JP5678452B2 - レーザ式ガス分析計 - Google Patents
レーザ式ガス分析計 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5678452B2 JP5678452B2 JP2010077328A JP2010077328A JP5678452B2 JP 5678452 B2 JP5678452 B2 JP 5678452B2 JP 2010077328 A JP2010077328 A JP 2010077328A JP 2010077328 A JP2010077328 A JP 2010077328A JP 5678452 B2 JP5678452 B2 JP 5678452B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- light
- unit
- measurement
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
測定ガス中にレーザ光を照射する投光ユニットと、前記レーザ光の光吸収による光量変化から前記測定ガスの濃度を測定する、前記投光ユニットと別体の受光ユニットとを有するレーザ式ガス分析計において、
前記受光ユニットは、
前記測定ガスの測定開始を指示するデジタルのトリガ信号を生成するトリガ信号生成部と、
前記測定ガスを透過した前記レーザ光を受光する受光部と、
この受光部の出力に基づいて前記測定ガスの濃度を算出する演算部とを有し、
前記投光ユニットは、
前記レーザ光を発生させるレーザ発光部と、
このレーザ発光部に近接して設けられ、前記受光ユニットからケーブルを介して伝達された前記デジタルのトリガ信号を受信することにより前記レーザ発光部を駆動する駆動回路とを有することを特徴とする。
請求項1に記載のレーザ式ガス分析計において、
前記駆動回路は、
前記トリガ信号を受信し、前記レーザ発光部の前記レーザ光の駆動信号を生成する駆動信号生成部と、
前記駆動信号を前記レーザ光のレーザ駆動電圧に変換するD/A変換器と、
前記レーザ駆動電圧をレーザ駆動電流に変換し前記レーザ発光部に供給する電圧電流変換器と、
からなることを特徴とする。
請求項1または2に記載のレーザ式ガス分析計において、
前記駆動回路は、前記レーザ光の発光波長をスイープさせることを特徴とする。
請求項1〜3のいずれかに記載のレーザ式ガス分析計において、
前記駆動回路は、前記トリガ信号を受信すると、前記レーザ光の発光波長のスイープを所定回数繰り返し、
前記演算部は、前記所定回数分得られる前記受光部の出力の平均に基づいて前記測定ガスの濃度を算出することを特徴とする。
受光ユニットは、測定ガスの測定開始を指示するデジタルのトリガ信号を生成するトリガ信号生成部と、測定ガスを透過した前記レーザ光を受光する受光部と、この受光部の出力に基づいて前記測定ガスの濃度を算出する演算部とを有し、
投光ユニットは、レーザ光を発生させるレーザ発光部と、このレーザ発光部に近接して設けられ、前記受光ユニットからケーブルを介して伝達された前記デジタルのトリガ信号を受信することにより前記レーザ発光部を駆動する駆動回路とを有するため、
駆動回路がノイズの影響を受けにくくなり、測定精度が向上したレーザ式ガス分析計を実現できる。
駆動回路は、レーザ光の発光波長をスイープさせるため、より正確に測定ガスを分析できる。
駆動回路は、トリガ信号を受信すると、レーザ光の発光波長のスイープを所定回数繰り返して積算し、演算部は、所定回数分得られる受光部の出力の平均に基づいて測定ガスの濃度を算出するため、よりノイズによる影響を排除し測定精度を向上させることができる。なお、ノイズの影響を受けにくくなることで、従来例と同程度にノイズの影響を排除するにあたり、従来例よりも積算回数を減らすことが可能となり、測定結果の更新周期を短縮できる。あるいは、従来例と同じ積算回数を実施した場合には、従来例よりも安定性が向上し、測定感度を向上させることができる。
また、レーザ発光部11に近接して設けた駆動回路10にて駆動信号Sdを生成しているため、駆動電圧Vd、駆動電流Idにノイズが乗る危険性が低減され、レーザ光Rの発光波長にノイズの影響が出にくくなる。
受光ユニット2が、測定ガスSGの測定開始を指示するデジタルのトリガ信号Strgを生成するDSP20と、測定ガスSGを透過したレーザ光Rを受光するPD21と、このPD21の出力に基づいて測定ガスSGの濃度を算出するDSP20とを有し、
投光ユニット1が、レーザ光Rを発生させるレーザ発光部11と、このレーザ発光部11に近接して設けられ、受光ユニット2からケーブル3を介して伝達されたデジタルのトリガ信号Strgを受信することによりレーザ発光部11を駆動する駆動回路10とを有するため、駆動回路10がノイズの影響を受けにくくなり、測定精度が向上したレーザ式ガス分析計を実現できる。
10 駆動回路
10a DSP
10b D/A変換器
10c I/V変換器
11 レーザ発光部
2 受光ユニット
20 DSP
21 PD(フォトダイオード)
SG 測定ガス
R レーザ光
Strg トリガ信号
Sd 駆動信号
Claims (4)
- 測定ガス中にレーザ光を照射する投光ユニットと、前記レーザ光の光吸収による光量変化から前記測定ガスの濃度を測定する、前記投光ユニットと別体の受光ユニットとを有するレーザ式ガス分析計において、
前記受光ユニットは、
前記測定ガスの測定開始を指示するデジタルのトリガ信号を生成するトリガ信号生成部と、
前記測定ガスを透過した前記レーザ光を受光する受光部と、
この受光部の出力に基づいて前記測定ガスの濃度を算出する演算部とを有し、
前記投光ユニットは、
前記レーザ光を発生させるレーザ発光部と、
このレーザ発光部に近接して設けられ、前記受光ユニットからケーブルを介して伝達された前記デジタルのトリガ信号を受信することにより前記レーザ発光部を駆動する駆動回路とを有することを特徴とするレーザ式ガス分析計。 - 前記駆動回路は、
前記トリガ信号を受信し、前記レーザ発光部の前記レーザ光の駆動信号を生成する駆動信号生成部と、
前記駆動信号を前記レーザ光のレーザ駆動電圧に変換するD/A変換器と、
前記レーザ駆動電圧をレーザ駆動電流に変換し前記レーザ発光部に供給する電圧電流変換器と、
からなることを特徴とする請求項1に記載のレーザ式ガス分析計。 - 前記駆動回路は、前記レーザ光の発光波長をスイープさせることを特徴とする請求項1または2に記載のレーザ式ガス分析計。
- 前記駆動回路は、前記トリガ信号を受信すると、前記レーザ光の発光波長のスイープを所定回数繰り返し、
前記演算部は、前記所定回数分得られる前記受光部の出力の平均に基づいて前記測定ガスの濃度を算出することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のレーザ式ガス分析計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010077328A JP5678452B2 (ja) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | レーザ式ガス分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010077328A JP5678452B2 (ja) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | レーザ式ガス分析計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011209120A JP2011209120A (ja) | 2011-10-20 |
JP5678452B2 true JP5678452B2 (ja) | 2015-03-04 |
Family
ID=44940342
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010077328A Active JP5678452B2 (ja) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | レーザ式ガス分析計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5678452B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7438075B2 (ja) | 2020-09-30 | 2024-02-26 | ニチコン株式会社 | 電解コンデンサ |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10185814A (ja) * | 1996-11-08 | 1998-07-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 濃度測定装置 |
JPH1183676A (ja) * | 1997-09-03 | 1999-03-26 | Nikon Corp | 紫外線パルスレーザ光に対する透過率測定方法及び測定装置 |
JP2001133403A (ja) * | 1999-11-02 | 2001-05-18 | Nippon Sanso Corp | 半導体レーザ多重反射吸収分光によるガス分析方法及び装置 |
JP2002340676A (ja) * | 2001-05-16 | 2002-11-27 | Canare Electric Co Ltd | 多チャンネル変調分光計測方法及び多チャンネル変調分光計測装置 |
JP2009216385A (ja) * | 2006-05-19 | 2009-09-24 | Toyota Motor Corp | ガス分析装置及びガス分析装置におけるレーザの波長掃引制御方法 |
JP3924626B1 (ja) * | 2006-09-08 | 2007-06-06 | 国立大学法人 岡山大学 | 非破壊検査装置及びこの装置による検査方法 |
CN101663573B (zh) * | 2007-02-26 | 2012-07-04 | 横河电机美洲有限公司 | 燃烧气体分析 |
JP2009156815A (ja) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ガス濃度計測装置及びガス濃度計測方法 |
JP2009270917A (ja) * | 2008-05-07 | 2009-11-19 | Nohken:Kk | レーザ式ガス分析計の取付構造 |
-
2010
- 2010-03-30 JP JP2010077328A patent/JP5678452B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7438075B2 (ja) | 2020-09-30 | 2024-02-26 | ニチコン株式会社 | 電解コンデンサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011209120A (ja) | 2011-10-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6116117B2 (ja) | 水分濃度測定装置の校正方法及び校正装置 | |
JP6513762B2 (ja) | 分析装置、分析装置用プログラム及び分析方法 | |
JPWO2014109126A1 (ja) | レーザ式ガス分析計 | |
KR102027264B1 (ko) | 농도 측정 장치 | |
JP2007040995A (ja) | ガス検出方法及びガス検出装置 | |
JP5527278B2 (ja) | ガス分析装置 | |
JP5347983B2 (ja) | ガス分析装置 | |
US8891085B2 (en) | Gas analyzer | |
JP2019144021A (ja) | 分光分析装置 | |
JP5678452B2 (ja) | レーザ式ガス分析計 | |
JP5351742B2 (ja) | ガス中の煤塵濃度計測方法及び燃焼設備の運転方法 | |
US11796468B2 (en) | Gas measurement device and gas measurement method | |
JP2014010092A (ja) | ガス分析装置 | |
JP5170034B2 (ja) | ガス分析装置 | |
JP5163360B2 (ja) | レーザ式ガス分析計及びガス濃度測定方法 | |
JP5370248B2 (ja) | ガス分析装置 | |
JP2009014661A (ja) | ガス濃度計測装置 | |
JP6750410B2 (ja) | レーザ式ガス分析装置 | |
JP4993213B2 (ja) | レーザ式ガス分析計 | |
JP5061981B2 (ja) | 光パルス試験器および光パルス試験器の光パワー安定化方法 | |
JP6269438B2 (ja) | レーザ式分析装置 | |
JP2012177613A (ja) | 信号処理装置およびレーザ計測装置 | |
JP2009156815A (ja) | ガス濃度計測装置及びガス濃度計測方法 | |
JP6201551B2 (ja) | ガス分析装置 | |
JP2013127385A (ja) | レーザ式ガス分析計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120911 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130808 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130813 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131001 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140515 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141209 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141222 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Ref document number: 5678452 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |