致するように配置され、消音筒１１１の内側面に嵌合されている。外側板１７１は、側部開口１６１Ａと対向し、側部開口１６１Ａを投影可能な大きさになっている。また、外側板１７１の中心部には、中央板１６１と対向した中央開口１７１Ａが形成されている。なお、中央開口１７１Ａの開口面積は、境界開口１１２の開口面積と同じになっている。

外側板１７１の中心側の端部（即ち、中央開口１７１Ａ側の開口縁）には、外側板１７１の表側（図９における左側）と裏側（図９における右側）の両方に突出した中央縁部膨出部１７４が突出形成されている。なお、図９には、中央縁部膨出部１７４の断面形状が円形の例が示されているが、断面三角形や四角形などの断面多角形であってもよい。

図１１（Ａ）に示すように、中央縁部膨出部１７４は、外側板１７１の周方向に沿った環状をなし、その径方向で中央縁部膨出部１７４を横切って（即ち、中央縁部膨出部１７４を幅方向に横切って）中央開口１７１Ａに連通した中央連通溝１７４Ｍを複数備えている。中央連通溝１７４Ｍは、上述した側部連通溝１７３Ｍと同様に、表側と裏側の両方に同じ数ずつ設けられ、表側の中央連通溝１７４Ｍと裏側の中央連通溝１７４Ｍとが、外側板１７１の板厚方向で重ならないように配置されている。

ところで、複数の中央板１６１と複数の外側板１７１は、板厚方向に重ねられた状態で第１支柱１２１Ａ及び第２支柱１２１Ｂにて連結されている（図１２参照）。第１支柱１２１Ａ及び第２支柱１２１Ｂは、中央板１６１と一体に形成された第１支軸１２２（図１０（Ｂ）参照）と、外側板１７１と一体に形成された第２支軸１２３（図１１（Ｂ）参照）とを結合することで構成されている。なお、第１支柱１２１Ａ及び第２支柱１２１Ｂが本発明の「支柱」に相当する。

具体的には、第１支軸１２２は、中央板１６１の中心軸方向に延びた円筒状をなし、中央板１６１の外周部を周方向に複数等分（例えば、２等分）する位置に配置されている（図１０（Ａ）参照）。図１０（Ｂ）に示すように、第１支軸１２２は、中央板１６１の表側（図１０（Ｂ）における上側）と裏側（図１０（Ｂ）における下側）の両方に突出し、表側の突出量の方が大きくなっていて、第１支軸１２２の裏側の端面が外側縁部膨出部１７３の裏側の頂点位置と同じ位置に配置されている。また、第１支軸１２２は、表側の端部に、段付き状に縮径されてなる第１係合突部１２２Ｂを備えると共に、裏側の端部に、第１支軸１２２の内側に形成された第１貫通孔１２２Ａが拡径されてなる第１受容凹部１２２Ｃを備えている。

また、第２支軸１２３は、外側板１７１のうち第１支軸１２２と対向する位置に配置され（図１１（Ａ）参照）、第１支軸１２２と同様に、内側に第２貫通孔１２３Ａを有した円筒状をなして外側板１７１の表側と裏側の両方に突出し、表側の端部に形成された第２係合突部１２３Ｂと、裏側の端部に形成された第２受容凹部１２３Ｃとを備えている（図１１（Ｂ）参照）。この第２係合突部１２３Ｂは、第１支軸１２２の第１受容凹部１２２Ｃと凹凸係合可能になっている。また、第２受容凹部１２３Ｃは、第１支軸１２２の第１係合突部１２２Ｂと凹凸係合可能になっている。

そして、図１３に示すように、中央板１６１と外側板１７１とを板厚方向に交互に重ねて、第２支軸１２３の第２係合突部１２３Ｂと第１支軸１２２の第１受容凹部１２２Ｃとを凹凸係合させることにより第１支柱１２１Ａが形成され、第１支軸１２２の第１係合突部１２２Ｂと第２支軸１２３の第２受容凹部１２３Ｃとを凹凸係合させることにより第２支柱１２１Ｂが形成され、これらにより、中央板１６１と外側板１７１を板厚方向に積み重ねた板材積層体１２０が形成されている。また、第１支軸１２２の第１貫通孔１２２Ａと第２支軸１２３の第２貫通孔１２３Ａとが連通することで、第１支柱１２１Ａ及び第２支柱１２１Ｂを共に貫通したボルト挿通孔１２１Ｃが形成されている。

なお、ここで、第１支軸１２２の第１係合突部１２２Ｂと、第２支軸１２３の第２受容凹部１２３Ｃとの凹凸係合によって、中央板１６１が外側板１７１のうち境界壁１１１Ｋと反対側にも連結可能となっているので、中央板１６１と外側板１７１とを交互に任意の数だけ並べた板材積層体１２０を形成することができる。

さて、図１３に示すように、板材積層体１２０は、消音筒１１１の境界壁１１１Ｋに取り付けられている。具体的には、境界壁１１１Ｋのうち境界開口１１２の開口縁には、消音筒１１１の内部に向かって消音筒１１１の軸方向に突出した取付突部１２５Ｔを有した板材取付部１２５が形成され、取付突部１２５Ｔの先端部に、第１支軸１２２の第１係合突部１２２Ｂと凹凸係合可能な係合凹部１２６が形成されている。この係合凹部１２６の奥面には、消音筒１１１の軸方向と平行な雌螺子孔１２６Ａが開口している。そして、板材積層体１２０のうち最も境界壁１１１Ｋ側に位置した中央板１６１の第１支軸１２２を板材取付部１２５に突き合わせて第１係合突部１２２Ｂと係合凹部１２６とを凹凸係合させた状態で、境界壁１１１Ｋの反対側からボルトＢをボルト挿通孔１２１Ｃに挿通させて雌螺子孔１２６Ａと螺合させることで板材積層体１２０が境界壁１１１Ｋに固定されている。

このように、本実施形態では、消音筒１１１内に板材積層体１２０を境界壁１１１Ｋに固定するだけで中央板１６１及び外側板１７１を纏めて消音筒１１１内に設置することができる。しかも、板材積層体１２０は、ボルトＢと雌螺子孔１２６Ａの螺合結合により固定されているので、消音筒１１１内への中央板１６１及び外側板１７１の着脱が容易に行える。

なお、中央板１６１の表側と裏側の両面には、中央板１６１を補強するための複数の中央リブ１７５が突出形成されている。図１０（Ａ）に示すように、中央板１６１の表側の面に形成された複数の中央リブ１７５は、中央板１６１の中心から外側に向かって放射状に延び、そのうちのいくつかの中央リブ１７５（図１０（Ａ）において横方向に延びるリブ１７５）が、第１支軸１２２に連絡し、残りの中央リブ１７５が外側縁部膨出部１７３と交差している。また、裏側の中央リブ１７５は、表側の中央リブ１７５と同数になっていて、表側と裏側の中央リブ１７５は、中央板１６１の板厚方向で重ならないようにずらして配置されている。詳細には、外側縁部膨出部１７３が中央リブ１７５と連絡する部分と側部連通溝１７３Ｍが形成された部分が板厚方向で重なるようになっている。

また、外側板１７１についても同様に、複数の外側リブ１７６が外側板１７１の表側と裏側の両面に突出形成されている。図１１（Ａ）に示すように、外側板１７１の表側の面に形成された外側リブ１７６は、外側板１７１の中心から外側に向かって放射状に延びた直線上に配置され、そのうちのいくつかの外側リブ１７６（図１１（Ａ）において横方向に延びる外側リブ１７６）が、第２支軸１２３に連絡し、残りの外側リブ１７６が中央縁部膨出部１７４と交差している。裏側の外側リブ１７６は、表側の外側リブ１７６と同数になっていて、表側と裏側の外側リブ１７６は、板厚方向で重ならないように配置され、中央縁部膨出部１７４が外側リブ１７６と連絡する部分と中央連通溝１７４Ｍが形成された部分が板厚方向で重なるようになっている。

消音器１１０の構成に関する説明は以上である。次に、消音器１１０の作用効果について説明する。本実施形態に係る消音器１１０では、超音波ノイズは、消音筒１１１のうち超音波流量計８０と反対側の端部の境界壁１１１Ｋの境界開口１１２から消音筒１１１内に進入する。ここで、境界開口１１２との対向位置には、中央板１６１が備えられ、その中央板１６１は、境界開口１１２全体を投影可能な大きさをなしているので、超音波ノイズが消音筒１１１を素通りすることが防がれると共に、超音波ノイズが中央板１６１に衝突して減衰される。そして、超音波ノイズは、外側板１７１が有する中央開口１７１Ａに到達するまでの間に複数回に亘って進行方向を変えられるので、その進行方向が変わる度に壁に衝突して減衰していく。そして、超音波ノイズは、中央開口１７１Ａから大径開口部１１１Ｄの開口の間でも同様に複数回に亘って進行方向を変えられて減衰する。このようにして、計測管８１の計測に悪影響を与えない程度の大きさになるまで超音波ノイズが減衰される。このように本実施形態の消音器１１０における消音筒１１１内には、超音波ノイズが直進して通過する経路はなく、直進性の高い超音波ノイズを効率よく減衰させることができる。また、従来のようにサブパイプが側方に張り出すこともないので嵩張らない。即ち、本実施形態の消音器１１０では、従来よりコンパクトになりかつ超音波ノイズに対する消音効果が高くなる。

また、中央板１６１の側部開口１６１Ａ側の開口縁には、外側縁部膨出部１７３が形成され、外側板１７１の中央開口１７１Ａ側の開口縁には、中央縁部膨出部１７４が形成されているので、消音器１１０内におけるガスの流れの偏流を防いで、圧力損失を抑えることができる。しかも、本実施形態では、補強用の中央リブ１７５及び外側リブ１７６によってもガスの流れを乱すことが図られ、圧力損失のさらなる低減が図られる。また、各縁部膨出部１７３，１７４には、側部連通溝１７３Ｍ、中央連通溝１７４Ｍが形成されているので、中央板１６１のうち外側縁部膨出部１７３に囲まれた部分及び外側板１７１のうち外側縁部膨出部１７４と消音筒１１１の内側面に囲まれた部分にガス中の汚物等が溜まることが防がれる。

なお、本実施形態の消音器１１０によっても、第１実施形態の消音器１０と同様の整流効果があることが確認された。即ち、消音器１１０では、消音器１１０の入口側で、ガスの流速分布の中心がパイプ９０の中心からずれていても、消音器１１０の出口側では、ガスの流速分布の中心を計測管８１の中心寄りに近づけることができる。

［シミュレーションによる確認実験］
本発明に係る消音器１０，１０Ｗ，１０Ｘ，１０Ｙの効果を、シミュレーションソフトを使用して確認した。具体的には、各消音器１０，１０Ｗ，１０Ｘ，１０Ｙを超音波流量計８０の上流側と下流側の両方に接続して、上流側から下流側に向かって一定流速を与え、下流側の消音器１０，１０Ｗ，１０Ｘ，１０Ｙから流出するガスの圧力が大気圧となるように設定した場合の上流側の消音器１０，１０Ｗ，１０Ｘ，１０Ｙにおける消音筒１１内の圧力分布、流速分布をシミュレーションした。なお、シミュレーションによる実験条件及び実験結果を下記に示す。

［実験条件］
温度２０［℃］、ガスの種類を空気、パイプ９０の内径１６［ｍｍ］、間隔Ｈ＝４［ｍｍ］、１対の第１筒内側面１１Ａ，１１Ａの間隔Ｌ＝２６［ｍｍ］、入口のガス（空気）の流速を１３．８［ｍ／ｓｅｃ］、下流側の消音器１０，１０Ｗ，１０Ｘ，１０Ｙから流出するガスの圧力を１０１３００［Ｐａ］とする。なお、第１〜第３の中央障害板６１，６２，６３及び１対の第１及び第２の側部障害板７１，７２の板厚を１［ｍｍ］、円弧形側部ガイド６５及び円弧形中央ガイド６６における半径を２［ｍｍ］、板厚を０．１［ｍｍ］、側部縁部突条６７及び中央縁部突条６８の半径を１［ｍｍ］、側部縁部膨出部７３及び中央縁部膨出部７４の半径を１［ｍｍ］とした。

［実験結果］
図１４及び図１５に各消音器１０，１０Ｗ，１０Ｘ，１０Ｙの圧力分布を等高線によって示す。なお、図１４及び図１５に記載の数値は、計測地点の圧力から下流側の消音器１０，１０Ｗ，１０Ｘ，１０Ｙから流出するガスの圧力（１０１３００［Ｐａ］）を引いたゲージ圧、即ち、差圧が示されている。これにより、消音器１０に流入する際のガスの圧力は、ゲージ圧で４６５０［Ｐａ］であるのに対して、消音器１０Ｗ，１０Ｘ，１０Ｙでは、消音器１０に比べて消音器１０Ｗ，１０Ｘ，１０Ｙに流入する際のゲージ圧を小さくすることができ、ガスの圧力損失を抑えることができたことが確認できた。特に、消音器１０Ｗでは、消音筒１１に流入する際のガスの圧力をゲージ圧で２３５０［Ｐａ］とすることができ、圧力損失を最も抑えることができることが確認できた。図１６及び図１７に各消音器１０，１０Ｗ，１０Ｘ，１０Ｙの流速分布を色の濃淡によって示す。また、図１８及び図１９に各消音器１０，１０Ｗ，１０Ｘ，１０Ｙの流線を示す。これらにより、消音器１０Ｗ，１０Ｘ，１０Ｙにおいて、流路の屈曲によって発生した偏流を流路の幅方向の中心へ移動させることができることが確認できた。

［他の実施形態］
本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下に説明するような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。

（１）上記第１〜第７実施形態では、超音波流量計８０の上流側及び下流側の両方に減圧弁９１，９２が設けられて、超音波流量計８０の上流側及び下流側の両方に消音器１０，１０Ｖ，１０Ｗ，１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ，１１０（消音筒１１，１１１）が直接接続されていたが、本発明はこれに限るものではない。例えば、超音波ノイズを発生し得る減圧弁やガス器具が超音波流量計８０の上流側及び下流側の何れか一方にだけ設けられている場合には、それら減圧弁やガス器具が設けられた上流側又は下流側にだけ消音器１０，１０Ｖ，１０Ｗ，１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ，１１０を設けた構成であってもよい。また、超音波流量計８０（計測管８１）と消音器１０，１０Ｖ，１０Ｗ，１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ，１１０（消音筒１１，１１０）とが直接接続されていたが、超音波流量計８０と消音器１０，１０Ｖ，１０Ｗ，１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ，１１０とがパイプ９０を間に挟んで間接的に接続されていてもよい。

（２）さらに、消音器１０，１０Ｖ，１０Ｗ，１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ，１１０（消音筒１１，１１１）と超音波流量計８０（計測管８１）とが一体になった構成であってもよい。具体的には、例えば、消音筒１１，１１１が計測管８１に兼用されていて消音筒１１，１１１内に１対の超音波センサ８２，８２を内蔵した構成、或いは、計測管８１が消音筒１１，１１１に兼用されていて計測管８１内に複数の障害壁６０，１６０を備えた構成であってもよい。

ここで、上記第１〜第７実施形態で説明した消音器１０，１０Ｖ，１０Ｗ，１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ，１１０を備えている本発明の「消音器付超音波流量計１００」において、超音波流量計８０として機能する部分の構成は特に限定するものではない。例えば、上記第１実施形態のように、１対の超音波センサ８２，８２をガスの流れに対して斜めに交差する方向で対向配置してもよいし、計測管８１の内面で超音波を反射させて送受波するように配置してもよいし、図２０に示すように、ガスの流れと平行な方向で対向配置してもよい。なお、図２０に図示された消音器付超音波流量計１００において、超音波流量計８０は、消音器１０の消音筒１１に接続され、メーターケース８３内に収容されて内側にガスが流れる計測管８１と、その計測管８１の両端部の開口に対して離して配置されて計測管８１の内側領域を挟んで互いに対向した１対の超音波センサ８２，８２とを備え（例えば、特開２００６−３３７０５９号公報を参照）、さらに、各超音波センサ８２，８２における送受波面の裏側に、ガスの流れを整えるための円錐形又は角錐形の整流部８４，８４を備えた構成となっている。また、図１５に示した消音器付超音波流量計１００では、超音波流量計８０の上流側にだけ消音器１０を備えているが、超音波流量計８０の下流側だけ又は、上流側と下流側の両方に消音器１０を備えていてもよい

（３）上記第１〜第６実施形態では、境界開口１２が円形をなし、その境界開口１２の開口縁に円筒形状をなしたノイズ導入部１７が設けられていたが、本願発明はこれに限るものではない。具体的には、例えば、境界開口１２が消音筒１１の内側の断面形状である四角形の縦横の一方の辺と同じ幅で、他方が一方の辺より小さい四角形をなし、ノイズ導入部１７が、その先端部から基端部に向かって内部断面積を一定に維持しながら、内部の断面形状が円形から四角形に除変された筒形状であってもよい。

（４）上記第６実施形態では、上記第２実施形態と上記第５実施形態とを組み合わせた構成を示したが、上記第２実施形態と上記第３，４実施形態の何れかとを組み合わせた構成であってもよい。

（５）上記第１〜第７実施形態において、消音筒１１，１１１の内面や障害壁６０，１６０を、不織布、グラスウール、発泡樹脂等の吸音材で覆った構成としてもよい。

（６）上記第１〜第７実施形態において、障害壁６０，１６０の数は、特に限定するものではなく、第１中央障害板６１又は中央板１６１と、１対の側部障害板７１，７１又は外側板１７１とを少なくとも１つずつ備えていればよい。この場合において、障害壁６０，１６０の数は、例えば超音波ノイズの強さに応じてそれぞれ任意に設定すればよい。

（７）上記第７実施形態では、第１支軸１２２が、中央板１６１の外周部を周方向に２等分する位置に設けられていたが、３つ以上に等分する位置に設けられてもよい。

（８）上記第７実施形態では、第１支軸１２２及び第２支軸１２３の軸方向の一端部に突部、他端部に凹部を設けた構成であったが、第１支軸１２２の両端部に突部を設けて第２支軸１２３の両端部に凹部を設けた構成であってもよいし、第１支軸の両端部に凹部を設けて第１支軸の両端部に突部を設けた構成であってもよい。

（９）上記第７実施形態の側部連通溝１７３Ｍ及び中央連通溝１７４Ｍを、第４実施形態の側部縁部突条６７及び中央縁部突条６８に適用してもよいし、第５実施形態の側部縁部膨出部７３及び中央縁部膨出部７４に適用してもよい。即ち、第４実施形態において、側部縁部突条６７を横切って側部開口６１Ａ〜６３Ａに連通する側部連通溝を設けると共に、中央縁部突条６８を横切って中央開口７１Ａ，７２Ａに連通する中央連通溝を設けた構成としてもよいし、第５実施形態において、側部縁部膨出部７３を横切って側部開口６１Ａ〜６３Ａに連通する側部連通溝を設けると共に、中央縁部膨出部７４を横切って中央開口７１Ａ，７２Ａと連通する中央連通溝を設けた構成としてもよい。

（１０）上記第７実施形態において、外側縁部膨出部１７３及び中央縁部膨出部１７４の代わりに、中央板１６１の側部開口１６１Ａ側の開口縁及び外側板１７１の中央開口１７１Ａ側の開口縁に沿って縁部突条を突出形成した構成としてもよい。

（１１）上記第７実施形態において、連通溝とリブを設けない構成としてもよい。なお、この構成からさらに支柱１２１（第１支軸１２２及び第２支軸１２３）を取り除いたものについて、上述したシミュレーションによる実験と同様のシミュレーション実験を行ったところ、消音器１０に比べて、ガスの圧力損失を抑えることができ、流路の屈曲によって発生した偏流を流路の幅方向の中心へ移動させることができることが確認できた。

（１２）上記第７実施形態では、複数の障害壁１６０（中央板１６１と外側板１７１）が消音筒１１１の軸方向に沿って等間隔に配置されていたが、障害壁１６０同士の間隔は異なっていてもよい。

（１３）上記第７実施形態では、隣接する障害壁１６０（中央板１６１と外側板１７１）同士の間隔が、境界壁１１１Ｋに最も近い中央板１６１と境界壁１１１Ｋとの間隔と同じになっていたが、異なっていてもよい。

（１４）上記第７実施形態では、板材積層体１２０を境界壁１１１Ｋに螺合していたが、境界壁１１１Ｋ或いは消音筒１１１の内側面に接着剤で固定してもよい。

１０，１０Ｖ，１０Ｗ，１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ，１１０ 消音器
１１，１１１ 消音筒
１１Ｋ，１１１Ｋ 境界壁
１２，１１２ 境界開口
１７，１１７ ノイズ導入筒（パイプ接続部）
６１ 第１中央障害板（中央障害板）
６１Ａ 側部開口
７１，７１Ｃ，７１Ｄ 第１側部障害板（外側障害板）
７１Ａ 中央開口
６５ 円弧形側部ガイド
６６ 円弧形中央ガイド
６７ 側部縁部突条（縁部突条）
６８ 中央縁部突条（縁部突条）
７３ 側部縁部膨出部（縁部膨出部）
７４，１７４ 中央縁部膨出部（縁部膨出部）
８０ 超音波流量計
９０ パイプ
１００ 消音器付超音波流量計
１２１Ａ 第１支柱（支柱）
１２１Ｂ 第２支柱（支柱）
１２６Ａ 螺旋孔
１６１ 中央板（中央障害板、追加中央障害板）
１７１ 外側板（外側障害板、追加外側障害板）
１７３ 外側縁部膨出部（縁部膨出部）
１７３Ｍ 側部連通溝
１７４Ｍ 中央連通溝
１７５ 中央リブ
１７６ 外側リブ
Ｂ ボルト

Claims (16)

1. 流体が流れるパイプの途中に超音波流量計と直列に並べて接続される消音筒を備え、前記消音筒内に前記流体を通過させてその流体を伝搬する騒音を軽減させる消音器において、
   前記消音筒のうち前記超音波流量計と反対側の端部に配置されて前記消音筒の軸方向と直交する境界壁と、
   前記境界壁に貫通形成されて前記消音筒の内部断面積よりも開口面積が小さな境界開口と、
   前記境界壁の外面のうち前記境界開口の縁部に形成されて前記消音筒を前記パイプに接続するためのパイプ接続部と、
   前記消音筒の内側に設けられて、前記境界壁と平行な板状をなして前記境界開口と対向し、その境界開口全体を投影可能な大きさをなすと共に、前記消音筒の内側面との間に１対の側部開口を形成する中央障害板と、
   前記境界壁と平行な板状をなして、前記側部開口に対して前記境界壁と反対側から対向しかつその側部開口全体を投影可能な大きさをなし、前記中央障害板と対向した中央開口を有する外側障害板とを備え、
   前記消音筒の内側断面形状は、四角形であり、
   前記中央障害板は、前記消音筒の内側面に架け渡されて、前記消音筒の断面形状である四角形の縦横の一方の辺と同じ幅で、他方の辺より小さい四角形をなすと共に、四角形の前記側部開口を１対形成し、
   前記外側障害板は、四角形をなして１対の前記側部開口それぞれに対向配置された１対の側部障害板で構成され、
   前記消音筒のうち前記中央障害板が架け渡された１対の内側面の対向方向から見た前記境界壁と前記中央障害板との間隔をＨ１、前記中央障害板と前記側部障害板との間隔をＨ２、一方の前記側部開口の開口幅をＨ３、他方の前記側部開口の開口幅をＨ４、前記中央開口の開口幅をＨ５とすると共に、前記中央障害板が架け渡された１対の内側面の間隔をＬとし、前記境界開口の開口面積をＳ１とした場合に、
   Ｓ１＝２・Ｌ・Ｈ１＝２・Ｌ・Ｈ２＝Ｌ・（Ｈ３＋Ｈ４）＝Ｌ・Ｈ５
   になっていることを特徴とする消音器。
2. 前記境界開口は、円形であることを特徴とする請求項１に記載の消音器。
3. 前記境界開口は、前記消音筒の内側の断面形状である四角形の縦横の一方の辺と同じ幅で、他方の辺より小さい四角形をなし、
   前記パイプ接続部は、前記境界壁の外面から突出した筒状をなしかつその基端部の内側の断面形状が前記境界開口と同じ四角形をなすと共に、先端部の内側の断面形状が円形をなし、先端部から基端部に向かって内部断面積を一定に維持しながら内側の断面形状が円形から四角形に徐変していることを特徴とする請求項１に記載の消音器。
4. 前記消音筒のうち前記中央障害板が架け渡された１対の内側面の対向方向から見て、前記境界開口から一方の前記側部開口を通過して前記中央開口に至るまでの第１流路の幅方向の中心における超音波の伝搬距離と、前記境界開口から他方の前記側部開口を通過して前記中央開口に至るまでの第２流路の幅方向の中心における超音波の伝搬距離とを、超音波の半波長の奇数倍だけ異ならせたことを特徴とする請求項１乃至３の何れか１の請求項に記載の消音器。
5. 流体が流れるパイプの途中に超音波流量計と直列に並べて接続される消音筒を備え、前記消音筒内に前記流体を通過させてその流体を伝搬する騒音を軽減させる消音器において、
   前記消音筒のうち前記超音波流量計と反対側の端部に配置されて前記消音筒の軸方向と直交する境界壁と、
   前記境界壁に貫通形成されて前記消音筒の内部断面積よりも開口面積が小さな境界開口と、
   前記境界壁の外面のうち前記境界開口の縁部に形成されて前記消音筒を前記パイプに接続するためのパイプ接続部と、
   前記消音筒の内側に設けられて、前記境界壁と平行な板状をなして前記境界開口と対向し、その境界開口全体を投影可能な大きさをなすと共に、前記消音筒の内側面との間に１対の側部開口又は環状の側部開口を形成する中央障害板と、
   前記境界壁と平行な板状をなして、前記側部開口に対して前記境界壁と反対側から対向しかつその側部開口全体を投影可能な大きさをなし、前記中央障害板と対向した中央開口を有する外側障害板とを備え、
   前記中央障害板には、前記消音筒の軸方向に延び、且つ、内側に第１貫通孔を有する第１支軸が一体に形成されると共に、
   前記外側障害板には、前記消音筒の軸方向に延び、且つ、内側に第２貫通孔を有する第２支軸が一体に形成され、
   前記第１支軸は、前記境界壁に突き当てられると共に、前記第２支軸は、前記第１支軸に突き当てられ、且つ、前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とは互いに連通し、
   前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とに挿通されて、前記境界壁のうち前記第１支軸の延長線上に設けられた雌螺子孔と螺合するボルトをさらに備えていることを特徴とする消音器。
6. 前記中央障害板と同一形状をなし、前記外側障害板に対して前記中央障害板と反対側に対向配置された追加中央障害板と、
   前記外側障害板と同一形状をなし、前記追加中央障害板に対して前記外側障害板と反対側に対向配置された追加外側障害板と、を備えて、
   前記追加中央障害板の前記第１支軸は、前記外側障害板の前記第２支軸に突き当てられると共に、前記追加外側障害板の前記第２支軸は、前記追加中央障害板の前記第１支軸に突き当てられ、
   前記ボルトは、前記中央障害板と前記追加中央障害板のそれぞれに形成された前記第１支軸の前記第１貫通孔と、前記外側障害板と前記追加外側障害板のそれぞれに形成された前記第２支軸の前記第２貫通孔とに挿通されていることを特徴とする請求項５に記載の消音器。
7. 前記中央障害板と前記追加中央障害板の前記第１支軸は、前記消音筒の軸方向の一方側の端部に、段付き状に縮径されてなる第１係合突部を備えると共に、他方側の端部に、前記第１貫通孔が拡径されてなる第１受容凹部を備え、
   前記外側障害板と前記追加外側障害板の前記第２支軸は、前記消音筒の軸方向の一方側の端部に、段付き状に縮径されてなる第２係合突部を備えると共に、他方側の端部に、前記第２貫通孔が拡径されてなる第２受容凹部を備え、
   前記第１支軸の前記第１係合突部は、その第１支軸に対して前記消音筒の軸方向の一方側から隣接する前記第２支軸の前記第２受容凹部と凹凸係合し、前記第２支軸の前記第２係合突部は、その第２支軸に対して前記消音筒の軸方向の一方側から隣接する前記第１支軸の前記第１受容凹部と凹凸係合していることを特徴とする請求項６に記載の消音器。
8. 前記境界壁には、前記第１支軸と係合して前記中央障害板を位置決めする板材取付部が形成されていることを特徴とする請求項５乃至７の何れか１の請求項に記載の消音器。
9. 前記中央障害板における前記側部開口側の開口縁と、前記外側障害板における前記中央開口側の開口縁とに沿って突出形成された縁部突条か、それら開口縁を膨出させた縁部膨出部かの何れかを備えたことを特徴とする請求項１乃至８の何れか１の請求項に記載の消音器。
10. 流体が流れるパイプの途中に超音波流量計と直列に並べて接続される消音筒を備え、前記消音筒内に前記流体を通過させてその流体を伝搬する騒音を軽減させる消音器において、
    前記消音筒のうち前記超音波流量計と反対側の端部に配置されて前記消音筒の軸方向と直交する境界壁と、
    前記境界壁に貫通形成されて前記消音筒の内部断面積よりも開口面積が小さな境界開口と、
    前記境界壁の外面のうち前記境界開口の縁部に形成されて前記消音筒を前記パイプに接続するためのパイプ接続部と、
    前記消音筒の内側に設けられて、前記境界壁と平行な板状をなして前記境界開口と対向し、その境界開口全体を投影可能な大きさをなすと共に、前記消音筒の内側面との間に１対の側部開口又は環状の側部開口を形成する中央障害板と、
    前記境界壁と平行な板状をなして、前記側部開口に対して前記境界壁と反対側から対向しかつその側部開口全体を投影可能な大きさをなし、前記中央障害板と対向した中央開口を有する外側障害板とを備え、
    前記中央障害板における前記側部開口側の開口縁と、前記外側障害板における前記中央開口側の開口縁とに沿って突出形成された縁部突条か、それら開口縁を膨出させた縁部膨出部かの何れかを備えたことを特徴とする消音器。
11. 前記中央障害板に形成された前記縁部突条又は前記縁部膨出部を幅方向に横切って前記側部開口に連通した側部連通溝と、
    前記外側障害板に形成された前記縁部突条又は前記縁部膨出部を幅方向に横切って前記中央開口に連通した中央連通溝とを備えたことを特徴とする請求項９又は１０に記載の消音器。
12. 前記中央障害板及び前記外側障害板には、前記縁部突条又は前記縁部膨出部と交差したリブが突出形成されたことを特徴とする請求項９乃至１１のうち何れか１の請求項に記載の消音器。
13. 前記縁部突条は、断面多角形又は断面半円形であることを特徴とする請求項９乃至１２のうち何れか１の請求項に記載の消音器。
14. 前記縁部膨出部は、断面多角形又は断面円形であることを特徴とする請求項９乃至１２のうち何れか１の請求項に記載の消音器。
15. 各前記側部開口の内部で、前記中央障害板と平行になって前記消音筒の内側面に架け渡され、前記中央障害板が架け渡された１対の内側面の対向方向から見た断面形状が、前記中央障害板の縁部を中心として湾曲した円弧状をなした１対の円弧形側部ガイドと、
    前記中央開口の内部で、前記１対の側部障害板と平行になって前記消音筒の内側面に架け渡され、前記側部障害板が架け渡された１対の内側面の対向方向から見た断面形状が、各前記側部障害板の縁部を中心として湾曲した円弧状をなした１対の円弧形中央ガイドとを備えたことを特徴とする請求項１乃至４の何れか１の請求項に記載の消音器。
16. 請求項１乃至１５の何れか１の請求項に記載の消音器を備えたことを特徴とする消音器付超音波流量計。