JP5956920B2

JP5956920B2 - 液体供給装置

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Publication number: JP5956920B2
Application number: JP2012273045A
Authority: JP
Inventors: 丈夫矢島
Original assignee: Koganei Corp
Current assignee: Koganei Corp
Priority date: 2012-12-14
Filing date: 2012-12-14
Publication date: 2016-07-27
Anticipated expiration: 2032-12-14
Also published as: KR102092051B1; US9506458B2; JP2014118849A; US20140170005A1; WO2014092124A1; KR20150091221A

Description

本発明は、軸方向に往復動する複数のプランジャを同期させて駆動し、連続的に液体を吐出する液体供給装置に関する。

半導体ウエハや液晶用ガラス基板等の表面に、フォトレジスト液等の薬液を塗布するために、液体供給装置が使用されている。このような液体供給装置としては、例えば特許文献１に記載されるように、ポンプ室を膨張収縮させるベローズを有するタイプがある。ベローズを膨張収縮させるために、ピストンロッドつまりプランジャが軸方向に往復動自在に装着されたシリンジ本体を有し、間接液が封入されたシリンジ室をピストンロッドにより膨張収縮させることにより、ベローズを駆動するようにしている。

ピストンロッドを往復動させてポンプ動作を行うタイプの液体供給装置は、ピストン型ないしシリンジ型と言われており、シリンジ室を膨張させてフォトレジスト液等の薬液をシリンジ室に吸入し、シリンジ室を収縮させて液体を吐出させるようにすると、シリンジ室から吐出される液体を被塗布物に塗布するようにした形態となる。

特開２００６−２６６２５０号公報

ピストンロッドを軸方向に往復動させてポンプ動作を行うようにした液体供給装置においては、ピストンロッドがシリンジ室を膨張させるときには、被塗布物に液体を供給することができない。従って、連続的に被塗布物に液体を供給するには、複数のピストンロッドを液体供給装置に取り付ける必要がある。

しかしながら、それぞれピストンロッドを有する複数のポンプを並列して配置すると、液体供給装置が大型となって、装置全体の大型化が避けられない。さらに、被塗布物に連続的に薬液等の液体を塗布するには、塗布開始から終了まで単位時間当たりの塗布量が変動しないように、複数のポンプの作動タイミングを高精度に設定する必要がある。

本発明の目的は、複数のポンプを有し連続的に液体を被塗布物に供給することができる液体供給装置を提供することにある。

本発明の液体供給装置は、複数のポンプ室を有し、前記ポンプ室を異なったタイミングで膨張収縮することにより連続的に液体を吐出する液体供給装置であって、それぞれ前記ポンプ室を膨張収縮させる複数の駆動ロッドが軸方向に往復動自在に装着されるポンプブロックと、軸方向中央部に駆動ローラが装着されるとともに両端部に案内ローラが装着され、それぞれの前記駆動ロッドの基端部に前記駆動ロッドに対して直交方向に装着されるシャフトと、前記ポンプブロックに取り付けられ、それぞれ前記案内ローラの軸方向移動を案内するガイド溝が設けられた複数のガイドブロックと、前記ポンプブロックに回転自在に装着される回転軸に設けられ、それぞれの前記駆動ローラを位相をずらして軸方向に駆動する連動部材とを、有し、前記ガイドブロックは、前記駆動ロッドが貫通するロッド用の貫通孔を有し前記ポンプブロックに締結される基部と、当該基部にそれぞれ設けられ前記ガイド溝を形成するガイド突起とを有する。

この液体供給装置は、複数の駆動ロッドを軸方向に駆動するとともに軸方向の駆動タイミングをずらすことにより、連続的に液体を供給することができる。駆動ロッドに設けられたシャフトの中央部には、カム面に接触する駆動ローラが設けられ、シャフトの両端部に設けられた案内ローラがガイドブロックに設けられたガイド溝に案内されるので、連動部材により駆動ロッドを軸方向に往復動する際に、駆動ロッドが傾斜することがなく、円滑にポンプ駆動することができ、塗布開始から終了まで一定の塗布流量で液体を供給することができる。

液体供給装置の縦断面図である。図１におけるＡ−Ａ線断面図である。図２の平面図である。図１におけるＢ−Ｂ線断面図である。図２におけるＣ−Ｃ線断面図である。図１に示された２つの駆動ロッドのうちの一方を示す斜視図である。図１に示された２つのガイドブロックのうちの一方を示す斜視図である。組み付けられた状態の駆動ロッドとガイドブロックとを示す斜視図である。図１に示されたカム部材のカム面を示す展開図である。液体供給装置の変形例を示す縦断面図である。図１０におけるＤ−Ｄ線断面図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１〜図３に示されるように、液体供給装置１０は、それぞれ底付きの複数のポンプ室１１ａ，１１ｂが形成されたシリンジ本体つまりシリンダブロック１２を有している。シリンダブロック１２にはピストンつまりプランジャ１３ａ，１３ｂが軸方向に往復動自在に相互に平行となって装着され、それぞれのポンプ室１１ａ，１１ｂはプランジャ１３ａ，１３ｂにより区画されている。シリンダブロック１２には、図３に示されるように、ポンプ室１１ａ，１１ｂに連通させて吸入ポート１４ａ，１４ｂと、吐出ポート１５ａ，１５ｂが設けられている。それぞれの吸入ポート１４ａ，１４ｂには吸入側配管１６の分岐部１６ａ，１６ｂが接続されており、それぞれの吐出ポート１５ａ，１５ｂには吐出側配管１７の分岐部１７ａ，１７ｂが接続されている。

吸入側配管１６は、図２に示されるように、薬液等の液体Ｌを収容する液体タンク１８に接続されており、吐出側配管１７は、液体Ｌを吐出する塗布ノズル１９に接続されている。プランジャ１３ａ，１３ｂがポンプ室１１ａ，１１ｂの底面から離れる方向に後退移動すると、それぞれのポンプ室１１ａ，１１ｂは膨張し、プランジャ１３ａ，１３ｂが逆方向に前進移動すると、それぞれのポンプ室１１ａ，１１ｂは収縮する。吸入側配管１６の分岐部１６ａ，１６ｂには、逆止弁２１ａ，２１ｂが設けられている。それぞれの逆止弁２１ａ，２１ｂは、ポンプ室１１ａ，１１ｂが膨張するときに液体タンク１８内の液体をポンプ室１１ａ，１１ｂに案内し、収縮するときにはポンプ室１１ａ，１１ｂ内から液体が液体タンク１８に向けて逆流するのを阻止する。吐出側配管１７の分岐部１７ａ，１７ｂには、逆止弁２２ａ，２２ｂが設けられている。それぞれの逆止弁２２ａ，２２ｂは、ポンプ室１１ａ，１１ｂが収縮するときにはポンプ室１１ａ，１１ｂ内の液体を塗布ノズル１９に案内し、膨張するときには塗布ノズル１９からポンプ室１１ａ，１１ｂ内への液体の逆流を阻止する。

一方のプランジャ１３ａを前進移動させ、同時に他方のプランジャ１３ｂを後退移動させると、ポンプ室１１ａ内の液体が塗布ノズル１９に向けて吐出され、同時に液体タンク１８内の液体がポンプ室１１ｂに吸入される。プランジャ１３ａが前進限位置まで駆動され、プランジャ１３ｂが後退限位置まで駆動された後に、それぞれのプランジャ１３ａ，１３ｂを軸方向に逆転させて移動させると、ポンプ室１１ｂ内の液体が塗布ノズル１９に向けて吐出され、ポンプ室１１ａ内には液体が吸入される。このように、２つのプランジャ１３ａ，１３ｂを位相をずらして異なったタイミングで直線往復動させると、２つのポンプ室１１ａ，１１ｂが交互に膨張収縮されて、液体タンク１８内の液体が塗布ノズル１９に向けて連続的に供給される。図示する液体供給装置１０は、シリンダブロック１２には２つのポンプ室１１ａ，１１ｂが設けられ、ポンプ室に対応させて２つのプランジャがシリンダブロックに設けられているが、シリンダブロック１２に、３つまたはそれ以上の複数のポンプ室を設けるとともにプランジャを設けるようにしても、それぞれのプランジャの軸方向移動のタイミングを異ならせることにより、塗布ノズル１９から連続的に液体を被塗布物に供給することができる。

シリンダブロック１２にはポンプブロック２３が取り付けられており、ポンプブロック２３は図示しないねじ部材によりシリンダブロック１２に着脱自在となっている。ポンプブロック２３には、それぞれのプランジャ１３ａ，１３ｂと同軸となって駆動ロッド２４ａ，２４ｂが軸方向に往復動自在に装着されている。駆動ロッド２４ａ，２４ｂの軸方向移動を案内するために、ポンプブロック２３にはブッシュ２０ａ，２０ｂが取り付けられている。駆動ロッド２４ａ，２４ｂとシリンダブロック１２によりポンプが構成されており、この液体供給装置１０は２つのポンプを有している。ポンプブロック２３の先端部側には、プランジャ１３ａ，１３ｂの基端部が入り込むばね室２５ａ，２５ｂが形成され、駆動ロッド２４ａ，２４ｂの先端部は、ばね室２５ａ，２５ｂに突出している。駆動ロッド２４ａ，２４ｂの先端部に形成された凹部２６ａ，２６ｂには、プランジャ１３ａ，１３ｂの基端部に設けられた小径凸部２７ａ，２７ｂが挿入され、小径凸部２７ａ，２７ｂの先端面は、凹部２６ａ，２６ｂの底面に突き当てられている。このように、プランジャ１３ａ，１３ｂは駆動ロッド２４ａ，２４ｂに着脱自在つまり分離自在に連結され、シリンダブロック１２はポンプブロック２３に着脱自在となっている。プランジャ１３ａ，１３ｂは駆動ロッド２４ａ，２４ｂに着脱自在となっているので、いずれも交換自在となっている。これにより、プランジャ１３ａ，１３ｂとシリンダブロック１２との摺動部が摩耗した場合には、プランジャ１３ａ，１３ｂとシリンダブロック１２の少なくともいずれか一方を交換することができる。

図６は２つの駆動ロッド２４ａ，２４ｂの一方の基端部側を示す斜視図である。駆動ロッド２４ａの基端部には、第１の突起部２８ａと第２の突起部２９ａとが設けられている。両方の突起部２８ａ，２９ａに、駆動ロッド２４ａの径方向を向いて設けられた第１（シャフト用）の貫通孔３１ａには、シャフト３２ａが装着される。シャフト３２ａの軸方向中央部には、駆動ローラ３３ａが回転自在に装着され、この駆動ローラ３３ａは２つの突起部２８ａ，２９ａの間に形成される収容溝３４ａ内に配置される。シャフト３２ａの両端部には案内ローラ３５ａが回転自在に装着され、２つの案内ローラ３５ａは駆動ロッド２４ａの外周面よりも径方向外方に迫り出している。駆動ローラ３３ａ，３３ｂの外径は案内ローラ３５ａ，３５ｂの外径よりも大きい。

他の駆動ロッド２４ｂの基端部も、駆動ロッド２４ａと同様の構造となっており、第１の突起部２８ｂと第２の突起部２９ｂとが設けられている。両方の突起部２８ｂ，２９ｂに、駆動ロッド２４ｂの径方向を向いて設けられた第１の貫通孔３１ｂには、シャフト３２ｂが装着される。シャフト３２ｂの軸方向中央部には、駆動ローラ３３ｂが回転自在に装着され、この駆動ローラ３３ｂは２つの突起部２８ｂ，２９ｂの間に形成される収容溝３４ｂ内に配置される。シャフト３２ｂの両端部には案内ローラ３５ｂが回転自在に装着され、２つの案内ローラ３５ｂは駆動ロッド２４ｂの外周面よりも径方向外方に迫り出している。図１および図６に示されるように、それぞれのシャフト３２ａ，３２ｂは駆動ロッド２４ａ，２４ｂの軸方向に対して直交方向となって駆動ロッド２４ａ，２４ｂの基端部に装着される。駆動ローラ３３ａ，３３ｂおよび案内ローラ３５ａ，３５ｂとしては、滑り軸受またはボール軸受が使用される。

ポンプブロック２３の基端部側には、図１に示されるように、カム収容室３６が形成されている。それぞれの駆動ロッド２４ａ，２４ｂを案内ローラ３５ａ，３５ｂを介して軸方向に案内するガイドブロック３７ａ，３７ｂがカム収容室３６に配置され、それぞれのガイドブロック３７ａ，３７ｂはポンプブロック２３に取り付けられている。

図７は２つのガイドブロック３７ａ，３７ｂの一方の基端部側を示す斜視図である。図７に示されるように、一方のガイドブロック３７ａは、駆動ロッド２４ａが貫通する第２（ロッド用）の貫通孔３８ａが形成された基部４１ａと、この基部４１ａから軸方向に突出する４つのガイド突起４２ａとを有している。ガイド突起４２ａは２つで一対となって、二対設けられており、対となったガイド突起４２ａには、シャフト３２ａに設けられた案内ローラ３５ａを軸方向に案内するガイド溝４３ａが設けられている。それぞれのガイド溝４３ａに対して円周方向にずらしてガイドブロック３７ａに設けられた切欠き部４４ａには、ねじ部材４５ａが配置され、このねじ部材４５ａによりガイドブロック３７ａはポンプブロック２３に締結される。

他方のガイドブロック３７ｂもガイドブロック３７ａと同様の構造となっており、ガイドブロック３７ｂは、駆動ロッド２４ｂが貫通する第２の貫通孔３８ｂが形成された基部４１ｂと、この基部４１ｂから軸方向に突出する４つのガイド突起４２ｂとを有している。ガイド突起４２ｂには、シャフト３２ｂに設けられたそれぞれの案内ローラ３５ｂを軸方向に案内するガイド溝４３ｂが設けられている。それぞれのガイド溝４３ｂに対して円周方向にずらしてガイドブロック３７ｂに設けられた切欠き部４４ｂには、ねじ部材４５ｂが配置され、このねじ部材４５ｂによりガイドブロック３７ｂはポンプブロック２３に締結される。

図８は、駆動ロッド２４ａ，２４ｂをガイドブロック３７ａ，３７ｂに組み付けた状態を示す斜視図であり、駆動ローラ３３ａ，３３ｂは駆動ロッド２４ａ，２４ｂの中心軸の位置に配置され、シャフト３２ａ，３２ｂの両端に設けられた案内ローラ３５ａ，３５ｂは、それぞれガイド溝４３ａ，４３ｂの中に収容される。案内ローラ３５ａ，３５ｂは、ガイド溝４３ａ，４３ｂの中を軸方向に往復動可能であり、ガイド溝４３ａ，４３ｂは駆動ロッド２４ａ，２４ｂの往復動を許容するが、駆動ロッド２４ａ，２４ｂの回転を許容しない。

ポンプブロック２３には、図１に示されるように、駆動ブロック４６が装着される。駆動ブロック４６には、回転軸としてのカム軸４７が回転自在に設けられる。カム軸４７は２つの駆動ロッド２４ａ，２４ｂの間に、これらに平行となって駆動ブロック４６に設けられる。カム軸４７の先端部はポンプブロック２３に設けられる軸受４８に支持され、カム軸４７の基端部は、駆動ブロック４６に設けられる軸受４９に支持される。カム軸４７には、連動部材として円板形状のカム部材５１が設けられ、このカム部材５１の端面には、２つの駆動ローラ３３ａ，３３ｂが接触するカム面５２が設けられており、カム部材５１は端面カムとなっている。カム部材５１は、図１および図２に示されるように、カム軸４７に一体となっているが、カム部材５１とカム軸４７とを別部材として、カム部材５１をカム軸４７に固定するようにしても良い。

図４および図５に示されるように、２つのガイドブロック３７ａ，３７ｂは、カム軸４７を中心に円周方向に１８０度ずらしてポンプブロック２３に取り付けられている。

図９はカム部材５１のカム面５２の展開図である。カム面５２は、先端側の境界部５３と後端側の境界部５４とこれらの境界部５３，５４の間に設けられた第１の傾斜面５５と、この傾斜面５５に対して逆方向に傾斜した第２の傾斜面５６とを有している。図９において、符号Ｓは両方の駆動ローラ３３ａ，３３ｂの軸方向の往復動ストロークを示す。

このように、駆動ローラ３３ａ，３３ｂをシャフト３２ａ，３２ｂの中央部に設け、シャフト３２ａ，３２ｂの両端部に案内ローラ３５ａ，３５ｂを設けると、カム面５２に接触した駆動ローラ３３ａ，３３ｂがカム軸４７の回転に伴って円周方向外力を受けても、案内ローラ３５ａ，３５ｂがガイド溝４３ａ，４３ｂにより案内され、駆動ロッド２４ａ，２４ｂが軸方向だけに移動する。従って、駆動ロッド２４ａ，２４ｂは傾斜することなく、円滑に軸方向に往復動することになる。これにより、ポンプ動作の精度が高められる。

カム軸４７を回転駆動するために、図１および図２に示されるように、駆動ブロック４６には駆動手段として電動モータ５７が取り付けられており、電動モータ５７の主軸５８はジョイント部材５９によりカム軸４７に連結されている。プランジャ１３ａ，１３ｂに対して後退方向のばね力を付勢するために、プランジャ１３ａ，１３ｂにはばね部材として圧縮コイルばね６１ａ，６１ｂが装着されている。圧縮コイルばね６１ａ，６１ｂのばね力により、駆動ローラ３３ａ，３３ｂにはカム面５２に向かう方向の押圧力が加えられている。それぞれの圧縮コイルばね６１ａ，６１ｂの一端部は、プランジャ１３ａ，１３ｂに設けられたフランジ部６２ａ，６２ｂに当接し、他端部はシリンダブロック１２の後端面に当接している。

カム軸４７を電動モータ５７により回転駆動すると、それぞれの駆動ローラ３３ａ，３３ｂがカム面５２に沿って転動する。回転の半周期では、一方の駆動ロッドはコイルばねによる押圧力に抗して前進駆動され、他方の駆動ロッドは押圧力により後退駆動される。後の半周期では、一方の駆動ロッドは押圧力により後退駆動され、他方の駆動ロッドはコイルばねによる押圧力に抗して前進駆動される。図２および図９は、それぞれの駆動ローラ３３ａ，３３ｂが傾斜面５５，５６に接触し、駆動ロッド２４ａ，２４ｂが軸方向の往復動ストロークの中央部となっている状態を示す。カム軸４７が図２において矢印で示す方向に回転駆動されると、駆動ロッド２４ａはばねの押圧力に抗して前進駆動され、駆動ロッド２４ｂはばね力により後退駆動される。

駆動ロッド２４ａが前進駆動されると、ポンプ室１１ａ内の液体は、逆止弁２２ａを介して吐出側配管１７に吐出され、塗布ノズル１９に液体が供給される。このときには駆動ロッド２４ｂが後退駆動されて、液体タンク１８内の液体Ｌが逆止弁２１ｂを介してポンプ室１１ｂ内に吸引される。カム軸４７の回転に伴ってそれぞれの駆動ローラ３３ａ，３３ｂが境界部５３，５４を通過すると、駆動ロッド２４ａが後退駆動され、駆動ロッド２４ｂが前進駆動される。これにより、カム軸４７が連続的に回転駆動されると、２つの駆動ロッド２４ａが相互に逆方向に、つまり逆位相となって連続的に駆動され、塗布ノズル１９には液体タンク１８内の液体が連続的に供給される。

カム部材５１は円板形状の部材の端面にカム面５２が設けられた端面カムであり、押圧手段としての圧縮コイルばね６１ａ，６１ｂにより駆動ローラ３３ａ，３３ｂにはカム面５２に向かう押圧力が加えられているので、カム部材５１に駆動ローラ３３ａ，３３ｂが係合するカム溝を設けるようにした確動カムをカム部材５１とした場合に比して、液体供給装置１０を小型化することができる。ただし、カム部材として円板形状の部材の外周面にカム面５２を設けた円板カムを用いるようにしても良い。円板カムを用いる形態においては、両方の駆動ローラ３３ａ，３３ｂに対応させて２つの円板カムがカム収容室３６内に配置され、それぞれの円板カムの回転中心は駆動ロッド２４ａ，２４ｂの中心軸に対して直角方向となる。

図１０は液体供給装置の変形例を示す縦断面図であり、図１１は図１０におけるＤ−Ｄ線断面図である。図１０および図１１において、上述した部材と共通の機能を有する部材には、同一の符号が付されている。

シリンダブロック１２には、弾性変形自在の仕切り部材として樹脂製のチューブ６３ａ，６３ｂが装着されている。チューブ６３ａの一端部は、吸入ポート１４ａが設けられたジョイント部材６４ａに装着され、チューブ６３ａの他端部は、吐出ポート１５ａが設けられたジョイント部材６５ａに装着されている。チューブ６３ａが設けられている部屋は、チューブ６３ａによりその内側のポンプ室１１ａと外側の駆動室６６ａとに仕切られている。駆動室６６ａはシリンダブロック１２に軸方向に往復動自在に装着されたプランジャ１３ａにより区画されており、駆動室６６ａ内には液体等のように非圧縮製の間接作動媒体Ｍが充填されている。

他のチューブ６３ｂもチューブ６３ａと同様に、両端部にはジョイント部材が装着されている。チューブ６３ｂが設けられている部屋は、チューブ６３ｂによりその内側のポンプ室１１ｂと外側の駆動室６６ｂとに仕切られている。駆動室６６ｂには間接作動媒体Ｍが充填されている。

したがって、図１０および図１１に示した液体供給装置１０においては、駆動ロッド２４ａ，２４ｂによるプランジャ１３ａ，１３ｂの往復動により、それぞれのポンプ室１１ａ，１１ｂは間接作動媒体Ｍを介して膨張収縮される。この液体供給装置１０においても、プランジャ１３ａ，１３ｂとシリンダブロック１２の少なくもといずれか一方を交換することができる。

それぞれの液体供給装置１０においては、シリンダブロック１２に設けられたプランジャ１３ａ，１３ｂに駆動ロッド２４ａ，２４ｂを連結するようにしているが、プランジャ１３ａ，１３ｂの部分が一体となった駆動ロッド２４ａ，２４ｂとすることも可能である。

本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。例えば、プランジャの本数としては２本に限られるとなく、３本あるいはこれ以上としても良い。

１０液体供給装置
１１ａ，１１ｂポンプ室
１２シリンダブロック
１３ａ，１３ｂプランジャ
１４ａ，１４ｂ吸入ポート
１５ａ，１５ｂ吐出ポート
１６吸入側配管
１７吐出側配管
１８液体タンク
１９塗布ノズル
２１ａ，２１ｂ逆止弁
２２ａ，２２ｂ逆止弁
２３ポンプブロック
２４ａ，２４ｂ駆動ロッド
２８ａ，２８ｂ第１の突起部
２９ａ，２９ｂ第２の突起部
３１ａ，３１ｂ貫通孔
３２ａ，３２ｂシャフト
３３ａ，３２ｂ駆動ローラ
３５ａ，３５ｂ案内ローラ
３７ａ，３７ｂガイドブロック
３８ａ，３８ｂ貫通孔
４１ａ，４１ｂ基部
４２ａ，４２ｂガイド突起
４３ａ，４３ｂガイド溝
４４ａ，４４ｂ切欠き部
４５ａ，４５ｂねじ部材
４６駆動ブロック
４７カム軸（回転軸）
５１カム部材（連動部材）
５２カム面
５７電動モータ
５８主軸
６１ａ，６１ｂ圧縮コイルばね
６３ａ，６３ｂチューブ
６４ａ，６５ａジョイント部材
６６ａ，６６ｂ駆動室

Claims

複数のポンプ室を有し、前記ポンプ室を異なったタイミングで膨張収縮することにより連続的に液体を吐出する液体供給装置であって、
それぞれ前記ポンプ室を膨張収縮させる複数の駆動ロッドが軸方向に往復動自在に装着されるポンプブロックと、
軸方向中央部に駆動ローラが装着されるとともに両端部に案内ローラが装着され、それぞれの前記駆動ロッドの基端部に前記駆動ロッドに対して直交方向に装着されるシャフトと、
前記ポンプブロックに取り付けられ、それぞれ前記案内ローラの軸方向移動を案内するガイド溝が設けられた複数のガイドブロックと、
前記ポンプブロックに回転自在に装着される回転軸に設けられ、それぞれの前記駆動ローラを位相をずらして軸方向に駆動する連動部材とを、有し、
前記ガイドブロックは、前記駆動ロッドが貫通するロッド用の貫通孔を有し前記ポンプブロックに締結される基部と、当該基部にそれぞれ設けられ前記ガイド溝を形成するガイド突起とを有する液体供給装置。
請求項１記載の液体供給装置において、前記駆動ロッドが前記ポンプブロックに２つ設けられ、前記連動部材により一方の前記ポンプ室を収縮させて当該ポンプ室から液体を吐出するときに、他方の前記ポンプ室を膨張させて当該ポンプ室に液体を吸引する液体供給装置。
請求項１または２記載の液体供給装置において、それぞれの前記駆動ロッドの基端部に、前記駆動ローラを収容する収容溝を形成する第１の突起部と第２の突起部とを設け、それぞれの前記第１の突起部と前記第２の突起部に前記シャフトが貫通するシャフト用の貫通孔を設けた液体供給装置。
請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体供給装置において、前記ガイドブロックは、前記ガイド溝に対して円周方向にずらして設けられる切欠き部を有し、前記ガイドブロックを前記ポンプブロックに締結するねじ部材を前記切欠き部に配置した液体供給装置。
請求項１〜４のいずれか１項に記載の液体供給装置において、前記基部にそれぞれ前記ガイド溝を形成する二対の前記ガイド突起を設けた液体供給装置。
請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体供給装置において、複数の前記ポンプ室が形成されたシリンダブロックを有し、前記駆動ロッドに連結され前記シリンダブロックに軸方向に往復動自在に装着されて前記ポンプ室を区画するプランジャを設けた液体供給装置。
請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体供給装置において、間接作動媒体が充填される駆動室と前記ポンプ室とを仕切る複数の弾性変形自在の仕切り部材が設けられたシリンダブロックを有し、前記駆動ロッドに連結され前記シリンダブロックに軸方向に往復動自在に装着されて前記駆動室を区画するプランジャを設けた液体供給装置。
請求項６または７記載の液体供給装置において、前記シリンダブロックは前記ポンプブロックに着脱自在に装着され、それぞれの前記プランジャは前記駆動ロッドに着脱自在に連結され、前記プランジャと前記シリンダブロックの少なくとも一方を交換自在とした液体供給装置。
請求項１〜８のいずれか１項に記載の液体供給装置において、前記連動部材は円板形状のカム部材の端面に前記駆動ローラが接触するカム面が形成された端面カムである液体供給装置。
請求項１〜８のいずれか１項に記載の液体供給装置において、前記連動部材は円板形状のカム部材の外周面に前記駆動ローラが接触するカム面が形成された円板カムである液体供給装置。