JP5914251B2 - 積層フィルム製造装置 - Google Patents

Description

この発明は、シート（フィルム）を積層して成る積層フィルムの製造装置に関するものである。本発明は、たとえば、樹脂フィルムなどの積層体の製造、バリアフィルムを含む積層フィルムの製造、および有機／無機フィルムを含む積層フィルムの製造に適用することが可能である。

たとえば、食品や医薬品等の包装分野および電子デバイス保護シート分野等において、積層フィルムが用いられている。当該積層フィルムは、複数のシート（フィルム）を積層させることにより構成されている。

積層フィルムとして、一例であるが、熱や圧力に対する耐久性を有する保護フィルムの間に、バリアフィルムなどの必要な保護機能を有する機能膜が存在する、積層体が用いられている。ここで、保護フィルムとして、ＰＥＴ（Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ）やＥＶＡ（Ｅｔｈｙｌｅｎｃｅ Ｖｉｎｙｌ Ａｃｅｔａｔｅ）などがある。

上記のように、積層フィルムは、熱や圧力に対する耐久性を有する保護フィルムにより、機能膜が挟持されることにより構成されている。機能膜としてバリアフィルムを採用し、当該バリアフィルムを含む積層フィルムを、食品包装材や電子デバイス保護シートとして使用した場合には、内容物は、外部から浸入する、酸素、水蒸気および紫外線等から保護される。また、積層フィルムに含まれる機能膜は、帯電防止材としても機能することもある。

たとえば、ある必要機能を有するバリアフィルムを含む積層フィルムを食品包装材として使用した場合には、食品に含まれる栄養分（ビタミン、炭水化物、脂質、タンパク質等）構成原料の酸化・褐変・変質防止が可能となる。また、別の必要機能を有するバリアフィルムを含む積層フィルムを電子デバイス保護シートとして使用した場合には、電子デバイス構成物（無機物、有機物、セラミック、セラミック等複合体）の酸化・還元分解や劣化、他化合物への再合成防止、およびイオン等の荷電粒子の浸入防止、帯電防止等に寄与する。

機能膜を含む積層フィルムは、従来、以下の方法で作成されている。

真空または減圧下における成膜処理（蒸着法、ＣＶＤ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、イオンエッチング等のプラズマ処理）を利用して、樹脂フィルムの表面に、酸化ケイ素、窒化珪素および酸化アルミニウム等を成膜する。当該成膜処理を、積層フィルム作成工程とは別個独立に行い、所望の機能膜が形成された樹脂フィルム（以下、機能膜シートと称する）を予め作成する。つまり、機能膜シートは、機能膜シート製造業者により、生成される。

そして、積層フィルム作成工程を行う者は、機能膜シート製造業者から、当該機能膜シートを購入する。そして、当該積層フィルム作成工程において、図１に示すように、上記機能膜シートが巻回されたロール５２と、熱や圧力に対して耐久性を有するＰＥＴ等の樹脂フィルム（保護フィルム）が巻回された複数のロール５１，５３とを用意する。

ロール５１から引き出された樹脂フィルム５１ａの一方の面に対して、接着剤塗布装置５５は、接着剤を塗布する。そして、ローラ５６において、ロール５２から引き出された機能膜シート５２ａと、接着剤が塗布された樹脂フィルム５１ａとを接着する。これにより、ローラ５６からは、樹脂フィルム５１ａと機能膜シート５２ａとが接着した積層フィルム５１Ｂが出力される。

そして、ローラ５６から出力された積層フィルム５１Ｂの一方の面（機能膜シート５２ａ側）に対して、接着剤塗布装置５７は、接着剤を塗布する。そして、ローラ５８において、ロール５３から引き出された樹脂フィルム５３ａと、接着剤が塗布された積層フィルム５１Ｂとを接着する。これにより、ローラ５８からは、樹脂フィルム５１ａと機能膜シート５２ａと樹脂フィルム５３ａとが当該順に積層および接着して成る積層フィルム６１ａが出力される。

なお、最終形態として、図１に示すように、積層フィルム６１ａをロール６１に巻回させても良く、図１とは異なるが、積層フィルム６１ａを所定の長さ毎に切り分けても良い。

ここで、積層フィルム６１ａを食品や電子デバイスの封止材・包装材として用いるとき、封止側となる樹脂フィルム５３ａよりも封止側と対面する最外層側の樹脂フィルム５１ａ方が、熱や温度に対するより高い耐久性を有する。これは、最外層側の樹脂フィルム５１ａに対して、ラミネート処理などの高温・高圧処理が直接施されるからである。

なお、上記機能膜シート５２ａの作成に関する先行文献として、たとえば特許文献１，２が存在する。

特開２００９−９７０６１号公報 特開２００９−２２８０１５号公報

上記のように、図１を用いて説明した積層フィルムの作成方法では、積層フィルム作成工程（図１で示した工程）とは別工程で、予め必要機能を有した機能膜シート５２ａを作成する。そして、当該機能膜シート５２ａを購入した上で、積層フィルム作成工程において、熱や圧力に対して耐久性を有する樹脂フィルム５１ａ，５３ａにより機能膜シート５２ａが挟持されるように、各フィルム５１ａ，５２ａ，５３ａを積層し、貼り合わせることにより積層フィルム６１ａを作成している。

このように、積層フィルム作成工程を実施する業者が、機能膜シート製造業者から、機能膜シート５２ａを購入した場合には、積層フィルム作成業者における製造コストが増加する。よって、積層フィルム作成業者が、自前で、積層フィルムに含まれる機能膜をも製造することが望まれている。

そこで、本発明は、安価に、積層フィルム作成業者が自前で所定の膜を成膜し、そして当該成膜した膜を含む積層フィルムを製造することもできる、積層フィルム製造装置を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するために、本発明に係る積層フィルム製造装置は、成膜面及び非成膜面を有する第一のシートが収容されている第一のシート収容部と、前記第一のシート収容部から引出された前記第一のシートに対して、ミスト状の溶液を噴出し、当該第一のシートの成膜面に所定の膜を成膜する霧化成膜装置と、第二のシートが収容されている第二のシート収容部と、前記第二のシート収容部から引出された前記第二のシートと、前記霧化成膜装置から引出され、前記所定の膜が成膜された前記第一のシートとを積層することにより、積層フィルムを生成するシート接続部とを、備え、前記霧化成膜装置は、前記第一のシートの成膜面側に設けられ、ミスト状の前記溶液を噴出するミスト噴出部と、前記第一のシートの非成膜面側に設けられ、加熱処理を行う加熱器とを、含み、前記加熱器は前記所定の膜の成膜時に前記加熱処理を実行している。

本発明に係る積層フィルム製造装置は、成膜面及び非成膜面を有する第一のシートが収容されている第一のシート収容部と、前記第一のシート収容部から引出された前記第一のシートに対して、ミスト状の溶液を噴出し、当該第一のシートの成膜面に所定の膜を成膜する霧化成膜装置と、第二のシートが収容されている第二のシート収容部と、前記第二のシート収容部から引出された前記第二のシートと、前記霧化成膜装置から引出され、前記所定の膜が成膜された前記第一のシートとを積層することにより、積層フィルムを生成するシート接続部とを、備え、前記霧化成膜装置は、前記第一のシートの成膜面側に設けられ、ミスト状の前記溶液を噴出するミスト噴出部と、前記第一のシートの非成膜面側に設けられ、加熱処理を行う加熱器とを、含み、前記加熱器は前記所定の膜の成膜時に前記加熱処理を実行している。

したがって、積層フィルム作成業者が自前で所定の膜を成膜しながら、当該所定の膜を含む積層フィルムも製造することができる。積層フィルム作成業者は、既に所定の膜が成膜された高価なシートを購入する必要がなくなり、所定の膜が成膜されていない安価なフィルム（シート）を購入すれば良い。よって、必要機能を有する機能膜を含む積層フィルムを安価に作成することができる。

また、霧化成膜装置から噴出するミスト状の溶液の原料を変更することにより、成膜する所定の膜の種類も容易に変更できる。

また、本発明に係る積層フィルム製造装置では、大気中での成膜が可能な霧化成膜装置を利用した所定の膜の成膜が実施されている。よって、より安価な成膜装置の導入により、積層フィルムの製造コストをさらに低減できる。

従来技術に係る積層フィルム製造装置を示す図である。 実施の形態１に係る積層フィルム製造装置１００の構成を示す図である。 実施の形態１に係る積層フィルム製造装置１００により生成される、積層フィルム１０Ｂの構成を示す拡大断面図である。 生成された積層フィルム１０Ｂを、複数の積層フィルム１０ｂに切り分ける様子を示す図である。 実施の形態２に係る積層フィルム製造装置２００の構成を示す図である。 実施の形態２に係る積層フィルム製造装置２００により生成される、積層フィルム１０Ｄの構成を示す拡大断面図である。 本発明に係る積層フィルム製造装置が備える霧化成膜装置８の構成を示す図である。 樹脂フィルム１Ａ（または１Ｂ）に成膜された金属酸化膜Ｍ１に対して、紫外線ＵＶを照射する様子を示す図である。 実施の形態６に係る霧化成膜装置８の構成を示す図である。 実施の形態７に係る霧化成膜装置８の構成を示す図である。 実施の形態８に係る霧化成膜装置８の構成を示す図である。

本発明に係る積層フィルム製造装置は、霧化成膜装置を備えている。そして、当該積層フィルム製造装置では、複数のフィルム（シート）をロール等から引き出し、引き出された少なくとも一つのフィルム（シート）に対して霧化成膜装置を用いて所望の膜を成膜し、他の引き出されたフィルム（シート）と当該所望の膜が成膜されたフィルム（シート）とを貼り合わせ、積層フィルムを製造する。

つまり、本発明では、積層フィルム製造装置を利用することにより、積層フィルム作成工程内において、所望の膜の成膜および当該所望の膜を含む積層フィルムの作成（各フィルム（シート）の積層・接合）が実施される。

以下の実施の形態では、本発明に係る積層フィルム製造装置を用いて、図１を用いて説明したように、熱や圧力に対する耐久性を有する樹脂フィルム（保護フィルム）と機能膜とから成る積層フィルムを製造する場合を例にとり説明する。より具体的には、以下では、太陽電池バックシートとして使用される積層フィルムを製造する場合を例にとり説明する。ほとんどの実施の形態では、バリアフィルムを有する積層フィルムを例にとり、本発明を説明しているが、本発明は、透明導電膜などバリアフィルム以外の種々の膜を有する積層フィルムの製造についても適用できる（実施の形態５について、透明導電膜を有する積層フィルムの製造に関して説明している）。

以下、この発明をその実施の形態を示す図面に基づいて具体的に説明する。

＜実施の形態１＞
図２は、本実施の形態に係る積層フィルム製造装置１００の構成を示す図である。

図２に示すように、積層フィルム製造装置１００は、複数のロール１〜４と、複数の接着剤塗布装置Ｓ１，Ｓ２と、複数のローラＲ１〜Ｒ３と、霧化成膜装置８とを備えている。

なお、図２に示すように、ロール１とローラＲ１との間に、接着剤塗布装置Ｓ１が配設されており、ロール２とローラＲ１との間に、霧化成膜装置８が配設されており、ローラＲ１とローラＲ２との間に、接着剤塗布装置Ｓ２が配設されている。

また、ロール１から引き出された樹脂フィルム１Ａは、ローラＲ１、ローラＲ２、ローラ３の順に経由して、ロール４へと向かい、ロール２から引き出された樹脂フィルム２Ａは、ローラＲ１、ローラＲ２、ローラ３の順に経由して、ロール４へと向かい、ロール３から引き出された樹脂フィルム３Ａは、ローラＲ２、ローラ３の順に経由して、ロール４へと向かう。

ロール（第二のシート収容部と把握できる）１には、樹脂フィルム（第二のシートと把握できる）１Ａが巻回されている。ロール（第一のシート収容部と把握できる）２には、樹脂フィルム（第一のシートと把握できる）２Ａが巻回されている。ロール（第二のシート収容部と把握できる）３には、樹脂フィルム（第二のシートと把握できる）３Ａが巻回されている。

各樹脂フィルム１Ａ，２Ａ，３Ａは、熱や圧力に対する耐久性を有する。特に、製造された積層フィルムを食品や電子デバイスの封止材・包装材として用いるとき、封止側となる樹脂フィルム３Ａよりも封止側と対面する最外層側となる樹脂フィルム１Ａ方が、熱や温度に対するより高い耐久性を有する。

たとえば、樹脂フィルム１Ａとして、高耐久ＰＥＴなどが採用され、樹脂フィルム２Ａとして、耐久ＰＥＴが採用され、樹脂フィルム３Ａとして、耐久ＰＥＴや耐久ＥＶＡなどが採用される。

ここでは、各樹脂フィルム１Ａ，２Ａ，３Ａが熱や圧力に対する耐久性を有する場合を例にとり説明する。しかしながら、各樹脂フィルム１Ａ，２Ａ，３Ａが、必ずしも、熱や圧力に対する耐久性を有することが必要でない。積層フィルムの製造の製造過程や積層フィルムの用途に応じて、積層フィルムを構成する各フィルムに要求される性能は異なることは言うまでもない。たとえば、霧化成膜装置８により加熱しながら成膜処理を実施する場合には、成膜処理の基体となるフィルム（成膜の下地となるフィルム）は、熱に対する耐久性を有することが望ましい。

なお、上記と異なるが、ロール１に封止側となる樹脂フィルムが巻回され、ロール３に最外層となる樹脂フィルムが巻回されていても当然良い。

接着剤塗布装置Ｓ１は、引き出された樹脂フィルム１Ａの一方の面に対して、接着剤を塗布する。また、接着剤塗布装置Ｓ２は、ローラＲ１から出力された積層フィルム１０Ａの一方の面に対して、接着剤を塗布する。

また、ローラＲ１は、樹脂フィルム１Ａと機能膜シート２Ｂ（つまり、所望の機能膜が成膜された樹脂フィルム２Ａ）とを貼り合わせる。また、ローラＲ２は、積層フィルム１０Ａ（つまり、所望の機能膜が成膜された樹脂フィルム２Ａを含む積層フィルム１０Ａ）と樹脂フィルム３Ａとを貼り合わせる。

ここで、接着剤塗布装置Ｓ１とローラＲ１とにより、一方のシート接続部が構成される。当該一方のシート接続部では、樹脂フィルム１Ａと所望の機能膜が成膜された樹脂フィルム２Ａとを積層・接着することにより、積層フィルム１０Ａを生成する。これに対して、接着剤塗布装置Ｓ２とローラＲ２とにより、他方のシート接続部が構成される。当該他方のシート接続部では、所望の機能膜が成膜された樹脂フィルム２Ａを含む積層フィルム１０Ａと樹脂フィルム３Ａとを、積層・接着することにより、積層フィルム１０Ｂを生成する。

霧化成膜装置８は、ロール２から引き出された樹脂フィルム２Ａの一の面に対して、ミスト状の溶液を噴出することにより、当該樹脂フィルム２Ａの一の面に対して、所望の機能膜を成膜する。ここで、霧化成膜装置８における所望の機能膜の成膜は、大気中にて実施される。当該霧化成膜装置８により所望の機能膜が成膜された樹脂フィルム２Ａ（図２に示す機能膜シート２Ｂ）は、ローラＲ１に対して送り出される。

また、霧化成膜装置８は、成膜される機能膜の種類に応じて、ミスト状の溶液の噴出に加えて、酸化還元材を成膜面に対して供給しても良い。また、成膜時には、成膜される樹脂フィルム２Ａを加熱しても良い。

また、機能膜としては、上述したバリアフィルムが一例として考えられる。バリアフィルムは、酸素、水蒸気、紫外線および荷電粒子（イオンを含む）等の少なくとも何れかの透過を抑制・防止し、帯電防止材としても機能することもある。

なお、積層フィルム１０Ｂは、ローラＲ３により、送り出される方向が変更され、ロール４において順次巻回される。

次に、図２に示した積層フィルム製造装置１００を用いた積層フィルム１０Ｂの製造動作について説明する。

ロール１から、最外層となる樹脂フィルム１Ａを引き出し、ロール２から、機能膜が成膜される樹脂フィルム２Ａを引き出し、ロール３から、封止側となる樹脂フィルム３Ａを引き出す。ここで、引き出された樹脂フィルム１Ａおよび引き出された樹脂フィルム２Ａは、ローラＲ１側に送り出され、引き出された樹脂フィルム３Ａは、ローラＲ２側に送り出される。

ロール１から引き出し状態となっている樹脂フィルム１Ａの一の面に対して、接着剤塗布装置Ｓ１において、接着剤が塗布される。そして、接着剤が塗布された樹脂フィルム１Ａは、ロール１からの引き出しが継続されながら、ローラＲ１側に送り出される。

他方、霧化成膜装置８において、ロール２から引き出し状態となっている樹脂フィルム２Ａの一の面に対して、大気中におけるミスト溶液の噴出を行う。これにより、ロール２からの引き出しが継続されつつ、樹脂フィルム２Ａの一の面に所望の機能膜が成膜される。

太陽電池バックシートとして使用される積層フィルム１０Ｂを製造する場合においては、霧化成膜装置８において、樹脂フィルム２Ａの一の主面上には、たとえばＳｉＯｘ（酸化ケイ素）、ＡｌｘＯｙ（酸化アルミニウム）等のバリアフィルムが、機能膜として成膜される。

機能膜が成膜された樹脂フィルム２Ａ（機能膜シート２Ｂ）は、樹脂フィルム２Ａのロール２からの引き出し状態を維持しながら、霧化成膜装置８からローラＲ１側に送り出される。

ローラＲ１では、接着剤が塗布されている樹脂フィルム１Ａの面に、機能膜シート２Ｂが積層され、当該積層状態で圧力が加わり、樹脂フィルム１Ａと機能膜シート２Ｂとが貼り合わせられ、積層フィルム１０Ａが生成される。

当該積層フィルム１０Ａは、ロール１からの樹脂フィルム１Ａの引き出しの継続を、ロール２からの樹脂フィルム２Ａの引き出しの継続を行いつつ、ローラＲ２側に送り出される。

接着剤塗布装置Ｓ２において、積層フィルム１０Ａの一の面に対して、接着剤が塗布される。そして、接着剤が塗布された積層フィルム１０Ａは、ローラＲ２側に送り出される。

ローラＲ２では、接着剤が塗布されている積層フィルム１０Ａの面に、樹脂フィルム３Ａが積層され、当該積層状態で圧力が加わり、積層フィルム１０Ａと樹脂フィルム３Ａとが貼り合わせられ、積層フィルム１０Ｂが生成される。図３に、製造された積層フィルム１０Ｂの拡大断面構成を示す。

当該積層フィルム１０Ｂは、ロール１からの樹脂フィルム１Ａの引き出しの継続を、ロール２からの樹脂フィルム２Ａの引き出しの継続を、ロール３から樹脂フィルム３Ａの引き出しの継続を行いつつ、ローラＲ３側に送り出される。

ローラＲ３において、積層フィルム１０Ｂの送り出し方向を、ロール４配置側に向ける。各ロール１〜３からの各樹脂フィルム１Ａ，２Ａ，３Ａの引き出しが行われるに連れて、ロール４では、積層フィルム１０Ｂの巻回が実施される。

なお、図２の構成は、製造された積層フィルム１０Ｂをロール４に収容する形態である（いわゆる、ロール・ツー・ロール工程）。しかし、図４に示すように、製造された積層フィルム１０Ｂを裁断機Ｃ１において所定の長さ毎に切断し、図４に示すように、複数の一定形状の積層フィルム１０ｂを製造する形態を採用しても良い。

以上のように、本実施の形態に係る積層フィルム製造装置１００は、霧化成膜装置８を備えている。

したがって、積層フィルム作成業者が自前で機能膜を製造することができる。よって、積層フィルム作成業者は、高価な機能膜シートの購入は必要でなくなり、機能膜が形成されていない安価なフィルム（シート）を購入すれば良い。よって、必要機能を有する機能膜を含む積層フィルムを安価に作成することができる。

また、霧化成膜装置８から噴出するミスト状の溶液の原料を変更することにより、成膜する機能膜の種類も容易に変更できる。

また、当該積層フィルム製造装置１００では、霧化成膜装置８における成膜処理を実施しながら、成膜されたフィルム（シート）を含む他のフィルム（シート）との積層・接着が実施される、という利点も有する。

ここで、積層フィルム製造装置１００では、成膜処理装置は、真空や減圧が必要となるＣＶＤ装置等ではなく、大気中での成膜が可能な霧化成膜装置８で実施されている。よって、より安価な成膜装置の導入により、積層フィルム１０Ｂの製造コストをさらに低減できる。

また、当該積層フィルム製造装置１００では、大気中での成膜が可能な霧化成膜装置８の導入により、大気圧下における成膜処理→積層処理という連続工程による積層フィルム１０Ｂの製造も可能となる。

＜実施の形態２＞
実施の形態１では、積層フィルム１０Ｂの製造を行う積層フィルム製造装置１００について説明した。ここで、実施の形態１で説明したように、積層フィルム１０Ｂは、最外層側となる樹脂フィルム１Ａと封止側となる樹脂フィルム３Ａとの間に、機能膜が存在している（図３参照）。

本実施の形態においても、最外層側となる樹脂フィルムと封止側となる樹脂フィルムとの間に機能膜が存在する、積層フィルムを製造する他の積層フィルム製造装置について説明する。

ここで、本実施の形態に係る積層フィルム製造装置で製造された積層フィルム（後述する、積層フィルム１０Ｄ）の具体的な断面構成は、図３に示した断面構成と異なる。しかしながら、「樹脂フィルム−機能膜−樹脂フィルム」という共通する構成を有するので、本実施の形態で製造される積層フィルム（後述する、積層フィルム１０Ｄ）の機能・性能と実施の形態１で製造される積層フィルム１０Ｂの機能・性能とは、同等である。

図５は、本実施の形態に係る積層フィルム製造装置２００の構成を示す図である。

図５に示すように、積層フィルム製造装置２００は、複数のロール１，３，４と、接着剤塗布装置Ｓ２と、複数のローラＲ２，Ｒ３と、霧化成膜装置８とを備えている。

図２と図５との比較から分かるように、霧化成膜装置８の設置位置を変更（つまり、ロール１から引き出された樹脂フィルム１Ａに対する、所望の機能膜の成膜が可能な構成を採用）することにより、積層フィルム製造装置２００では、樹脂フィルム２Ａが巻回されたロール２、接着剤塗布装置Ｓ１およびローラＲ１の構成が省略されている。

図５に示すように、ロール１とローラＲ２との間に、霧化成膜装置８および接着剤塗布装置Ｓ２が当該順に配設されている。さらに、ロール１から引き出された樹脂フィルム１Ａは、ローラＲ２、ローラ３の順に経由して、ロール４へと向かい、ロール３から引き出された樹脂フィルム３Ａも、ローラＲ２、ローラ３の順に経由して、ロール４へと向かう。

ロール（第一のシート収容部と把握できる）１には、樹脂フィルム（第一のシートと把握できる）１Ａが巻回されている。ロール（第二のシート収容部と把握できる）３には、樹脂フィルム（第二のシートと把握できる）３Ａが巻回されている。

実施の形態１で説明したように、各樹脂フィルム１Ａ，３Ａは、熱や圧力に対する耐久性を有する。特に、製造された積層フィルムを食品や電子デバイスの封止材・包装材として用いるとき、封止側となる樹脂フィルム３Ａよりも封止側と対面する最外層側となる樹脂フィルム１Ａ方が、熱や温度に対するより高い耐久性を有する。

なお、実施の形態１でも述べたように、ロール１に封止側となる樹脂フィルムが巻回され、ロール３に最外層となる樹脂フィルムが巻回されていても当然良い。

接着剤塗布装置Ｓ２は、霧化成膜装置８から出力された機能膜シート１０Ｃの一方の面に対して、接着剤を塗布する。また、ローラＲ２は、所望の機能膜が成膜された樹脂フィルム１Ａ（機能膜シート１０Ｃ）と樹脂フィルム３Ａとを貼り合わせる。

ここで、接着剤塗布装置Ｓ２とローラＲ２とにより、シート接続部が構成される。当該シート接続部では、所望の機能膜が成膜された樹脂フィルム１Ａと樹脂フィルム３Ａとを積層・接着することにより、積層フィルム１０Ｄを生成する。

本実施の形態では、上記したように、霧化成膜装置８の設置位置が変更されている。よって、本実施の形態に係る霧化成膜装置８では、ロール１から引き出された樹脂フィルム１Ａの一の面に対して、ミスト状の溶液を噴出することにより、当該樹脂フィルム１Ａの一の面に対して、所望の機能膜を成膜する。ここで、実施の形態１でも説明したように、霧化成膜装置８における所望の機能膜の成膜は、大気中にて実施される。当該霧化成膜装置８により所望の機能膜が成膜された樹脂フィルム１Ａ（図５に示す機能膜シート１０Ｃ）は、ローラＲ２に対して送り出される。

また、霧化成膜装置８は、成膜される機能膜の種類に応じて、ミスト状の溶液の噴出に加えて、酸化還元材を成膜面に対して供給しても良い。また、成膜時には、成膜される樹脂フィルム１Ａを加熱しても良い。

本実施の形態に係る積層フィルム製造装置２００では、霧化成膜装置８は、完成品である積層フィルム１０Ｄにおいて外側に位置し、外部からの熱・圧力に対する耐力を有する樹脂フィルム１Ａに直接、機能膜を成膜している。

なお、積層フィルム１０Ｄは、ローラＲ３により、送り出される方向が変更され、ロール４において順次巻回される。

次に、図５に示した積層フィルム製造装置２００を用いた積層フィルム１０Ｄの製造動作について説明する。

ロール１から、最外層となる樹脂フィルム１Ａを引き出し、ロール３から、封止側となる樹脂フィルム３Ａを引き出す。ここで、引き出された樹脂フィルム１Ａおよび引き出された樹脂フィルム２Ａは、ローラＲ２側に送り出される。

霧化成膜装置８において、ロール１から引き出し状態となっている樹脂フィルム１Ａの一の面に対して、大気中におけるミスト溶液の噴出を行う。これにより、ロール１からの引き出しが継続されつつ、樹脂フィルム１Ａの一の面に所望の機能膜が成膜される。

ここまでの説明から明らかなように、実施の形態１では、機能膜が成膜される樹脂フィルム２Ａを用意していた。つまり、実施の形態１では、機能膜成膜のための「基板」となるフィルム（シート）を設けていた。一方、本実施の形態２では、完成品である積層フィルムにおいて、機能膜成膜の基板としての機能以外の他の機能を有するフィルム（シート）に対して、機能膜を成膜している。たとえば、上記例では、樹脂フィルム１Ａは、完成品である積層フィルム１０Ｄの最外層として、圧力・温度に対する耐性を有する保護フィルムとしての機能を有するのみならず、機能膜が成膜されるための「基板」としても機能している。

機能膜が成膜された樹脂フィルム１Ａ（積層フィルム１０Ｃ）は、樹脂フィルム１Ａのロール１からの引き出し状態を維持しながら、霧化成膜装置８からローラＲ２側に送り出される。

接着剤塗布装置Ｓ２において、積層フィルム１０Ｃの一の面に対して、接着剤が塗布される。そして、接着剤が塗布された積層フィルム１０Ｃは、ローラＲ２側に送り出される。

ローラＲ２では、接着剤が塗布されている積層フィルム１０Ｃの面に、樹脂フィルム３Ａが積層され、当該積層状態で圧力が加わり、積層フィルム１０Ｃと樹脂フィルム３Ａとが貼り合わせられ、積層フィルム１０Ｄが生成される。図６に、製造された積層フィルム１０Ｄの拡大断面構成を示す。

図３と図６との比較から分かるように、積層フィルム１０Ｄは、実施の形態１で作成された積層フィルム１０Ｂと比較して、機能膜シート２Ｂの構成要素である樹脂フィルム２Ａが省略されている。さらに、積層フィルム１０Ｄでは、機能膜シート２Ｂと樹脂フィルム１Ａとは接着剤で接合されているのに対して、積層フィルム１０Ｄでは、樹脂フィルム１Ａに直接、機能膜が成膜されている。

積層フィルム１０Ｂと積層フィルム１０Ｄとの間における上記構成の相違に起因して、積層フィルム１０Ｄは、積層フィルム１０Ｂと比べて、薄膜化が可能となっており、軽重量となっている。また、接着剤や樹脂フィルム２Ａの削減により、積層フィルム１０Ｄは、積層フィルム１０Ｂと比べて、コストダウンが可能となる。

さらに、図２と図５との比較から分かるように、本実施の形態２に係る積層フィルム製造装置２００の方が、実施の形態１に係る積層フィルム製造装置１００よりも、構成が単純化されているので、積層フィルム製造装置２００は、積層フィルム製造装置１００よりも、製造装置のコスト低下、工程の省略も可能となっている。

さて、上記積層フィルム１０Ｄは、ロール１からの樹脂フィルム１Ａの引き出しの継続を、ロール３から樹脂フィルム３Ａの引き出しの継続を行いつつ、ローラＲ３側に送り出される。

ローラＲ３において、積層フィルム１０Ｄの送り出し方向を、ロール４配置側に向ける。各ロール１，３からの各樹脂フィルム１Ａ，３Ａの引き出しが行われるに連れて、ロール４では、積層フィルム１０Ｄの巻回が実施される。

なお、図５の構成は、製造された積層フィルム１０Ｄをロール４に収容する形態である（いわゆる、ロール・ツー・ロール工程）。しかし、実施の形態１において図４を用いて説明したように、製造された積層フィルム１０Ｄを裁断機Ｃ１において所定の長さ毎に切断し、複数の一定形状の積層フィルムを製造する形態を採用しても良い。

以上の構成・動作により、本実施の形態に係る積層フィルム製造装置２００は、実施の形態１で説明した効果と同様の効果を有する。

さらに、機能膜成膜の「基板」として機能するためだけのためのフィルム（シート）を設けず（つまり、実施の形態１で説明した樹脂フィルム２Ａを設けず）、完成品である積層フィルムにおいて前記以外（成膜基板としての機能以外）の機能を有しているフィルム（シート）に直接（上記では、外部からの熱・圧力に対する耐力機能を有する樹脂フィルム１Ａに直接）、所望の機能膜を成膜するように、積層フィルム製造装置２００では、樹脂フィルム１Ａに対する成膜処理が可能なように、霧化成膜装置８の配設場所を設定されている。

このような積層フィルム製造装置２００の構成を採用することにより、完成品である積層フィルム１０Ｄにおける、薄膜化、軽重量、コストダウンが可能となる。また、積層フィルム製造装置２００のコスト低下も可能であり、当該積層フィルム製造装置２００における工程の削減も可能となる。

＜実施の形態３＞
本実施の形態では、上記積層フィルム製造装置１００，２００内に配設されている霧化成膜装置８の構成について、説明する。

図７は、本実施の形態に係る霧化成膜装置８の全体構成を示す図である。

図７に示すように、霧化成膜装置８は、噴射用ノズル機能を有する反応容器１３、各種容器９，１１、各種配管Ｌ１０，Ｌ１１，Ｌ１３、超音波霧化器１８および加熱器１５を備えている。ここで、図７に示した霧化成膜装置８全体が、大気中に配置されており、反応容器１３内も大気圧であり、減圧、真空ではない。

容器１１内に、有機金属や錯体等の原料溶液を供給し、容器１１内に供給された原料溶液を、超音波噴霧機１８によりミスト化する。当該ミスト化された原料溶液は、キャリアガスにより、配管Ｌ１１経由で反応容器１３に送気される。一方、酸化還元材料発生装置機能を有する容器９から、酸化還元材は、配管Ｌ１０を経由して反応容器１３に送気される。

ここで、容器９は酸化還元材料発生装置機能を有する必要はなく、外部からの容器９内に所望の酸化還元材を収容しても良い。また、容器９に超音波噴霧機を設け、容器９内で酸化還元材をミスト化し、ミスト状の酸化還元材を反応容器１３に送気しても良い。

反応容器１３では、ミスト状の原料溶液と酸化還元材とが反応し、さらに、反応容器１３は、噴射用ノズル機能を利用して、原料溶液および酸化還元材を樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）の成膜面に噴出する。

ここで、上記で説明したように、樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）は大気中に配置されており、大気下での成膜処理が実施される。また、図７に示すように、樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）の非成膜面側には、加熱器１５が配置されており、成膜処理の際には、加熱器１５による樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）の加熱が行われている。

ミスト状の原料溶液と酸化還元材との反応により、加熱状況下にある樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）の成膜面において、反応生成物は、生成・堆積・結晶成長を起こし、当該成膜面に所望の機能膜が成膜される。

ここで、反応容器１３内に残留した不要成分（未反応成分）は、配管Ｌ１３を経由して、外部に排気される。

＜実施の形態４＞
本実施の形態に係る霧化成膜装置８では、大気中に配置されたフィルム（シート）に対して、酸化膜の原料ミストを噴射することにより、大気中において当該フィルム（シート）上に酸化膜を成膜する。ここで、本実施の形態では、原料ミストは、反応性が高いアルキル化合物を溶媒で溶解させた原料溶液を、超音波霧化器によりミスト化させたものである。つまり、原料ミストは、ミスト状の当該原料溶液であると把握できる。

また、本発明では、気化されたアルキル化合物ガスをフィルム（シート）に対して晒すことにより、当該フィルム（シート）上に酸化膜を成膜するものでなく、前記原料溶液の「ミスト」をフィルム（シート）に対して吹き付けることにより、当該フィルム（シート）上に酸化膜を成膜するものである。

なお、ここでの「ミスト」とは、上記原料溶液を超音波霧化器により霧化したものであり、液滴の粒径が１０μｍ以下のものである。液滴の上限を当該１０μｍに設定することにより、熱容量を有する液滴による基板の温度低下を防止することができる。

また、気体でなく、上記原料溶液の液状であれば「ミスト」の粒径の下限は、特に限定される必要はない。しかしながら、たとえば一例を挙げるなら、当該「ミスト」の下限は０．１μｍ程度である。

ミスト法を利用して酸化膜を成膜する場合においては、酸化膜の成膜を確実に成立させ、酸化膜の成膜速度（成膜効率）を向上させ、さらには例えば高い導電性を有する酸化膜を作製するためには、次のことが必要であることを見出した。つまり、発明者らは、噴出されたミスト原料に対して、大気雰囲気中に含まれる酸化剤だけでなく、積極的に酸化剤を供給すること（換言すれば、相対湿度９０％程度の大気雰囲気に含まれる水分量（酸化剤と考えられる）では、原料ミストと反応させて酸化膜を成膜するには不十分であること）、当該酸化剤の供給量は調整されたものであることが好ましいことを、見出した。

以下、本実施の形態に係る霧化成膜装置８について、上述した図７の構成を参照して具体的に説明する。

本実施の形態では、容器１１には、アルキル化合物を含む原料溶液が収納されている。容器１１内において、原料溶液は、超音波霧化器１８を用いてミスト状にされる（原料ミストの生成）。

ここで、原料溶液の溶質となるアルキル化合物とは、ジエチル亜鉛、ジメチル亜鉛、ジメチルマグネシウム、ジエチルマグネシウム、ビスシクロペンタジエニルマグネシウム、トリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウム、トリメチルガリウム、トリエチルガリウム、トリメチルインジウム、トリエチルインジウム、テトラメチルシラン、テトラエチルシラン、トリメチルシラン、トリエチルシラン、ジメチルシラン、およびジエチルシランの何れかである。

また、原料溶液の溶媒としては、トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリフェニルアミン等のアミン系溶媒、および、ジエチルエーテル、ジｎ−プロピルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、グライム、ジグライム、トリグライム等のエーテル系溶媒などが、採用できる。または、原料溶液の溶媒として、炭化水素やアルコールなども採用できる。

容器１１で生成された原料ミストは、キャリアガスに乗って、配管Ｌ１１に出力される。そして、当該原料ミストは、配管Ｌ１１を通って、反応容器１３へ供給される。ここで、上記キャリアガスとして、窒素や希ガスなどを採用できる。

実施の形態３でも説明したように、噴射用ノズル機能を有する反応容器１３を、樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）の成膜面上方に配置させる。噴射用ノズル機能を利用して、反応容器１３は、樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）の成膜面に対して、成膜の原料となる原料ミストを噴射する。ここで、噴射の際における樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）の成膜面と噴出口との距離は、たとえば数ｍｍ程度である。

一方、本実施の形態では、容器９には、原料溶液に含まれるアルキル化合物に対して酸化作用を有する酸化剤が、収納されている。

ここで、アルキル化合物に対して酸化作用を有する酸化剤としては、水、酸素、過酸化水素、オゾン、一酸化窒素、亜酸化窒素、および二酸化窒素の何れかを、採用することができる。なお、当該酸化剤は、液体であっても気体であっても良い。

容器９内の酸化剤は、配管Ｌ１０に出力される。そして、当該酸化剤は、配管Ｌ１０を通って、反応容器１３の混合領域へと積極的（つまり、大気雰囲気中に含まれる酸化剤以外に、酸化剤を供給すること）かつスポット的に出力される。つまり、反応容器１３において、噴出されている原料ミストに対して、積極的に、酸化剤が混合・供給される。そして、噴射用ノズル機能を利用して、酸化剤は、原料ミストと共に、樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）の成膜面に向かう。

樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）の成膜面近傍では、原料ミストと酸化剤とが酸化作用を起こし、樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）の成膜面において、アルキル化合物の種類に応じて、所定の酸化膜（導電性を有する酸化膜または絶縁性を有する酸化膜）が、機能膜として成膜される。

以上のように、本実施の形態に係る霧化成膜装置８では、大気中において樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）に対して、アルキル化合物を含む原料ミストを噴出させている。さらに、アルキル化合物に対して酸化作用を有する酸化剤を、樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）に対して噴出された原料ミストに対して、積極的にスポット的に供給している。

したがって、本実施の形態に係る霧化成膜装置８では、大気に含まれる水分等以外に、積極的にかつ十分な量の酸化剤を、原料ミストに晒すことができる。よって、ミスト法を利用して酸化膜である機能膜を成膜する場合においては、酸化膜の成膜を確実に成立させ、酸化膜の成膜速度（成膜効率）を向上させ、さらには所望の性能を有する酸化膜を再現性良く安定的に成膜することができる。

また、上記のように、本実施の形態に係る霧化成膜装置８では、大気に含まれる水分等以外に積極的にかつ十分に酸化剤を原料ミストに供給できる。したがって、たとえば温度や湿度の影響により大気に含まれる水分の量が変化したとしても、当該水分の変化の影響をほとんど受けることなく、樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）面に酸化膜を成膜することができる（つまり、大気中において常に、正常に酸化膜の成膜ができる）。

また、本実施の形態においても、超音波霧化器１８を用いて、原料溶液から原料ミストを生成している。超音波霧化器１８により原料溶液を霧化することにより、ミストの液滴の大きさを小さく設定でき、噴出された原料ミストの基板に至る沈降速度を十分に遅くすることができる。また、ミストの液滴の大きさが小さいので、基板における酸化膜反応が速やかに発生する。なお、原料ミストの噴出速度は、キャリアガスの流量を変更するだけで、調整することができる。

＜実施の形態５＞
本実施の形態では、霧化成膜装置８において、機能膜として、金属酸化膜（たとえば、透明導電膜である亜鉛酸化膜）を、フィルム（シート）上に機能膜を成膜する。そして、当該機能膜に対して紫外線を照射する。

以下、本実施の形態を、上述した図７および後述する図８を参照して具体的に説明する。ここで、上述したように、本実施の形態に係る霧化成膜装置８においても、大気圧下での成膜処理が実施される。

本実施の形態では、少なくとも亜鉛を含む溶液を作製する。ここで、当該溶液の溶媒として、エーテルやアルコールなどの有機溶媒を採用する。当該作製した溶液は、図７に示した容器１１に充填される。

一方、酸化剤として水を採用し、当該酸化剤を図７に示した容器９に充填する。なお、酸化剤としては、水以外に、酸素、オゾン、過酸化水素、Ｎ_２ＯやＮＯ_２なども採用できる。ここで、金属酸化膜の成膜において、大気中の酸素、水分等を利用し、当該酸化剤を省略しても良いが、実施の形態４で説明したように、積極的酸化剤を供給することが望ましい。

なお、ドーパント含有の金属酸化膜を成膜する場合には、ドーパントの溶解性および反応性に依存して、当該酸化剤である水にドーパントを添加したり、または亜鉛を含む溶液にドーパント添加したりする。また、別の容器（図７に図示せず）を設け、別系統により、フィルム（シート）にドーパントを供給しても良い。

次に、超音波霧化器１８を用いて、上記溶液をミスト化する。ここで、酸化剤もミスト化しても良い。そして、ミスト化された溶液は配管Ｌ１１を通って噴射用ノズル機能を有する反応容器１３に供給され、酸化剤は配管Ｌ１０を通って当該反応容器１３に供給される。

一方、図７に示すように、樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）は、加熱器１５により加熱されており、大気圧下に配置されている。当該樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）に対して、反応容器１３は、噴射用ノズル機能を利用して、ミスト化した溶液および酸化剤を夫々噴出する。

以上により、霧化成膜装置８において、大気圧下に載置されている樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）に対して、機能膜として、所定の膜厚の金属酸化膜（透明導電膜である亜鉛酸化膜）が成膜される。

ところで、大気圧下において成膜された金属酸化膜は、スパッタ法などの真空下において成膜された金属酸化膜よりも、抵抗が高くなる。

ここで、大気圧下において成膜された金属酸化膜に対して、紫外線を照射すると、当該金属酸化膜の抵抗が低下することを見出した。さらに、当該金属酸化膜の加熱処理が実施されると、前記で低下した抵抗は高くなるが、再度紫外線を照射すると、前記で抵抗が高くなった金属酸化膜の抵抗が再び低下することも見出した。

そこで、本実施の形態に係る積層フィルム製造装置では、紫外線ランプをさらに備え、成膜後の機能膜に対して紫外線を照射する。

つまり、本実施の形態では、図８に示すように、上記説明により樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）上に成膜された金属酸化膜Ｍ１の主面全面に対して、紫外線ランプＵ１などを用いて紫外線ＵＶを照射する。当該紫外線ＵＶの照射により、金属酸化膜Ｍ１の抵抗（抵抗率）を低下させることができる。

さらに、本実施の形態では、当該紫外線照射処理に際して、上記説明により成膜された金属酸化膜Ｍ１の膜厚に応じて、照射する紫外線ＵＶの波長を決定する。そして、当該決定した波長を有する紫外線ＵＶを、金属酸化膜Ｍ１の主面全面に対して照射する。

照射する当該紫外線ＵＶの波長の決定方法は、たとえば下記の通りである。

たとえば、金属酸化膜Ｍ１の膜厚が厚くなるに従い、紫外線ＵＶの波長として大きい値のものを選択する。これは、金属酸化膜に対する紫外線の侵入深さが当該紫外線の波長に比例する、という関係に依拠しているからである。

つまり、光の進入深さｄは、ｄ＝１／α、と表される。ここで、αは吸収係数であり、α＝４πｋ／λである（ｋ：消衰係数、λ：波長）。つまり、金属酸化膜への紫外線の侵入深さは、当該紫外線の波長に比例する（紫外線の波長が大きいほど、金属酸化膜のより深い位置まで、当該紫外線が侵入できる）。

したがって、膜厚の厚い金属酸化膜ほど、より波長の大きい紫外線を用いないと、当該膜厚の厚い金属酸化膜の膜厚方向全体に、紫外線が照射されず、結果として金属酸化膜の低抵抗化の効率が低下する。したがって、効率的な低抵抗化（短時間に抵抗率をより減少させる）という観点から、金属酸化膜の膜厚が厚くなるに従い、決定される紫外線の波長を比例して大きくすることが望ましい。

特に、実験により、金属酸化膜Ｍ１の膜厚が５９０ｎｍより小さい場合には、少なくとも２５４ｎｍを含む波長を選択・決定し、金属酸化膜の膜厚が５９０ｎｍより大きい場合には、少なくとも３６５ｎｍを含む波長を選択・決定する、ことが好ましいことが分かった。

波長が２５４ｎｍである紫外線光源および波長が３６５ｎｍである紫外線光源は、安価である。そして、金属酸化膜Ｍ１の膜厚に応じて、高効率での低抵抗化が可能な紫外線ＵＶを選択している。したがって、上記波長の選択・決定を採用することにより、金属酸化膜Ｍ１の低抵抗高効率化および製造コストの低減を達成できる。

なお、紫外線ＵＶの波長が３８０ｎｍより大きくなると、金属酸化膜（亜鉛酸化膜）Ｍ１は当該紫外線ＵＶを吸収しなくなる。よって、亜鉛酸化膜に対しては、照射する紫外線ＵＶの波長は３８０ｎｍ以下であることを要する。

ここで、金属酸化膜Ｍ１に対して複数回の加熱処理を施す必要がある場合には、各加熱処理後に紫外線照射処理を毎回実施しても良く、複数の加熱処理を実施し最後の加熱処理後に紫外線処理を１度施しても良い。

なお、上記各説明内容（成膜後の金属酸化膜および加熱処理後の金属酸化膜に対して紫外線を照射することにより、金属酸化膜の抵抗を下げることができること、効率の良い低抵抗化の観点から、金属酸化膜の膜厚に応じて照射する紫外線の波長を選択・決定すること）は、金属酸化膜にドーパントが含有されている場合、および金属酸化膜にドーパントが含有されていない場合の両方について確認されている。また、金属酸化膜にドーパントが含有されている場合においても、ボロンやインジウムなどドーパントの種類に依存することなく、上記各説明内容が当てはまることが確認された。

以上のように、本実施の形態に係る積層フィルム製造装置では、霧化成膜装置８は、亜鉛を含む溶液をミスト化し、当該ミスト化した溶液を大気下において樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）に対して噴射することにより、樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）上に金属酸化膜Ｍ１を成膜している（図７）。そして、当該金属酸化膜Ｍ１に対して、紫外線ＵＶを照射している（図８）。

したがって、霧化成膜装置８において、大気下で、樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）上に金属酸化膜Ｍ１を成膜し、当該成膜した金属酸化膜Ｍ１の抵抗が高抵抗となったとしても、その後の紫外線照射により、当該金属酸化膜Ｍ１の低抵抗化が可能となる（真空下で成膜された金属酸化膜の抵抗と同程度まで、大気下で成膜された金属酸化膜Ｍ１の抵抗を低減することができる）。

また、本実施の形態では、金属酸化膜Ｍ１の膜厚に応じて、照射する紫外線ＵＶの波長を決定している。たとえば、金属酸化膜Ｍ１の膜厚が厚くなるに従い、紫外線ＵＶの波長として大きい値のものを選択する。

したがって、金属酸化膜Ｍ１の膜厚に応じて、低抵抗の高効率化（短時間に抵抗率をより減少させる）が可能な波長を有する紫外線ＵＶを、当該金属酸化膜Ｍ１に対して照射することができる。

＜実施の形態６＞
図９は、本実施の形態に係る霧化成膜装置８の構成を示す図である。

本実施の形態に係る積層フィルム製造装置では、図９に示すように、霧化成膜装置８内に、光学系センサー１６が、さらに配設されている。当該光学系センサー１６は、光を用いて非接触にて、計測対象物の諸物理量を計測する。

図９に示すように、霧化成膜装置８により樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）上に成膜された機能膜に対する計測が可能なように、当該霧化成膜装置８に配設された反応容器１３の後段側に、光学系センサー１６が配設されている。ここで、図９に例示した霧化成膜装置８は、図７で示した霧化成膜装置８に光学系センサー１６が追加された構成となっている。

当該光学系センサー１６として、たとえば、霧化成膜装置８により成膜された機能膜に対して所定の光を照射することにより、当該機能膜の膜厚を計測する膜厚測定センサーおよび／または当該機能膜の光透過率を計測する光透過率測定センサーとして機能する。

ここで、樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）上に成膜された機能膜の膜厚等を計測する光学系センサー１６として、変更解析法、分光干渉方式、吸収強度方式、およびエネルギー分散型蛍光Ｘ線方式などを利用したものが採用できる。なお、光学系を利用しないセンサーを用いて、樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）上に成膜された機能膜の膜厚を測定する方式として、たとえば重量計測方式や超音波計測方式などがある。

以上のように、本実施の形態に係る霧化成膜装置８では、成膜された機能膜の膜厚や光透過率等を計測する光学系センサー１６が配設されている。したがって、ユーザは、当該光学系センサー１６の計測結果を取得することにより、成膜された機能膜の品質を即座に確認できる。よって、当該計測結果を受けて、機能膜の品質が予め定められた品質に達していないと判断された場合には、ユーザは、霧化成膜装置８の成膜条件などを即座に修正できる。

また、当該光学系センサー１６を用いることにより、成膜された機能膜の膜厚が計測できるので、当該計測結果に応じて、実施の形態５で説明した紫外線ＵＶの波長も決定することもできる。

＜実施の形態７＞
図１０は、本実施の形態に係る霧化成膜装置８の構成を示す図である。

本実施の形態に係る積層フィルム製造装置では、図１０に示すように、霧化成膜装置８内に、冷却機能を有する冷却部１７が、さらに配設されている。

図１０の構成では、実施の形態６で説明した光学系センサー１６が配設されている（つまり、図１０に例示した霧化成膜装置８は、図８で示した霧化成膜装置８に冷却部１７が追加された構成となっている）。しかしながら、成膜された機能膜の膜厚等を計測する必要が無い場合には、図１０において当該光学系センサー１６の配設を省略することもできる。

霧化成膜装置８において、樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）上に機能膜が成膜される。ここで、当該成膜処理において、加熱器１５により樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）が所定の成膜温度まで加熱されている。図１０に示すように、成膜処理により温度が高い状態となっている、機能膜が生成された樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）を、当該冷却部１７により、冷却する。したがって、冷却部１７は、霧化成膜装置８に配設された反応容器１３よりも後段側に、配設される。

以上のように、本実施の形態に係る霧化成膜装置８では、機能膜が成膜された樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）を冷却する冷却部１７が配設されている。したがって、成膜処理の際に加熱器１５による加熱温度をより高温に設定することが可能となる。つまり、加熱温度をより高温に設定したとしても、冷却部１７により、機能膜が生成された樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）は直ぐに冷却されるので、高温加熱よる樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）へのダメージを抑制することができる。なお、成膜時の加熱温度を高温にすることにより、機能膜の成膜速度は向上することができ、より質の良い機能膜の生成も可能となる。

＜実施の形態８＞
図１１は、本実施の形態に係る積層フィルム製造装置の構成を示す図である。ここで、当該図１１には、本実施の形態において要部構成となる、霧化成膜装置８と制御部２０とが図示されている。

本実施の形態に係る積層フィルム製造装置は、図１０に示した霧化成膜装置８に加えて、制御部２０がさらに配設されている。当該制御部２０は、光学系センサー１６の計測結果を受信し、当該計測結果に応じて、樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）に対する機能膜の成膜に関係する成膜条件（樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）の引き出し速度、各容器９，１１から反応容器１３への各材料の供給量・供給速度、加熱器１５の加熱温度、および冷却部１７の冷却温度など）を制御する。

つまり、制御部２０には、要求される機能膜の品質を規定する規定値（膜厚範囲や光透過率範囲など）が予め設定されている。そして、制御部２０は、光学系センサー１６からの計測結果と、予め設定されている前記規定値とを比較する。そして、制御部２０は、成膜される機能膜の品質（つまり、上記計測結果）が前記規定値の範囲となるように、上述した成膜条件を制御する。

図１１に示すように、制御部２０は、容器９，１１、ロール１（または２）、加熱器１５、光学系センサー１６および冷却部１７の各々に接続されている。ここで、容器９，１１は、反応容器１３への材料の供給量・供給速度を調整する機能を有している。ロール１（または２）は、樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）の引き出し速度を調整する機能を有している。加熱器１５は、加熱温度を調整する機能を有している。そして、冷却部１７は、冷却温度を調整する機能を有している。

制御部２０は、光学系センサー１６から計測結果信号を受信する。そして、当該受信した計測結果信号を用いて、制御部２０は、容器９、容器１１、ロール１（または２）、加熱器１５および冷却部１７の少なくとも何れかを制御する制御信号を生成し、当該制御信号を制御対象に送信する。

具体的に、制御部２０は、容器９に対して制御信号を送信することにより、容器９から反応容器１３に供給される原料溶液の流量を制御する。また、制御部２０は、容器１１に対して制御信号を送信することにより、容器１１から反応容器１３に供給される酸化還元材の流量を制御する。また、制御部２０は、ロール１（または２）に対して制御信号を送信することにより、ロール１から引き出される樹脂フィルム１Ａの引き出し速度（または、ロール２から引き出される樹脂フィルム２Ａの引き出し速度）を制御する（つまり、制御部２０は、霧化成膜装置８内を通過する成膜対象の通過速度を制御する）。

また、制御部２０は、加熱器１５に対して制御信号を送信することにより、加熱器１５による樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）の加熱温度を制御する。また、制御部２０は、冷却部１７に対して制御信号を送信することにより、冷却部１７による機能膜が成膜された樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）の冷却温度を制御する。

具体例として、たとえば、次のような制御が考えられる。

制御部２０には、予め、要求される機能膜の膜厚の範囲（規定膜厚範囲と称することとする）が設定されている。制御部２０が、光学系センサー１６から受信した計測結果（機能膜の膜厚であり、計測膜厚と称することとする）と規定膜厚範囲とを比較する。もし、計測膜厚が、規定膜厚範囲より小さい場合には、成膜される機能膜の膜厚を増加させることが必要となる（機能膜の成膜速度を向上させる必要がある）。

そこで、制御部２０は、加熱器１５による加熱温度を上げる、冷却部１７による冷却温度を緩める（つまり、冷却を促進させない方向に調整する）、樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）の反応容器１３下方を通過する速度を遅くする、容器９，１１からの各材料の出力量を増加する等の各制御を実施する。ここで、制御部２０は、前記列挙した各制御の全てを実施しても良く、何れか１以上の制御を実施しても良い。

以上のように、本実施の形態に係る積層フィルム製造装置では、光学系センサー１６からの測定結果に応じて機能膜の成膜条件を変更することができる、制御部２０が配設されている（フィードバック制御）。したがって、当該積層フィルム製造装置は、要求される品質を有する機能膜を、常にかつ自動的に、樹脂フィルム１Ａ（または２Ａ）上に成膜することができる。

なお、上記各実施の形態では、樹脂フィルムの片面に所望の機能膜（たとえばバリアフィルム）を成膜する場合に言及した。しかし、本発明に係る積層フィルム製造装置は、以下の積層フィルムの生成に適用できる。つまり、複数のフィルム（シート）から構成され、何れか１以上のフィルム（シート）に所望の膜を成膜されている積層フィルムの生成に適用できる。

よって、積層フィルムを構成する各フィルム（シート）の数も上記の例に限定される必要はない。また、フィルム（シート）は、樹脂製に限定される必要はない。また、２以上のフィルム（シート）に対して所定の膜が成膜できるように、複数の霧化成膜装置８が配設されていても良い。また、フィルム（シート）の片面のみに所定の膜を成膜するのみならず、フィルム（シート）の両面に対して異なる（または同種）の所定の膜を成膜できるように、霧化成膜装置８を配設することもできる。

なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。

１，２，３，４ ロール
１Ａ，２Ａ，３Ａ 樹脂フィルム
２Ｂ，１０Ｃ 機能膜シート
Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３ ローラ
Ｓ１，Ｓ２ 接着剤塗布装置
Ｃ１ 裁断機
８ 霧化成膜装置
９，１１ 容器
１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｄ 積層フィルム
１３ 反応容器
Ｌ１０，Ｌ１１，Ｌ１３ 配管
１５ 加熱器
１６ 光学系センサー
１７ 冷却部
１８ 超音波霧化器
Ｕ１ 紫外線ランプ
ＵＶ 紫外線
Ｍ１ 金属酸化膜
２０ 制御部
１００，２００ 積層フィルム製造装置

Claims (9)

1. 成膜面及び非成膜面を有する第一のシートが収容されている第一のシート収容部と、
   前記第一のシート収容部から引出された前記第一のシートに対して、ミスト状の溶液を噴出し、当該第一のシートの成膜面に所定の膜を成膜する、霧化成膜装置と、
   第二のシートが収容されている第二のシート収容部と、
   前記第二のシート収容部から引出された前記第二のシートと、前記霧化成膜装置から引出され、前記所定の膜が成膜された前記第一のシートとを積層することにより、積層フィルムを生成するシート接続部とを、備え、
   前記霧化成膜装置は、
   前記第一のシートの成膜面側に設けられ、ミスト状の前記溶液を噴出するミスト噴出部と、
   前記第一のシートの非成膜面側に設けられ、加熱処理を行う加熱器とを、含み、
   前記加熱器は前記所定の膜の成膜時に前記加熱処理を実行する、
   ことを特徴とする積層フィルム製造装置。
2. 前記霧化成膜装置は、
   大気中において、前記第一のシートに対して、前記ミスト噴出部により、アルキル化合物を含むミスト状の前記溶液を噴出するとともに、前記アルキル化合物に対して酸化作用を有する酸化剤を、ミスト状の前記溶液に対して供給し、ミスト状の前記溶液の噴出と前記酸化剤の供給により、前記第一のシートの成膜面に前記所定の膜として酸化膜を成膜する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の積層フィルム製造装置。
3. 前記霧化成膜装置は、
   大気中において、前記第一のシートに対して、前記ミスト噴出部により、亜鉛を含むミスト状の前記溶液を噴出することにより、前記第一のシートの成膜面に前記所定の膜として金属酸化膜を成膜し、
   前記金属酸化膜に対して紫外線を照射する紫外線照射部を、さらに備えており、
   前記紫外線照射部は、
   前記金属酸化膜の膜厚に応じて決定された波長を有する紫外線を、前記金属酸化膜に照射する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の積層フィルム製造装置。
4. 前記霧化成膜装置は、
   当該霧化成膜装置において成膜した前記所定の膜に対して、所定の物理量を測定するセンサーを、さらに備えている、
   ことを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載の積層フィルム製造装置。
5. 前記センサーは、
   前記所定の膜の厚さを測定する、膜厚測定センサーである、
   ことを特徴とする請求項４に記載の積層フィルム製造装置。
6. 前記センサーは、
   前記所定の膜の光透過率を測定する、光透過率測定センサーである、
   ことを特徴とする請求項４に記載の積層フィルム製造装置。
7. 前記霧化成膜装置は、
   前記所定の膜が成膜された前記第一のシートを冷却する冷却部を、さらに備えている、
   ことを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れかに記載の積層フィルム製造装置。
8. 前記センサーの計測結果を受信し、当該計測結果に応じて、前記霧化成膜装置を利用した前記所定の膜の成膜に関係する成膜条件を制御する制御部を、さらに備えている、
   ことを特徴とする請求項４乃至請求項７の何れかに記載の積層フィルム製造装置。
9. 前記霧化成膜装置は、
   前記所定の膜として、バリアフィルムを成膜する、
   ことを特徴とする請求項１乃至請求項８の何れかに記載の積層フィルム製造装置。

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