JP5952923B2 - メモリシステムを監視するシステムおよび方法 - Google Patents

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Description

(関連出願)
本出願は、参照により本明細書に組み込まれる2009年1月12日に出願された米国出願番号第12/352,381号の優先権を主張するものである。
本明細書において説明されるさまざまな実施形態は、半導体メモリに関連したシステムおよび方法、ならびに、メモリシステムを監視するシステムおよび方法に関する。
マイクロプロセッサ技術は、半導体記憶装置技術よりも、急速に進化した。結果として、性能の不一致が、命令およびデータを受けるためにプロセッサが嵌合される半導体メモリサブシステムと最新のホストプロセッサとの間に、多くの場合存在する。例えば、いくつかのハイエンドサーバは、メモリ要求への応答を待っている4相クロックのうちの3本をアイドリングさせると、推定される。
加えて、ソフトウェアアプリケーションおよびオペレーティングシステム技術の進化は、プロセッサコアおよびスレッドの数が増加し続けるにつれて、高密度メモリサブシステムに対するさらなる要求を示す。しかしながら、最新技術のメモリサブシステムは、多くの場合、性能と記録密度との間の妥協点を示す。より高い帯域幅は、JEDECの電気規格を超えることなくシステムに連結することができる多くのメモリカードまたはモジュールの数を限定することになる。
JEDECインタフェースへの拡張が、提案されたが、一般に、将来予想されるメモリ帯域幅および記録密度に対して欠如するものと、判断される可能性がある。欠点としては、メモリ能力の最適化の欠如、および、ホストプロセッサとメモリサブシステム間のインタフェースの独自性が挙げられる。後者の欠点は、結果として、プロセッサおよび/または記憶装置技術が変化するにつれ、インタフェースを再設計する必要があり得る。
本発明のさまざまな実施形態の例による、メモリシステムのブロック図である。 さまざまな実施形態の例による、ロジックダイに積み重ねられたスタックダイ3Dメモリアレイの切欠概念図である。 実施形態の例による、パケットの例と関連したフィールドを示すパケットの図である。 実施形態の例による、パケットの例と関連したフィールドを示すパケットの図である。 さまざまな実施形態の例による、メモリボールトコントローラおよび関連したモジュールのブロック図である。 さまざまな実施形態の例による、メモリシステムのブロック図である。 さまざまな実施形態の例による、方法を示したフローチャートである。 さまざまな実施形態の例による、方法を示したフローチャートである。 さまざまな実施形態の例による、方法を示したフローチャートである。 さまざまな実施形態の例による、方法を示したフローチャートである。
図1は、本発明のさまざまな実施形態の例による、メモリシステム100のブロック図である。1つ以上の実施形態は、1つ以上の発動デバイス(例えば、1つ以上のプロセッサ)と一組のスタックされたアレイのメモリ「ボールト」との間に、コマンド、アドレスおよび/またはデータの複数のアウトバウンドストリームを実質的に並行して伝達するために作動する。増加したメモリシステム記録密度、帯域幅、並列性およびスケーラビリティが、結果として生じることになる。
本明細書によるマルチダイメモリアレイの実施形態は、過去のデザインの個々のメモリアレイダイにそれぞれ通常に配置される制御ロジックを集合させる。ダイのスタックされたグループのサブセクションは、本明細書において「メモリボールト」と称され、共通の制御ロジックを共有する。メモリボールトアーキテクチャは、電源がONになったメモリバンクの微細な粒度を提供している間に、エネルギー効率を増加させるために、戦略的にメモリ制御ロジックを区分化する。本明細書による実施形態は、また、メモリシステムインタフェースに、標準化されたホストプロセッサを使用可能にする。標準化されたインタフェースは、メモリ技術が進化する際の、リデザインサイクルタイムを減らすことができる。
図2は、さまざまな実施形態の例による、ロジックダイ202に積み重ねられたスタックダイ3Dメモリアレイ200の切欠概念図である。メモリシステム100は、スタックダイ3Dメモリアレイ200といった、タイル状のメモリアレイの1つ以上のスタックを組み込む。複数のメモリアレイ(例えば、メモリアレイ203)は、複数のスタックダイ(例えば、スタックダイ204)のそれぞれの上へ製造される。
それぞれのスタックダイは、複数の「タイル」(例えば、スタックダイ204と関連したタイル205A、205Bおよび205C)に、論理的に分割される。各タイル(例えば、タイル205C)は、1つ以上のメモリアレイ203を備えてもよい。いくつかの実施態様では、各メモリアレイ203は、メモリシステム100に1つ以上の独立メモリバンクとして構成される。メモリアレイ203は、何らかの特定のメモリ技術に限定されず、ダイナミックランダムアクセスメモリ(DRAM)、スタティックランダムアクセスメモリ(SRAM)、フラッシュメモリなどを備えてもよい。
メモリアレイタイル208のスタックされた一群は、それぞれのスタックダイからの、単一のタイルを備えることができる(例えば、図1の表示では隠された土台タイルを有するタイル212B、212Cおよび212D)。電力、アドレス、および/またはデータ、ならびに、同様の一般的な信号は、スルーウェーハインタコネクト(TWI)などの、伝導経路(例えば、伝導経路224)上にて、「Z」次元220に、タイル208のスタックされた一群を横切ることができる。その結果、スタックダイ3Dメモリアレイ200は、一組のメモリ「ボールト」(例えば、メモリボールト230)に区分化される。各メモリボールトは、タイルのスタックされた一群、つまり複数のスタックダイのそれぞれからの1つのタイルを備える。ボールトの各タイルは、1つ以上のメモリアレイ(例えば、メモリアレイ240)を備える。
メモリボールト102の結果としてもたらされる一群が、図1に示される。下で説明されるコントロール、切替および通信ロジックは、ロジックダイ202上に組み立てられる。メモリシステム100は、複数のメモリボールト制御装置(MVC)104(例えば、MVC 106)を備える。各MVCは、1対1の関係で、対応するメモリボールト(例えば、メモリボールト110)に通信接続される。したがって、各MVCは、他のMVCとそれぞれのメモリボールトとの間の通信と独立して、対応するメモリボールトと通信することが可能である。
メモリシステム100は、また、変更可能な複数の直列化した通信リンクインタフェース(SCLI)112を備える。SCLI112は、SCLIのアウトバウンドグループ113(例えば、アウトバウンドSCLI114)およびSCLIのインバウンドグループ115に分割される。複数のSCLI112のそれぞれは、他のSCLI112と並列動作が可能である。同時に、SCLI112は、1つ以上のホストプロセッサ114に、複数のMVC104を通信接続する。メモリシステム100は、ホストプロセッサ114(単数または複数)に対する、非常に一般化した、マルチリンク、高スループットインタフェースを示す。
メモリシステム100は、マトリクススイッチ116を備えてもよい。マトリクススイッチ116は、複数のSCLI112および複数のMVC104に通信接続される。マトリクススイッチ116は、選択されたMVCに各SCLIを交差接続させることが可能である。したがって、ホストプロセッサ114(単数または複数)は、複数のSCLI112を横切って、複数のメモリボールト102に、ほぼ同時に、アクセスすることができる。このアーキテクチャは、マルチコア技術を含む最新のプロセッサ技術に必要な、プロセッサからメモリへの帯域幅を提供することができる。
メモリシステム100は、マトリクススイッチ116に通信接続されるメモリファブリック制御レジスタ117を備えてもよい。メモリファブリック制御レジスタ117は、構成源からメモリファブリック構成パラメータを受け取り、そして、選択可能なモードにより作動する、メモリシステム100の1つ以上のコンポーネントを構成する。例えば、マトリクススイッチ116、ならびに、複数のメモリボールト102および複数のMVC104のそれぞれは、メモリ要求を区別するために、通常、応答して互いに独立して作動するように構成することができる。このような構成は、SCLI112とメモリボールト102間の並列性の結果として、メモリシステム帯域幅を強化することができる。
代替として、メモリシステム100は、2個以上のメモリボールト102のサブセットおよびMVCの対応するサブセットが単一の要求に応答して同時に作動するように、メモリファブリック制御レジスタ117を介して再構成させてもよい。下で更に説明されるように、後の構成は、レイテンシを減少させるために、通常より広範なデータワードのアクセスに使用してもよい。他の構成は、メモリファブリック制御レジスタ117に、選択されたビットパターンをロードすることによって使用可能となる。
図3および図4は、さまざまな実施形態の例による、それぞれパケットの例300および400と関連するフィールドを示したパケットの図である。図3および図4を考慮して図1を参照にすると、メモリシステム100は、マトリクススイッチ116に通信接続される複数のパケットデコーダ118(例えば、パケットデコーダ120)を備えてもよい。ホストプロセッサ114(単数または複数)は、いくつかの実施形態では、パケットの例300または400に構造面で類似の可能性があるアウトバウンドパケット122をアセンブルする。つまり、アウトバウンドパケット122は、コマンドフィールド310、アドレスフィールド320および/またはデータフィールド410を含むことができる。ホストプロセッサ114は、それから、アウトバウンドSCLI(例えば、アウトバウンドSCLI114)を横切って、アウトバウンドパケット122を、下で更に説明される方法で、パケットデコーダ120に送信する。
アウトバウンドSCLI114は、複数のアウトバウンド差動対のシリアル経路(DPSP)128を備えてもよい。DPSP128は、ホストプロセッサ114(単数または複数)に通信接続されて、アウトバウンドパケット122をひとまとめにしてトランスポートしてもよい。つまり、複数のアウトバウンドDPSP128の各DPSPは、第1データ速度のアウトバウンドパケット122のアウトバウンドサブパケット部分を、第1データ速度でトランスポートすることができる。
アウトバウンドSCLI114は、複数のアウトバウンドDPSP128に通信接続される直並列変換器130を備えてもよい。直並列変換器130は、アウトバウンドパケット122の第1データ速度の各アウトバウンドサブパケット部分を、複数の第2データ速度のアウトバウンドサブパケットに変換する。複数の第2データ速度のアウトバウンドサブパケットは、第1の複数のアウトバウンドシングルエンド形データ経路(SEDP)134を横切って、第2データ速度で送信される。第2データ速度は、第1データ速度より遅い。
アウトバウンドSCLI114は、直並列変換器130に通信接続されるデマルチプレクサ138を備えてもよい。デマルチプレクサ138は、複数の第2データ速度のアウトバウンドサブパケットの各々を、複数の第3データ速度のアウトバウンドサブパケットに変換する。複数の第3データ速度のアウトバウンドサブパケットは、第2の複数のアウトバウンドSEDP142を横切って、パケットデコーダ120に第3データ速度で送信される。第3データ速度は、第2データ速度より遅い。
パケットデコーダ120は、アウトバウンドパケット122を受信して、(例えば、パケットの例300の)コマンドフィールド310、(例えば、パケットの例300の)アドレスフィールド320および/または(例えば、パケット400の例の中の)データフィールドを抽出する。いくつかの実施態様では、パケットデコーダ120は、メモリボールトセレクト信号の対応する一群を決定するために、アドレスフィールド320をデコードする。パケットデコーダ120は、インタフェース146上のマトリクススイッチ116に、メモリボールトセレクト信号の一群を提供する。ボールトセレクト信号は、入力データ経路148を、アウトバウンドパケット122に対応するMVC106に切り替えさせる。
インバウンドデータ経路の説明を参照すると、メモリシステム100は、マトリクススイッチ116に通信接続される複数のパケットエンコーダ154(例えば、パケットエンコーダ158)を備えてもよい。パケットエンコーダ158は、マトリクススイッチ116を介して、複数のMVC104のうちの1つから、インバウンドメモリコマンド、インバウンドメモリアドレスおよび/またはインバウンドメモリデータを受信することができる。パケットエンコーダ158は、ホストプロセッサ114(単数または複数)へ、インバウンドSCLI164を横切って伝送するためのインバウンドパケット160に、インバウンドメモリコマンド、アドレスおよび/またはデータをエンコードする。
いくつかの実施態様では、パケットエンコーダ158は、複数の第3データ速度のインバウンドサブパケットに、インバウンドパケット160を区分化することができる。パケットエンコーダ158は、第1の複数のインバウンドシングルエンド形データ経路(SEDP)166を横切って、複数の第3データ速度のインバウンドサブパケットを、第3データ速度で送信することができる。メモリシステム100は、パケットエンコーダ158に通信接続されるマルチプレクサ168を備えてもよい。マルチプレクサ168は、第2データ速度のインバウンドサブパケットに、第3データ速度のインバウンドサブパケットの複数のサブセットの各々を、多重送信することができる。マルチプレクサ168は、第2の複数のインバウンドSEDP170を横切って、第3データ速度より速い第2データ速度で、第2データ速度のインバウンドサブパケットを送信する。
メモリシステム100は、マルチプレクサ168に通信接続される直列変換器172を更に備えてもよい。直列変換器172は、第1データ速度のインバウンドサブパケットに、第2データ速度のインバウンドサブパケットの複数のサブセットの各々を、集める。第1データ速度のインバウンドサブパケットは、第2データ速度より速い第1データ速度で、複数のインバウンド差動対のシリアル経路(DPSP)174を横切って、ホストプロセッサ114(単数または複数)に送信される。その結果、コマンド、アドレスおよびデータ情報は、マトリクススイッチ116を介して、ホストプロセッサ114(単数または複数)とMVC104の間を、SCLI112を横切って、往復で伝達される。
図5は、さまざまな実施形態の例による、MVC(例えば、MVC106)および関連したモジュールのブロック図である。MVC106は、プログラム可能なボールト制御ロジック(PVCL)コンポーネント(例えば、PVCL510)を備えてもよい。PVCL510は、対応するメモリボールト(例えば、メモリボールト110)に、MVC106をインタフェースする。PVCL510は、対応するメモリボールト110と関連した、1つ以上のバンク制御信号および/またはタイミング信号を生成する。
PVCL510は、選択された構成または選択された技術のメモリボールト110にMVC106を適応させるために、構成することができる。その結果、例えば、メモリシステム100は、現在利用可能なDDR2 DRAMを使用して、最初に構成することができる。その後、メモリシステム100は、DDR3バンク制御およびタイミングロジックを備えるために、PVCL510を再構成することによって、DDR3ベースのメモリボールト技術を収容するように適応させてもよい。
MVC106は、PVCL510に通信接続されるメモリシーケンサ514を備えてもよい。メモリシーケンサ514は、関連したメモリボールト110を実装するために使用される技術に基づいた動作の、メモリ技術に従属した一群を実行する。メモリシーケンサ514は、例えば、コマンドデコード動作、メモリアドレス多重化動作、メモリアドレス非多重化動作、メモリリフレッシュ動作、メモリボールト調整動作、および/または、対応するメモリボールト110と関連したメモリボールトプリフェッチ動作を実行することができる。いくつかの実施態様では、メモリシーケンサ514は、DRAMシーケンサを含んでもよい。いくつかの実施態様では、メモリリフレッシュ動作が、リフレッシュコントローラ515から始まってもよい。
メモリシーケンサ514は、選択された構成または技術のメモリボールト110にメモリシステム100を適応させるために構成されてもよい。例えば、メモリシーケンサ514は、メモリシステム100と関連した他のメモリシーケンサと同時に作動するために構成されてもよい。このような構成は、単一のキャッシュライン要求に応答して、複数のメモリボールトから、ホストプロセッサ114(単数または複数)と関連したキャッシュライン(図示せず)まで、広範なデータワードを配信するために使用することができる。
MVC106は、書込バッファ516を備えてもよい。書込バッファ516は、ホストプロセッサ114(単数または複数)からMVC106に到達したデータをバッファリングするために、PVCL510に通信接続されてもよい。MVC106は、読み出しバッファ517を更に備えてもよい。読み出しバッファ517は、対応するメモリボールト110からMVC106に到達したデータをバッファリングするために、PVCL510に通信接続されてもよい。
MVC106は、アウトオブオーダー要求キュー518を備えてもよい。アウトオブオーダー要求キュー518は、メモリボールト110に備えられる複数のメモリバンクに、読み出しおよび/または書き込み動作の秩序ある順序を定める。秩序ある順序は、バンクの競合を減らすため、および、読み出し−書き込みターンアラウンドタイムを減少させるために、いくつかのシングルメモリバンクへの逐次動作を避けるように、決定される。
MVC106は、メモリボールト修復ロジック(MVRL)コンポーネント524を備えてもよい。MVRL524は、アレイ修復ロジック526を使用して、動作を再配置している欠陥のあるメモリアレイアドレスを実行するために、メモリボールト110に通信接続されてもよい。MVRL524は、TWI修復ロジック528を使用して、メモリボールト110と関連したTWI修復動作を実行してもよい。
図5Aは、さまざまな実施形態の例による、メモリシステム5000のブロック図である。メモリシステム5000は、メモリボールト102の一群(例えば、メモリボールト110)およびMVC104の対応する一群(例えば、MVC106)を備えることができる。MVCは、前記したように、メモリアレイダイ(例えば、図2のメモリアレイダイ204)をスタックしたロジックダイ(例えば、図2のロジックダイ202)に製造される。
図5Aの以下の説明は、メモリボールト110の例、MVC106の例、ならびに、メモリシステム5000のモニタリングおよびコントロールと関連したさまざまな構造上の要素間の、接続に関する。しかしながら、下で説明され、図5Aに示される接続および機能は、メモリボールト102の一群のうちの各1つおよびMVC104の一群のうちの各1つに当てられることに注意すべきである。
メモリシステム5000は、(例えば、埋め込みプロセッサまたはステートマシンといった)システムモニタプロセッサ5004を備えることもできる。システムモニタプロセッサ5004は、メモリボールト102の一群のそれぞれ、および、MVC104の一群のそれぞれと通信接続される。プロセッサ5004は、メモリボールトに関連した、動作パラメータの第1群といった、少なくとも1つの動作パラメータを監視して、ホストデバイス(図5Aに図示せず)への、警報および/または報告動作を実行する。いくつかの実施態様では、プロセッサ5004は、下で更に説明されるように、メモリボールト110と関連した、動作パラメータの第2群といった、少なくとも1つの動作パラメータを調整してもよい。
メモリシステム5000は、システムモニタプロセッサ5004に通信接続される1つ以上のセンサ(例えば、電圧センサ5006、温度センサ5008、および/または、ビットエラー検出器)を更に備えてもよい。センサ5006および5008は、単に例示的なものであり、他のセンサが、さまざまな実施形態において備えられてもよい。センサは、動作パラメータの第1群と関連した一連の値(例えば、一連の電圧または一連の温度)を検出することができる。
センサ監視モジュール5010が、システムモニタプロセッサ5004と通信接続されてもよい。センサ監視モジュール5010は、一連の検出された値を記憶する。いくつかの実施態様では、また、センサ監視モジュール5010は、検出された値を、対応する警報閾値の一群と比較する。
メモリシステム5000は、システムモニタプロセッサ5004に通信接続される統計解析モジュール5012を備えてもよい。統計解析モジュール5012は、一連の検出された値の統計計算を実行する。
メモリシステム5000は、システムモニタプロセッサ5004に通信接続される報告および警報モジュール5014を更に備えてもよい。検出された値が対応する警報閾値を超える場合、報告および警報モジュール5014はホストデバイスに警報を出す。いくつかの実施態様では、また、報告および警報モジュール5014は、統計および性能データをホストデバイスに報告する。
出力分配システム5016は、システムモニタプロセッサ5004に通信接続されてもよい。出力分配システム5016は、メモリボールト110内でセンサ(例えば、センサ5006および5008)から、動作パラメータセンサデータ(例えば、電圧レベルの測定値または温度の測定値)を受信する。出力分配システム5016は、それぞれのアレイと関連した電力使用レベルに従って、供給電圧レベルを、メモリボールト110のサブセクションに(例えば、メモリアレイダイに、または、ダイ上の個々のメモリアレイに)調整する。
メモリシステム5000は、動的修復モジュール5022と通信接続された、エラー訂正コード(ECC)モジュール5020といった、エラーモニタを備えてもよい。いくつかの実施態様では、動的修復モジュール5022は、MVRL524を介してECCモジュール5020に接続可能である。ECCモジュール5020は、ソフトエラーの訂正、ハードビットの故障(不良)、リフレッシュ調整、および/または、故障したビアの1つ以上を検出する。動的修復モジュール5022は、システムモニタプロセッサ5004に通信接続される。動的修復モジュール5022は、ソフトエラーの訂正、ハードビットの故障、リフレッシュ調整および/またはビア故障の通知を受信して、修正処置をとる。
メモリボールト修復ロジック(MVRL)524は、動的修復モジュール5022に、通信接続されてもよい。MVRL524は、欠陥のあるメモリアレイから予備メモリアレイへ、メモリ要求をリダイレクトする。いくつかの実施態様では、また、MVRL524は、欠陥のあるビアから予備ビアへ、メモリボールト信号をリダイレクトする。
メモリシステム5000は、更に、PVCL510を備えてもよい。PVCL510は、前記したように、通信リンク(例えば、図1の通信リンク112)を介して、ホストデバイスとメモリボールト110間に、データおよびアドレスワードを伝達する。PVCL510は、また、多くのメモリボールトサブセクションの各々と対応した、サブセクションアドレス(例えば、ダイアドレス、アレイアドレス、行アドレス、および、列アドレス)を得るために、アドレスワードをデコードする。
トラフィック密度モニタ(呼量モニタ)5026は、システムモニタプロセッサおよび/またはPVCL510に、通信接続されてもよい。トラフィック密度モニタ5026は、メモリボールトサブセクションのそれぞれへのアクセス周波数(アクセス頻度)を監視する。いくつかの実施態様では、トラフィック密度モニタ5026は、また、通信リンクを横切るトラヒック量を監視して、アクセス周波数およびトラヒック量統計をホストデバイスに報告する。
いくつかの実施態様では、トラフィック密度モニタ5026は、PVCL510にロード―バランス動作の実行を命令するように構成される。例えば、トラフィック密度モニタ5026は、過剰に利用されたサブセクションに対応するサブセクションアドレスの代わりに、メモリボールト110の利用されていないサブセクションに対応するサブセクションアドレスを置換するように、PVCL510に命令してもよい。このような動作は、結果として、減少したレイテンシおよび/または高スループットをもたらすことが可能となる。
いくつかの実施態様では、トラフィック密度モニタ5026は、出力分配システム5016にフィードフォワード情報を提供するように構成されてもよい。フィードフォワード情報としては、例えば、サブセクションユーティライゼーション(サブセクションの利用)の最近の履歴および/または予想が挙げられる。出力分配システム5016は、メモリボールト110のさまざまなサブセクションでの所要電力を予測するために、フィードフォワード情報を利用することができる。
メモリシステム5000は、システムモニタプロセッサ5004および/またはPVCL510に、通信接続されるデータアイモニタ5028を備えてもよい。データアイモニタ5028は、調整ルーチンを配置した周期的なデータストローブを実行し、個々のメモリボールト基準のデータストローブ変動に関連した傾向を追跡する。つまり、メモリボールト、メモリボールトダイ、または、ダイ上のメモリセルアレイへの、データストローブタイミングは、一連の読み出しまたは書き込みアクセスを実行する間に、範囲内で逐次調整することができる。範囲の限界は、読み出しまたは書き込みエラーを検出することによって決定されてもよい。範囲の中央は、限界間の中点として算定されてもよく、所望のストローブタイミングとして「データアイ」の中央を選択してもよい。いくつかの実施態様では、データストローブ調整は、メモリボールトを備えるいくつかのダイのそれぞれのために、個々に実行されてもよい。上記したコンポーネントのいずれも、ハードウェア、ソフトウェア、ファームウェア、または、これらの組み合わせの実施形態を備える、多くの方法で実装することができる。この文脈における「ソフトウェア」は、単なるソフトウェアリスティングではなく、法令のソフトウェア構造に関することに注意すべきである。
したがって、メモリシステム100、メモリアレイ200、203、240、527、ダイ202、204、タイル205A、205B、205C、208、212B、212C、212D、Z次元220、経路224、148、メモリボールト230、102、110、MVC104、106、SCLI112、113、114、115、164、プロセッサ114(単数または複数)、マトリクススイッチ116、レジスタ117、パケット300、400、122、160、パケットデコーダ118、120、フィールド310、320、410、DPSP128、174、直並列変換器130、SEDP134、142、166、170、DEMUX138、インタフェース146、パケットエンコーダ154、158、マルチプレクサ168、直列変換器172、PVCL510、メモリシーケンサ514、リフレッシュコントローラ515、バッファ516、517、アウトオブオーダー要求キュー518、MVRL524、アレイ修復ロジック526、TWI修復ロジック528、メモリシステム5000、システムモニタプロセッサ5004、センサ5006、5008、センサ監視モジュール5010、統計解析モジュール5012、報告および警報モジュール5014、出力分配システム5016、ECCモジュール5020、動的修復モジュール5022、トラフィック密度モニタ5026、および、データアイモニタ5028は、本明細書においてすべて「モジュール」と描写される可能性がある。
モジュールとしては、メモリシステム100のアーキテクトの要望通りで、そして、さまざまな実施形態の特定の実現のために適切な、ハードウェア回路、光学コンポーネント、シングルまたはマルチプロセッサ回路、メモリ回路、ソフトウェアプログラムモジュールおよびオブジェクト(ソフトウェアリスティングではない)、ファームウェア、ならびに、これらの組み合わせが挙げられる。
さまざまな実施形態の装置およびシステムが、高密度、マルチリンク、高スループット半導体メモリサブシステム5000以外のアプリケーションで有益となる。したがって、本発明のさまざまな実施形態は、そのように限定されるべきではない。メモリシステム5000の図は、さまざまな実施形態の構造の一般的な理解を提供することを目的とする。本明細書において説明される構造を使用する可能性のある装置およびシステムのすべての要素および特徴の完全な詳細として提供する意図ではない。
さまざまな実施形態の新規の装置およびシステムは、コンピュータ、通信および信号処理回路、シングルプロセッサまたはマルチプロセッサモジュール、シングルまたはマルチプル埋め込みプロセッサ、マルチコアプロセッサ、データスイッチ、および、マルチレイヤを備えた特定用途向けモジュール、マルチチップモジュールにおいて使用される電子回路部品に、含むか、または、組み込むことができる。このような装置およびシステムは、更に、テレビジョン、携帯電話、パーソナルコンピュータ(例えば、ラップトップコンピュータ、デスクトップコンピュータ、ハンドヘルドコンピュータ、タブレットコンピュータなど)、ワークステーション、ラジオ、ビデオプレーヤ、オーディオプレーヤ(例えば、MP3(Motion Picture Experts Group、Audio Layer 3)プレーヤ)、車両、医療デバイス(例えば、心臓モニタ、血圧計など)、セットトップボックス、および、その他といった、さまざまな電子システム内のサブコンポーネントとして、含まれてもよい。いくつかの実施形態は、多くの方法を備えてもよい。
図6A、図6B、図6Cおよび図6Dは、さまざまな実施形態の例による方法1000を示したフローチャートである。方法1000は、とりわけ、電圧、温度、タイミングパラメータ、メモリボールトユーティライゼーション統計、および/または、データエラーといった、メモリボールトと関連した少なくとも1つの動作パラメータを監視することを含む。いくつかの実施態様では、方法1000は、また、供給電圧、データストローブタイミング、および/または、欠陥のあるメモリアレイの置換といった、メモリボールトと関連した少なくとも1つの動作パラメータを調整することも含む。方法1000は、更に、ホストデバイスへの警報および報告動作の実行を含んでもよい。
方法1000は、一連(一組)の警報閾値を受信することを示したブロック1006から始まる。方法100は、ブロック1010の、一連(一組)の警報閾値を記憶する段階へと続く。
方法1000は、また、ブロック1012で、動作パラメータの第1群(第1の組)と関連した一連(一組)の値を検出して、ブロック1014で、検出された値の一群を記憶する。方法1000は、更に、ブロック1016で、検出された値の一群を、警報閾値の一群のうちの対応するものと比較する。
方法1000は、また、ブロック1020で、検出された値の一群に統計計算を実行し、ブロック1022で、ホストデバイスに統計および性能データを報告する。いくつかの実施態様では、方法1000は、更に、ブロック1024で、検出された値が対応する警報閾値を超えた場合に、ホストデバイスに警報を出す。
方法1000は、メモリボールト内のセンサから1つ以上の電圧レベルの測定値または温度の測定値を受信する、ブロック1028に続いてもよい。さまざまな実施形態では、メモリボールトレベル、メモリアレイダイレベル、または、メモリアレイレベルで、センサを備えることができる。方法1000は、また、ブロック1032で、電圧レベルの測定値または温度の測定値に反応する、メモリボールト内の供給電圧レベルを調整する。このような調整は、メモリボールトレベル、メモリアレイダイレベル、または、メモリアレイレベルで、実行されてもよい。
方法1000は、ソフトエラー訂正、ハードビット故障、および/または、リフレッシュ調整の1つ以上を検出する、ブロック1036に続いてもよい。エラーは、ECCモジュール(例えば、図5AのECCモジュール5020)で、PVCL(例えば、図5AのPVCL510)で、および/または、ロジックダイ202内、または、メモリボールト自体内の他のいくつかの適切な点で、検出されてもよい。方法1000は、また、ブロック1040で、ソフトエラー訂正、ハードビット故障、および/または、リフレッシュ調整の通知を受信する。このような通知は、例えば、図5Aの動的修復モジュール5022で受信してもよく、故障したか故障しているメモリアレイを示してもよい。方法1000は、更に、ブロック1042で、欠陥のあるメモリアレイから予備メモリアレイへ、メモリ要求をリダイレクトする。
方法1000は、欠陥のあるスルーウェーハインタコネクト(例えば、ウェーハを通って少なくとも部分的に延びる伝導経路)といった、1つ以上の欠陥のある伝導経路(以下「欠陥のあるビア」と称する)を検出する、ブロック1046に続いてもよい。欠陥のあるビア事象は、ECCモジュールで、PVCLで、および/または、ロジックダイ202内の、または、メモリボールト自体内の他のいくつかの適切な点で、検出されてもよい。方法1000は、また、ブロック1048で、欠陥のあるビアの通知を受信する。このような通知は、例えば、図5Aの動的修復モジュール5022で受信してもよい。方法1000は、更に、ブロック1050で、欠陥のあるビアから予備ビアへ、メモリボールト信号をリダイレクトする。
方法1000は、更に、ホストデバイスとメモリボールトの間の通信リンクを横切ってデータおよび/またはアドレスワードを伝達する、ブロック1054に続いてもよい。方法1000は、また、ブロック1056で、メモリボールトサブセクションアドレスを得るために、アドレスワードをデコードする。それぞれのサブセクションアドレスは、メモリボールトのサブセクションに対応する。サブセクションは、例えば、ダイまたはメモリアレイを含んでもよい。
方法1000は、また、ブロック1058で、通信リンクを横切るトラヒック量を監視し、ブロック1060で、ホストデバイスにトラヒック量を報告する。方法1000は、更に、ブロック1062で、メモリボールトのサブセクションの各々へのアクセス周波数を監視し、ブロック1064で、アクセス周波数をホストデバイスに報告する。
方法1000は、メモリアドレス割り付けを管理して、メモリボールトのさまざまなサブセクションのユーティライゼーションを釣り合わせる、ブロック1068に続いてもよい。例えば、システムを作動しているホストデバイスは、ホストデバイスで受信される、メモリサブシステムからのサブセクションユーティライゼーションの報告に基づいて、あまり使われないメモリボールトサブセクションに、物理的メモリを割り付けてもよい。
方法1000は、また、ブロック1070で、メモリボールトのさまざまなサブセクションのユーティライゼーションのバランスをとるために、サブセクションアドレスを置換する。いくつかの実施態様では、例えば、MVCが、メモリボールトサブセクションユーティライゼーションのバランスをとるために、あまり使われないサブセクションアドレスを使用頻度が高いサブセクションアドレスと置換するように、命令されてもよい。
方法1000は、更に、ブロック1074で、出力分配システムにフィードフォワードサブセクションユーティライゼーション情報を提供する。サブセクションユーティライゼーション情報は、メモリボールトのさまざまなサブセクションで、所要電力を予測するために使用されてもよい。方法1000は、また、ブロック1076で、メモリボールトのさまざまなサブセクションの、電力利用率を個々に調整する。例えば、供給電圧は、高アクセスロードが予測されるメモリアレイへ増加させてもよい。
方法1000は、調整ルーチンを配置した周期的なデータストローブを実行する、ブロック1080に続いてもよい。つまり、メモリボールト、メモリボールトダイ、または、ダイ上のメモリセルアレイへの、データストローブタイミングは、一連の読み出しまたは書き込みアクセスを実行する間に、範囲内で逐次調整することができる。範囲の限界は、読み出しまたは書き込みエラーを検出することによって決定されてもよい。範囲の中央は、限界間の中点として算定されてもよく、所望のストローブタイミングとして「データアイ」の中央を選択してもよい。いくつかの実施態様では、方法1000は、ブロック1082で、メモリボールト、メモリボールトダイ、または、ダイ上のメモリセルアレイでの、データストローブ変動に関連した傾向を追跡する。
本明細書において説明される活動が、説明される順序以外の順序で実行されてもよいことに注意すべきである。本明細書において確認された方法に対して説明されるさまざまな活動は、反復的、直列、および/または、並列に、実行されてもよい。
ソフトウェアプログラムは、ソフトウェアプログラムに定められた機能を実行するために、コンピュータによって動作するシステムでコンピュータ可読媒体から起動されてもよい。さまざまなプログラミング言語が、本明細書において開示される方法を実装および実行するように設計されるソフトウェアプログラムを考案するために、用いられてもよい。プログラムは、Java(登録商標)またはC++といった、オブジェクト指向言語を使用して、オブジェクト指向フォーマットで構築されてもよい。代替として、プログラムは、アセンブリまたはCといった、手順向き言語を使用して、手続き向きフォーマットで構築されてもよい。ソフトウェアコンポーネントは、その中に、アプリケーションプログラムインタフェース、プロセス間通信技術、および、リモートプロシージャコールを含む、周知の機構を使用して、通信してもよい。さまざまな実施形態の教示は、何らかの特定のプログラミング言語または環境に限定されない。
本明細書において説明される装置、システムおよび方法は、メモリボールトと関連した動作パラメータを監視および調整するために作動してもよい。動作パラメータは、統計学的に分析されてもよく、メモリボールトに接続されたホストデバイスに報告されてもよい。警報閾値が設定されてもよく、1つ以上のパラメータが対応する閾値を超える場合には、警報がホストデバイスに発せられる。これらのタスクは、メモリボールトとスタックされたロジックダイ上のモジュールによって実行されてもよく、その結果、ホストデバイスからこのような処理を開放する。監視/制御機能とメモリボールト間の統合のレベルが高くなるほど、結果として、より低いコストで、強化した性能をもたらすことが可能となる。例えば、データストローブ補正は、メモリボールトと対応する多くのダイの各ダイごとに、個々に実行されてもよい。結果として、広い範囲のタイミング機能を有するメモリアレイダイが、メモリボールトを製造するために使用可能となる。製造歩留まりの増加がもたらされ、コストの減少も可能となる。
限定的ではないが、例示するものとして、添付の図は、内容を実施する特定の実施形態を示す。図示される実施形態は、本明細書において開示される教示を当業者が実施することができるように、十分に詳細に説明される。構造的および論理的な置換および変更が、本開示の要旨を逸脱しない範囲で実行可能となるように、他の実施形態が、そこから、利用され、導き出されてもよい。したがって、この詳細な説明は、限定的に扱われない。さまざまな実施形態の広がりが、添付の請求の範囲、および、本請求の範囲が権利を与えるあらゆる均等物によって、定められる。
本発明の内容のこのような実施形態は、2つ以上が事実開示される場合には、本出願を何らかの1つの発明または発明の概念に自発的に限定することを意図せず、単に便宜上「発明」という用語によって、個別的、または、集合的に本明細書を参照することになる。したがって、特定の実施形態が示され、本明細書において説明されたにもかかわらず、同じ目的を獲得するために割り出された何らかの配置が、特定の図示した実施形態に置換されてもよい。本開示は、さまざまな実施形態のすべての翻案または変化を包含することを意図する。上記の実施形態と本明細書で明確に説明されない他の実施形態の組み合わせは、上記の説明を検討すると、即座に、当業者にとって明らかとなるであろう。
明細の要約文は、読者が技術的な開示の性質をすばやく確認できる要約を必要とする37C.F.R.§1.72(b)に従って、提供される。請求項の範囲または意味を解釈または限定するために使用しないという了解の下で、要約文は提示される。上記の詳細な説明において、さまざまな特徴は、開示を簡素化するために、単一の実施形態に同時に分類される。開示のこの方法は、各請求項において明白に列挙されるより、多くの特徴を要求するように、解釈されないことになっている。むしろ、発明の内容は、単一の開示された実施形態のすべての特徴より小さいものと見られてもよい。したがって、以下の請求項は、各請求項が別個の実施形態として単独で有効に、詳細な説明に組み込まれる。

Claims (38)

  1. それぞれが少なくとも1つのメモリアレイを含む複数のメモリタイルに区分化されるメモリダイが複数積層され、積層方向に重なる一群の複数のメモリタイルをメモリボールトとして、前記メモリボールトを複数備えるように構成される複数のメモリダイと、
    前記複数のメモリダイに積層され、複数の前記メモリボールトとそれぞれ前記積層方向に重なる位置に配置されて複数の前記メモリボールトとそれぞれ独立に通信接続される複数のメモリボールト制御装置を備えるロジックダイと、
    前記ロジックダイと接続され、前記複数のメモリボールト制御装置のそれぞれにおける動作パラメータを監視し且つ調整するシステムモニタプロセッサと、
    を備えるメモリシステム。
  2. 前記複数のメモリボールト制御装置のそれぞれにおける前記動作パラメータ関連する値を検出する少なくとも1つのセンサと、
    前記動作パラメータに関連する値と、前記システムモニタプロセッサから与えられる閾値とを比較するセンサ監視モジュールと、
    更に備える請求項1に記載のメモリシステム。
  3. 前記少なくとも1つのセンサが電圧センサであることを特徴とする請求項2に記載のメモリシステム。
  4. 前記少なくとも1つのセンサが温度センサであることを特徴とする請求項2に記載のメモリシステム。
  5. 前記動作パラメータに関連する値の統計計算を実行する統計解析モジュールを更に備える請求項2に記載のメモリシステム。
  6. 前記統計解析モジュールにおいて計算された結果を前記システムモニタプロセッサに伝送する報告モジュールを更に備える請求項5に記載のメモリシステム。
  7. 前記センサ監視モジュールにおける監視の結果、前記動作パラメータに関連する値が前記閾値を超えている場合に前記システムモニタプロセッサに警報を伝える警報モジュールを更に備える請求項2に記載のメモリシステム。
  8. 複数の前記メモリボールトそれぞれにおける前記動作パラメータに関連する値に対応する複数の電圧レベルを複数の前記メモリボールトにそれぞれ供給する出力分配システムを更に備える請求項に記載のメモリシステム。
  9. 前記複数のメモリダイは互いにスルーウェハインターコネクトを伝送経路として互いに接続されるものであって、
    前記システムモニタプロセッサと接続され、前記スルーウェハインターコネクトの故障を検知して修正処置を行う動的修復モジュールを更に備える請求項1に記載のメモリシステム。
  10. 前記システムモニタプロセッサに接続され、前記メモリボールトのアクセス頻度を監視する呼量モニタを更に備える請求項1に記載のメモリシステム。
  11. 複数の前記メモリボールトはデータストローブ信号に応じてデータ入出力を行うものであって、
    前記システムモニタプロセッサに接続され、前記データストローブ信号の変動を監視するデータアイモニタを更に備える請求項1に記載のメモリシステム。
  12. 複数のメモリボールトと前記複数のメモリボールトに対応する複数のメモリボールト制御装置とに通信接続されたシステムモニタプロセッサが、前記複数のメモリボールト制御装置のそれぞれにおける動作パラメータを監視することであってそれぞれが少なくとも1つのメモリアレイを含む複数のメモリタイルに区分化されるメモリダイが複数積層され、積層方向に重なる一群の複数のメモリタイルを前記メモリボールトとして、前記複数のメモリダイが前記複数のメモリボールトを備えるように構成され、前記複数のメモリダイに積層されたロジックダイが前記複数のメモリボールト制御装置を備え、前記複数のメモリボールト制御装置は、前記複数のメモリボールトとそれぞれ前記積層方向に重なる位置に配置されて前記複数のメモリボールトとそれぞれ独立に通信接続される、ことと、
    前記システムモニタプロセッサが、前記複数のメモリボールト制御装置のそれぞれにおける前記動作パラメータを調整することと、
    前記システムモニタプロセッサが、発動デバイスへの警報動作または報告動作の少なくとも1つを実行することと、
    を含む方法。
  13. の警報閾値を受信することと、
    前記一の警報閾値を記憶することと、
    を更に含む、請求項12に記載の方法。
  14. 記動作パラメータを監視することは、
    第1の組の動作パラメータと関連した一の値を検出することと、
    前記検出された一組の値を前記一組の警報閾値のうちの対応するものと比較することと、
    を含む請求項13に記載の方法。
  15. 記検出された一組の値の統計計算を実行すること、を更に含む、請求項14に記載の方法。
  16. 統計データおよび/または性能データのうちの少なくとも1つを前記発動デバイスに報告すること、を更に含み、前記発動デバイスがホストデバイスを含む、請求項12に記載の方法。
  17. 前記検出された一組の値のうちの1つが前記一組の警報閾値のうちの対応する1つを超える場合に、前記発動デバイスに警報を発すること、を更に含む、請求項14に記載の方法。
  18. 記動作パラメータを監視することが、前記メモリボールト内のセンサから電圧レベルの測定値または温度の測定値のうちの少なくとも1つを受信することを含み、また、前記動作パラメータを調節することが、それぞれのアレイと関連した電力使用レベルに従って、前記メモリボールト内の個々のメモリアレイへの供給電圧レベルを調整することを含む、請求項12に記載の方法。
  19. ソフトエラー訂正、ハードビット不良、または、リフレッシュ調整のうちの少なくとも1つを検出することと、
    記検出に応答して、欠陥のあるメモリアレイから予備メモリアレイメモリ要求をリダイレクトすることと、
    を更に含む、請求項12に記載の方法。
  20. 少なくとも1つの欠陥のある伝導経路を検出することと、
    前記欠陥のある伝導経路から予備伝導経路メモリボールト信号をリダイレクトすることと、
    を更に含む、請求項12に記載の方法。
  21. 前記発動デバイスと前記メモリボールトの間通信リンクを介して、データおよびアドレスワードを転送することと、
    前記メモリボールトと関連した複数のサブセクションのそれぞれに対応するメモリボールトサブセクションアドレスを得るために前記アドレスワードをデコードすることと、
    を更に含む、請求項12に記載の方法。
  22. 前記通信リンクを横切るトラヒック量を監視することと、
    前記トラヒック量を前記発動デバイスに報告することと、
    を更に含む、請求項21に記載の方法。
  23. 前記メモリボールトの前記複数のサブセクションへのアクセス頻度を監視することと、
    前記アクセス頻度を前記発動デバイスに報告することと、
    を更に含む、請求項21に記載の方法。
  24. メモリアドレス割り付けを管理することにより、前記メモリボールトの前記複数のサブセクションの利用のバランスをとること、を更に含む、請求項23に記載の方法。
  25. 前記メモリボールトの前記複数のサブセクションの利用のバランスをとるために、サブセクションアドレスを置換すること、を更に含む、請求項23に記載の方法。
  26. 前記メモリボールトの前記サブセクションでの所要電力を予測するために、出力分配システムにフィードフォワードサブセクション利用情報を提供することと、
    前記メモリボールトの前記サブセクションのそれぞれへの電力利用率を個々に調整することと、
    を更に含む、請求項23に記載の方法。
  27. メモリボールトダイの中心にデータアイを置くために、周期的データストローブ配置調整ルーチンを実行すること、および/または、
    前記メモリボールトダイでのデータストローブ変動に関連した傾向を追跡すること、
    を更に含む、請求項12に記載の方法。
  28. それぞれが少なくとも1つのメモリアレイを含む複数のメモリタイルに区分化されるメモリダイが複数積層され、積層方向に重なる一群の複数のメモリタイルをメモリボールトとして、前記メモリボールトを複数備えるように構成される複数のメモリダイと、
    前記複数のメモリダイに積層されたロジックダイと
    を備え、前記ロジックダイが、
    複数の前記メモリボールトとそれぞれ前記積層方向に重なる位置に配置されて複数の前記メモリボールトとそれぞれ独立に通信接続される複数のメモリボールト制御装置と、
    複数の前記メモリボールトと前記複数のメモリボールトに対応する複数の前記メモリボールト制御装置とに通信接続され、前記複数のメモリボールト制御装置のそれぞれにおける動作パラメータを監視し且つ調整するシステムモニタプロセッサと、
    ソフトエラー訂正、ハードビット不良、リフレッシュ調整、または、伝導経路不良のうちの少なくとも1つの通知の受信に応答して修正処置をとるために、前記システムモニタプロセッサに通信接続される動的修復モジュールと、
    を備えるメモリシステム。
  29. 前記メモリボールト制御装置が、前記ソフトエラー、前記ハードビット不良、前記リフレッシュ調整、または、前記伝導経路不良のうちの少なくとも1つを検出するために、エラーモニタを備える、請求項28に記載のメモリシステム。
  30. 前記メモリボールト制御装置が、欠陥のあるメモリアレイから予備メモリアレイメモリ要求をリダイレクトするため、および/または、欠陥のある伝導経路から予備伝導経路メモリボールト信号をリダイレクトするために、前記動的修復モジュールに通信接続されるメモリボールト修復ロジック(MVRL)を備える、請求項28に記載のメモリシステム。
  31. それぞれが少なくとも1つのメモリアレイを含む複数のメモリタイルに区分化されるメモリダイが複数積層され、積層方向に重なる一群の複数のメモリタイルをメモリボールトとして、前記メモリボールトを複数備えるように構成される複数のメモリダイと、
    前記複数のメモリダイに積層されたロジックダイと
    を備え、前記ロジックダイが、
    複数の前記メモリボールトとそれぞれ前記積層方向に重なる位置に配置されて複数の前記メモリボールトとそれぞれ独立に通信接続される複数のメモリボールト制御装置と、
    複数の前記メモリボールトと前記複数のメモリボールトに対応する複数の前記メモリボールト制御装置とに通信接続され、前記複数のメモリボールト制御装置のそれぞれにおける動作パラメータを監視し且つ調整するシステムモニタプロセッサと、
    前記メモリボールトのサブセクションへのアクセス頻度を監視するために、前記システムモニタプロセッサおよび/または前記メモリボールト制御装置に通信接続される呼量モニタと、
    を備えるメモリシステム。
  32. 前記呼量モニタが、更に、発動デバイスと前記メモリボールトとの間の通信リンクを横切るトラヒック量を監視するように、および/または、前記アクセス頻度および/またはトラヒック量を前記発動デバイスに報告するように、構成される、請求項31に記載のメモリシステム。
  33. 前記メモリボールト制御装置が、発動デバイスと前記メモリボールトとの間の通信リンクと前記メモリボールトの間データおよびアドレスワードを転送するため、および、前記メモリボールトの前記サブセクションのそれぞれに対応するサブセクションアドレスを得るべく前記アドレスワードをデコードするために、前記呼量モニタに通信接続されるプログラム可能なボールト制御ロジック(PVCL)を備える、請求項31に記載のメモリシステム。
  34. 前記呼量モニタが、前記メモリボールトの前記サブセクションの利用のバランスをとるために、サブセクションアドレスを置換するべく前記PVCLに命令するように構成される、請求項33に記載のメモリシステム。
  35. 前記呼量モニタが、更に、前記メモリボールトの前記サブセクションの所要電力を予測するために、出力分配システムにフィードフォワード情報を提供するように構成される、請求項31に記載のメモリシステム。
  36. それぞれが少なくとも1つのメモリアレイを含む複数のメモリタイルに区分化されるメモリダイが複数積層され、積層方向に重なる一群の複数のメモリタイルをメモリボールトとして、前記メモリボールトを複数備えるように構成される複数のメモリダイと、
    前記複数のメモリダイに積層されたロジックダイと
    を備え、前記ロジックダイが、
    複数の前記メモリボールトとそれぞれ前記積層方向に重なる位置に配置されて複数の前記メモリボールトとそれぞれ独立に通信接続される複数のメモリボールト制御装置と、
    複数の前記メモリボールトと前記複数のメモリボールトに対応する複数の前記メモリボールト制御装置とに通信接続され、前記複数のメモリボールト制御装置のそれぞれにおける動作パラメータを監視し且つ調整するシステムモニタプロセッサと、
    データストローブタイミングを調整するためおよび/またはデータストローブ変動に関連した傾向を追跡するために、前記システムモニタプロセッサにおよび/または前記メモリボールト制御装置に通信接続されるデータアイモニタと、
    を備えるメモリシステム。
  37. 前記データアイモニタが、
    一連の読み出しまたは書き込みアクセスを実行する間に、範囲内で、前記メモリボールト及びメモリボールトダイのうちの少なくとも1つへの、または、前記メモリボールトダイ上のメモリセルアレイへの、データストローブタイミングを逐次調整するように、
    読み出しまたは書き込みエラーを検出することによって、前記範囲の限界を決定するように、
    前記範囲の中心、前記限界間の中点として算定するように、及び、
    記範囲の中心を前記所望のストローブタイミングとして選択するように、
    構成される、請求項36に記載のメモリシステム。
  38. 前記データアイモニタが、前記メモリボールトを備える前記メモリダイのそれぞれに対してデータストローブタイミングを調整するように構成される、請求項36に記載のメモリシステム。
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