JP5917255B2 - 案内装置、露光装置および物品の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態の案内装置5について、図1を参照して説明する。図1は、本発明の第1実施形態の案内装置5を備えた駆動装置100を示す図である。駆動装置100は、基台1と、ねじ部材2と、ナット部材3と、基板ステージ4とを備える。また、駆動装置100は、基板ステージ4の移動を案内するための案内装置5と、ねじ部材2を回転駆動させるためのモーター8とを備える。
本発明の実施形態にかかる案内装置を有する露光装置200について、図6を参照して説明する。図6は、本発明の露光装置200の構成を示す概略図である。本発明の露光装置200は、マスク40のパターンを基板41(例えば、ガラス基板や半導体基板)に投影して基板を露光するように構成される。露光装置200は、マスク40に光を照射する照明光学系42と、マスク40を保持するマスクステージ43と、基板41を保持する基板ステージ4と、マスク40のパターンを基板41に投影する投影光学系44と、駆動装置100とを備える。駆動装置100は、ねじ部材2とナット部材3と案内装置5とを含み、基板ステージ4を駆動する。ねじ部材2は、基台1の上に支持されており、モーター8が駆動することによって回転軸を中心に回転する。ナット部材3は、基板ステージ4を支持しており、ねじ部材2が回転することによって、ねじ部材2の回転軸に沿って基板ステージ4を駆動可能にする。案内装置5は、基台1の上に配置された案内部材6と、基板ステージ4を支持すると共に、基板ステージ4の移動に伴って案内部材6に沿って移動可能な移動部材20とを有する。そして、移動部材20は、第1実施形態の案内装置5と同様に、案内装置5から発生するパーティクルが飛散することを防止するカバーユニット30を備えている。
本発明の実施形態にかかる物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、基板に塗布された感光剤に上記の露光装置を用いて潜像パターンを形成する工程(基板に描画を行う工程)と、かかる工程で潜像パターンが形成された基板を現像する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (7)
- 基台(1)の上に配置された案内部材(6)と、前記案内部材に沿って移動可能な移動部材(7)と、を有する案内装置(5)であって、
前記移動部材は、前記移動部材が移動する第1方向(±X方向)に垂直に配置された2つの第1側面と、前記案内部材が配置された前記基台の面と平行かつ前記第1方向に垂直な第2方向(±Y方向)に垂直に配置された2つの第2側面とを含み、
前記案内装置は、前記2つの第1側面の各々に対して設けられた複数の第1板部材(32a)と、前記2つの第2側面の各々に対して設けられた複数の第2板部材(32b)とを含み、
前記複数の第1板部材は、それぞれが前記第1側面に平行で、且つ前記基台に対面する部分において隙間が形成されるように前記第1方向に離隔して配置され、
前記複数の第2板部材は、それぞれが前記第2側面に平行で、且つ前記基台に対面する部分において隙間が形成されるように前記第2方向に離隔して配置されていることを特徴とする案内装置。 - 前記複数の第1板部材のそれぞれは、切欠部を含み、
前記切欠部は、前記案内部材が貫通していることを特徴とする請求項1に記載の案内装置。 - 前記移動部材に接続され且つ前記複数の第1板部材を覆う第1カバー部材(31a)と、前記移動部材に接続され且つ前記複数の第2板部材を覆う第2カバー部材(31b)とを更に含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の案内装置。
- 前記複数の第1板部材の間に挿入される第1スペーサ(34a)と、前記複数の第2板部材の間に挿入される第2スペーサ(34b)とを更に含むことを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の案内装置。
- 前記基台の面と前記複数の第1板部材との間の距離(g)は、前記複数の第1板部材の間隔(p)より短いことを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載の案内装置。
- 基板ステージに保持された基板を露光する露光装置であって、
前記基板ステージを駆動する駆動装置を備え、
前記駆動装置は、基台の上に支持されたねじ部材と、前記基板ステージを支持し、前記ねじ部材の回転軸に沿って前記基板ステージを駆動可能なナット部材と、前記基板ステージを支持して前記基板ステージの移動を案内する請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の案内装置と、を有することを特徴とする露光装置。 - 請求項6に記載の露光装置を用いてマスクに形成されたパターンを基板に露光するステップと、
前記ステップで露光された前記基板を現像するステップと、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
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