JP5969808B2

JP5969808B2 - 顕微鏡装置

Info

Publication number: JP5969808B2
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Inventors: 北原　章広; 章広北原; 庄太武永
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Description

本発明は、顕微鏡装置に関する。

現在、微細な試料を拡大して観察することができ、観察像を写真あるいはビデオ画像として記録することができる顕微鏡装置は、生物系分野や工業系分野などの幅広い分野で利用されている。このような顕微鏡装置は、工業系分野では、例えば、金属組成の観察や、半導体素子あるいはＬＣＤ（液晶ディスプレイ）の製造工程において検査装置として用いられている。

顕微鏡装置は、上述した多様な分野で利用されるため、各部がユニット化されていることが多く、該ユニットの組み合わせにより様々な用途に用いられることが可能となっている。

前記ユニットの中には、たとえば、電動ステージなど、可動部が電動化されているものがあり、電動ステージ以外にも電動可動部を有するユニットは増えてきているが、依然として手動の可動部を有するユニットも多く存在している。

顕微鏡装置において、可動部の操作を不用意に行うと他のユニット等と物理的干渉を起こすことがある。電動可動部は簡単な操作で動作させることができる反面、防止策を施さなければ物理的干渉を起こすような状態においても、指示通りの動作を行ってしまう。特に、倒立顕微鏡においては、ステージの開口部に対物レンズが潜り込むように挿入されるため使用者が干渉の有無を判断し難く、電動レボルバの切り替え操作を不用意に行うと、対物レンズと試料またはステージとが物理的干渉を起こし、試料または対物レンズを破壊してしまうおそれがある。

このような問題に対して、例えば、対物レンズの回転軌跡を演算し、該回転軌跡情報と、取得した焦準部およびステージの位置情報とに基づき、干渉の有無を判定し、干渉が起こる場合は、警告音を出したり、焦準部またはステージの位置を退避させた後に電動レボルバを回転させる技術が開示されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００７−２８６４４０号公報

しかしながら、焦準部およびステージの位置情報を取得するため、該位置情報を取得する構成が必要になる。また、対物レンズの回転軌跡を操作の度に演算する必要があり、制御も複雑になる。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、簡単な構成と制御により、電動可動部が動作した際の該電動可動部と他のユニットとの物理的干渉を防止できる顕微鏡装置を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の顕微鏡装置は、試料を載置するステージと、複数の対物レンズを保持し、該対物レンズを観察光軸上に電動で挿脱する電動レボルバと、焦準ハンドルとを有する顕微鏡装置において、前記電動レボルバの動作指示を入力する入力部と、使用者が前記焦準ハンドルを手動により回転することにより前記ステージと前記対物レンズとの間の相対的な距離を調節する手動焦準部と、前記電動レボルバの動作を制御する動作制御手段と、前記対物レンズと前記ステージとが所定の間隔以上離れた場合であって前記電動レボルバが動作可能な状態と、所定の間隔未満の場合であって前記電動レボルバが動作不可能な状態とを切り替える切替手段と、使用者が前記焦準ハンドルを手動により回転することにより前記手動焦準部を降下させて前記電動レボルバが動作可能な状態に切り替えられない場合、前記入力部により動作指示が入力されても前記動作制御手段に制御信号を出力しないよう規制する規制手段と、を備え、前記電動レボルバは前記手動焦準部に着脱可能な形で配置され、前記切替手段は前記電動レボルバに配置された物理的スイッチであることを特徴とする。

また、本発明の顕微鏡装置は、上記発明において、前記規制手段による前記動作制御手段への動作信号の出力規制は、選択的に解除可能であることを特徴とする。

また、本発明の顕微鏡装置は、上記発明において、前記入力部による前記電動レボルバへの動作指示を記憶する記憶部を備え、前記記憶部は、前記規制手段が前記動作制御手段への制御信号の出力を規制する際、前記動作指示を記憶し、前記規制手段は、前記制御信号の出力規制の解除後、前記記憶部が記憶する動作指示を取得し、該動作指示に基づき前記動作制御手段に制御信号を出力することを特徴とする。

また、本発明の顕微鏡装置は、上記発明において、前記顕微鏡装置は、倒立顕微鏡装置であることを特徴とする。

また、本発明の顕微鏡装置は、上記発明において、前記手動焦準部の可動範囲の下限が、前記切替手段による前記電動レボルバの動作可能な状態への切替位置であることを特徴とする。

また、本発明の顕微鏡装置は、上記発明において、前記切替手段は、前記電動レボルバの下部に配置されたマイクロスイッチであることを特徴とする。

本発明にかかる顕微鏡装置は、電動可動部が動作可能な状態と動作不可能な状態を切り替える切り替え手段によって電動可動部への駆動信号の出力の可否を判断するため、簡単な構成でステージと対物レンズとの干渉を防止できるという効果を奏する。

図１は、本発明の実施の形態１にかかる倒立顕微鏡装置の概略構成を示す図である。図２は、図１の倒立顕微鏡装置においてレボルバの切り替え説明する図である。図３は、本発明の実施の形態１にかかる対物レンズの切替動作の手順を示すフローチャートである。図４は、図１の倒立顕微鏡装置において対物レンズとステージとの干渉を説明する図である。図５は、図１の倒立顕微鏡装置において対物レンズとステージとの干渉を説明する図である。図６は、本発明の実施の形態１の変形例１にかかる対物レンズの切替動作の手順を示すフローチャートである。図７は、本発明の実施の形態１の変形例２にかかる倒立顕微鏡装置の概略構成を示す図である。図８は、本発明の実施の形態１の変形例２にかかる対物レンズの切替動作の手順を示すフローチャートである。図９は、図８の割り込み処理を示すフローチャートである。図１０は、本発明の実施の形態２にかかる倒立顕微鏡装置の概略構成を示す図である。図１１は、本発明の実施の形態２の電動ステージの原点復帰動作の手順を示すフローチャートである。図１２は、本発明の実施の形態２の変形例１にかかる電動ステージの原点復帰動作の手順を示すフローチャートである。図１３は、本発明の実施の形態２の変形例２にかかる倒立顕微鏡装置の概略構成を示す図である。図１４は、本発明の実施の形態３にかかる倒立顕微鏡装置の概略構成を示す一部断面図である。図１５は、図１４の倒立顕微鏡装置のスイッチの切り替え状態を示す一部断面図である。図１６は、本発明の実施の形態３の変形例にかかる倒立顕微鏡装置の概略構成を示す一部断面図である。

以下に、本発明にかかる顕微鏡装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１にかかる倒立顕微鏡装置の概略構成を示す図である。倒立顕微鏡装置は、顕微鏡本体部１と、試料２を載置するステージ３と、複数の対物レンズ４を保持し、選択された対物レンズ４を観察光軸上に電動で挿脱する電動レボルバ５と、電動レボルバ５を支持し、試料２（ステージ３）と対物レンズ４との距離を調節する手動焦準部６と、を備える。

手動焦準部６には、図示しないボルト等の締結手段により電動レボルバ５が固定される。使用者が焦準ハンドル９を回転することにより、手動焦準部６を昇降して、試料２と対物レンズ４との距離を調節する。本実施の形態１の倒立顕微鏡装置は、電動レボルバ５と手動焦準部６とを備えるものであるが、図２に示すように、電動レボルバ５は手動レボルバ５Ａと着脱可能である。なお、本明細書において「着脱可能」とは、観察方法に応じて使用者が電動レボルバ５と手動レボルバ５Ａとを取替え可能な場合のほか、電動レボルバ５が取り外し不可能な態様で取り付けられている倒立顕微鏡装置であっても、手動焦準部６を有し、かつ、手動レボルバ５Ａのユニットを取り付け可能な構成のものを含むものとする。

ステージ３は、図示しないボルト等の締結手段により顕微鏡本体部１に固定されている。ステージ３は、下板１０、中板１１および上板１２からなり、下板１０、中板１１および上板１２は、それぞれ大きさの異なる開口部１０ａ、１１ａおよび１２ａを有している。対物レンズ４は、開口部１０ａ、１１ａおよび１２ａ内に挿入されて試料２との距離が調整される。本実施の形態１のステージ３は、手動、電動を問わず使用可能であり、所定範囲の大きさであれば大きさの異なるものも顕微鏡本体部１に取り付けて使用することができる。

電動レボルバ５は、切替手段としてのマイクロスイッチ１３を有する。マイクロスイッチ１３は、機械式スイッチであり、電動レボルバ５の下面に配設されている。また、顕微鏡本体部１には、マイクロスイッチ１３と対向する位置に凸部１４が設けられている。焦準ハンドル９の回転により手動焦準部６が降下されると、凸部１４によりマイクロスイッチ１３が押圧される。また、凸部１４をなくして、マイクロスイッチ１３を凸状としてもよい。さらに、顕微鏡本体部１にマイクロスイッチ１３を凸状に形成し、電動レボルバ５の降下によりマイクロスイッチ１３を押圧する構成としてもよい。なお、切替手段としては、マイクロスイッチ１３のほか、フォトインタラプタや、静電容量センサなどを用いることも可能である。

レボルバ動作制御部７は、電動レボルバ５の駆動を制御する。後述する入力部１５を介して使用者により電動レボルバ５が保持する対物レンズ４が選択されると、レボルバ動作制御部７は、選択された対物レンズ４が試料２の下部に挿入されるように電動レボルバ５を駆動制御する。レボルバ動作制御部７は、電動レボルバ５に内蔵されるほか、後述するコントローラ８と一体形成されていてもよい。

コントローラ８は、レボルバ動作制御部７、入力部１５、および出力部１６と接続される。本実施の形態１において、コントローラ８は、規制手段として機能する。コントローラ８は、マイクロスイッチ１３が押圧されていない場合は、後述する入力部１５により対物レンズ４の選択がされた場合であっても、該対物レンズ４の選択情報をレボルバ動作制御部７へ送信することを規制する。コントローラ８として、ＰＣを使用することも可能である。なお、コントローラ８によるレボルバ動作制御部７への対物レンズ４の切替規制は、選択的に解除可能とする。これにより使用者の利便性が向上する。

入力部１５は、電動レボルバ５が保持する対物レンズ４の選択入力が可能な構成となっている。選択入力は、たとえば、機械的なスイッチや、タッチパネルなどにより行うことができる。本実施の形態１において、選択入力とは、使用したい対物レンズを直接選択する場合や、現在の対物レンズの位置から右又は左に何回転させる等の指示を与えるものであってもよい。

出力部１６は、選択されている対物レンズ４の種類または電動レボルバ５の穴番号を出力するのに加え、入力部１５により選択された対物レンズ４とステージ３との物理的干渉の有無を出力する。出力部１６は、たとえば、ＬＥＤやディスプレイが例示される。物理的干渉の有無を出力する場合は、ブザーも使用可能である。また、ＬＥＤとブザー等複数使用してもよい。

続いて、本発明の実施の形態１にかかる倒立顕微鏡装置における対物レンズ４の切替動作について図を参照して説明する。図３は、本発明の実施の形態１の対物レンズ４の切替動作の手順を示すフローチャートである。図４および図５は、図１の倒立顕微鏡装置において対物レンズ４とステージ３との干渉を説明する図である。

図３に示すように、使用者が試料２の観察に使用する対物レンズ４を切り替える場合、入力部１５により選択する対物レンズ４の入力を行う（ステップＳ１０１）。

ステップＳ１０１において対物レンズ４の選択入力がなされた後、コントローラ８は、対物レンズ４の切替規制の有無を判断する（ステップＳ１０２）。対物レンズ４の切替規制がない場合（ステップＳ１０２、Ｎｏ）、コントローラ８は、レボルバ動作制御部７にステップＳ１０１で選択された対物レンズ４の選択情報を送信し（ステップＳ１０３）、対物レンズ選択情報を受信したレボルバ動作制御部７は、選択された対物レンズ４を試料２の下部に挿入するよう電動レボルバ５を動作制御して、対物レンズ４を切り替える（ステップＳ１０４）。

対物レンズ４の切替規制がある場合（ステップＳ１０２、Ｙｅｓ）、コントローラ８は、マイクロスイッチ１３が押圧されているか否かを判定する（ステップＳ１０５）。

マイクロスイッチ１３が押圧されていない場合（ステップＳ１０５、Ｎｏ）、試料２の下部に挿入された対物レンズ４とステージ３とが所定の間隔未満の状態であり、電動レボルバ５が動作不可能な状態と判断され、対物レンズ４の切替動作を終了する。対物レンズ４とステージ３とが所定の間隔未満の状態で電動レボルバ５を動作すると、図４に点線で示す、対物レンズ４の回転軌跡２０から対物レンズ４とステージ３とは物理的干渉を起こすため、コントローラ８は対物レンズ４の切替動作を終了する。

マイクロスイッチ１３が押圧されると（ステップＳ１０５、Ｙｅｓ）、試料２の下部に挿入された対物レンズ４とステージ３とが所定の間隔以上離れた状態となり、電動レボルバ５が動作可能な状態と判断され、コントローラ８は、対物レンズ４の選択情報を送信し（ステップＳ１０３）、対物レンズ選択情報を受信したレボルバ動作制御部７により対物レンズ４の切替が行われる（ステップＳ１０４）。

本実施の形態１において、コントローラ８が規制手段として機能するが、レボルバ動作制御部７を規制手段とすることも可能である。

本実施の形態１では、マイクロスイッチ１３を用いて電動レボルバ５の動作が可能か否かの状態を切替えるため、対物レンズ４の回転軌跡を計算する等の複雑な処理を行わずに、簡単な構成で、対物レンズ４の切替動作時に対物レンズ４とステージ３との物理的干渉を防止することができる。

また、本実施の形態１では、電動レボルバ５と手動レボルバ５Ａとが着脱可能であるため、手動レボルバ５Ａを備えた倒立顕微鏡装置において電動レボルバ５への切替を可能とする。これにより、手動顕微鏡において、一部を電動駆動にアップグレードすることが可能になる。また、電動レボルバ５と手動レボルバ５Ａとを適宜切り替えながら使用したい場合に好適である。

実施の形態１において、倒立顕微鏡装置を例として説明したが、正立顕微鏡装置においても適用可能である。倒立顕微鏡装置では、手動焦準部６の可動範囲が狭いため、マイクロスイッチ１３による電動可動部の動作の可否の切替を、手動焦準部６の可動範囲の最下限で行った場合であっても、手動焦準部６の移動量を大きくする必要がなく、対物レンズ４の切替動作に要する時間を短縮することができるため好適である。

また、本実施の形態１において、マイクロスイッチ１３が押圧されていない場合、出力部１６により対物レンズ４とステージ３との干渉を通知してもよい。図６は、本発明の実施の形態１の変形例１にかかる対物レンズ４の切替動作の手順を示すフローチャートである。

変形例１では、ステップＳ２０１〜ステップＳ２０４は、実施の形態１のステップＳ１０１〜ステップＳ１０４と同様に処理する。対物レンズ４の切替規制がある場合（ステップＳ２０２、Ｙｅｓ）、コントローラ８は、マイクロスイッチ１３が押圧されているか否かを判定し（ステップＳ２０５）、マイクロスイッチ１３が押圧されていない場合（ステップＳ２０５、Ｎｏ）、出力部１６により対物レンズ４とステージ３との干渉の可能性を通知する（ステップＳ２０６）。

マイクロスイッチ１３が押圧されている場合（ステップＳ２０５、Ｙｅｓ）、コントローラ８は、対物レンズ４の選択情報を送信し（ステップＳ２０３）、対物レンズ選択情報を受信したレボルバ動作制御部７により対物レンズ４の切替が行われる（ステップＳ２０４）。

さらに、本実施の形態１の変形例２として、図７に示す倒立顕微鏡装置を例示することができる。変形例２にかかる倒立顕微鏡装置は、入力部１５による対物レンズ４の選択指示を記憶する記憶部１７を備える点で実施の形態１と異なる。

本発明の実施の形態１の変形例にかかる対物レンズ４の切替動作について図を参照して説明する。図８は、本発明の実施の形態１の変形例２の対物レンズ４の切替動作の手順を示すフローチャートである。

図８に示すように、入力部１５により対物レンズ４の選択がされると（ステップＳ３０１）、コントローラ８は、対物レンズ４の切替規制の有無を判断し（ステップＳ３０２）、対物レンズ４の切替規制がない場合（ステップＳ３０２、Ｎｏ）、コントローラ８は、対物レンズ４の選択情報を送信し（ステップＳ３０３）、レボルバ動作制御部７は対物レンズ４を切り替える（ステップＳ３０４）。

対物レンズ４の切替規制がある場合（ステップＳ３０２、Ｙｅｓ）、コントローラ８は、マイクロスイッチ１３が押圧されているか否かを判定し（ステップＳ３０５）、マイクロスイッチ１３が押圧されている場合（ステップＳ２０５、Ｙｅｓ）、取得した対物レンズ４の選択情報を送信して（ステップＳ２０３）、対物レンズ選択情報を受信したレボルバ動作制御部７により対物レンズ４の切替が行われる（ステップＳ２０４）。

マイクロスイッチ１３が押圧されていない場合（ステップＳ３０５、Ｎｏ）、ステップＳ３０１の対物レンズ４の選択情報が記憶部１７に記憶され（ステップＳ３０６）、割り込み処理を有効とする（ステップＳ３０７）。

ステップＳ３０７の割り込み処理は、図９に示すものであり、コントローラ８は、マイクロスイッチ１３が押圧されているか否かを判定し（ステップＳ４０１）、マイクロスイッチ１３が押圧されている場合（ステップＳ４０１、Ｙｅｓ）、記憶部１７から対物レンズの選択情報を読み込み（ステップＳ４０２）、読み込んだ対物レンズ選択情報をレボルバ動作制御部７に送信する（ステップＳ４０３）。対物レンズ選択情報を受信したレボルバ動作制御部７は対物レンズ４を切り替え（ステップＳ４０４）、割り込みを無効とする（ステップＳ４０５）。

マイクロスイッチ１３が押圧されていない場合（ステップＳ４０１、Ｎｏ）、割り込み処理を終了する。

実施の形態１の変形例２では、対物レンズ４の選択情報の送信が規制された場合であっても、再度対物レンズ４を選択入力する必要がなく、対物レンズ４の切替動作に要する時間をさらに短縮することができる。なお、対物レンズ４の選択情報が複数回入力されるような場合、記憶部１７に記憶する対物レンズ４の選択情報としては、最初に選択された対物レンズ４の選択情報であってもよいし、記憶部１７が対物レンズ選択情報を複数記憶できるものであれば、最後に選択された対物レンズ４の選択情報を送信するものとしてもよい。

（実施の形態２）
図１０は、本発明の実施の形態２にかかる倒立顕微鏡装置の概略構成を示す図である。本発明の実施の形態２のステージは電動ステージ３Ａであり、電動ステージ３Ａは、ステージ動作制御部１８を介して、コントローラ８と接続されている。

電動ステージ３Ａは、入力部１５を介して使用者により原点復帰動作が入力されると、電動レボルバ５と電動ステージ３Ａの位置によっては、試料２の下部に挿入された対物レンズ４と電動ステージ３Ａとの間で物理的干渉を起こしてしまうことがある。

したがって、本実施の形態２では、マイクロスイッチ１３により、対物レンズ４と電動ステージ３Ａとが所定の間隔以上離れた場合であって、電動ステージ３Ａが動作可能な状態と、対物レンズ４と電動ステージ３Ａとが所定の間隔未満の場合であって、電動ステージ３Ａが動作不可能な状態とを切り替える。マイクロスイッチ１３が押圧されていない、すなわち、電動ステージ３Ａが動作不可能な状態である場合には、コントローラ８は、電動ステージ３Ａの原点復帰指示の送信を規制する。なお、本実施の形態２の切替手段として、マイクロスイッチ１３のほか、フォトインタラプタや、静電容量センサなどを用いてもよい。また、コントローラ８による電動ステージ３Ａの原点復帰規制は、選択的に解除可能とする。これにより使用者の利便性が向上する。

本発明の実施の形態２にかかる倒立顕微鏡装置における電動ステージの原点復帰動作について図を参照して説明する。図１１は、本発明の実施の形態２の電動ステージの原点復帰動作の手順を示すフローチャートである。

図１１に示すように、使用者が電動ステージ３Ａの原点復帰を指示する場合、入力部１５により入力を行う（ステップＳ５０１）。

ステップＳ３０１において電動ステージ３Ａの原点復帰の指示がなされた後、コントローラ８は、電動ステージ３Ａの原点復帰規制の有無を判断する（ステップＳ５０２）。電動ステージ３Ａの原点復帰規制がない場合（ステップＳ５０２、Ｎｏ）、コントローラ８は、ステージ動作制御部１８にステップＳ５０１で指示された電動ステージ３Ａの原点復帰指示の情報を送信し（ステップＳ５０３）、原点復帰指示情報を受信したステージ動作制御部１８は、電動ステージ３Ａを原点復帰する（ステップＳ５０４）。

電動ステージ３Ａの原点復帰規制がある場合（ステップＳ５０２、Ｙｅｓ）、コントローラ８は、マイクロスイッチ１３が押圧されているか否かを判定する（ステップＳ５０５）。

マイクロスイッチ１３が押圧されていない場合（ステップＳ５０５、Ｎｏ）、試料２の下部に挿入された対物レンズ４と電動ステージ３Ａとが所定の間隔未満の状態であり、電動ステージ３Ａが動作不可能な状態と判断される。コントローラ８は、ステップＳ５０１で指示された電動ステージ３Ａの原点復帰動作を終了する。対物レンズ４と電動ステージ３Ａとが所定の間隔未満の状態で電動ステージ３Ａを原点復帰すると、対物レンズ４と電動ステージ３Ａとは物理的干渉を起こす可能性があるため、コントローラ８は電動ステージ３Ａの原点復帰動作を中止する。

マイクロスイッチ１３が押圧されている場合（ステップＳ５０５、Ｙｅｓ）、試料２の下部に挿入された対物レンズ４と電動ステージ３Ａとが所定の間隔以上離れた状態となり、電動レボルバ５が動作可能な状態と判断され、コントローラ８は、電動ステージ３Ａの原点復帰情報を送信し（ステップＳ５０３）、原点復帰情報を受信したステージ動作制御部１８は電動ステージ３Ａを原点復帰する（ステップＳ５０４）。

本実施の形態２において、コントローラ８が規制手段として機能するが、ステージ動作制御部１８を規制手段とすることも可能である。また、図１０に示す倒立顕微鏡装置は、電動レボルバ５とレボルバ動作制御部７とを備えるが、切替手段を有するものであれば、手動レボルバ５Ａを使用してもよい。さらに、使用者の便宜上、電動ステージ３Ａの原点復帰情報の規制は、選択的に解除可能としてもよい。また、本実施の形態２において、倒立顕微鏡装置を例として説明したが、正立顕微鏡装置においても同様に適用可能である。

本実施の形態２では、マイクロスイッチ１３を用いて電動ステージ３Ａの動作が可能か否かの状態を切替えるため、対物レンズ４の位置情報を取得する等の処理を行わずに、簡単な構成で、電動ステージ３Ａの原点復帰動作時に対物レンズ４と電動ステージ３Ａとの物理的干渉を防止することができる。

また、本実施の形態２において、マイクロスイッチ１３が押圧されていない場合、出力部１６により対物レンズ４と電動ステージ３Ａとの干渉を通知してもよい。図１２は、本発明の実施の形態２の変形例１にかかる伝導ステージの原点復帰動作の手順を示すフローチャートである。

変形例１では、ステップＳ６０１〜ステップＳ６０４は、実施の形態２のステップＳ５０１〜ステップＳ５０４と同様に処理する。原点復帰規制がある場合（ステップＳ６０２、Ｙｅｓ）、コントローラ８は、マイクロスイッチ１３が押圧されているか否かを判定し（ステップＳ６０５）、マイクロスイッチ１３が押圧されていない場合（ステップＳ６０５、Ｎｏ）、出力部１６により対物レンズ４とステージ３Ａとの干渉の可能性を通知する（ステップＳ６０６）。

マイクロスイッチ１３が押圧されている場合（ステップＳ６０５、Ｙｅｓ）、コントローラ８は、原点復帰情報を送信し（ステップＳ６０３）、原点復帰情報を受信したステージ動作制御部１８により殿堂ステージの原点復帰が行われる（ステップＳ６０４）。

また、本実施の形態２の変形例２として、図１３に示す倒立顕微鏡装置を例示することができる。変形例２にかかる倒立顕微鏡装置は、入力部１５による電動ステージ３Ａの原点復帰情報を記憶する記憶部１７を備える点で実施の形態２と異なる。

実施の形態２の変形例２では、電動ステージ３Ａの原点復帰情報の送信が規制された場合であっても、再度原点復帰を入力する必要がなく、電動ステージ３Ａの原点復帰動作に要する時間をさらに短縮することができる。

（実施の形態３）
図１４は、本発明の実施の形態３にかかる倒立顕微鏡装置の概略構成を示す一部拡大図である。本発明の実施の形態３にかかる倒立顕微鏡装置は、マイクロスイッチ１３が電動レボルバ５の後方側面に配置されている点で、実施の形態１と異なる。また、凸部１４は、顕微鏡本体部１の後方側面に配置されている。凸部１４の横方向の位置は、電動レボルバ５が上下移動する際、マイクロスイッチ１３と接触する位置であり、高さ方向の位置は、電動レボルバ５に取り付け可能な対物レンズ４と、倒立顕微鏡装置に取り付け可能なステージ３を考慮したうえで、電動レボルバ５の駆動時に、対物レンズ４とステージ３とが物理的干渉を起こさない位置とする。実施の形態３では、手動焦準部６が降下され、マイクロスイッチ１３が凸部１４により押圧されると、電動レボルバ５の駆動を可能とし、マイクロスイッチ１３が押圧されない状態では、ステージ３と対物レンズ４の干渉が生じるおそれがあるとして、電動レボルバ５の駆動を規制する。本実施の形態３の切替手段として、マイクロスイッチ１３のほか、フォトインタラプタや、静電容量センサなどを用いてもよい。

図１４に示すように、マイクロスイッチ１３が押圧されない状態では、図１４に対物レンズ４の回転軌跡２０として示すように、対物レンズ４とステージ３とは物理的干渉を起こすため、入力部１５を介し対物レンズ４の選択情報が入力された場合であっても、コントローラ８は対物レンズ４の選択情報のレボルバ動作制御部７への送信を規制する。

出力部１６で対物レンズ４とステージ３との物理的干渉の可能性を通知することにより、使用者が電動レボルバ５を降下すると、図１５に示すように、凸部１４によりマイクロスイッチ１３は押圧され、コントローラ８は、対物レンズ４の選択情報のレボルバ動作制御部７への送信規制を解除する。

本実施の形態３において、コントローラ８が規制手段として機能するが、レボルバ動作制御部７を規制手段とすることも可能である。また、使用者の便宜上、対物レンズ４の選択情報電の規制は、選択的に解除可能としてもよい。なお、本実施の形態３において、倒立顕微鏡装置を例として説明したが、正立顕微鏡装置においても同様に適用可能である。また、図１６に示すように、凸部１４の高さを調節可能として、マイクロスイッチ１３が押圧される位置、すなわち、対物レンズ４とステージ３との物理的干渉を防止する相対的な距離を調整可能なように構成してもよい。さらに、対物レンズ４の選択指示を記憶する記憶部１７を備える構成とし、マイクロスイッチ１３が電動レボルバ５が駆動可能な状態に切り替えられていない状態（スイッチオフ）で、対物レンズ４の選択情報が入力された場合、選択情報を記憶部１７で記憶し、マイクロスイッチ１３が押圧されたときに、記憶部１７の情報を取得して対物レンズ４を切り替えるようにしてもよい。

本実施の形態３では、電動レボルバ５の後方側面に配置されたマイクロスイッチ１３を用いて対物レンズ４の切替動作が可能か否かの状態を切替えるため、対物レンズ４の回転軌跡の演算等の複雑な処理を行わずに、簡単な構成で、対物レンズ４の切替動作時に対物レンズ４とステージ３との物理的干渉を防止することができる。

また、本実施の形態３の変形例として、電動ステージ３Ａを有する場合の原点復帰指示の規制に適用することも可能である。

以上のように、本発明にかかる顕微鏡装置は、手動焦準部を備えた顕微鏡装置に有用であり、特に、倒立顕微鏡装置に適している。

１顕微鏡本体部
２試料
３ステージ
３Ａ電動ステージ
４対物レンズ
５電動レボルバ
５Ａ手動レボルバ
６手動焦準部
７レボルバ動作制御部
８コントローラ
９焦準ハンドル
１０下板
１１中板
１２上板
１０ａ、１１ａ、１２ａ開口部
１３マイクロスイッチ
１４凸部
１５入力部
１６出力部
１７記憶部
１８ステージ動作制御部
２０回転軌跡

Claims

試料を載置するステージと、複数の対物レンズを保持し、該対物レンズを観察光軸上に電動で挿脱する電動レボルバと、焦準ハンドルとを有する顕微鏡装置において、
前記電動レボルバの動作指示を入力する入力部と、
使用者が前記焦準ハンドルを手動により回転することにより前記ステージと前記対物レンズとの間の相対的な距離を調節する手動焦準部と、
前記電動レボルバの動作を制御する動作制御手段と、
前記対物レンズと前記ステージとが所定の間隔以上離れた場合であって前記電動レボルバが動作可能な状態と、所定の間隔未満の場合であって前記電動レボルバが動作不可能な状態とを切り替える切替手段と、
使用者が前記焦準ハンドルを手動により回転することにより前記手動焦準部を降下させて前記電動レボルバが動作可能な状態に切り替えられない場合、前記入力部により動作指示が入力されても前記動作制御手段に制御信号を出力しないよう規制する規制手段と、
を備え、
前記電動レボルバは前記手動焦準部に着脱可能な形で配置され、
前記切替手段は前記電動レボルバに配置された物理的スイッチであることを特徴とする顕微鏡装置。
前記規制手段による前記動作制御手段への動作信号の出力規制は、選択的に解除可能であることを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡装置。
前記入力部による前記電動レボルバへの動作指示を記憶する記憶部を備え、前記記憶部は、前記規制手段が前記動作制御手段への制御信号の出力を規制する際、前記動作指示を記憶し、
前記規制手段は、前記制御信号の出力規制の解除後、前記記憶部が記憶する動作指示を取得し、該動作指示に基づき前記動作制御手段に制御信号を出力することを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡装置。
前記顕微鏡装置は、倒立顕微鏡装置であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の顕微鏡装置。
前記手動焦準部の可動範囲の下限が、前記切替手段による前記電動レボルバの動作可能な状態への切替位置であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の顕微鏡装置。
前記切替手段は、前記電動レボルバの下部に配置されたマイクロスイッチであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の顕微鏡装置。