JPS608736B2 - ガス濃度の測定方法 - Google Patents

ガス濃度の測定方法

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JPS608736B2
JPS608736B2 JP54154705A JP15470579A JPS608736B2 JP S608736 B2 JPS608736 B2 JP S608736B2 JP 54154705 A JP54154705 A JP 54154705A JP 15470579 A JP15470579 A JP 15470579A JP S608736 B2 JPS608736 B2 JP S608736B2
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gas
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absorption
gas concentration
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宏爾 篠原
道春 伊藤
広和 福田
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/39Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using tunable lasers

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  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は波長可変レーザを光源とする大気汚染検出シス
テムにおける大気汚染ガス濃度を微分計測手段を用いて
求める方法の改良に関するものである。
レーザ方式の大気汚染監視システムは通常第亀図に示す
ごとく赤外線レーザ光の投受光装置つまり観測装置20
の設定地点から、たとえば数100肌のへだたりを有す
る長光路上に第1のレトロリフレクタr,を設置し、こ
の長光路途上に浮遊する汚染ガス、たとえば亜硫酸ガス
(S02)や一酸化炭素(CO)中を往復する放射赤外
線の吸収特性から該汚染ガス(以下特にことわらぬかぎ
り単にガスと呼ぶ)濃度を求めるものであってその概要
について簡単に説明すれば次のとおりである。
すなわち、第1図中の観測装置20外への赤外線放射は
、波長可変なダイオードレーザ(以下単にレーザと呼ぶ
)DLからのPoなる光パワーを有する光例えば赤外線
をカセグレンレンズーの内鏡の前面2で反射させること
によって光路へ方向に放射せしめ、第1のレトロリフレ
クタr,で反射して帰って来た入射光を同じカセグレン
レンズ1の外鏡の前面3と内鏡の後面4で反射させ、受
光素子Dに入射し、この際の光往復時におこる前記ガス
による光吸収の結果を記録器5で記載させるのであるが
、この場合談受光素子Dによる受光パワーPrはPr=
P。
eXp{一Q(し)CL}f(t).…,..,.(1
)で与えられる。ここでQ(し)はしーザ光周波数〃の
関数としての前記ガスによる吸収係数、Cは該ガスの濃
度、Lはしーザ光の往復光路長である。また第1図中の
光チョッパCHは受光素子Dからの電気的出力信号を交
流増幅器すなわち第1および第2のロックィン増幅器L
A,? LA2と除算器7からなる信号処理系21で処
理するためにあらかじめレーザDLからの放射赤外光を
例えば500HZの周波数で断続するためのものである
。一点鎖線イは該チョッパCHから第1ロックィン増幅
器LA,への参照信号伝達経路を形成しており、このた
め第1のロックィン増幅器LA,からは前記受光パワー
Prに対応する電圧Erが出力される。ところでガスの
光吸収スペクトルは光周波数〃を機軸に、受光パワーP
rを縦軸にとった第2図aの吸収曲線となるが、前記m
式中でf(t)として表したガスの擾乱のために該曲線
の吸収値mにゆらぎが生じて観測が困難となる。このた
め‘1}式の両辺をしについて微分し、かつ上記{1}
式で規格化すれば昔背−CLQ′‐‐‐‐‐‐‐‐‐■ として擾乱係数f(t)を消去できる。
これが前記の微分計測法であるが、Q′は正負の両値を
有するために、第2図aの曲線の微分結果は第2図bの
ごとき2つのピークを呈するN字型の曲線となるので、
以下では第2図aを単なる吸収曲線、第2図bを微分吸
収曲線と呼んで区別する。なお、{2}式中のPr′、
P。′、Q′はそれぞれ‘1)式中のPr、P。、Qの
光周波数しに対する微分値である。こうした微分計測を
行うには、従来は第2図aの吸収曲線の変曲点オに対応
した周波数〃,の光をレーザDLから放射させるべく、
該レーザを同図中で1,として示した直流電流IDcで
駆動するに際して、該電流の供給源すなわち第1図中の
電源8中において該電流1,に微小振幅の交流電流Lc
を重畳せしめていた。
第1図中の第2のロックィン増幅器LA2には上記微小
振幅の交番信号が電源8から参照信号として伝達経路口
を介しているために該第2のロックィン増幅器LA2は
微分モードで動作しりこのため該増幅器LA2の出力に
はE′rなる微分出力電圧が表れるが、これは前記受光
パワーPrの微分値Pr′に対応する。この微分出力電
圧E′rと先述の第1ロックィン増幅器LA,からの出
力電圧Er(受光パワーPrに対応する)とは減算器7
で減算された後、前記記録器5で記録される。もし大気
中に対象ガスがなければ、つまりガス濃度が零であれば
前記{2}式の第2項CLQ′は零であり、このため第
2図aの吸収スベクトルしたがって同図bの微分吸収特
性は現れず、第2図b中の点線ハだけが存在する。
このようないわば「ガス無し状態」における点線ハ上の
点P。を簡単化のため「ゼロ値」と呼ぶとにすると、先
述の(2}式中の第1項(Po′/Po)はこのゼロ値
にほかならず、このゼロ値は後述するようにガス濃度を
決定する際の一つの規準値となる。今、大気中ガスの未
知なる濃度をCxで表せば、これは上記ゼロ値(段)、
つまり第2図b中の値R。と・該ガスに由来する微分吸
収曲線ルのピーク値Rxとの差、すなわち同図中の微分
吸収量Axに比例するが、Axの絶対贋を決定するため
には別に規準となる微分吸収量Asを求めねばならない
。そのためには第1図の受光光勝木上に置かれたガスセ
ルGS中に成分および濃度が既知(これを規準ガス濃度
Csとする)なるガスを充填し、該規準ガスによる第2
図bに図示の微分吸収曲線力上の値Rsを第1図の記録
器5で記録しておく。この記録ができれば、前記ゼロ値
を原点としてトガス濃度Cと微分吸収量Aとの関係を示
す第2図C上に上記既知ガス濃度Csとこれによって決
まる第2図b中の規準微分吸収量Asで決まる点Qsが
プロットできるので、該Qs点と前記ゼロ値すなわち原
点を結ぶ直線ヨが得られる。したがってこの直綾ヨを用
いれば先に記録された微分吸収量Axから第2図e中の
点Qxが定まりこれから未知なるガス濃度Cxがいかほ
どであるかが判る。なお大気中の汚染ガスの未知濃度C
xに対応する吸収量Axを記録する場合には第1図中の
ガスセルGS中は空にしておく。そして規準微分吸収量
Asを求める場合には該ガスセルGS中に既知濃度(標
準濃度)Csのガスを充填すればよい。しかるに上記の
両微分吸収量As、Axは前記のごとくRs、Rxなる
値とゼロ値Roとの差から求められる。それには第2図
b中の点R。が記録器5上のレベルとしてまず判ってい
る必要があるが、現実の困難はこのゼロ値しベルの決定
手続き上に生じる。従来のゼロ値しベルの決定方法は【
2}式右辺のガス濃度Cを含む第2項を零、つまりCL
Q′=0とするように、光路長Lを前記長光路(例えば
200肌)に比して無視できる短光路(例えば2仇前後
)となすことによって事実上C=0つまりガス無し状態
と同じ状態を実現することによってなされていた。その
ためには第1図中の観測装置20内のカセグレンレンズ
1の前面の位置川こ第2のレトロリフレクタr2を挿入
し、レーザ光が前記光路へ上に放射されないようにすれ
ばよいが、レトロリフレクタは極めて高価(約100万
円)であり、その上記しトロリフレクタr2を精密に位
遣りへ移動せしめるには丈夫でかつ精度よく作られたた
とえば摺動機横を必要とし、結果的に観測装置20が高
価でしかも大型化するばかりでなく、該装置20の内部
が著しく複雑化するという欠点があった。本発明は上記
の欠点に鑑みてなされたもので上記のごとき複雑高価な
光学機構を不必要とし、電気的手段によって、ゼロ値を
プロットする必要をもなくして簡単にガス濃度を測定せ
んとするもので、第3図以下の図面を用いて詳記する。
第3図は本発明に係る微分吸収量測定装置の電気回路部
分を主体とする要部系統図を示したもので、前記第1図
と同部位には同一記号を付す。
第3図中のレーザDLの駆動電源8は12なる値の直流
電流を生じる電源31、IRなる電流振幅を生じる傾斜
電流発生器32、1^cなる微小振幅を生じる交流電流
発生器33、およびこれら電流を合成する加算器34か
らなっている。懐斜電流発生器32からの電流IRは時
間tに対して−IR/2から十IR/2まで変化するご
とくなっているので、この電流IRが上記加算器34に
よって直流電源31からの電流12に重畳され、さらに
交流電流発生器33からの微小振幅電流1^cが加算さ
れれば、12±(IR/2十IM)となり、第4図aに
示したごとく時間tに対して変化する合計電流ltによ
って前記レーザDLは駆動される。ここで12は前記第
2図aに示した吸収曲線上の湾曲点オに一致する光周波
数〃,を生じるレーザ駆動電流1,=12±(IR/2
十1^c)となり、第2図aの吸収スペクトルのピーク
ワに一致する光周波数〃2を生じる駆動電流である。ま
た1^cは前記したごとくガス吸収スペクトル曲線を微
分化するための電流である。そして上記±IR/2なる
電流成分はしーザDの放射光周波数を第4図b中の±△
しだけ変化掃引せしめる値に設定されている。このため
しーザDLからの放射光周波数沙ま第4図bの微分吸収
曲線の上下2つのピークを含む合計横幅dを上回って第
4図bの微分吸収曲線上の点P,.からP,2まで走査
される。このゆえ、第3図中の記録器5には第4図bの
汚染ガスの微分吸収曲線ルの第1ピーク値Q,.から第
2ピーク値Q,2にわたる縦軸成分つまり同図中に泌′
xとして示した微分吸収量に対する指示値が記録される
。こうした2A′xなる微分収量を求めるならば前記の
うなゼロ値をあらかじめ測定しておく必要はなくなり、
またそのための前記光学的機構すなわち第2のレトロリ
フレクタr2ならびにその挿脱機構は全く不必要となり
、したがって観測装置20内は簡単化され、該装置を安
価なものにできる。大気汚染ガスによる微分吸収量2A
′xの決定はこのようにして可能であるが、その他に規
準値を得るために必要な標準微分吸収量の決定に際して
はやはり第3図中のガスセルGS中に既知濃度(標準濃
度)Csのガスつまり標準ガスを充填し、前記と同じ電
流ltによるレーザ光周波数しの掃引によって微分吸収
曲線力が得られる。この曲線の両ピークつまりQ2,と
値n凶との縦軸方向成分2A′sとして求められる微分
吸収量は、上記標準ガス濃度Csと大気汚染ガスCxと
の両者で決まるものである。なお第4図b中のAs,A
xは上記2種類の微分吸収特性における片一方のピーク
についての吸収量で、それぞれ前記第2図b中のAs,
Axなる量に対応する。そして上記泌′sと2A′xと
の2値がわかりさえすれば、2A′sと2A′xのそれ
ぞれは泌′s=K(Cs+Cx) ………(粉)
2As=KCs ・・・・・・・・
・(沙)ただしKは比例定数なる関係にあるから(効)
式を($)式に代入しかつ移項することによってCX:
を(2A′S−2A′×)………く沈)なる関係から未
知なる大気汚染ガス濃度CXがいかほどであるかが判る
以上に述べた本発明に係る大気汚染ガス濃度の測定方法
によれば、放射赤外線の該ガスによる微分吸収特性の2
つのピーク値が呈する吸収量を測定するものであるため
、前述したゼロ値を求める必要がなくなる。
しかもその測定法は電気的手法を駆使して行うものであ
るために、ゼロ値決定用の高価にしてかつ複雑な光学系
が不要となり、測定系全体を安価なものにできるので実
用上多大の効果が期待できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の大気汚染ガス濃度の測定装置の系統図、
第2図は該測定装置によって得られる受光スペクトル、
その微分計測曲線、ならびに該微分計測法によって得ら
れる微分吸収量と対応するガス濃度との関係図、第3図
は本発明に係る代気汚染ガス濃度の測定装置の要部系統
図、第4図は該測定装置によるガス濃度測定方法を説明
する図である。 1:カセグレンレンズ、5:記録器、7:除算器、8:
レーザDLの駆動電源、イ,口:参照信号伝達経路、木
,へ:光路、CH:光チョッパ、D:受光素子、Gs:
ガスセル、r・,「2:レトロリフレクタ。 第1図 第3図 第2図 第4図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 微小周波数幅で変調された光を利用するガス濃度微
    分測定法において、測定すべきガスの吸収スペクトルの
    ピークに一致した光周波数を中心として、レーザ光の周
    波数を掃引して放射し、被測定ガス空間を往復通過後の
    レーザ光を光電変換して得た信号に対して正負両端性の
    一対からなるピークを呈する微分吸収量を生ぜしめるよ
    うな信号処理を施し、その結果得られた上記正負両極性
    の各微分吸収ピークの高さの合計から前記ガスの濃度を
    測定することを特徴とするガス濃度の測定方法。
JP54154705A 1979-11-28 1979-11-28 ガス濃度の測定方法 Expired JPS608736B2 (ja)

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JPS5677745A JPS5677745A (en) 1981-06-26
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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GB8609619D0 (en) * 1986-04-19 1986-05-21 Procal Analytics Gas analysis
JP5288484B2 (ja) * 2008-09-27 2013-09-11 株式会社フローテック・リサーチ 粒子可視化装置
JP5915089B2 (ja) * 2011-11-01 2016-05-11 富士電機株式会社 レーザ式ガス分析計

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JPS5677745A (en) 1981-06-26

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