JP5966414B2 - パワー半導体モジュール - Google Patents
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Description
シリコンパワー半導体モジュール200は、絶縁層21と回路パターン22とを有する銅ベース基板23に、半田層24aによってシリコンパワー半導体素子25が半田付けされている。そして、さらに半田層26bによってリードフレーム27が半田付けされ、外部接続端子28が取り付けられる。
このシリコーンゲル材料を所定量計量した後、混合・攪拌して、13.33Pa(0.1Torr)の真空状態で10分間1次脱泡し、ケース29内に注型する。その後、同じく13.33Paの真空状態で10分間2次脱泡した後に、120℃で2時間加熱硬化し、フタ31が取り付けられ、シリコンパワー半導体モジュール200が完成する。
シリコンパワー半導体モジュール200の動作時は、シリコンパワー半導体素子25や回路パターン22に大電流が流れて発熱するため、シリコンパワー半導体素子25で発生した熱を、銅ベース基板23から熱伝導ペースト12を介して冷却フィンに伝熱し、冷却することが重要となる。
パワー半導体素子をシリコンから炭化シリコンやチッ化ガリウムに置き換えた場合には、素子温度は200℃程度、また素子の環境状態により場合によっては240℃近くになる。
このため、パワー半導体素子近傍の封止材の耐熱性能が大切となり、高温での動作領域においても安定な性能を有する封止材を用いることが重要となってくる。
パワー半導体モジュールであって、
絶縁層と、
前記絶縁層の一方の面と他方の面とにそれぞれ固着された、第1銅ブロックと第2銅ブロックとを備える銅ベース基板と、
前記第1銅ブロックの上にその一方の面が固着された、炭化シリコンまたはチッ化ガリウムを用いた少なくとも1個のパワー半導体素子と、
前記パワー半導体素子に対向して配置されたプリント基板と、
前記銅ベース基板と前記プリント基板との間で、かつ第1銅ブロックが前記プリント基板と対向する領域であって、前記プリント基板に接触し、かつ前記パワー半導体素子が固着された前記第1銅ブロックの面よりも狭い領域のみに配置された第1の封止材と、
前記第1の封止材を覆うように配置され、前記パワー半導体モジュールの外形を形成する第2の封止材と、
を備え、
前記第1の封止材がシリコーン系封止材であり、前記第2の封止材がエポキシ系封止材であること、
により、上記の目的が達成される。
また、本発明によれば、
パワー半導体モジュールであって、
絶縁層と、
前記絶縁層の一方の面と他方の面とにそれぞれ固着された、第1銅ブロックと第2銅ブロックとを備える銅ベース基板と、
前記第1銅ブロックの上にその一方の面が導電接合層により固着された、炭化シリコンまたはチッ化ガリウムを用いた少なくとも1個のパワー半導体素子と、
前記パワー半導体素子のそれぞれの他方の面に導電接合層により固着された複数のインプラントピンと、
前記インプラントピンに固着され、前記パワー半導体素子に対向して配置されたプリント基板と、
前記銅ベース基板と前記プリント基板との間で、かつ第1銅ブロックが前記プリント基板と対向する領域であって、前記プリント基板に接触し、かつ前記パワー半導体素子が固着された前記第1銅ブロックの面よりも狭い領域のみに配置された第1の封止材と、
前記第1の封止材を覆うように配置され、前記パワー半導体モジュールの外形を形成する第2の封止材と、
を備え、
前記第1の封止材がシリコーン系封止材であり、前記第2の封止材がエポキシ系封止材であること、
によっても、上記の目的が達成される。
第1の封止材の熱変形温度が240℃以上であること、
も肝要である。
第2の封止材の熱変形温度が、170℃〜230℃であること、
が好ましい。
さらに、本発明においては、第2の封止材に難燃剤が添加されていること、
が好ましい。難燃剤としては、水酸化アルミニウムの粉末を用いることができる。
第1の封止材の熱膨張係数が4×10−6/℃〜18×10−6/℃であり、第2の封止材の熱膨張係数が1.5×10−5/℃〜1.8×10−5/℃であること、
が好ましい。
第1の封止材の銅ベース基板に対する接着強さ、ならびに第2の封止材の第1の封止材に対する接着強さ、ならびに第2の封止材の銅ベース基板に対する接着強さが、それぞれ10MPa〜30MPaであること、
が好ましい。
さらに、本発明においては、第1の封止材として、銅ベース基板に対する接着強さが10MPa〜30MPaのシリコーン系封止材を用いることにより、パワー半導体素子のガード機能が高くなる。第1の封止材と第2の封止材との接着強さを10MPa〜30MPaとすれば、パワー半導体モジュールの構造物として強固なものを提供可能になる。また、第2の封止材と銅ベース基板との接着強さが10MPa〜30MPaであると、パワー半導体モジュールのガード機能を高くすることができる。
の材料を用いることである。これにより、前述したように、炭化シリコンやチッ化ガリウムの発熱温度が仮に240℃近くまで上昇した場合にも、第1の封止材の耐熱性能が高いので、その熱変形を防止し、パワー半導体モジュール全体としても、その構造に歪などが生じることはない。
[実施例]
図1は、本発明の実施例である、炭化シリコンパワー半導体モジュール100の断面構造図である。図1により、炭化シリコンパワー半導体モジュール100の構成について説明する。
第1の封止材11の乾燥・硬化条件は、以下のとおりである。
先ず、室温、8時間で溶媒成分を乾燥させ、その後に、100℃2時間で溶媒成分を蒸発させ、さらにその後180℃2時間で硬化を行う。これにより、耐熱性能が高くて接着性能が良好な第1の封止材11を形成することができる。
ここで、第1の封止材11の熱変形温度が240℃以上であると、第1の封止材11の熱特性に対する変曲点が高くなり、パワー半導体素子6の上下の導電接合層5a、7bの、熱疲労による熱抵抗の増大を防止できるので、耐熱性能が高く、信頼性の高い、パワー半導体モジュールを得ることができる。
さらに、第1の封止材11の、上記した熱膨張係数は、パワー半導体素子6の熱膨張係数と同等であるので、パワー半導体素子6の上下の導電接合層5a、7bの熱疲労による熱抵抗の増大を防止し、信頼性の高いパワー半導体モジュールを実現することができる。
このように、液状封止材において液状エポキシ樹脂を使用することにより、銅ベース基板4とインプラント方式のプリント基板9との間に、予め注入形成し、乾燥・硬化してあるシリコーン系の第1の封止材の外周部に、第2の封止材12の充填が行えると同時に、短時間での成形が可能となり、生産性と信頼性の高いパワー半導体モジュール100を実現することができる。
2 銅ブロック
3 銅ブロック
4 銅ベース基板
5a 導電接合層
6 炭化シリコンパワー半導体素子
7b 導電接合層
8 インプラントピン
9 インプラント方式プリント基板
10 外部端子
11 第1の封止材
12 第2の封止材
13 取付け金具
100 炭化シリコンパワー半導体モジュール
21 絶縁層
22 回路パターン
23 銅ベース基板
24a 半田層
25 シリコンパワー半導体素子
26b 半田層
27 リードフレーム
28 外部接続端子
29 ケース
30 封止材
31 フタ
200 シリコンパワー半導体モジュール
Claims (7)
- パワー半導体モジュールであって、
絶縁層と、
前記絶縁層の一方の面と他方の面とにそれぞれ固着された、第1銅ブロックと第2銅ブロックとを備える銅ベース基板と、
前記第1銅ブロックの上にその一方の面が固着された、炭化シリコンまたはチッ化ガリウムを用いた少なくとも1個のパワー半導体素子と、
前記パワー半導体素子に対向して配置されたプリント基板と、
前記銅ベース基板と前記プリント基板との間で、かつ第1銅ブロックが前記プリント基板と対向する領域であって、前記プリント基板に接触し、かつ前記パワー半導体素子が固着された前記第1銅ブロックの面よりも狭い領域のみに配置された第1の封止材と、
前記第1の封止材を覆うように配置され、前記パワー半導体モジュールの外形を形成する第2の封止材と、
を備え、
前記第1の封止材がシリコーン系封止材であり、前記第2の封止材がエポキシ系封止材であること、
を特徴とするパワー半導体モジュール。 - パワー半導体モジュールであって、
絶縁層と、
前記絶縁層の一方の面と他方の面とにそれぞれ固着された、第1銅ブロックと第2銅ブロックとを備える銅ベース基板と、
前記第1銅ブロックの上にその一方の面が導電接合層により固着された、炭化シリコンまたはチッ化ガリウムを用いた少なくとも1個のパワー半導体素子と、
前記パワー半導体素子のそれぞれの他方の面に導電接合層により固着された複数のインプラントピンと、
前記インプラントピンに固着され、前記パワー半導体素子に対向して配置されたプリント基板と、
前記銅ベース基板と前記プリント基板との間で、かつ第1銅ブロックが前記プリント基板と対向する領域であって、前記プリント基板に接触し、かつ前記パワー半導体素子が固着された前記第1銅ブロックの面よりも狭い領域のみに配置された第1の封止材と、
前記第1の封止材を覆うように配置され、前記パワー半導体モジュールの外形を形成する第2の封止材と、
を備え、
前記第1の封止材がシリコーン系封止材であり、前記第2の封止材がエポキシ系封止材であること、
を特徴とするパワー半導体モジュール。 - 第1の封止材の熱変形温度が240℃以上であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のパワー半導体モジュール。
- 第2の封止材の熱変形温度が、170℃〜230℃であることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載のパワー半導体モジュール。
- 第2の封止材に難燃剤が添加されていることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載のパワー半導体モジュール。
- 第1の封止材の熱膨張係数が4×10−6/℃〜18×10−6/℃であり、第2の封止材の熱膨張係数が1.5×10−5〜1.8×10−5/℃であることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載のパワー半導体モジュール。
- 第1の封止材の銅ベース基板に対する接着強さ、ならびに第2の封止材の第1の封止材に対する接着強さ、ならびに第2の封止材の銅ベース基板に対する接着強さが、それぞれ10MPa〜30MPaであることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載のパワー半導体モジュール。
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