JP2013252532A - レーザー加工装置 - Google Patents
レーザー加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013252532A JP2013252532A JP2012128836A JP2012128836A JP2013252532A JP 2013252532 A JP2013252532 A JP 2013252532A JP 2012128836 A JP2012128836 A JP 2012128836A JP 2012128836 A JP2012128836 A JP 2012128836A JP 2013252532 A JP2013252532 A JP 2013252532A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dust
- laser beam
- processing
- processing apparatus
- pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003754 machining Methods 0.000 title abstract description 7
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims abstract description 122
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 31
- 238000002679 ablation Methods 0.000 claims description 16
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 10
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 4
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 2
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 2
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
【解決手段】被加工物(W)を保持するチャックテーブル(15)と、被加工物にレーザー光線を照射するための集光器(141)を備えたレーザー光線照射手段(14)と、レーザー光線により加工点近傍に発生する粉塵を吸引して排出するための粉塵排出手段(143)と、を備えたレーザー加工装置(1)であって、粉塵排出手段に排出管(144a)を介して連結され排気に含まれる粉塵を液体(L)により捕捉し、粉塵の補足された排気のみをダクト(147)に排出するための湿式粉塵処理装置(145)を備え、湿式粉塵処理装置からダクトへ連通する配管(144b)は途中で分岐し、分岐配管(144c,144d)は集光器近傍に連通し加工点近傍に湿式粉塵処理装置を通過した高湿の排気を供給するようにした。
【選択図】図2
Description
14 レーザー加工ユニット(レーザー光線照射手段)
15 チャックテーブル
141 集光器
142 粉塵排出装置
143 粉塵吸引部(粉塵排出手段)
143a 側壁
143b 上壁
143c 嵌合孔
143d 装着部
143e 開口
143f 吸引箇所
144a 配管(排出管)
144b 配管
144c,144d 配管(分岐配管)
145 湿式粉塵処理装置
146,148 送風機
147 ダクト
F フレーム
L 液体
T ダイシングテープ
W ウェーハ(被加工物)
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、前記チャックテーブルに保持された被加工物の表面にレーザー光線を照射してアブレーション加工によりレーザー加工溝を形成するための集光器を備えたレーザー光線照射手段と、前記集光器のレーザー光線照射方向下流側の端部に配設された、前記集光器により前記被加工物に照射される前記レーザー光線によって加工点近傍に発生する粉塵を吸引して排出するための粉塵排出手段と、を備えたレーザー加工装置であって、
前記粉塵排出手段に排出管を介して連結され排気に含まれる粉塵を液体により捕捉し排気のみをダクトに排出するための湿式粉塵処理装置を備え、
前記湿式粉塵処理装置からダクトへ連通する配管は途中で分岐し、分岐配管は前記集光器近傍に連通し前記加工点近傍に湿式粉塵処理装置を通過した高湿の前記排気を供給する、ことを特徴とするレーザー加工装置。 - 前記分岐配管は前記粉塵排出手段において前記排出管の接続される吸引箇所以外の箇所に接続されていること、を特徴とする請求項1記載のレーザー加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012128836A JP5943720B2 (ja) | 2012-06-06 | 2012-06-06 | レーザー加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012128836A JP5943720B2 (ja) | 2012-06-06 | 2012-06-06 | レーザー加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013252532A true JP2013252532A (ja) | 2013-12-19 |
JP5943720B2 JP5943720B2 (ja) | 2016-07-05 |
Family
ID=49950496
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012128836A Active JP5943720B2 (ja) | 2012-06-06 | 2012-06-06 | レーザー加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5943720B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001084579A (ja) * | 1999-09-10 | 2001-03-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気テープ加工装置 |
JP2008501531A (ja) * | 2004-06-11 | 2008-01-24 | エキシテック リミテッド | アブレーション方法及び装置 |
JP3171096U (ja) * | 2011-08-02 | 2011-10-13 | 實 富田 | 湿式集塵機 |
-
2012
- 2012-06-06 JP JP2012128836A patent/JP5943720B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001084579A (ja) * | 1999-09-10 | 2001-03-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気テープ加工装置 |
JP2008501531A (ja) * | 2004-06-11 | 2008-01-24 | エキシテック リミテッド | アブレーション方法及び装置 |
JP3171096U (ja) * | 2011-08-02 | 2011-10-13 | 實 富田 | 湿式集塵機 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5943720B2 (ja) | 2016-07-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6647829B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP6104025B2 (ja) | レーザー加工装置及びレーザー加工方法 | |
JP5436917B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
JP6907091B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
TWI778159B (zh) | 雷射加工裝置 | |
JP6998177B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
JP6968659B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
JP2016036818A (ja) | レーザー加工装置 | |
TW201914721A (zh) | 雷射加工裝置 | |
JP2022107953A (ja) | レーザー加工装置 | |
JP5943720B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
TWI801596B (zh) | 雷射加工裝置 | |
KR102515688B1 (ko) | 레이저 가공 장치 | |
TWI782116B (zh) | 雷射加工裝置 | |
KR102616529B1 (ko) | 레이저 가공 장치 | |
JP6111090B2 (ja) | レーザー加工方法 | |
JP2013254817A (ja) | レーザー加工装置 | |
TW202322950A (zh) | 雷射加工裝置及碎屑去除裝置 | |
TWI804637B (zh) | 雷射加工裝置 | |
JP2013163216A (ja) | レーザー加工装置 | |
JP2014121718A (ja) | レーザー加工装置 | |
JP2021000649A (ja) | レーザー加工装置 | |
JP2021070039A (ja) | レーザー加工装置 | |
TW201606938A (zh) | 封裝基板之加工方法 | |
JP6739306B2 (ja) | レーザ加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150521 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160426 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160524 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5943720 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |