JP5915089B2 - レーザ式ガス分析計 - Google Patents
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Description
この種のレーザ式ガス分析計は、測定対象ガスに向けてレーザ光を出射するレーザ素子と、測定対象空間を透過したレーザ出射光を受光する受光素子と、受光素子による受光信号から測定対象ガス濃度に由来するレーザ出射光の吸収量を抽出し、各種演算処理によりガス濃度として出力する信号処理回路と、により構成される。
図6において、101a,101bは測定対象ガスが流れる煙道壁である。これらの煙道壁101a,101bには、発光部フランジ201a、受光部フランジ201bが互いに対向する位置に配置されている。
受光部フランジ201bには、取付金具202bを介して受光部筐体203bが取り付けられており、受光部筐体203bには、集光レンズ206、受光素子207、及び、受光素子207の出力信号を処理する受光部回路基板208が内蔵されている。
煙道内部に測定対象ガスが存在する場合には、測定対象ガスの光吸収スペクトルに応じて特定波長のレーザ光が吸収される。上記従来技術は、煙道内部におけるレーザ光の吸収が測定対象ガスの濃度と関連性を有することを利用してガス濃度を検出するものである。
しかしながら、近年、ゴミ焼却等の分野においては最適なプロセス制御の実現を狙って、排ガス処理プロセス内のガス濃度をきめ細かく測定したいというニーズが増加している。一方、排ガス処理プロセスにおいては、ダストや水分が大量に存在する測定箇所も多いため、従来の測定方法ではレーザ光がダストや水分によって完全に遮られてしまい、測定できる箇所が限定されてしまうという問題があった。
レーザ素子と、
測定対象ガスの吸収スペクトルを含む波長領域のパルス信号に対し、測定対象ガスの吸収スペクトルの吸収線の一部であって吸収ピーク位置まで走査するような高周波変調信号を重畳して得た高周波変調パルス信号を発生するパルス信号発生手段と、
前記高周波変調パルス信号を前記レーザ素子に印加して高周波変調パルス光を出射させるレーザ駆動手段と、
前記高周波変調パルス光をコリメートして測定対象ガスが存在する測定対象空間に照射するレーザ光学系と、
前記測定対象空間を介して受光した前記高周波変調パルス光を電気的な受光信号に変換して出力する受光手段と、
測定対象ガスがあるときの受光信号と測定対象ガスがないときの受光信号から高周波変調成分の振幅変化量を抽出し、この振幅変化量から測定対象ガス濃度を検出するガス濃度検出手段と、を備えたものである。
まず、図1はこの実施形態の全体的な構成を示している。図1において、発光部フランジ201a、受光部フランジ201bは、例えば、測定対象ガスが内部を通過する煙道などの煙道壁101a,101bに、溶接等によってそれぞれ固定されている。
レーザ素子204から出射したレーザ光2は、コリメートレンズ205により平行光となり、発光部フランジ201aの中心を通って煙道内部1(煙道壁101a,101bの内側の測定対象空間)に照射される。このレーザ光2は、煙道内部1に存在する測定対象ガスによる光吸収の影響を受ける。ここで、コリメートレンズ205は請求項におけるレーザ光学系を構成している。
本実施形態において、レーザ素子204は、測定対象ガスの吸収スペクトルを含む波長領域のパルス信号が印加されて発光する。このパルス信号波形は単純な方形波ではなく、パルス信号に高周波の正弦波信号が重畳された高周波変調パルス信号である。
また、S3部分における高周波変調成分の振幅dwは、測定対象ガスの吸収線S2のちょうど吸収ピーク位置まで走査できるように設定されている。つまり、図2以外の設定例としては、図3に示すような高周波変調パルス信号S4であってもよい。
例えば、図2の高周波変調パルス信号S1によりレーザ素子204を発光させると図4の受光信号S10が得られ、測定対象ガスの有無(濃度)に応じて高周波変調成分の振幅に変化量d1が生じる。この振幅変化量d1は測定対象ガス濃度に比例するため、図1の受光部回路基板6の受光信号処理回路に内蔵された高周波変調振幅検出手段によって振幅変化量d1を抽出し、同じく受光信号処理回路に内蔵されたADコンバータやCPU等によりガス濃度を演算する。
(1)レーザ光の高出力化
レーザ素子をパルス発光させることにより、連続発光に比べて数倍〜数十倍の光量が得られる。これにより、従来、高濃度のダストや水分でレーザ光が遮られてしまってガス濃度の測定が不可能であった環境でも、測定が可能となる。
(2)レーザ素子の長寿命化
レーザ素子をパルス発光させることにより、連続発光に比べてパルスのデューティ比の分だけレーザ素子の寿命を延ばすことができる。
(3)信号処理の単純化
従来技術として示した特許文献1では、変調周波数の2倍の周波数を検波し、その検波信号からガス濃度を検出するために、非常に複雑な信号処理回路が必要となり、高コストとなっていた。これに対し、本実施形態によれば、高周波変調信号の振幅レベルを検出するだけでよいため、受光信号処理回路の構成や演算処理が簡単になり、コストの低減が可能になる。
なお、上記説明は本発明の代表的な実施形態を示したに過ぎず、例えば、レーザ素子を駆動する高周波変調パルス信号は、図2,図3に示した波形を組み合わせたものであってもよい。従って、本発明は、上記実施形態に何ら限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更を含むものである。
2:レーザ光
3:発光部ケース
4:発光部回路基板
5:受光部ケース
6:受光部回路基板
101a,101b:煙道壁
201a:発光部フランジ
201b:受光部フランジ
203a:発光部筐体
203b:受光部筐体
204:レーザ素子
205:コリメートレンズ
206:集光レンズ
207:受光素子
Claims (1)
- レーザ素子と、
測定対象ガスの吸収スペクトルを含む波長領域のパルス信号に対し、測定対象ガスの吸収スペクトルの吸収線の一部であって吸収ピーク位置まで走査するような高周波変調信号を重畳して得た高周波変調パルス信号を発生するパルス信号発生手段と、
前記高周波変調パルス信号を前記レーザ素子に印加して高周波変調パルス光を出射させるレーザ駆動手段と、
前記高周波変調パルス光をコリメートして測定対象ガスが存在する測定対象空間に照射するレーザ光学系と、
前記測定対象空間を介して受光した前記高周波変調パルス光を電気的な受光信号に変換して出力する受光手段と、
測定対象ガスがあるときの受光信号と測定対象ガスがないときの受光信号から高周波変調成分の振幅変化量を抽出し、この振幅変化量から測定対象ガス濃度を検出するガス濃度検出手段と、
を備えたことを特徴とするレーザ式ガス分析計。
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Family Applications (1)
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2011
- 2011-11-01 JP JP2011239876A patent/JP5915089B2/ja active Active
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