JP5919682B2 - 半導体レーザ装置 - Google Patents
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Description
ここでmは回折の次数、λは真空中の波長、nrは導波路の有効屈折率である。ここでは高速変調用の短共振器レーザを考えている。短素子長で十分な回折効率を得るには1次の回折が使われる(すなわちm=1)。
TiWの抵抗率は6.5×10−5Ωcm(0.65Ωμm)である。TiW電極発熱部の長さを80μmとし、厚さと幅をそれぞれ0.2μm、6μmとすると、TiW電極発熱部の抵抗Rは、R=0.65×80÷(0.2×6)=43Ωとなる。
ここで、λは熱伝導率、gradTは温度勾配である。ここでは1次元の単純モデルで考えることにし、大まかな見積もりを得るために、次式(4)のように、gradTを近似する。
熱流束を伝える導体の面積をSとすれば、伝わる熱量Qは、式(3)および式(4)を用いて次式(5)のように表される。
すなわち、熱源から伝わる熱量Qは、導体の熱伝導率λ、断面積S、および温度差ΔTに比例し、熱源からの距離Δxに反比例する。このモデルに従い、TiW電極発熱部で発生した熱が、DFBレーザ部上のAu電流注入電極15aへ伝導する割合と、DBR部の半導体部材へ伝導する割合とを比較する。Au電流注入電極へ伝導した熱は、その下方に接する半導体部材に速やかに伝導されるとみなせるので、この両者の比較が、DBR部の半導体部材への熱伝播と、DFBレーザ部の半導体部材への熱伝播との比較とみなせる。
一方、DBR部の半導体部材へは、厚さ500nmのSiO2絶縁層12を介して熱が伝播する。SiO2の熱伝導率は約1.1W/mK(1.1×10−6W/μmK)である。TiW電極発熱部下方の絶縁層12の面積は、長さと幅をそれぞれ80μm、6μmとして、480(μm)2となる。従って、DBR部の半導体部材へ伝導する熱量Q2は、次式(7)で表される。
式(6)および式(7)より、TiW電極発熱部で生じた熱のうちDFBレーザ部側に伝わる熱量は2%以下に過ぎず、ほとんどがDBR部側に伝わることが分かる。発熱がDBR部の光ガイド層に有効に伝わることは、概略的には以下のように理解される。
(付記1)
第1半導体層と、
前記第1半導体層上の第1領域に形成された活性層と、
前記第1半導体層上の第2領域に形成され、前記活性層から放出された光を導波する光導波層と、
前記活性層および前記光導波層の近傍に配置され、前記活性層および前記光導波層を伝わる光を導波方向に反射させる回折格子と、
前記活性層上および前記光導波層上に形成された第2半導体層と、
前記光導波層上方で、前記第2半導体層上に形成された絶縁層と、
前記第2半導体層上方に形成され、前記活性層上方から前記光導波層上方に延在し、前記活性層上方では前記第2半導体層に電気的に接続し、前記光導波層上方では前記第2半導体層との間に前記絶縁層が介在し、前記光導波層側に延在した部分に電圧が印加される電極と
を有する半導体レーザ装置。
(付記2)
前記電極の前記光導波層上方に配置された部分は、前記電極の前記活性層上方に配置された部分よりも抵抗が大きい付記1に記載の半導体レーザ装置。
(付記3)
前記電極の前記光導波層上方に配置された部分を形成する第1材料として、前記電極の前記活性層上方に配置された部分を形成する第2材料よりも電気抵抗率の大きい材料が用いられる付記1または2に記載の半導体レーザ装置。
(付記4)
さらに、前記第1半導体層上の、前記第1領域を挟んで前記第2領域と反対側の第3領域に形成され、前記活性層から放出された光を導波する他の光導波層を有し、
前記第2半導体層は、前記他の光導波層上にも形成されている付記1〜3のいずれか1つに記載の半導体レーザ装置。
(付記5)
前記絶縁層は、前記他の光導波層上方で、前記第2半導体層上にも形成され、
前記電極は、前記活性層上方から前記他の光導波層上方にも延在し、前記他の光導波層上方で前記第2半導体層との間に前記絶縁層が介在し、前記他の光導波層側に延在した部分にも電圧が印加される付記4に記載の半導体レーザ装置。
(付記6)
前記第1材料は、電気抵抗率5×10−6Ωcm以上である付記3に記載の半導体レーザ装置。
(付記7)
前記第2材料は、電気抵抗率3×10−6Ωcm以下である付記3または付記6に記載の半導体レーザ装置。
(付記8)
前記第1材料は、W、Ni、Pt、Ti、およびTiWのうちのいずれかを含む付記3に記載の半導体レーザ装置。
(付記9)
前記第2材料は、Ag、Cu、Au、およびAlのうちのいずれかを含む付記3または付記6に記載の半導体レーザ装置。
(付記10)
前記電極の前記光導波層上方に配置された部分は、前記電極の前記活性層上方に配置された部分よりも、幅が狭いかまたは薄く形成されている付記1〜9のいずれか1つに記載の半導体レーザ装置。
(付記11)
前記電極の前記光導波層上方に配置された部分は、蛇行する形状で形成されている付記1〜10のいずれか1つに記載の半導体レーザ装置。
(付記12)
前記電極は、前記光導波層上方に配置された部分の、前記活性層上方に配置された部分と反対側の端部に電圧が印加される付記1〜11のいずれか1つに記載の半導体レーザ装置。
(付記13)
前記電極は、前記活性層上方から前記光導波層上方に延在する第1電極と、前記活性層上方に形成され前記第1電極を形成する材料よりも電気抵抗率の小さい材料で形成された第2電極とを含む付記1〜12のいずれか1つに記載の半導体レーザ装置。
(付記14)
前記電極は、前記光導波層上方に接続されたパッド電極部を含む付記1〜13のいずれか1つに記載の半導体レーザ装置。
2 回折格子
3 n型InGaAsP層
4 n型InP層
5 i型多重量子井戸活性層
6 p型InPクラッド層
7、10 マスク膜
8 光ガイド層(光導波層)
9 p型InGaAsコンタクト層
11 半絶縁性InP層
12 絶縁層
13 Au/Zn/Au電極
14 TiW電極
15 Au電極
15a 電流注入電極部
15b パッド電極部
15b1 主部
15b2 接続部
16 DFBレーザ部
17 DBR部
18 AuGe/Au電極
19 Au電極
RP1〜RP5 レジストパターン
21 n型半導体層
22 p型半導体層
23 p側電極
23I 電流注入電極部
23H ヒータ部
24 n側電極
25 反射防止膜
101 n型半導体基板
102 回折格子
103 n型半導体層
104 活性層
105 光ガイド層
106 p型半導体層
107 p側電極
108 n側電極
109 反射防止膜
110 DFBレーザ部
111 DBR部
Claims (5)
- 第1半導体層と、
前記第1半導体層上の第1領域に形成された活性層と、
前記第1半導体層上の第2領域に形成され、前記活性層から放出された光を導波する光導波層と、
前記活性層および前記光導波層の近傍に配置され、前記活性層および前記光導波層を伝わる光を導波方向に反射させる回折格子と、
前記活性層上および前記光導波層上に形成された第2半導体層と、
前記光導波層上方で、前記第2半導体層上に形成された絶縁層と、
前記第2半導体層上方に形成され、前記活性層上方から前記光導波層上方に延在し、前記活性層上方では前記第2半導体層に電気的に接続し、前記光導波層上方では前記第2半導体層との間に前記絶縁層が介在する第1電極層と、前記活性層上方に形成された第2電極層との積層構造を有し、前記光導波層側にパッドを備えた電極と、
を有する半導体レーザ装置。 - 前記電極の前記光導波層上方に配置された部分は、前記電極の前記活性層上方に配置された部分よりも抵抗が大きい請求項1に記載の半導体レーザ装置。
- 前記第1電極層を形成する材料として、前記第2電極層を形成する材料よりも電気抵抗率の大きい材料が用いられる請求項1または2に記載の半導体レーザ装置。
- さらに、前記第1半導体層上の、前記第1領域を挟んで前記第2領域と反対側の第3領域に形成され、前記活性層から放出された光を導波する他の光導波層を有し、
前記第2半導体層は、前記他の光導波層上にも形成されている請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体レーザ装置。 - 前記絶縁層は、前記他の光導波層上方で、前記第2半導体層上にも形成され、
前記電極は、前記活性層上方から前記他の光導波層上方にも延在し、前記他の光導波層上方で前記第2半導体層との間に前記絶縁層が介在し、前記他の光導波層側に延在した部分にも電圧が印加される請求項4に記載の半導体レーザ装置。
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