JP5966449B2 - バンプ用はんだ合金粉末、バンプ用はんだペースト及びはんだバンプ - Google Patents
バンプ用はんだ合金粉末、バンプ用はんだペースト及びはんだバンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5966449B2 JP5966449B2 JP2012048893A JP2012048893A JP5966449B2 JP 5966449 B2 JP5966449 B2 JP 5966449B2 JP 2012048893 A JP2012048893 A JP 2012048893A JP 2012048893 A JP2012048893 A JP 2012048893A JP 5966449 B2 JP5966449 B2 JP 5966449B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solder
- bumps
- bump
- alloy powder
- ppm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
すなわち、鉛フリーはんだとして代表的なSnAgCu系はんだ合金粉末を用いてペースト化後、印刷・リフロー処理を行い、はんだバンプを形成すると、はんだバンプにニードル状の突起が発生してバンプ形状不良となる場合があった。このニードル状の突起は、隣接する他のはんだバンプに接触してショートを引き起こすおそれがあり、特に、近年のファインピッチのはんだバンプでは、隣接するバンプ同士が近接しており、ニードル状の突起の発生が大きな問題となる。また、ニードル状の突起が生じるとバンプ高さの均一性が悪くなり、フリップチップ接合時のアッセンブリの際に接合ができなくなる不都合もあった。
また、Ag及びCuの含有量を上記範囲とした理由は、業界において、Ag含有量が多い鉛フリー合金の主成分としては、Sn3Ag0.5Cu,Sn4Ag0.5Cu合金が一般的であるためである。
すなわち、このはんだバンプでは、上記第1の発明のバンプ用はんだ合金粉末を用いて形成されているので、ニードル状の突起が生じず、良好なバンプ形状を有しており、ファインピッチのフリップチップであっても良好な接合が可能である。
なお、従来、ニードル状の突起は約25μm程度のものが発生しうるが、150μm以下のファインピッチでは、バンプ端部の間の距離が約50μmとなり、25μmの突起によってショートが発生する。このため、特に150μm以下のファインピッチ用途において、ニードル状の突起の発生を抑えた本発明の利用価値は極めて高いものである。
すなわち、本発明に係るバンプ用はんだ合金粉末、バンプ用はんだペースト及びはんだバンプによれば、不可避不純物のうちFeが8ppm以下、Niが5ppm以下、Asが20ppm以下であるので、ニードル状の突起の発生を抑制し、良好なバンプ形状を得ることができる。したがって、本発明によれば、ファインピッチの高密度フリップチップであっても良好な接合ができ、信頼性の高い高密度実装が可能になる。
なお、不可避不純物のうちFeを8ppm以下、Niを5ppm以下、Asを20ppm以下とするため、上記製法中において、Sn,Ag,Cu原料(特にSn)の不純物を管理し、不純物量の低いものを選定している。
なお、1stリフローの後に、バンプ形状を整えるため、ドライフィルムFを除去後、RMAポストフラックスを塗布し、再度2ndリフローを行ってはんだバンプBを得ている。
また、上記アンダーバンプメタルUBMは、Cu又はCuにOSP(有機膜処理)を施したもの、Au/Niメッキ処理やSnメッキ処理を施したものである。
このように作製したはんだバンプは、例えば直径約100μm、約高さ70μmである。また、バンプピッチは、例えば150μmである。
なお、各実施例及び比較例において、測定したバンプ数はそれぞれ756個とした。
なお、本実施例のバンプ用はんだ合金粉末をペースト化して、印刷・リフローで形成したバンプで、良好なバンプ形状の例について、SEM写真を図3に示す。また、比較例について、ニードル状の突起が発生している例について、SEM写真を図4に示す。
Claims (3)
- Ag:2.8〜4.2重量%、Cu:0.4〜0.6重量%を含有し、残部がSn及び不可避不純物からなる成分組成を有し、
前記不可避不純物のうちFeが8ppm以下、Niが5ppm以下、Asが20ppm以下であり、
前記不可避不純物のうちAl,Zn,Pb,Bi,In及びSbの合計が15ppm以上かつ23ppm未満であることを特徴とするバンプ用はんだ合金粉末。 - 請求項1に記載のバンプ用はんだ合金粉末と、フラックスとを混合したことを特徴とするバンプ用はんだペースト。
- 請求項1に記載のバンプ用はんだ合金粉末を用いて形成されたことを特徴とするはんだバンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012048893A JP5966449B2 (ja) | 2012-03-06 | 2012-03-06 | バンプ用はんだ合金粉末、バンプ用はんだペースト及びはんだバンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012048893A JP5966449B2 (ja) | 2012-03-06 | 2012-03-06 | バンプ用はんだ合金粉末、バンプ用はんだペースト及びはんだバンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013184169A JP2013184169A (ja) | 2013-09-19 |
JP5966449B2 true JP5966449B2 (ja) | 2016-08-10 |
Family
ID=49386101
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012048893A Expired - Fee Related JP5966449B2 (ja) | 2012-03-06 | 2012-03-06 | バンプ用はんだ合金粉末、バンプ用はんだペースト及びはんだバンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5966449B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6717559B2 (ja) * | 2013-10-16 | 2020-07-01 | 三井金属鉱業株式会社 | 半田合金及び半田粉 |
JP6649597B1 (ja) * | 2019-05-27 | 2020-02-19 | 千住金属工業株式会社 | はんだ合金、はんだ粉末、およびはんだ継手 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4824202B2 (ja) * | 2001-06-05 | 2011-11-30 | イビデン株式会社 | 半田ペースト、その半田ペーストを用いて形成した半田バンプを有する多層プリント配線板および半導体チップ |
JP4023725B2 (ja) * | 2002-05-20 | 2007-12-19 | 日立金属株式会社 | はんだ合金およびはんだボール |
SG138124A1 (en) * | 2005-07-01 | 2008-09-30 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | High-purity tin or tin alloy and process for producing high-purity tin |
JP2009154170A (ja) * | 2007-12-25 | 2009-07-16 | Arakawa Chem Ind Co Ltd | はんだ用フラックスおよびソルダーペースト |
JP5003551B2 (ja) * | 2008-03-26 | 2012-08-15 | 三菱マテリアル株式会社 | ペースト用Pb−Snはんだ合金粉末およびPb−Snはんだ合金ボール |
JP2010075934A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Tamura Seisakusho Co Ltd | はんだ組成物 |
-
2012
- 2012-03-06 JP JP2012048893A patent/JP5966449B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013184169A (ja) | 2013-09-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6004253B2 (ja) | ペースト用はんだ合金粉末、ペースト及びこれを用いたはんだバンプ | |
JP5664664B2 (ja) | 接合方法、電子装置の製造方法、および電子部品 | |
JP5584427B2 (ja) | 無鉛ハンダ合金、ハンダボール及びハンダバンプを有する電子部材 | |
EP3715040B1 (en) | Solder alloy, solder paste, solder ball, resin cored solder, and solder joint | |
JP2014223678A5 (ja) | ||
JP2013237091A (ja) | バンプ用はんだ合金粉末、ペースト及びこれを用いたはんだバンプ | |
JP6004254B2 (ja) | ペースト用はんだ合金粉末、ペースト及びこれを用いたはんだバンプ | |
JP2010103377A (ja) | はんだバンプを有する電子部材 | |
JP5966449B2 (ja) | バンプ用はんだ合金粉末、バンプ用はんだペースト及びはんだバンプ | |
JP3991788B2 (ja) | はんだおよびそれを用いた実装品 | |
JP2020011286A (ja) | はんだ材料、ソルダペースト、及びはんだ継手 | |
JP2013237088A (ja) | バンプ用はんだ合金粉末、ペースト及びこれを用いたはんだバンプ | |
CN117428367A (zh) | 软钎料合金、焊料球、焊膏和钎焊接头 | |
JP5147349B2 (ja) | バンプ形成用ペースト、及びバンプ構造体 | |
JP6678704B2 (ja) | はんだ材料、ソルダペースト、及びはんだ継手 | |
TWI441704B (zh) | Solder alloy | |
JP6111584B2 (ja) | はんだバンプの製造方法 | |
JP6156136B2 (ja) | はんだバンプの焼結芯を形成するための芯用ペースト | |
JP5003551B2 (ja) | ペースト用Pb−Snはんだ合金粉末およびPb−Snはんだ合金ボール | |
JP4432041B2 (ja) | はんだ合金およびはんだボール | |
JP2016172914A (ja) | ハンダ粉末及びこの粉末を用いたハンダ用ペースト | |
JP6511773B2 (ja) | Au−Sn合金はんだペースト、Au−Sn合金はんだペーストの製造方法、Au−Sn合金はんだ層の製造方法 | |
JP2015000428A (ja) | ニードル低減はんだ合金粉末、ペースト及びこれを用いたはんだバンプ | |
JP7032687B1 (ja) | はんだ合金、はんだペースト、はんだボール、はんだプリフォーム、およびはんだ継手 | |
JP2015003323A (ja) | ニードル低減はんだ合金粉末、ペースト及びこれを用いたはんだバンプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140925 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150722 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150730 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150915 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151204 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160127 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160607 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160620 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5966449 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |