JP5952039B2 - 放電セル及びオゾンガス発生装置 - Google Patents
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Description
図5に、オゾンガス発生装置の一例を示す。このオゾンガス発生装置1は、高純度なオゾンガスを安定して生成できるように設計されており、例えば、半導体分野で使用される。オゾンガス発生装置1には、無声放電によってオゾンガスを生成する放電セル2、電源供給部3などが備えられている。装置前面には、スイッチ、ランプ及びディスプレイなどからなる操作部4が設置されている。
図6に、放電セル2を示す。放電セル2は、外観が角柱形状をしたセル本体10を有し、そのセル本体10の四隅に設けられた端子部30に、電源供給部(高周波高圧電源)3から延びる電線50が接続されている。詳しくは、隣接した一方の2つの端子部30に、電源供給部3から延びる一対の高圧側の電線50a,50aが接続されている。他方の2つの端子部30に、電源供給部3から延びる一対の低圧側の電線50b,50bが接続されている。
図9に、端子部30の構造を示す。端子部30は、スルーホール31(長孔)、線材70、充填材33及び端子電極部21bなどで構成されていて、薄膜電極層21と電線50とを電気的に接続している。
本実施形態の端子部30は、セル本体10に後付けすることによって形成されている。図10に、その処理の流れを示す。まず、誘電板11a等に接合ペーストを塗布して所定の順序で重ね合わせ、積層体を形成する(ステップS1)。続いて、位置ずれしないように支持した状態で積層体を850℃以上の温度で焼成する(ステップS2)。
2 放電セル
10 セル本体
10a ガス流入口
10b ガス流出口
11a、11b 誘電板
12a、12b 絶縁板
13a、13b 流路基板
14a、14b 蓋板
15 要素孔
21 薄膜電極層
21a 対向電極部
21b 端子電極部
22 接合層
23 放電隙間
30 端子部
31 スルーホール(長孔)
33 充填材
34 背面露出部
35 孔内露出部
36 圧着端子
50 電線
70 線材(棒状部材)
Claims (4)
- 無声放電によってオゾンガスを生成する放電セルであって、
突き合わされた一対の誘電板を含む積層された複数の基板と、これら基板に介在するガラス系の接合層とを有するセル本体と、
前記一対の誘電板の間に形成され、ガス流入口及びガス流出口に連通する放電隙間と、
前記誘電板のそれぞれの背面に形成された薄膜電極層と、
前記薄膜電極層と外部の電線とを電気的に接続する端子部と、
を備え、
前記端子部は、
前記基板に開口する要素孔が重なって形成され、前記セル本体の内部を積層方向に延びる長孔と、
前記長孔に挿入される金属製の棒状部材と、
前記長孔に充填される電気伝導性を有する充填材と、
を有し、
前記薄膜電極層は、前記誘電板の要素孔周辺の隙間に拡がって前記長孔に露出する背面露出部を有し、
前記充填材に、樹脂成分を含み、固化前に流動性を有する導電性接着剤が用いられ、
前記誘電板の要素孔の内径が、他の前記基板の要素孔の内径よりも小さく形成されていて、前記誘電板の要素孔の内周面が、前記棒状部材の外周面と僅かな隙間を隔てて対向している放電セル。 - 請求項1に記載の放電セルにおいて、
前記薄膜電極層は、更に、前記誘電板の要素孔の内側に入り込んで当該要素孔内に露出する孔内露出部を有する放電セル。 - 請求項1に記載の放電セルにおいて、
前記長孔から前記棒状部材の端部が突出し、当該端部に、圧着端子を用いて前記電線が接続されている放電セル。 - 請求項1〜3のいずれか1つに記載の放電セルを備えたオゾンガス発生装置。
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