JP5943720B2 - レーザー加工装置 - Google Patents
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Description
14 レーザー加工ユニット(レーザー光線照射手段)
15 チャックテーブル
141 集光器
142 粉塵排出装置
143 粉塵吸引部(粉塵排出手段)
143a 側壁
143b 上壁
143c 嵌合孔
143d 装着部
143e 開口
143f 吸引箇所
144a 配管(排出管)
144b 配管
144c,144d 配管(分岐配管)
145 湿式粉塵処理装置
146,148 送風機
147 ダクト
F フレーム
L 液体
T ダイシングテープ
W ウェーハ(被加工物)
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、前記チャックテーブルに保持された被加工物の表面にレーザー光線を照射してアブレーション加工によりレーザー加工溝を形成するための集光器を備えたレーザー光線照射手段と、前記集光器のレーザー光線照射方向下流側の端部に配設された、前記集光器により前記被加工物に照射される前記レーザー光線によって加工点近傍に発生する粉塵を吸引して排出するための粉塵排出手段と、を備えたレーザー加工装置であって、
前記粉塵排出手段に排出管を介して連結され排気に含まれる粉塵を液体により捕捉し排気のみをダクトに排出するための湿式粉塵処理装置を備え、
前記湿式粉塵処理装置からダクトへ連通する配管は途中で分岐し、分岐配管は前記集光器近傍に連通し前記加工点近傍に湿式粉塵処理装置を通過した高湿の前記排気を供給する、ことを特徴とするレーザー加工装置。 - 前記分岐配管は前記粉塵排出手段において前記排出管の接続される吸引箇所以外の箇所に接続されていること、を特徴とする請求項1記載のレーザー加工装置。
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JP2012128836A JP5943720B2 (ja) | 2012-06-06 | 2012-06-06 | レーザー加工装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012128836A JP5943720B2 (ja) | 2012-06-06 | 2012-06-06 | レーザー加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2013252532A JP2013252532A (ja) | 2013-12-19 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2012128836A Active JP5943720B2 (ja) | 2012-06-06 | 2012-06-06 | レーザー加工装置 |
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2012
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