WO2010150551A1

WO2010150551A1 - フィルムの表面処理方法及び装置並びに偏光板の製造方法

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Publication number: WO2010150551A1
Application number: PCT/JP2010/004234
Authority: WO
Inventors: 中野良憲; 屋良卓也; 野上光秀; 川崎真一; 松崎純一; 長谷川平
Original assignee: 積水化学工業株式会社
Priority date: 2009-06-26
Filing date: 2010-06-25
Publication date: 2010-12-29
Also published as: JPWO2010150551A1; TW201114815A; KR20120022967A; CN102459353A

Abstract

【課題】難接着性樹脂フィルムの接着性を確実に向上させる。【解決手段】易接着性樹脂フィルム１２と接着されるべき難接着性樹脂フィルム１１を大気圧近傍の処理空間２２に配置する。アクリル酸等の第１重合性モノマー蒸気を含有するガスを第１供給路３６に通し、難接着性樹脂フィルム１１の近傍まで導く。ＨＥＭＡ等の第２重合性モノマー蒸気を含有するガスを上記第１重合性モノマーと混合することなく第２供給路４６に通し、難接着性樹脂フィルム１１の近傍まで導く。これら第１及び第２の重合性モノマーを大気圧近傍のプラズマにより活性化させ、難接着性樹脂フィルム１１と反応させる。

Description

フィルムの表面処理方法及び装置並びに偏光板の製造方法

　この発明は、樹脂フィルムの表面を処理する方法及び装置、並びに偏光板の製造方法に関し、特に、難接着性の樹脂フィルムと易接着性の樹脂フィルムとを接着するに際して上記難接着性樹脂フィルムに対して行なう表面処理方法等に関する。

　液晶表示装置には、偏光板が組み込まれている。偏光板は、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ：polyvinyl alcohol）を主成分として含む樹脂フィルム（以下、適宜「ＰＶＡフィルム」と称す）からなる偏光フィルムにトリアセテートセルロース（ＴＡＣ：triacetate cellulose）を主成分として含む樹脂フィルム（以下、適宜「ＴＡＣフィルム」と称す）からなる保護フィルムを接着剤を用いて接着したものである。接着剤としては、ポリビニルアルコール系やポリエーテル系等の水系接着剤が用いられている。ＰＶＡフィルムは、これら接着剤との接着性が良好であるが、ＴＡＣフィルムは、接着性が良好でない。そこで、一般に、ＴＡＣフィルムは、接着に先立って、水酸化ナトリウムや水酸化カリウムなどのアルカリ水溶液に漬けられ、鹸化処理される。これにより、ＴＡＣフィルムの表面が加水分解により、親水性が高まり、接着剤がＴＡＣフィルムに付き易くなる。

　鹸化処理以外の表面処理方法として、例えば特許文献１では、ヘリウムとアルゴンの混合ガスで被処理物の表面を大気圧下でプラズマ処理した後、アクリル酸をスプレーガンによって吹き付け、アクリル酸をグラフト重合させ、被処理物の表面を改質させる方法が提案されている。

　特許文献２では、窒素、アルゴン等の不活性ガスと有機系の薄膜形成用ガスとを混合し、この混合ガスを大気圧下でプラズマ放電させて被処理物に供給し、被処理物の親水性を高める方法が提案されている。

特許第３２９２９２４号公報特開２００６－２９９０００号公報

　一般に、偏光フィルムは、ＰＶＡフィルムを染色・一軸延伸することで、作製されている。偏光フィルムの製造方法、保管方法等により、偏光フィルムの含水率が大きく変化する。偏光フィルムの含水率は、偏光フィルムと保護フィルムの接着強度にも大きな影響を及ぼす。したがって、偏光フィルムの状態によっては保護フィルムの表面処理（すなわち接着性）をより強くする必要性が生じる。また、最近では、偏光板のコストダウン等のために、保護フィルムとして、ＴＡＣフィルム以外にも、ポリエチレン（ＰＥ：polyethylene）、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ：polymethyl methacrylate）、ポリプロピレン（ＰＰ：polypropylene）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ：polyethylene terephthalate）、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ：cyclo olefin polymer）、シクロオレフィンコポリマー（ＣＯＣ：cyclo olefin copolymer）等の光学グレードのフィルムを適用することが検討されている。これらのフィルムは難接着性であり、かつアルカリによる加水分解反応が生じないため、従来の鹸化処理では接着性の向上は見込めない。また、特許文献１、２にあるアクリル酸や有機系の薄膜形成用ガスを用いた表面処理でも、十分な接着強度が達成できていない。

　発明者は、上記事情に鑑み、難接着性樹脂フィルムの接着性を高めるため、鋭意研究を行なった。その結果、重合性モノマーを２種以上組み合わせ、これらの重合性モノマーを活性化させて難接着性樹脂フィルムに接触させると、共重合反応により接着性を高めることができるとの知見を得た。一方、２種類の重合性モノマーを共通の供給路に通すと、供給路内で共重合物が形成される可能性があり、そうすると供給路が閉塞されてしまう。また、重合性モノマーの種類が異なれば、通常、沸点や蒸気圧も異なる。そのため、２種以上の重合性モノマーの混合蒸気を作ると、一部の重合性モノマーが液化したり、気相中で重合したりすることもあり得る。

　本発明は、上記知見及び考察に基づいてなされたものであり、易接着性樹脂フィルムと接着されるべき難接着性樹脂フィルムの表面を大気圧近傍下で処理する方法であって、
　第１の重合性モノマーを蒸気の状態で前記難接着性樹脂フィルムの近傍まで導く第１供給工程と、
　前記第１の重合性モノマーとは別種類の第２の重合性モノマーを蒸気の状態で、かつ前記第１の重合性モノマーと混合させることなく前記難接着性樹脂フィルムの近傍まで導く第２供給工程と、
　前記第１及び第２の重合性モノマーを大気圧近傍のプラズマにより活性化させて、前記難接着性樹脂フィルムと反応させるプラズマ処理工程と、
　を備えたことを特徴とする。

　上記の特徴構成によれば、第１の重合性モノマーと第２の重合性モノマーを難接着性樹脂フィルムの近傍まで混合することなく別々に供給することによって、供給路の内部で互いに共重合反応を起こすのを回避できる。したがって、供給路が閉塞されるのを防止できる。また、第１及び第２の重合性モノマーの沸点及び蒸気圧が互いに異なっていても、これら重合性モノマーの一部が供給路内で液化するのを確実に防止できる。これによって、第１及び第２の重合性モノマーを互いに所望の流量比で難接着性樹脂フィルムの近傍まで確実に供給することができる。前記難接着性樹脂フィルムの「近傍」の位置から前記難接着性樹脂フィルムの表面までの距離は、好ましくは０ｍｍ～１００ｍｍ程度である。第１、第２重合性モノマーが前記難接着性樹脂フィルムの「近傍」の位置から前記難接着性樹脂フィルムの表面に達するまでの時間は、好ましくは０ｓｅｃ～５ｓｅｃ程度である。これら重合性モノマーを大気圧近傍のプラズマによって活性化する。重合性モノマーの活性化は、重合性モノマーの開裂、重合、分解を含む。第１及び第２の重合性モノマーによる重合形態としては、共重合（ランダム、ブロック、交互）、グラフト重合があり得る。重合性モノマーの組合せ及び混合比により、好適な重合構造が得られるよう制御することができる。さらに、活性化した重合性モノマーが難接着性樹脂フィルムと反応する。例えば、難接着性樹脂フィルムの表面のＣ－Ｃ、Ｃ－Ｏ、Ｃ－Ｈ等の結合がプラズマガスとの接触やプラズマ光の照射によって切断される。この結合切断部に重合性モノマーの重合物が、結合すると考えられる。これにより、難接着性樹脂フィルムの表面に所望の重合構造からなる接着性促進層が形成されると考えられる。この結果、難接着性樹脂フィルムの接着性を高めることができる。

　本発明方法は、前記第１及び第２の重合性モノマーどうしを前記プラズマ処理工程の直前または前記プラズマ処理工程と併行して互いに混合する混合工程を、更に備えることが好ましい。
　混合工程前に第１、第２重合性モノマーが重合したり液化したりするのを防止できる。かつ、第１及び第２の重合性モノマーを確実に所望の混合比で混合できる。ひいては、所望の共重合体を確実に生成できる。この結果、難接着性樹脂フィルムの表面に所望の共重合構造からなる接着性促進層を確実に形成でき、難接着性樹脂フィルムの接着性を確実に高めることができる。

　前記プラズマ処理工程が、前記第１の重合性モノマーを大気圧近傍のプラズマにより活性化させ、前記難接着性樹脂フィルムの所定部位と反応させる第１プラズマ処理工程と、前記第１プラズマ処理工程の後、前記第２の重合性モノマーを前記活性化前の第１の重合性モノマーと混合させることなく大気圧近傍のプラズマにより活性化させて、前記難接着性樹脂フィルムの前記所定部位と反応させる第２プラズマ処理工程とを含んでいてもよい。　これにより、第１重合性モノマーと第２重合性モノマーを時間的にずらして難接着性樹脂フィルムの表面に供給できる。したがって、供給路内で共重合反応が起きるのを確実に回避でき、供給路が閉塞されるのを確実に防止できる。第１プラズマ処理工程によって、難接着性樹脂フィルムの表面に第１の重合性モノマーによる重合物の層を形成できる。次に、第２プラズマ処理工程によって、第２の重合性モノマーによる重合物を形成でき、かつ上記難接着性樹脂フィルムの表面の第１の重合性モノマーによる重合物を再活性化でき、２種類の重合物を結合させることができる。また、第１の重合性モノマーによる重合物の表面を粗くし凸凹にでき、この凸凹の表面に第２の重合性モノマーによる重合物を結合させることができる。これによって、難接着性樹脂フィルムの表面に、第１及び第２の重合性モノマーによる共重合（特にブロック重合）、グラフト重合、ポリマーアロイ等の重合物からなる接着性促進層を形成できる。

　前記第２プラズマ処理工程において前記大気圧近傍のプラズマを形成するための電界強度が、前記第１プラズマ処理工程において前記大気圧近傍のプラズマを形成するための電界強度より大きいことが好ましい。
　これにより、第１プラズマ処理工程で難接着性樹脂フィルム上に形成された重合物を、第２プラズマ処理工程において確実に再活性化でき、或いはその表面を確実に粗くすることができる。よって、難接着性樹脂フィルムの表面に、共重合、グラフト重合、ポリマーアロイ等の重合物からなる接着性促進層を確実に形成できる。

　前記第１、第２重合性モノマーの前記難接着性樹脂フィルムへの供給と、大気圧近傍プラズマによる活性化とが、時間的又は空間的に離れていてもよい（実施例１１～１８参照）。前記第１及び第２重合性モノマーを前記難接着性樹脂フィルムに接触させて前記難接着性樹脂フィルム上に凝縮させ、その後、前記プラズマ処理工程を行なってもよい。すなわち、前記第１、第２重合性モノマーをプラズマ化することなく前記難接着性樹脂フィルムに接触させて、前記第１、第２重合性モノマーを前記難接着性樹脂フィルムの被処理部分に凝縮させ、その後、前記被処理部分に大気圧近傍プラズマを照射することにしてもよい。

　また、本発明は、易接着性樹脂フィルムと接着されるべき難接着性樹脂フィルムの表面を大気圧近傍下で処理する装置であって、
　前記難接着性樹脂フィルムを支持する支持手段と、
　第１の重合性モノマーを蒸気化する第１の気化器と、
　前記第１の気化器から延び、前記蒸気化した第１の重合性モノマーを前記難接着性樹脂フィルムの近傍まで導く第１の供給路と、
　前記第１の重合性モノマーとは別種類の第２の重合性モノマーを、前記第１の重合性モノマーとは別個に蒸気化する第２の気化器と、
　前記第２の気化器から延び、前記蒸気化した第２の重合性モノマーを前記第１の重合性モノマーとは別個に前記難接着性樹脂フィルムの近傍まで導く第２の供給路と、
　前記第１の供給路からの前記第１の重合性モノマーを大気圧近傍のプラズマにより活性化させ、前記難接着性樹脂フィルムと反応させる第１のプラズマ処理部と、
　前記第２の供給路からの前記第２の重合性モノマーを大気圧近傍のプラズマにより活性化させ、前記難接着性樹脂フィルムと反応させる第２のプラズマ処理部と、
　を備えたことを特徴とする。

　上記の特徴構成によれば、第１の重合性モノマーと第２の重合性モノマーを互いに別々に気化し、互いに別々の供給路により難接着性樹脂フィルムの近傍まで搬送することができる。したがって、供給路内に重合物が形成されるのを防止でき、供給路が閉塞されるのを防止できる。また、供給路内での重合性モノマー蒸気の液化を確実に防止できる。そして、第１及び第２のプラズマ処理部によって、難接着性樹脂フィルムの表面に第１及び第２の重合性モノマーによる共重合物、グラフト重合物、ポリマーアロイ等の重合物からなる接着性促進層を形成できる。この結果、難接着性樹脂フィルムの接着性を高めることができる。

　前記第１及び第２のプラズマ処理部が、互いに共通のプラズマ処理部にて構成されていてもよい。前記共通のプラズマ処理部が、大気圧近傍の放電空間を互いの間に形成する一対の電極を含むことが好ましい。更に噴射ノズルを備え、前記噴射ノズルの基端が、前記第１の供給路の先端及び前記第２の供給路の先端に連なり、前記噴射ノズルの先端が、前記共通のプラズマ処理部の前記放電空間に臨んでいることが好ましい。
　第１の重合性モノマーと第２の重合性モノマーを噴射ノズルで混合しながら共通のプラズマ処理部に導入することができる。これによって、第１重合性モノマーと第２重合性モノマーの混合蒸気が、共通のプラズマ処理部で活性化され、互いに重合し、難接着性樹脂フィルムに接触する。この結果、難接着性樹脂フィルムの表面に所望の共重合構造からなる接着性促進層を確実に形成でき、難接着性樹脂フィルムの接着性を確実に高めることができる。プラズマ処理部及び噴射ノズルを１つにすることで、装置構造を簡素化でき、設備コストを削減できる。
　第１の重合性モノマーの噴射方向と、第２の重合性モノマーの噴射方向とが、平行かつ同じ向きであることが好ましい。これによって、接着性促進層にムラが生じるのを抑えることができる。

　前記第１、第２の各プラズマ処理部が、大気圧近傍の放電空間を互いの間に形成する一対の電極を含んでいてもよい。更に、本発明装置が、前記第１の供給路の先端に設けられ、かつ前記第１のプラズマ処理部の前記放電空間に臨む第１噴射ノズルと、前記第２の供給路の先端に設けられ、かつ前記第２のプラズマ処理部の前記放電空間に臨む第２噴射ノズルと、前記難接着性樹脂フィルムの所定部位が、前記第１のプラズマ処理部にて処理され、その後、前記第２のプラズマ処理部にて処理されるよう、前記難接着性樹脂フィルムを前記第１、第２のプラズマ処理部に対し相対移動させる移動手段と、を備えていてもよい。
　これにより、第１重合性モノマーと第２重合性モノマーとを、互いに別の噴射ノズルから別のプラズマ処理部に導入できる。したがって、供給路内では勿論、噴射ノズルの内部でも共重合反応が起きるのを確実に回避でき、噴射ノズル内のガス路が閉塞されるのを確実に防止できる。第１重合性モノマーは、第１噴射ノズルから第１のプラズマ処理部に導入されて活性化される。第２重合性モノマーは、第２噴射ノズルから第２のプラズマ処理部に導入されて活性化される。難接着性樹脂フィルムの所定部位は、まず第１のプラズマ処理部にて処理され、次に、第２のプラズマ処理部にて処理される。第１のプラズマ処理部において、難接着性樹脂フィルムの所定部位に第１の重合性モノマーを活性化してなる重合物の層を形成できる。第２のプラズマ処理部において、難接着性樹脂フィルムの所定部位に、第１及び第２の重合性モノマーによる共重合（特にブロック重合）、グラフト重合、ポリマーアロイ等の重合物からなる接着性促進層を形成できる。

　前記第２のプラズマ処理部における前記大気圧近傍のプラズマを形成するための電界強度が、前記第１のプラズマ処理部における前記大気圧近傍のプラズマを形成するための電界強度より大きいことが好ましい。すなわち、前記第２のプラズマ処理部の前記一対の電極間に印加される電界強度が、前記第１のプラズマ処理部の前記一対の電極間に印加される電界強度より大きいことが好ましい。
　これにより、第１プラズマ処理部で難接着性樹脂フィルムの所定部位に形成された重合物を、第２プラズマ処理部において確実に再活性化でき、或いはその表面を確実に粗くすることができる。よって、難接着性樹脂フィルムの所定部位に、共重合、グラフト重合、ポリマーアロイ等の重合物からなる接着性促進層を確実に形成できる。

　前記第１及び第２のプラズマ処理部が、互いに共通のプラズマ処理部にて構成され、前記共通のプラズマ処理部が、大気圧近傍の放電空間を互いの間に形成する一対の電極を含んでおり、更に、本発明装置が、前記難接着性樹脂フィルムを前記共通のプラズマ処理部に対し一方向に相対移動させる移動手段と、噴射ノズルとを備え、前記噴射ノズルの基端が、前記第１の供給路の先端及び前記第２の供給路の先端に連なり、前記噴射ノズルの先端が、前記放電空間より前記移動方向の上流側に配置されていてもよい（図３）。
　前記第１及び第２重合性モノマーを前記噴射ノズルの先端から吹出すことで、前記難接着性樹脂フィルムにおける前記放電空間より前記移動方向の上流側の部分に前記第１及び第２重合性モノマーを接触させて凝縮させることができる。この凝縮部分が移動手段によって前記放電空間に導入され、大気圧近傍プラズマが照射される。これにより、前記第１及び第２重合性モノマーの重合反応を、気相中ではなく、前記難接着性樹脂フィルムの表面上で起こすことができ、これら重合性モノマーを前記難接着性樹脂フィルムの表面分子にグラフト共重合させることができる。

　前記一対の電極が、一対のロール電極であることが好ましい。前記難接着性フィルムが連続フィルムである場合、前記一対のロール電極に前記連続フィルム状の難接着性フィルムを掛け回して搬送できる。前記一対のロール電極が、前記支持手段及び前記移動手段を兼ねることができる。

　第１、第２のプラズマ処理部内の酸素濃度は、３０００ｐｐｍ以下が好ましく、１０００ｐｐｍ以下がより好ましい。これによって、酸素による重合性モノマーの重合阻害を防止でき、難接着性樹脂フィルムの接着性を一層向上させることができる。

　前記第１、第２のプラズマ処理部の処理空間は、大気に連通又は大気に開放されていてもよい。
　前記第１、第２のプラズマ処理部におけるプラズマ処理は、大気圧近傍の圧力下でなされる。ここで、大気圧近傍とは、１．０１３×１０^４～５０．６６３×１０^４Ｐａの範囲を言い、圧力調整の容易化や装置構成の簡便化を考慮すると、１．３３３×１０^４～１０．６６４×１０^４Ｐａが好ましく、９．３３１×１０^４～１０．３９７×１０^４Ｐａがより好ましい。

　難接着性樹脂フィルムとは、該フィルムと接着される相手側のフィルムよりも接着剤に対する接着性が相対的に低いフィルムをいう。易接着性樹脂フィルムとは、該フィルムと接着される相手側のフィルムよりも接着剤に対する接着性が相対的に高いフィルムをいう。同一のフィルムが、接着される相手側のフィルムに応じて、難接着性樹脂フィルムになることもあり、易接着性樹脂フィルムになることもある。
　前記難接着性樹脂フィルムの主成分としては、例えばトリアセテートセルロース（ＴＡＣ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレン（ＰＥ）、シクロオレフィン重合体（ＣＯＰ）、シクロオレフィン共重合体（ＣＯＣ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）、ポリイミド（ＰＩ：polyimide）、ポリスチレン（ＰＳｔ：polystyrene）、ポリカーボネート（ＰＣ：polycarbonate）等が挙げられる。前記難接着性樹脂フィルムが、これらの共重合フィルムであってもよい。

　前記易接着性樹脂フィルムの主成分としては、例えばポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、エチレン酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ：ethylene vinyl acetate copolymer）等が挙げられる。

　前記第１、第２重合性モノマーは、室温付近で液体であることが好ましく、かつガス化が容易であることが好ましい。
　前記第１、第２重合性モノマーは、好ましくは不飽和結合を有し、更に好ましくは所定の官能基を有する。前記第１、第２重合性モノマーが共に不飽和結合及び前記所定の官能基を有していてもよい。前記第１重合性モノマーが不飽和結合及び前記所定の官能基を有するモノマーであり、かつ前記第２重合性モノマーが不飽和結合を有するが前記所定の官能基を有さないモノマーであってもよい。

　前記所定の官能基は、カルボキシル基、水酸基、アセチル基、グリシジル基、エポキシ基、炭素数１～１０のエステル基、スルホン基、アルデヒド基、シアノ基、アミド基、フェニル基から選択されることが好ましく、特に、カルボキシル基や水酸基等の親水基が好ましい。重合性モノマーが、オレフィン系モノマー等の不飽和結合を有するが前記所定の官能基を有さないモノマーであってもよい。

　水酸基を有するモノマーとしては、メタクリル酸エチレングリコール（ethyleneglycol methacrylate）、アリルアルコール（allyl alcohol）、メタクリル酸ヒドロキシエチル（ＨＥＭＡ：hydroxyethyl methacrylate）、ビニルアルコール（vinyl alcohol）、ビニルアルコールの異性体であるアセトアルデヒド（acetaldehyde）等が挙げられる。
　カルボキシル基を有するモノマーとしては、アクリル酸（acrylic acid）、メタクリル酸（metacrylic acid）、イタコン酸（itaconic acid）、マイレン酸（maleic acid）、２－メタクリロイルプロピオン酸（2-methacryloyl propionate）等が挙げられる。
　アセチル基を有するモノマーとしては、酢酸ビニル（vinyl acetate）等が挙げられる。
　グリシジル基を有するモノマーとしては、メタクリル酸グリシジル（glycidyl methacrylate）等が挙げられる。
　エステル基を有するモノマーとしては、アクリル酸メチル（methyl acrylate）、アクリル酸エチル（ethyl acrylate）、アクリル酸ブチル（butyl acrylate）、アクリル酸ｔ－ブチル（t-butyl acrylate）、アクリル酸２－エチルヘキシル（2-ethylhexyl acrylate）、アクリル酸オクチル（octyl acrylate）、メタクリル酸メチル（methyl methacrylate）、メタクリル酸エチル（ethyl methacrylate）、メタクリル酸ブチル（butyl methacrylate）、メタクリル酸ｔ－ブチル（t-butyl methacrylate）、メタクリル酸イソプロピル（isopropyl methacrylate）、メタクリル酸２－エチル（2-ethyl methacrylate）等が挙げられる。
　アルデヒド基を有するモノマーとしては、アクリルアルデヒド（acrolein）、クロトンアルデヒド（crotonaldehyde）等が挙げられる。
　シアノ基を有するモノマーとしては、アクリルニトリル（acrylonitrile）が挙げられる。
　アミド基を有するモノマーとしては、アクリルアミド（acrylamide）が挙げられる。
　フェニル基を有するモノマーとしては、スチレン（styrene）等が挙げられる。

　第２重合性モノマーは、不飽和結合を有するが所定の官能基を有さない重合性モノマーであってもよい。不飽和結合を有するが所定の官能基を有さない重合性モノマーとして、オレフィン系モノマーが挙げられる。オレフィン系モノマーは、極性官能基を持たない不飽和炭化水素であり、特に不飽和炭化水素においても二重結合を有するモノマーを指す。本発明に適用するオレフィン系モノマーは、室温付近で液体であることが好ましく、かつガス化が容易であること好ましい。オレフィン系モノマーの炭素数は、５以上８以下であることが好ましい。オレフィン系モノマーは、直鎖状であってもよく、環状であってもよい。オレフィン系モノマーの二重結合の数は、１つに限られず、２つ以上でもよい。直鎖状のオレフィン系モノマーの二重結合の位置は、好ましくは末端であるが、これに限定されるものではない。

　直鎖状のオレフィン系モノマーとして、１－ペンテン（1-pentene）、１－ヘキセン（1-hexene）、１－ヘプテン（1-heptene）、１－オクテン（1-octene）等が挙げられる。環状のオレフィン系モノマーとして、シクロペンテン（cyclopentene）、シクロヘキセン（cyclohexene）、シクロヘプテン（cycloheptene）、シクロオクテン（cyclooctene）等が挙げられる。オレフィン系モノマーとして、好ましくは環状ジエンが挙げられ、更に好ましくはシクロペンタジエン（cyclopentadiene）若しくはジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ：dicyclopentadiene）が挙げられる。

　上記列記のモノマーから１つを選択して第１の重合性モノマーとし、他の１つを選択して第２の重合性モノマーとするのが好ましい。
　第１、第２の重合性モノマーは、難接着性樹脂フィルムおよび易接着性樹脂フィルムの組成に基づき選択することが好ましく、具体的には、難接着性樹脂フィルムおよび易接着性樹脂フィルムと相容性の高いものどうしを組合せることが好ましい。
　例えば、難接着性樹脂フィルムがＴＡＣであり、易接着性樹脂フィルムがＰＶＡである場合、第１重合性モノマーは、カルボキシル基を有するモノマーであり、第２重合性モノマーは、水酸基又はグリシジル基を有するモノマーであることが好ましい。
　難接着性樹脂フィルムが、ＰＰ、又はＰＥであり、易接着性樹脂フィルムがＰＶＡである場合、第１重合性モノマーは、カルボキシル基を有するモノマーであり、第２重合性モノマーは、水酸基若しくはグリシジル基を有するモノマー、又はオレフィン系モノマーであることが好ましい。
　難接着性樹脂フィルムが、ＣＯＰ、又はＣＯＣであり、易接着性樹脂フィルムがＰＶＡである場合、第１重合性モノマーは、カルボキシル基を有するモノマーであり、第２重合性モノマーは、水酸基若しくはグリシジル基を有するモノマー、又はオレフィン系モノマーであることが好ましい。
　難接着性樹脂フィルムがＰＭＭＡであり、易接着性樹脂フィルムがＰＶＡである場合、第１重合性モノマーは、カルボキシル基を有するモノマーであり、第２重合性モノマーは、水酸基又はグリシジル基を有するモノマーであることが好ましい。
　難接着性樹脂フィルムがＰＥＴであり、易接着性樹脂フィルムがＰＶＡである場合、第１重合性モノマーは、エポキシ基を有するモノマーであり、第２重合性モノマーは、カルボキシル基を有するモノマー、又は水酸基若しくはグリシジル基を有するモノマーであることが好ましい。
　上記の例示において、第１重合性モノマーの成分と第２重合性モノマーの成分が互いに逆であってもよい。

　前記第１、第２の重合性モノマーは、キャリアガスによって搬送することにしてもよい。キャリアガスは、好ましくは窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガスから選択される。経済性の観点からは、キャリアガスとして窒素を用いるのが好ましい。
　上記列記の重合性モノマーの多くは、常温常圧で液相である。液相の重合性モノマーは、気化器で蒸気化して搬送する。気化器内で重合性モノマーを不活性ガス等のキャリアガス中に気化させ、重合性モノマー蒸気とキャリアガスの混合ガスからなる重合性モノマー含有ガスを得るのが好ましい。重合性モノマーをキャリアガス中に気化させる方法としては、重合性モノマー液の液面上の飽和蒸気をキャリアガスで押し出す方法、重合性モノマー液中にキャリアガスをバブリングする方法、重合性モノマー液を加熱して蒸発を促進させる方法等が挙げられる。押し出しと加熱、又はバブリングと加熱を併用してもよい。

　加熱して気化させる場合、加熱器の負担を考慮し、重合性モノマーは、沸点が３００℃以下のものを選択するのが好ましい。また、重合性モノマーは、加熱により分解（化学変化）しないものを選択するのが好ましい。

　また、本発明に係る偏光板の製造方法は、前記難接着性樹脂フィルムが透明な保護フィルムであり、前記易接着性樹脂フィルムが、偏光フィルムであり、上記のフィルム表面処理方法を実行した後、前記難接着性樹脂フィルムを易接着性樹脂フィルムに透明な接着剤を介して接着することを特徴とする。
　上記表面処理方法を採用することによって接着性を確保でき、ひいては偏光板の品質を向上させることができる。また、従来のケン化処理で用いられた大量のアルカリ溶液の管理が不要になり、環境負荷を大きく低減できる。

　本発明によれば、難接着性樹脂フィルムの接着性を確実に向上させることができる。また、重合性モノマーが供給路の途中で重合して供給路が閉塞されたり、重合性モノマーが供給路内で液化したりするのを防止でき、重合性モノマーの供給流量を所望の大きさに維持できる。

本発明の第１実施形態に係る表面処理装置を概略的に示す正面図である。本発明の第２実施形態に係る表面処理装置を概略的に示す正面図である。本発明の第３実施形態に係る表面処理装置を概略的に示す正面図である。実施例１１～１７及び比較例７に用いた表面処理装置を概略的に示す正面図である。（ａ）は、偏光板の断面図であり、（ｂ）は、ハードコード層付きの偏光板の断面図である。

　以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
　図５は、本発明の実施形態に係る表面処理方法を利用して作製された液晶ディスプレイ用の偏光板１０を示したものである。図５（ａ）に示すように、偏光板１０は、偏光フィルム１２と、この偏光フィルム１２の両面に積層された一対の保護フィルム１１とを有している。

　保護フィルム１１は、トリアセテートセルロース（ＴＡＣ）を主成分とするＴＡＣフィルムにて構成されている。ＴＡＣフィルム１１のトリアセテートセルロースの含有量は９０質量％以上である。ＴＡＣフィルム１１には、更にリン酸トリフェニル（ＴＰＰ：triphenyl phosphate）などのリン酸エステル（phosphate）可塑剤を３～１０質量％程度含有していてもよく、紫外線吸収剤を含有していてもよい。ＴＡＣフィルム１１の厚さには、特に限定がなく、例えば数十μｍ～百数十μｍである。ＴＡＣフィルム１１の製造方法は特に限定がなく、例えばキャスト法で製造される。

　偏光フィルム１２は、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）を主成分とするＰＶＡフィルム１２にて構成されている。

　ＴＡＣフィルム１１とＰＶＡフィルム１２は、接着剤１３により接着されている。接着剤１３としては、特に限定はないが、光学フィルム１０に適用されることを考慮し、透明な水系接着剤を用いることが好ましい。水系接着剤として、ポリビニルアルコール水溶液、ポリビニルブチラール（polyvinyl butyral）溶液等を主成分とするポリビニルアルコール系の接着剤液、ブチルアクリレート（butyl acrylate）などを主成分とするビニル系重合系ラテックス、ポリオレフィン系ポリオール（polyol）等を主成分とするオレフィン水性接着剤、ポリエーテル系接着剤等が挙げられる。接着剤１３としては、ポリビニルアルコール水溶液を主成分とするポリビニルアルコール系接着剤を用いるのがより好ましい。

　図５（ｂ）に示す偏光板１０では、一方のＴＡＣフィルム１１の表側面（ＰＶＡフィルム１２との接着面とは反対側の面）に、機能層としてハードコート層１４が積層されている。ハードコート層１４に代えて、ＡＲ層、その他の機能層が積層されていてもよい。

　ＴＡＣフィルム１１は、接着剤１３との接着性が低く、難接着性樹脂フィルムを構成する。ＰＶＡフィルム１２は、接着剤１３との接着性が高く、易接着性樹脂フィルムを構成する。難接着性のＴＡＣフィルム１１は、易接着性のＰＶＡフィルム１２との接着に際し、接着性向上のための表面処理が施される。

　図１は、上記の表面処理に用いる表面処理装置１を示したものである。表面処理装置１は、共通プラズマ処理部２と、第１ガス供給系３と、第２ガス供給系４とを備えている。
　プラズマ処理部２は、一対の電極２１と、電源２３を備えている。これら電極２１は、互いに同一の大きさのロール状（円柱形）をなし、軸線を図１と直交する方向に向け、左右に並べられている。これら電極２１間の最も狭くなった部分の周辺の空間がほぼ大気圧の処理空間２２になっている。処理空間２２は狭隘になっている。電極２１間の最も狭くなった部分の厚さは、好ましくは０．５～数ｍｍ程度である。処理空間２２の上下両端は開放されて大気に連通されている。

　一対の電極２１のうち一方が電源２３の高圧端子に接続され、他方が電気的に接地されている。電源２３は、直流電力を交流変換して電極２１に供給する。この電力供給により電極２１，２１間に電界が形成され、上記処理空間２２がほぼ大気圧の放電空間になる。電源２３からの供給電圧及び電極２１間の電界は例えばパルス状になっている。パルスの立ち上がり時間及び／又は立ち下がり時間は、１０μｓ以下であるのが好ましく、電界強度は、１０～１０００ｋＶ／ｃｍであるのが好ましく、周波数は、０．５～１００ｋＨｚであるのが好ましい。印加電圧及び電界は、パルス状の間欠波に限られず、正弦波等の連続波であってもよい。

　連続シート状のＴＡＣフィルム１１が、２つのロール電極２１，２１に跨り、各ロール電極２１の上側の周面に例えば半周程度掛け回されている。ロール電極２１，２１どうしの間のＴＡＣフィルム１１は、処理空間２２に通されて下方へ延出され、一対の折り返しロール２７，２７に掛け回されて折り返されている。２つのロール電極２１の回転により、ＴＡＣフィルム１１が、一方向（右方向）に搬送される。ロール電極２１の回転速度を調節することによって、ＴＡＣフィルム１１の移動速度を調節できる。
　一対のロール電極２１及び一対の折り返しロール２７は、ＴＡＣフィルム１１の支持手段及び移動手段としての機能を有している。

　各ロール電極２１の内部にフィルム温度調節手段２８が組み込まれている。フィルム温度調節手段２８は、温調路により構成されている。所定温度の温調媒体が、ロール電極２１内の温調路を流通する。温調媒体として例えば水が用いられる。これによって、ロール電極２１の温度を調節でき、更にはＴＡＣフィルム１１のロール電極２１に接する部分の温度を調節することができる。ＴＡＣフィルム１１の温度は、室温以上であることが好ましい。ＴＡＣフィルム１１の温度は、吹き出し温度（噴射ノズル５０の設定温度）以下、室温以上であることが、より好ましい。ここで、室温とは、一般に２０～２５℃であり、より一般的には２５℃である。

　次に、第１ガス供給系３について説明する。
　第１ガス供給系３は、第１気化器３０と、第１不活性ガス供給源３１を備えている。第１気化器３０内の下側部に第１重合性モノマーが液体の状態で蓄えられている。第１気化器３０内の第１重合性モノマー液の液面より上側の部分には、第１重合性モノマー液から気化した第１重合性モノマーの飽和蒸気が存在している。

　第１重合性モノマーは、不飽和結合及び所定の官能基を有することが好ましく、親水性を有することがより好ましい。ここでは、第１重合性モノマーとして、アクリル酸（ＣＨ_２＝ＣＨＣＯＯＨ；図１において「ＡＡ」と略記）が用いられている。アクリル酸は、エチレン性不飽和二重結合及びカルボキシル基を有する親水性の重合性モノマーである。
　第１重合性モノマーとして、アクリル酸に代えてメタクリル酸を用いてもよい。

　第１気化器３０には加熱器３２が組み込まれている。第１気化器３０内のアクリル酸液が加熱器３２によって加熱されて気化される。加熱器３２による加熱温度によってアクリル酸の気化量を調節することができる。液体アクリル酸の加熱温度は、アクリル酸蒸気が爆発性であることを考慮し、１５０℃以下が好ましく、８０～１２０℃がより好ましい。室温近傍でもアクリル酸の気化量が必要量を満たす場合には、加熱器３２を省略してもよい。処理空間を不活性ガスで満たすなどして処理空間の酸素濃度を１０００ｐｐｍ以下にした場合、酸素濃度に応じて液体アクリル酸の加熱温度は５４℃～１００℃程度がより好ましい。
　なお、アクリル酸の発火点は、３６０℃である。アクリル酸の引火点は、５４℃である。ちなみに、メタクリル酸の発火点は、３６０℃である。メタクリル酸の引火点は、７７℃である。

　第１不活性ガス供給源３１には、不活性ガスが充填されている。不活性ガスは、第１重合性モノマー蒸気を搬送するキャリアガスとしての役割と、第１重合性モノマー蒸気を希釈する希釈ガスとしての役割と、処理空間２２内にプラズマを生成するためのプラズマ生成用ガスとしての役割を担っている。ここでは、不活性ガスとして、窒素ガスが用いられている。
　窒素ガス以外に、アルゴン、ヘリウム等の他の不活性ガスを用いてもよい。キャリアガス、希釈ガス、ないしはプラズマ生成用ガスは、酸素を実質的に含有しないことが好ましい。

　不活性ガス供給源３１から不活性ガス供給路３３が延びている。不活性ガス供給路３３が、希釈路３４とキャリア路３５に分岐している。これら路３４，３５には、流量調節手段３４ｖ，３５ｖがそれぞれ設けられている。流量調節手段３４ｖ，３５ｖは、マスフローコントローラや流量制御弁等にて構成されている。これら流量調節手段３４ｖ，３５ｖによって、不活性ガスの各路３４，３５への分流比が調節される。

　キャリア路３５が、第１気化器３０に接続されている。キャリア路３５の先端部は、第１気化器３０の内部に差し入れられ、かつアクリル酸液の液面より上側の部分に位置し、開口されている。
　キャリア路３５の先端部をアクリル酸液の内部まで延ばし、アクリル酸液の内部で窒素ガスをバブリングさせてもよい。

　第１気化器３０の上側部から第１供給路３６が延びている。第１供給路３６の中途部に希釈路３４が合流している。第１供給路３６は、処理空間２２の近傍へ延び、ひいては該処理空間２２内のＴＡＣフィルム１１の近傍へ延びている。第１供給路３６にはガス温調手段３８が設けられている。ガス温調手段３８は、例えばリボンヒータにて構成され、第１供給路３６を構成する管の外周を全長にわたって覆っている。ガス温調手段３８によって、第１供給路３６を通過するガスの温度を調節できる。

　次に、第２ガス供給系４について説明する。
　第２ガス供給系４は、第２気化器４０と、第２不活性ガス供給源４１を備えている。第２気化器４０内の下側部に第２重合性モノマーが液体の状態で蓄えられている。第２気化器４０内の第２重合性モノマー液の液面より上側の部分には、第２重合性モノマー液から気化した第２重合性モノマーの飽和蒸気が存在している。

　第２重合性モノマーは、不飽和結合及び所定の官能基を有することが好ましく、親水性を有することがより好ましい。ここでは、第２重合性モノマーとして、2-ヒドロキシエチルメタクリレート（以下「ＨＥＭＡ」と略記）が用いられている。

　第２気化器４０には加熱器４２が組み込まれている。第２気化器４０内のＨＥＭＡの液が加熱器４２によって加熱されて気化される。加熱器４２による加熱温度によってＨＥＭＡの気化量を調節することができる。ＨＥＭＡの加熱温度は、１５０℃以下が好ましく、８０℃～１２０℃がより好ましい。
　なお、ＨＥＭＡの引火点は、１０８℃である。

　第２不活性ガス供給源４１には、第１不活性ガス供給源３１と同様に、窒素からなる不活性ガスが充填されている。
　第１不活性ガス供給源３１が、第２不活性ガス供給源４１として兼用されていてもよい。不活性ガスとして、窒素ガスに代えて、アルゴン、ヘリウム等の他の不活性ガスを用いてもよい。第１不活性ガス供給源３１と第２不活性ガス供給源４１の不活性ガスが互いに異なっていてもよい。

　不活性ガス供給源４１から不活性ガス供給路４３が延びている。不活性ガス供給路４３が、希釈路４４とキャリア路４５に分岐している。これら路４４，４５には、流量調節手段４４ｖ，４５ｖがそれぞれ設けられている。流量調節手段４４ｖ，４５ｖは、マスフローコントローラや流量制御弁等にて構成されている。これら流量調節手段４４ｖ，４５ｖによって、不活性ガスの各路４４，４５への分流比が調節される。

　キャリア路４５が、第２気化器４０に接続されている。キャリア路４５の先端部は、第２気化器４０の内部に差し入れられ、かつ液体ＨＥＭＡの液面より上側の部分に位置し、開口されている。
　キャリア路４５の先端部を液体ＨＥＭＡの内部まで延ばし、ＨＥＭＡの液中で窒素ガスをバブリングさせてもよい。

　第２気化器４０の上側部から第２供給路４６が延びている。第２供給路４６の中途部に希釈路４４が合流している。第２供給路４６は、処理空間２２の近傍へ延び、ひいては該処理空間２２内のＴＡＣフィルム１１へ延びている。第２供給路４６にはガス温調手段４８が設けられている。ガス温調手段４８は、例えばリボンヒータにて構成され、第２供給路４６を構成する管の外周を全長にわたって覆っている。ガス温調手段４８によって、第２供給路４６を通過するガスの温度を調節できる。

　一対のロール電極２１の間の上側部分に噴射ノズル５０が配置されている。噴射ノズル５０には、一対をなす第１、第２の噴射路５０ａ，５０ｂと、共通吹出し口５０ｄとが形成されている。第１供給路３６の先端が第１噴射路５０ａに連なっている。第２供給路４６の先端が第２噴射路５０ｂに連なっている。第１噴射路５０ａと第２噴射路５０ｂとが、合流部５０ｃにおいて互いに合流している。合流部５０ｃに共通吹出し口５０ｄが連なっている。共通吹出し口５０ｄが、噴射ノズル５０の先端面に開口している。噴射ノズル５０の先端面は、下へ向けられ、処理空間２２に臨んでいる。噴射ノズル５０の先端部は、下に向かうにしたがって細くなり、一対のロール電極２１，２１の間の次第に狭くなる部分に差し入れられている。

　詳細な図示は省略するが、噴射ノズル５０は、図１の紙面と直交する方向にＴＡＣフィルム１１の幅とほぼ同じかそれより長く延びている。噴射路５０ａ，５０ｂから吹出し口５０ｄまでの間には、これら路を通るガスを噴射ノズル５０の長手方向（図１の紙面直交方向）に均一に分散させる整流路が形成されている。合流部５０ｃが上記整流路になっていてもよい。吹出し口５０ｄは、図１の紙面と直交する方向に延びるスリット状になっている。
　吹出し口５０ｄが、図１の紙面と直交する方向に間隔を置いて配置された多数の小孔状になっていてもよい。

　噴射ノズル５０の内部には、温調路（図示省略）が形成されている。温調路に所定温度の温調媒体が通される。温調媒体として例えば水が用いられる。温調媒体によって噴射ノズル５０の構造体を所定温度に維持でき、ひいては噴射ノズル５０内を通過する各ガスの温度を調節でき、ひいては混合重合性モノマー含有ガスの吹き出し温度を調節できる。吹き出し温度は、ガス温調手段３８，４８の設定温度よりも低いことが好ましい。吹き出し温度は、使用する第１重合性モノマー、第２重合性モノマーの成分に応じて適宜設定する。

　上記構成のフィルム表面処理装置１を用いて、ＴＡＣフィルム１１を表面処理し、更には偏光板１０を製造する方法を説明する。
［第１供給工程］
　不活性ガス供給源３１の窒素ガスを、不活性ガス供給路３３から希釈路３４とキャリア路３５に分配する。分配比を流量調節手段３４ｖ，３５ｖにて調節する。キャリア路３５に分流された窒素ガスが、第１気化器３０に導入され、第１気化器３０内の液体アクリル酸の液面より上側のアクリル酸蒸気（第１重合性モノマー蒸気）を第１供給路３６に押し出す。第１供給路３６において、第１気化器３０からのガスと希釈路３４からの窒素ガスとが混合され、第１重合性モノマー含有ガス（アクリル酸蒸気＋窒素）が生成される。第１重合性モノマー含有ガス中のアクリル酸の濃度は、爆発限界を考慮して２％以下であることが好ましく、１％程度がより好ましい。アクリル酸濃度は、窒素ガスの２つの路３４，３５への分配比、加熱器３２によるアクリル酸の加熱温度によって調節できる。第１重合性モノマー含有ガスは、第１供給路３６を経て噴射ノズル５０（難接着性フィルム１１の近傍）に送られる。この時、ガス温調手段３８によって供給路３６を通過中の第１重合性モノマー含有ガスの温度を所望になるよう調節する。これにより、供給路３６内で第１重合性モノマー含有ガス中のアクリル酸が液化するのを確実に防止できる。

［第２供給工程］
　上記第１供給工程と併行して、不活性ガス供給源４１の窒素ガスを、不活性ガス供給路４３から希釈路４４とキャリア路４５に分配する。分配比を流量調節手段４４ｖ，４５ｖにて調節する。キャリア路４５に分流された窒素ガスが、第２気化器４０に導入され、第２気化器４０内の液体ＨＥＭＡの液面より上側のＨＥＭＡ蒸気（第２重合性モノマー蒸気）を第２供給路４６に押し出す。第２供給路４６において、第２気化器４０からのガスと希釈路４４からの窒素ガスとが混合され、所望濃度の第２重合性モノマー含有ガス（ＨＥＭＡ蒸気＋窒素）が生成される。第２重合性モノマー含有ガス中のＨＥＭＡ濃度は、２％以下であることが好ましく、１％程度がより好ましい。ＨＥＭＡ濃度は、窒素ガスの２つの路４４，４５への分配比、加熱器４２によるＨＥＭＡの加熱温度によって調節できる。第２重合性モノマー含有ガスは、第２供給路４６を経て噴射ノズル５０すなわち難接着性フィルム１１の近傍に送られる。この時、ガス温調手段４８によって供給路４６を通過中の第２重合性モノマー含有ガスの温度を所望になるよう調節する。これにより、供給路４６内で第２重合性モノマー含有ガス中のＨＥＭＡが液化するのを確実に防止できる。

　第１、第２供給工程によれば、第１重合性モノマーのアクリル酸蒸気と第２重合性モノマーのＨＥＭＡ蒸気を混合することなく別ルートで送ることができる。したがって、これら重合性モノマーどうしが供給路３６，４６の内部で共重合反応を起こすことはない。よって、供給路３６，４６が閉塞されるのを防止できる。また、第１、第２重合性モノマーの沸点及び蒸気圧は互いに異なっていることが通常であるが、第１重合性モノマー含有ガスと第２重合性モノマー含有ガスを別々の供給路３６，４６内で別々に温調することにより、一方又は両方の重合性モノマーが液化するのを確実に防止することができる。

［混合工程］
　噴射ノズル５０の第１噴射路５０ａには、第１供給路３６からの第１重合性モノマー含有ガス（アクリル酸＋窒素）を導入する。第２噴射路５０ｂには、第２供給路４６からの第２重合性モノマー含有ガス（ＨＥＭＡ＋窒素）を導入する。これら第１、第２の重合性モノマー含有ガスを合流部５０ｃにおいて混合し、かつ図示しない整流部によってＴＡＣフィルム１１の幅方向（図１の紙面と直交する方向）に均一化する。以下、混合された第１、第２の重合性モノマー含有ガスを「混合重合性モノマー含有ガス」と称す。上述したように第１供給工程及び第２供給工程で第１、第２の重合性モノマーの共重合反応や液化を防止できるため、混合重合性モノマー含有ガス中の第１重合性モノマーと第２重合性モノマーの混合比を確実に所望の値にすることができる。均一化後の混合重合性モノマー含有ガスを吹出し口５０ｄから処理空間２２へ吹き出す。第１、第２の重合性モノマーの合流後吹き出し迄の時間及び距離が極めて短いため、ノズル５０の内部で共重合反応が起きるのを十分に防止できる。ノズル５０内の第１、第２の重合性モノマーの合流後吹き出し迄の時間は、好ましくは０．５ｓｅｃ～２．０ｓｅｃ程度である。ノズル５０内の第１、第２の重合性モノマーの合流後吹き出し迄の距離は、好ましくは５．０ｍｍ～５０ｍｍ程度である。さらに、噴射ノズル５０に組み込まれた温調手段によって噴射ノズル５０内を通過中のガスの温度を所望になるよう調節する。これにより、噴射ノズル５０内で重合性モノマーが液化するのを確実に防止できる。さらに、混合重合性モノマー含有ガスが、噴射ノズル５０から吹き出される時の温度（以下「吹出し温度」と称す）を設定温度にすることができる。吹出し温度の上限は、ＴＡＣフィルム１１が膨潤等の熱変形を来たさない範囲で設定するのが好ましい。ＴＡＣフィルム１１が膨潤等の熱変形を来たさない限界温度は、処理条件等にも依るが、例えば８０℃前後である。吹出し温度の下限は、ガス路３６，４６及びノズル５０内での結露を防止する観点から室温以上であることが好ましい。吹出し温度は、３５℃～８０℃程度が好ましい。

［プラズマ処理工程］
　上記のガス供給と併行して、電源２３からの電圧供給によって、電極２１，２１間に大気圧放電を形成し、処理空間２２内に大気圧近傍のグロー放電を生成する。これにより、混合重合性モノマー含有ガス中の窒素がプラズマ化され、かつアクリル酸蒸気とＨＥＭＡ蒸気がそれぞれ活性化され、二重結合の開裂、アクリル酸とＨＥＭＡの共重合等が起きる。また、ＴＡＣフィルム１１への窒素プラズマの接触や、窒素プラズマからの紫外線（３３７ｎｍ）の照射によって、ＴＡＣフィルム１１の表面分子のＣ－Ｃ、Ｃ－Ｏ、Ｃ－Ｈ等の結合が切断される。この結合切断部にアクリル酸とＨＥＭＡの共重合物が結合する。これにより、ＴＡＣフィルム１１の表面にアクリル酸とＨＥＭＡの共重合物からなる接着性促進層が形成される。第１、第２重合性モノマーの組み合わせ及び混合比を調節することにより、好適な共重合構造が得られるよう制御することができる。
　共通プラズマ処理部２が、第１重合性モノマーをプラズマ化する第１のプラズマ処理部と、第２重合性モノマーをプラズマ化する第２のプラズマ処理部とを兼ねる。

　さらに、フィルム温度調節手段２８によって、ＴＡＣフィルム１１のロール電極２１と接触する部分の温度（以下「フィルム温度」と称す）を混合重合性モノマー含有ガスの吹出し温度より低い所望の温度に維持する。好ましくは、フィルム温度が、吹出し温度より５℃以上低くなるようにする。より好ましくは、フィルム温度が、吹出し温度より１０℃以上低くなるようにする。この温度調節により、例えば１０ｍ／ｍｉｎ以上の高速搬送下においてもアクリル酸及びＨＥＭＡをＴＡＣフィルム１１の表面に確実に凝縮（担持）させることができ、ひいてはアクリル酸及びＨＥＭＡの共重合物を含む接着性促進層をＴＡＣフィルム１１の表面に確実に形成することができる。

［移動工程］
　上記の第１、第２供給工程、及び混合工程、並びにプラズマ処理工程と併行して、ロール電極２１，２１を図１において時計回りに継続的に回転させ、ＴＡＣフィルム１１を右方向に送る。ＴＡＣフィルム１１の各ポイントは、左側のロール電極２１に掛け回された後、該左側のロール電極２１から離れる直前に処理空間２２を通過し、折り返しロール２７，２７で折り返された後、右側のロール電極２１に掛けられつつ再び処理空間２２を通過する。ＴＡＣフィルム１１の各ポイントは、処理空間２２を通過する度にプラズマ処理される。したがって、１つの処理空間２２でＴＡＣフィルム１１を２回表面処理できる。

　ここで、左側のロール電極２１上のＴＡＣフィルム１１の移動に伴なって、該ＴＡＣフィルム１１の周辺の雰囲気ガス（空気）が該ＴＡＣフィルム１１と一緒に処理空間２２に巻き込まれる。ＴＡＣフィルム１１の移動速度が大きくなればなるほど、空気の巻き込み量が増大する傾向がある。そこで、上記の第１供給工程及び第２供給工程において、第１、第２重合性モノマー含有ガスの供給流量を大きくし、処理空間２２内の酸素濃度が所定以下になるようにする。キャリア路３５の流量を一定に保ちながら希釈路３４の流量を調節することで、第１、第２重合性モノマー含有ガスの供給流量を調節するのが好ましい。これにより、処理空間２２内のガスを混合重合性モノマー含有ガス（ほとんどが窒素、残部がアクリル酸及びＨＥＭＡの蒸気）に置換し、処理空間２２から空気ひいては酸素を追い出すことができる。

　具体的には、処理空間２２内の酸素濃度が、好ましくは３０００ｐｐｍ、より好ましくは２０００ｐｐｍ、一層好ましくは１０００ｐｐｍ以下になるようにする。これによって、プラズマ処理工程におけるアクリル酸及びＨＥＭＡの開裂や重合、ＴＡＣフィルム１１の表面分子のＣ－Ｃ、Ｃ－Ｏ、Ｃ－Ｈ等の結合切断、アクリル酸とＨＥＭＡの共重合物と上記結合切断部との結合等の反応が阻害されるのを防止できる。よって、ＴＡＣフィルム１１の表面に接着性促進層を確実に形成でき、処理品質を安定させることができる。しかも、処理空間２２内への空気巻き込みを懸念することなくＴＡＣフィルム１１の搬送速度を大きくできる。したがって、処理時間を短縮できる。

［接着工程］
　以上のようにして表面処理された難接着性樹脂のＴＡＣフィルム１１を接着剤１３によって易接着性樹脂のＰＶＡフィルム１２と接着する。ＴＡＣフィルム１１の表面に所望の共重合構造からなる接着性促進層が形成されているため、ＴＡＣフィルム１１をＰＶＡフィルム１２にしっかりと接着できる。これにより、良品質の偏光板１０を得ることができる。

　次に、本発明の他の実施形態に係る表面処理装置について説明する。以下の実施形態において第１の実施形態と重複する構成に関しては、図面に同一符号を付して説明を省略する。
　図２は、本発明の第２実施形態を示したものである。第２実施形態に係るフィルム表面処理装置１Ｘでは、３つのロール電極２１によって２つのプラズマ処理部２Ａ，２Ｂが構成されている。３つの電極２１は、互いに同一の大きさのロール状（円柱形）をなし、軸線を図２と直交する方向に向け、左右に並べられている。３つの電極２１を互いに区別するときは、左側の電極２１を「電極２１Ｌ」とし、中央の電極２１を「電極２１Ｃ」とし、右側の電極２１を「電極２１Ｒ」とする。

　中央のロール電極２１Ｃが、電気的に接地されている。左側のロール電極２１Ｌが、第１の電源２３Ａに接続されている。電源２３Ａからの電圧供給により、左側と中央の電極２１Ｌ，２１Ｃ間に電界が形成され、これら電極間の最も狭くなった部分の周辺の空間がほぼ大気圧の第１の処理空間２２Ａになる。左側と中央の電極２１Ｌ，２１Ｃ及び電源２３Ａにより、第１プラズマ処理部２Ａが構成されている。右側のロール電極２１Ｒが、第２の電源２３Ｂに接続されている。電源２３Ｂからの電圧供給により、中央と右側の電極２１Ｃ，２１Ｒ間に電界が形成され、これら電極間の最も狭くなった部分の周辺の空間がほぼ大気圧の第２の処理空間２２Ｂになる。中央と右側の電極２１Ｃ，２１Ｒ及び電源２３Ｂにより、第２プラズマ処理部２Ｂが構成されている。

　連続シート状のＴＡＣフィルム１１が、３つのロール電極２１に跨り、各ロール電極２１の上側の周面に例えば半周程度掛け回されている。隣接するロール電極２１どうしの間のＴＡＣフィルム１１は、各処理空間２２Ａ，２２Ｂより下方へ延出され、一対の折り返しロール２７，２７に掛け回されて折り返されている。３つのロール電極２１の回転により、ＴＡＣフィルム１１が、一方向（右方向）に搬送される。ＴＡＣフィルム１１の搬送方向に沿って、上流側に第１プラズマ処理部２Ａが配置され、下流側に第２プラズマ処理部２Ｂが配置されている。ＴＡＣフィルム１１の各ポイント（所定部位）は、第１プラズマ処理部２Ａの処理空間２２Ａを通過し、その後、第２プラズマ処理部２Ｂの処理空間２２Ｂを通過する。
　３つのロール電極２１は、ＴＡＣフィルム１１の支持手段及び搬送手段として機能を兼ねている。

　第２実施形態では、第１ガス供給系３が、第１プラズマ処理部２Ａと相対している。第２ガス供給系４が、第２プラズマ処理部２Ｂと相対している。
　詳述すると、第１ガス供給系３の第１供給路３６が、第１プラズマ処理部２Ａへ延びている。第１供給路３６の先端に第１噴射ノズル５１が設けられている。第１噴射ノズル５１は、左側と中央のロール電極２１Ｌ，２１Ｃ間の上側部に配置されている。第１噴射ノズル５１の先端が、下方の放電空間２２Ａに臨んでいる。

　詳細な図示は省略するが、第１噴射ノズル５１は、図２の紙面と直交する方向にＴＡＣフィルム１１の幅とほぼ同じかそれより長く延びている。第１噴射ノズル５１の内部には、第１供給路３６からのガスを第１噴射ノズル５１の長手方向（図２の紙面直交方向）に均一に分散させる整流路が形成されている。第１噴射ノズル５１の先端の吹出し口は、図２の紙面と直交する方向に延びるスリット状になっている。第１噴射ノズル５１の吹出し口が、図２の紙面と直交する方向に間隔を置いて配置された多数の小孔状になっていてもよい。

　第１噴射ノズル５１の内部には、温調路（図示省略）が形成されている。温調路に所定温度の温調媒体が通される。温調媒体として例えば水が用いられる。温調媒体によって第１噴射ノズル５１の構造体を所定温度に維持でき、ひいては第１噴射ノズル５１内を通過する第１重合性モノマー含有ガスの温度を調節でき、ひいては第１重合性モノマー含有ガスの吹き出し温度を調節できる。

　第２ガス供給系４の第２供給路４６が、第２プラズマ処理部２Ｂへ延びている。第２供給路４６の先端に第２噴射ノズル５２が設けられている。第２噴射ノズル５２は、中央と右側のロール電極２１Ｃ，２１Ｒ間の上側部に配置されている。第２噴射ノズル５２の先端が、下方の放電空間２２Ｂに臨んでいる。

　詳細な図示は省略するが、第２噴射ノズル５２は、図２の紙面と直交する方向にＴＡＣフィルム１１の幅とほぼ同じかそれより長く延びている。第２噴射ノズル５２の内部には、第２供給路４６からのガスを第２噴射ノズル５２の長手方向（図２の紙面直交方向）に均一に分散させる整流路が形成されている。第２噴射ノズル５２の先端の吹出し口は、図２の紙面と直交する方向に延びるスリット状になっている。第２噴射ノズル５２の吹出し口が、図２の紙面と直交する方向に間隔を置いて配置された多数の小孔状になっていてもよい。

　第２噴射ノズル５２の内部には、温調路（図示省略）が形成されている。温調路に所定温度の温調媒体が通される。温調媒体として例えば水が用いられる。温調媒体によって第２噴射ノズル５２の構造体を所定温度に維持でき、ひいては第２噴射ノズル５２内を通過する第２重合性モノマー含有ガスの温度を調節でき、ひいては第２重合性モノマー含有ガスの吹き出し温度を調節できる。

　第２実施形態では、第１、第２重合性モノマー含有ガスの混合工程を行なわない。第１重合性モノマー含有ガスと第２重合性モノマー含有ガスは、互いに別々に噴き出される。また、プラズマ処理工程を、第１重合性モノマー含有ガスによる第１のプラズマ処理工程と、第２重合性モノマー含有ガスによる第２のプラズマ処理工程とに分けて実行する。しかも、ＴＡＣフィルム１１の各ポイント（所定部位）に対し、先ず、第１のプラズマ処理工程を実行し、その後、第２のプラズマ処理工程を実行する。

［第１供給工程及び第１プラズマ処理工程］
　詳述すると、第１重合性モノマー含有ガス（アクリル酸＋窒素）を、第１供給路３６を経て、第１噴射ノズル５１内の整流路で第１噴射ノズル５１の幅方向（図２の紙面直交方向）に均一化したうえで吹出し、第１プラズマ処理部２Ａの処理空間２２Ａに導入する。ガス温調手段３８にて第１供給路３６を温調することで、第１重合性モノマーが液化するのを防止できる。併行して、電源２３Ａからの電圧供給によって、処理空間２２Ａ内に大気圧グロー放電を生成する。これにより、第１重合性モノマー含有ガス中の窒素をプラズマ化するとともに、アクリル酸蒸気を活性化して重合させることができる。また、ＴＡＣフィルム１１のうち処理空間２２Ａ内に位置する部分に窒素プラズマやプラズマ光を照射して、上記ＴＡＣフィルム部分の表面分子のＣ－Ｃ、Ｃ－Ｏ、Ｃ－Ｈ等の結合を切断できる。この結合切断部にアクリル酸の重合物が結合（グラフト重合）する。これにより、ＴＡＣフィルム１１の表面にアクリル酸の重合物の層を形成できる。

［移動工程］
　併行して、３つのロール電極２１及び２対の折り返しロール２７を図２において時計回りに継続的に回転させ、ＴＡＣフィルム１１を右方向に送る。ＴＡＣフィルム１１の各ポイントは、左側のロール電極２１Ｌに掛け回され、第１の処理空間２２Ａを通過し、さらに、左側の一対の折り返しロール２７，２７で折り返された後、中央のロール電極２１Ｃに掛けられつつ再び処理空間２２Ａを通過する。したがって、ＴＡＣフィルム１１の各ポイントに対し第１プラズマ処理工程が２回行なわれる。その後、ＴＡＣフィルム１１の各ポイントは、第２プラズマ処理部２Ｂへ搬送される。

［第２供給工程及び第２プラズマ処理工程］
　第２重合性モノマー含有ガス（ＨＥＭＡ＋窒素）を、第２供給路４６を経て、第２噴射ノズル５２内の整流路で第２噴射ノズル５２の幅方向（図２の紙面直交方向）に均一化したうえで吹出し、第２プラズマ処理部２Ｂの処理空間２２Ｂに導入する。ガス温調手段４８にて第２供給路４６を温調することで、第２重合性モノマーが液化するのを防止できる。併行して、電源２３Ｂからの電圧供給によって、処理空間２２Ｂ内に大気圧プラズマを生成する。これにより、第２重合性モノマー含有ガス中の窒素をプラズマ化するとともに、ＨＥＭＡ蒸気を活性化して重合させることができる。また、処理空間２２Ｂ内のＴＡＣフィルム１１の表面のアクリル酸重合物を再活性化できる。このアクリル酸重合物にＨＥＭＡ重合物を共重合させることができる。さらに、ＴＡＣフィルム１１の表面のアクリル酸重合物の表面を粗くして凸凹にでき、この凸凹の表面にＨＥＭＡ重合物を共重合させることができる。これによって、ＴＡＣフィルム１１の表面にアクリル酸とＨＥＭＡの重合物からなる接着性促進層を形成できる。この結果、ＴＡＣフィルム１１の接着性を確実に向上させることができる。第２実施形態は、２種の重合性モノマーが互いに時間的に間隔を置いて難接着性樹脂フィルムに重合されるため、共重合（特にブロック重合）、グラフト重合、ポリマーアロイの形成に適している。

　ここで、第２電源２３Ｂからの供給電圧を第１電源２３Ａからの供給電圧より大きくする。これによって、第２処理空間２２Ｂの電界強度を第１処理空間２２Ａの電界強度より大きくできる。したがって、第１プラズマ処理工程によってＴＡＣフィルム１１上に形成されたアクリル酸重合物を、第２プラズマ処理工程において確実に再活性化できる。また、アクリル酸重合物の表面を確実に粗くすることができる。よって、ＴＡＣフィルム１１の表面に、アクリル酸とＨＥＭＡによる共重合物からなる接着性促進層を確実に形成できる。
　ＴＡＣフィルム１１の所定部位に対し、第１重合性モノマーと第２重合性モノマーを時間的にずらして供給できるため、供給路３６，４６内で共重合反応が起きるのを確実に回避でき、供給路が閉塞されるのを確実に防止できる。

　ＴＡＣフィルム１１の各ポイントは、中央のロール電極２１Ｃに掛け回され、第２の処理空間２２Ｂを通過し、さらに、右側の一対の折り返しロール２７，２７で折り返された後、右側のロール電極２１Ｒに掛けられつつ再び処理空間２２Ｂを通過する。したがって、ＴＡＣフィルム１１の各ポイントに対し、処理空間２２Ｂにおいて第２プラズマ処理工程が２回行なわれる。

　重合性モノマー蒸気を含むガスを難接着性樹脂フィルムに供給して難接着性樹脂フィルムの表面上に担持（凝縮等）させ、その後、上記重合性モノマー含有ガスとは別のプラズマ生成用ガス（例えば窒素）をプラズマ化し、難接着性樹脂フィルムの上記重合性モノマーが担持された部分に接触させてもよい。
　図３は、本発明の第３実施形態を示したものである。第３実施形態では、共通プラズマ処理部２を備えたフィルム表面処理装置１Ｙにおいて、噴射ノズル５０が、電極２１，２１間の放電空間２２よりもフィルム１１の移動方向の上流側（図３において左側）に少しずらして配置されている。噴射ノズル５０の先端（下端）が、左側（フィルム移動方向の上流側）の電極２１の上側部と対向している。噴射ノズル５０の基端（上端）に第１、第２のガス供給系３，４が連なっている（図３では供給路３６，４６の先端部のみ図示）。

　電極２１，２１間の中央位置には、別の噴射ノズル５３が配置されている。噴射ノズル５３にＮ_２ガス（プラズマ生成用ガス）が供給される。噴射ノズル５３の先端（下端）が放電空間２２の上端部に臨んでいる。

　第１、第２重合性モノマー含有ガスを、供給路３６，４６を経て噴射ノズル５０の先端から吹き出す。これにより、被処理フィルム１１における放電空間２２より移動方向の上流側の部分に、第１及び第２重合性モノマーを接触させて凝縮させることができる（凝縮工程）。ロール電極２１，２１の回転に伴って、被処理フィルム１１の上記重合性モノマー凝縮部分が放電空間２２に導入される。併せて、中央の噴射ノズル５３からＮ_２ガスを放電空間２２に導入する。これにより、Ｎ_２がプラズマ化され、上記重合性モノマーの凝縮層に大気圧近傍プラズマが照射される（プラズマ処理工程）。したがって、第１及び第２重合性モノマーの重合反応を、気相中ではなく、被処理フィルム１１の表面上で起こすことができる。よって、第１、第２重合性モノマーを被処理フィルム１１の表面分子に確実にグラフト共重合させることができる。

　本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内において種々の改変をなすことができる。
　例えば、難接着性樹脂フィルム１１は、ＴＡＣフィルムに限らず、ＣＯＰ、ＣＯＣ、ＰＰ、ＰＥ、ＰＥＴ等の難接着性の樹脂フィルムを用いてもよい。

　第１重合性モノマーとしてアクリル酸に代えてメタクリル酸を用いてもよい。第２重合性モノマーとしてＨＥＭＡに代えてメタクリル酸グリシジルを用いてもよい。第１重合性モノマーとしてＨＥＭＡ又はメタクリル酸グリシジルを用いてもよく、第２重合性モノマーとしてアクリル酸又はメタクリル酸を用いてもよい。その他種々の重合性モノマーを適宜選択して、第１重合性モノマー又は第２重合性モノマーとして用いてもよい。第１重合性モノマーとして、不飽和結合及び所定の官能基を有する重合性モノマーを用い、かつ第２重合性モノマーとして、オレフィン系モノマー等の不飽和結合を有するが所定の官能基を有しない重合性モノマーを用いてもよい。オレフィン系モノマーとして、例えばシクロペンタジエン又はジシクロペンタジエンを用いてもよい。

　３つ以上の重合性モノマーを用いてもよい。この場合、３つ以上の重合性モノマーのうちの１つが第１重合性モノマーを構成し、他の１つが第２重合性モノマーを構成する。３つ以上の重合性モノマーを互いに混合するとともに共通の処理空間２２に導入し、難接着性樹脂フィルムに接触させてもよい。
　３つ以上の重合性モノマーを難接着性樹脂フィルムの所定部位に互いに時間的に間隔を置いて順次接触させてもよい。
　プラズマ処理部ひいては処理空間を３つ以上用意し、これら処理空間にそれぞれ別種の重合性モノマー含有ガスを供給し、更に、難接着性樹脂フィルムが上記３つ以上の処理空間を順次通過するよう、難接着性樹脂フィルム及びプラズマ処理部を相対移動させることにしてもよい。この場合、３つ以上のプラズマ処理部のうち任意の２つのプラズマ処理部における、難接着性樹脂フィルムの移動方向の上流側に配置されたプラズマ処理部が「第１のプラズマ処理部」を構成し、そのプラズマ処理部によって実行される処理が第１プラズマ処理工程となる。また、上記任意の２つのプラズマ処理部における、難接着性樹脂フィルムの移動方向の下流側に配置されたプラズマ処理部が「第２のプラズマ処理部」を構成し、そのプラズマ処理部によって実行される処理が第２プラズマ処理工程となる。難接着性樹脂フィルムの移動方向に沿って後段のプラズマ処理部ほど電界強度を強くしてもよい。

　第１、第２のプラズマ処理部を互いに共通のプラズマ処理部にて構成し、第１供給路３６を上記共通のプラズマ処理部と連通させて第１プラズマ処理工程を実行し、続いて上記第１供給路３６を遮断した後、第２供給路４６を上記共通のプラズマ処理部と連通させて第２プラズマ処理工程を実行することにしてもよい。第１、第２のプラズマ処理部を互いに共通のプラズマ処理部にて構成し、第２実施形態の第１、第２噴射ノズル５１，５２を上記共通のプラズマ処理部に対し相対移動させることで、第１噴射ノズル５１を上記共通プラズマ処理部に臨ませて第１プラズマ処理工程を実行し、その後、第２噴射ノズル５２を上記共通プラズマ処理部に臨ませて第２プラズマ処理工程を実行することにしてもよい。

　被処理フィルム１１が静止され、プラズマ処理部や噴射ノズルが移動手段によって移動されるようになっていてもよい。被処理フィルム１１及びプラズマ処理部を相対移動させずにプラズマ処理を行なうことにしてもよい。

　プラズマ処理部２，２Ａ，２Ｂの電極構造は、ロール電極構造に限られず、一対の平板状電極を有する平行平板電極構造であってもよく（図４参照）、平板電極とロール電極とを対向させた構造でもよく、凹曲面を有する電極とロール電極とを対向させた構造でもよい。第２実施形態（図２）において、第１プラズマ処理部２Ａと第２プラズマ処理部２Ｂの電極構造が異なっていてもよい。

　第１実施形態において、第１重合性モノマー含有ガスと第２重合性モノマー含有ガスを、プラズマ処理工程の直前に噴射ノズル５０内で混合するのに代えて、別々の噴射ノズルから共通の処理空間２２内に吹き出し、共通の処理空間２２内で混合するようにしてもよい。噴射ノズル５０内の２つの噴射路５０ａ，５０ｂが、途中で合流することなく、それぞれ噴射ノズル５０の先端面に達して、別々の吹出し口を形成し、これら別々の吹出し口から第１重合性モノマー含有ガスと第２重合性モノマー含有ガスを互いに共通の処理空間２２内に導入して混合することにしてもよい。

　第２実施形態において、第１処理空間２２Ａの電界強度を第２処理空間２２Ｂの電界強度より大きくしてもよく、これら処理空間２２Ａ，２２Ｂの電界強度を互いに等しくしてもよい。

　第１～第３実施形態のプラズマ処理部は、処理空間内で放電が生成され、処理空間に配置された被処理フィルム１１にプラズマが直接的に照射される所謂ダイレクト式のプラズマ処理装置であったが、本発明は、上記ダイレクト式に限られず、処理空間と放電空間とが別々になり、放電空間に処理空間が連なり、重合性モノマー含有ガスを放電空間でプラズマ化して処理空間に導入し、処理空間の被処理フィルム１１に接触させる所謂リモート式のプラズマ処理装置にも適用できる。リモート式の場合、噴射ノズル５０，５１，５２に電極を収容し、ノズル５０，５１，５２内の噴射路が放電空間になるようにしてもよい。リモート式かつ混合吹出し式の場合、第１及び第２重合性モノマー含有ガスどうしを混合後に放電空間に導入してプラズマ化してもよく、第１、第２重合性モノマー含有ガスを別々にプラズマ化した後、混合してもよい。

　プラズマ生成用ガスをプラズマ化して難接着性樹脂フィルムに接触させ、その後、重合性モノマーを上記難接着性樹脂フィルムの上記プラズマ接触部分に接触させてもよい。プラズマ生成用ガスと、重合性モノマー蒸気のキャリアガスとが、同一成分（例えば窒素）で構成されてもよく、キャリアガスがプラズマ生成用ガスを兼ねていてもよい。

　希釈路３４，４４の流量調節に加え、キャリア路３５，４５の流量をも調節することで、重合性モノマー含有ガスの供給流量を調節してもよい。希釈路３４，４４の流量を一定に保ちながらキャリア路３５，４５の流量を調節することで、重合性モノマー含有ガスの供給流量を調節してもよい。希釈路３４，４４の流量をゼロにし、キャリア路３５，４５の流量を調節することで、重合性モノマー含有ガスの供給流量を調節してもよい。

　処理空間２２，２２Ａ，２２Ｂ及びその周辺の雰囲気ガスを不活性ガス（例えば窒素）に置換することにより、処理空間２２，２２Ａ，２２Ｂの酸素濃度が所定以下、すなわち好ましくは３０００ｐｐｍ以下、より好ましくは２０００ｐｐｍ以下、一層好ましくは１０００ｐｐｍ以下になるよう調節してもよい。処理空間２２，２２Ａ，２２Ｂ及びその周辺をチャンバーで囲み、チャンバーの内部のガスを不活性ガス（例えば窒素）に置換することにより、処理空間２２，２２Ａ，２２Ｂの酸素濃度が所定以下になるよう調節してもよい。
　処理空間２２，２２Ａ，２２Ｂの周辺部分に不活性ガス（例えば窒素）のガスカーテンを形成し、このガスカーテンにて空気等の雰囲気ガスが処理空間２２，２２Ａ，２２Ｂに入り込むのを阻止又は抑制することにより、処理空間２２，２２Ａ，２２Ｂの酸素濃度が所定以下になるよう調節してもよい。
　混合重合性モノマー含有ガス、第１重合性モノマー含有ガス、第２重合性モノマー含有ガスには、酸素が含有されていないことが好ましいが、好ましくは３０００ｐｐｍ以下、より好ましくは１０００ｐｐｍ以下であれば酸素が含有されていてもよい。

　第１、第２プラズマ処理工程の後、接着工程前に、難接着性樹脂フィルムを水性洗浄液にて洗浄してもよい。
　難接着性樹脂フィルムの表面処理方法及び表面処理装置は、偏光板の製造以外の用途に適用してもよい。

　以下に実施例を説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
　実施例１の表面処理条件及び結果を表１に示す。
　実施例１では、図１に示す処理装置１を用いた。難接着性フィルム１１を一対のロール電極２１及び折り返しロール２７に掛け回して搬送した。第１重合性モノマー含有ガスと第２重合性モノマー含有ガスを２つのガス供給系３，４で噴射ノズル５０まで別々に供給し、噴射ノズル５０で混合して処理空間２２に導入した。電源２３で直流電力を交流に変換して電極２１に供給し、処理空間２２内に大気圧放電を生成した。具体的な処理条件は以下のとおり。
　難接着性樹脂フィルム１１：　ＴＡＣフィルム（幅３３ｃｍ）
　フィルム１１の搬送速度：　　３０ｍ／ｍｉｎ
　フィルム温度調節手段２８の設定温度：　２５℃
　第１重合性モノマー含有ガス：　アクリル酸＋Ｎ_２
　　不活性ガス供給路３３のＮ_２流量：　２４ｓｌｍ
　　希釈路３４のＮ_２流量：　　　　　　１４ｓｌｍ
　　キャリア路３５のＮ_２流量：　　　　１０ｓｌｍ
　　加熱器３２(気化器３０)及びガス温調手段３８(供給路３６)の設定温度：８０℃
　第２重合性モノマー含有ガス：　ＨＥＭＡ＋Ｎ_２
　　不活性ガス供給路４３のＮ_２流量：　２４ｓｌｍ
　　希釈路４４のＮ_２流量：　　　　　　１４ｓｌｍ
　　キャリア路４５のＮ_２流量：　　　　１０ｓｌｍ
　　加熱器４２(気化器４０)及びガス温調手段４８(供給路４６)の設定温度：１００℃
　プラズマ条件及び処理空間２２の寸法
　　電源２２の供給電力：６５６Ｗ（４１０Ｖ×１．６Ａの直流を交流変換）
　　電極２１間の印加電圧：Ｖｐｐ＝１７．５ｋＶ
　　処理空間２２の最も狭くなった箇所の厚さ：　１ｍｍ
　　処理空間２２の上下の長さ：　約１０ｃｍ
　　処理空間２２の容積：　約０．３Ｌ

　表面処理後のフィルム１１の幅方向の一端部と他端部と中央部からそれぞれ試料片を切り取り、各試料片をＰＶＡフィルムの試料片の両面に接着し、図５（ａ）と同じ断面構造の偏光板試料を作製した。ＰＶＡフィルムは、重合度５００の部分けん化品であった。接着剤１３として、（Ａ）ＰＶＡ　５ｗｔ％水溶液と、（Ｂ）カルボキシメチルセルロースナトリウム　２ｗｔ％水溶液とを、（Ａ）：（Ｂ）=２０：１で混合した水溶液を用いた。接着剤１３の乾燥条件は８０℃、５分間とした。接着剤が硬化した後、接着強度を浮動ローラー法（ＪＩＳ　Ｋ６８５４）で測定した。その結果、接着強度は平均で１９．２Ｎ／ｉｎｃｈであった。フィルム１１の試料片採取部位ごとの接着強度の測定結果は、表１を参照のこと（以下の実施例及び比較例において同様）。

　実施例２の表面処理条件及び結果を表１に示す。
　実施例２では、実施例１と同様に図１の処理装置１を用い、ＴＡＣフィルムの表面処理を行なった。第２重合性モノマーとしてメタクリル酸グリシジル（表１において「ＧＭＡ」と略記）を用い、第２気化器４０及び供給路４６の設定温度を１９０℃にした。実施例２におけるその他の処理条件は、実施例１と同一とした。表面処理後、実施例１と同じ方法で偏光板試料を作製し、実施例１と同じ方法で接着強度を測定した。接着強度の測定結果は平均で１９．１Ｎ／ｉｎｃｈであった。

　実施例３の表面処理条件及び結果を表１に示す。
　実施例３では、実施例１と同様に図１の処理装置１を用い、ＴＡＣフィルムの表面処理を行なった。第１重合性モノマーとしてメタクリル酸（表１において「ＭＡ」と略記）を用い、第１気化器３０及び供給路３６の設定温度を１６０℃にした。実施例３におけるその他の処理条件は、実施例１と同一とした。表面処理後、実施例１と同じ方法で偏光板試料を作製し、実施例１と同じ方法で接着強度を測定した。接着強度の測定結果は平均で１９．０Ｎ／ｉｎｃｈであった。

　実施例４の表面処理条件及び結果を表１に示す。
　実施例４では、実施例１と同様に図１の処理装置１を用い、ＴＡＣフィルムの表面処理を行なった。第１重合性モノマーとしてメタクリル酸を用い、第１気化器３０及び供給路３６の設定温度を１６０℃にした。第２重合性モノマーとしてメタクリル酸グリシジルを用い、第２気化器４０及び供給路４６の設定温度を１９０℃にした。実施例４におけるその他の処理条件は、実施例１と同一とした。表面処理後、実施例１と同じ方法で偏光板試料を作製し、実施例１と同じ方法で接着強度を測定した。接着強度の測定結果は平均で１９．５Ｎ／ｉｎｃｈであった。

　実施例５の表面処理条件及び結果を表２に示す。
　実施例５では、図１の処理装置１を用い、難接着性樹脂フィルム１１としてポリエチレン（ＰＥ）のフィルムの表面処理を行なった。ＰＥフィルムを処理対象とした。実施例５におけるその他の処理条件は、実施例１と同一とした。表面処理後、実施例１と同じ方法で偏光板試料を作製し、実施例１と同じ方法で接着強度を測定した。接着強度の測定結果は平均で１６．２Ｎ／ｉｎｃｈであった。

　実施例６の表面処理条件及び結果を表２に示す。
　実施例６では、図１の処理装置１を用い、難接着性樹脂フィルム１１としてポリプロピレン（ＰＰ）のフィルムの表面処理を行なった。ＰＰフィルムを処理対象とした。実施例６におけるその他の処理条件は、実施例１と同一とした。表面処理後、実施例１と同じ方法で偏光板試料を作製し、実施例１と同じ方法で接着強度を測定した。接着強度の測定結果は平均で１８．８Ｎ／ｉｎｃｈであった。

　実施例７の表面処理条件及び結果を表２に示す。
　実施例７では、図１の処理装置１を用い、ＴＡＣフィルムの表面処理を行なった。第２重合性モノマーとしてアセトアルデヒドを用い、第２気化器４０及び供給路４６の設定温度を３０℃にした。実施例７におけるその他の処理条件は、実施例１と同一とした。表面処理後、実施例１と同じ方法で偏光板試料を作製し、実施例１と同じ方法で接着強度を測定した。接着強度の測定結果は平均で１９．０Ｎ／ｉｎｃｈであった。

　実施例８の表面処理条件及び結果を表２に示す。
　実施例８では、図１の処理装置１を用い、難接着性樹脂フィルム１１としてポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）からなるフィルムの表面処理を行なった。第２重合性モノマーとしてアセトアルデヒド（ＡｃＡ）を用い、第２気化器４０及び供給路４６の設定温度を３０℃にした。実施例８におけるその他の処理条件は、実施例１と同一とした。表面処理後、実施例１と同じ方法で偏光板試料を作製し、実施例１と同じ方法で接着強度を測定した。接着強度の測定結果は平均で１４．４Ｎ／ｉｎｃｈであった。

［比較例１］
　比較例１の表面処理条件及び結果を表３に示す。
　比較例１として、図１の処理装置１を用い、かつ重合性モノマーとしてアクリル酸のみを用いて、ＴＡＣフィルムの表面処理を行なった。第１気化器３０にアクリル酸液を装填する一方、第２気化器４０内を空にした。したがって、第２重合性モノマーの供給量は０であり、１００％の窒素ガスを第２供給路４６に通した。第２気化器４０及び第２供給路４６の設定温度は、第１気化器３０及び第１供給路３６と同じく８０℃とした。比較例１におけるその他の処理条件は、実施例１と同一とした。その後、実施例１と同じ方法で偏光板試料を作製し、実施例１と同じ方法で接着強度を測定した。測定結果は、実施例１～８より劣り、平均で１４．５Ｎ／ｉｎｃｈであった。

［比較例２］
　比較例２の表面処理条件及び結果を表３に示す。
　比較例２では、図１の処理装置１を用い、第１ガス供給系３でアクリル酸とＨＥＭＡと窒素の混合ガスを供給し、第２ガス供給系４で窒素のみを供給することにした。第１気化器３０にアクリル酸とＨＥＭＡの混合溶液を入れた。混合溶液の混合比は、重量比でアクリル酸：ＨＥＭＡ＝３：１とした。気化器３０，４０及び供給路３６，４６の設定温度を共に１００℃にした。したがって、気化器３０から取り出される混合ガス中のアクリル酸のＨＥＭＡに対する含有率は、上記混合溶液中のアクリル酸の含有率より大きくなったものと考えられる。第２気化器４０内は空にした。したがって、１００％の窒素ガスを第２供給路４６に通した。それ以外の処理条件は比較例１と同一にして、ＴＡＣフィルムの表面処理を行なった。すると、供給路３６内にゲルや固体が生成され、供給途中でアクリル酸とＨＥＭＡの共重合等の反応が起きたことが確認された。フィルム１１の表面処理の均一性が、実施例１～８及び比較例１と比べ低下した。

　表面処理の後、実施例１と同じ方法で偏光板試料を作製し、実施例１と同じ方法で接着強度を測定した。測定結果は、比較例１より更に劣り、平均で１３．４Ｎ／ｉｎｃｈであった。供給ガス中のアクリル酸の含有率が大きかったことが接着強度低下の一因と考えられる。

　実施例１～４、７及び比較例１、２の結果を比較すると明らかな通り、本発明によれば、ＴＡＣフィルムに対して接着性を向上できることが確認された。

［比較例３］
　比較例３の表面処理条件及び結果を表３に示す。
　比較例３では、図１の処理装置１を用い、かつ重合性モノマーとしてアクリル酸のみを用いて難接着性樹脂フィルム１１の表面処理を行なった。処理対象の難接着性樹脂フィルム１１は、実施例５と同じく、ポリエチレン（ＰＥ）のフィルムであった。第２気化器４０内を空にし、第２重合性モノマーの供給量を０とし、１００％の窒素ガスを第２供給路４６に通した。比較例３におけるその他の処理条件は、実施例５と同一とした。その後、実施例１と同じ方法で偏光板試料を作製し、実施例１と同じ方法で接着強度を測定した。接着強度の測定結果は平均で１１．６Ｎ／ｉｎｃｈであり、実施例５と比べ低かった。

　実施例５及び比較例３の結果を比較すると明らかな通り、本発明によれば、ＰＥフィルムに対して接着性を向上できることが確認された。

［比較例４］
　比較例４の表面処理条件及び結果を表３に示す。
　比較例４では、図１の処理装置１を用い、かつ重合性モノマーとしてアクリル酸のみを用いて難接着性樹脂フィルム１１の表面処理を行なった。処理対象の難接着性樹脂フィルム１１は、実施例６と同じく、ポリブロピレン（ＰＰ）のフィルムであった。第２気化器４０内を空にし、第２重合性モノマーの供給量を０とし、１００％の窒素ガスを第２供給路４６に通した。比較例４におけるその他の処理条件は、実施例６と同一とした。その後、実施例１と同じ方法で偏光板試料を作製し、実施例１と同じ方法で接着強度を測定した。接着強度の測定結果は平均で１３．７Ｎ／ｉｎｃｈであり、実施例６と比べ低かった。

　実施例６及び比較例４の結果を比較すると明らかなように、本発明によれば、ＰＰフィルムに対して接着性を向上できることが確認された。

［比較例５］
　比較例５の表面処理条件及び結果を表３に示す。
　比較例５では、図１の処理装置１を用い、かつ重合性モノマーとしてアクリル酸のみを用いて難接着性樹脂フィルム１１の表面処理を行なった。処理対象の難接着性樹脂フィルム１１は、実施例８と同じく、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）からなるフィルムであった。第２気化器４０内を空にし、第２重合性モノマーの供給量を０とした。１００％の窒素ガスを第２供給路４６に通した。かつ第２気化４０及び供給路４６の設定温度を１００℃とした。比較例５におけるその他の処理条件は、実施例８と同一とした。その後、実施例１と同じ方法で偏光板試料を作製し、実施例１と同じ方法で接着強度を測定した。接着強度の測定結果は平均で９．５Ｎ／ｉｎｃｈであり、実施例８と比べ低かった。

　実施例８及び比較例５の結果を比較すると明らかなように、本発明によれば、ＰＭＭＡフィルムに対して接着性を向上できることが確認された。

　実施例９の表面処理条件及び結果を表４に示す。
　実施例９では、図２に示す処理装置１Ｘを用いた。難接着性樹脂フィルム１１を３つのロール電極２１Ｌ，２１Ｃ，２１Ｒ及び２対の折り返しロール２７に掛け回して搬送した。第１重合性モノマー含有ガスを第１ガス供給系３の供給路３６に通して噴射ノズル５１から吹き出し、第１処理空間２２Ａに導入した。電源２３Ａで直流電力を交流に変換して電極２１Ｌに供給し、処理空間２２Ａ内に大気圧放電を生成した。別途、第２重合性モノマー含有ガスを第２ガス供給系４の供給路４６に通して噴射ノズル５２から吹き出し、第２処理空間２２Ｂに導入した。電源２３Ｂで直流電力を交流に変換して電極２１Ｒに供給し、第２処理空間２２Ｂ内に大気圧放電を生成した。第２処理空間２２Ｂの電界強度を第１処理空間２２Ａの電界強度より高くした。具体的な処理条件は以下のとおり。
　難接着性樹脂フィルム１１：　ＴＡＣフィルム（幅３３ｃｍ）
　フィルム１１の搬送速度：　　３０ｍ／ｍｉｎ
　フィルム温度調節手段２８の設定温度：　２５℃
　第１重合性モノマー含有ガス：　アクリル酸＋Ｎ_２
　　不活性ガス供給路３３のＮ_２流量：　２４ｓｌｍ
　　希釈路３４のＮ_２流量：　　　　　　１４ｓｌｍ
　　キャリア路３５のＮ_２流量：　　　　１０ｓｌｍ
　　気化器３０及び供給路３６の設定温度：　８０℃
　第２重合性モノマー含有ガス：　ＨＥＭＡ＋Ｎ_２
　　不活性ガス供給路４３のＮ_２流量：　２４ｓｌｍ
　　希釈路４４のＮ_２流量：　　　　　　１４ｓｌｍ
　　キャリア路４５のＮ_２流量：　　　　１０ｓｌｍ
　　気化器４０及び供給路４６の設定温度：　１００℃
　第１プラズマ処理部２Ａのプラズマ条件及び処理空間寸法
　　電源２３Ａの供給電力：６５６Ｗ（４１０Ｖ×１．６Ａの直流を交流変換）
　　電極２１Ｌ，２１Ｃ間の印加電圧：Ｖｐｐ＝１７．５ｋＶ
　　処理空間２２Ａの最も狭くなった箇所の厚さ：　１ｍｍ
　　処理空間２２Ａの上下の長さ：　約１０ｃｍ
　　処理空間２２Ａの容積：　約０．３Ｌ
　第２プラズマ処理部２Ｂのプラズマ条件及び処理空間寸法
　　電源２３Ｂの供給電力：８５０Ｗ（４２５Ｖ×２Ａの直流を交流変換）
　　電極２１Ｃ，２１Ｒ間の印加電圧：Ｖｐｐ＝１８ｋＶ
　　処理空間２２Ｂの最も狭くなった箇所の厚さ：　１ｍｍ
　　処理空間２２Ｂの上下の長さ：　約１０ｃｍ
　　処理空間２２Ｂの容積：　約０．３Ｌ

　表面処理後、実施例１と同じ方法で偏光板試料を作製し、実施例１と同じ方法で接着強度を測定した。接着強度の測定結果は平均で１９．９Ｎ／ｉｎｃｈであった。

　実施例１０の表面処理条件及び結果を表４に示す。
　実施例１０では、実施例９と同様に図２の処理装置１Ｘを用い、ＴＡＣフィルムの表面処理を行なった。第１重合性モノマーとしてメタクリル酸を用い、第２重合性モノマーとしてメタクリル酸グリシジルを用いた。第１気化器３０及び供給路３６の設定温度を１６０℃にし、第２気化器４０及び供給路４６の設定温度を１９０℃にした。実施例１０におけるその他の処理条件は、実施例９と同一とした。表面処理後、実施例１と同じ方法で偏光板試料を作製し、実施例１と同じ方法で接着強度を測定した。接着強度の測定結果は平均で１９．１Ｎ／ｉｎｃｈであった。

［比較例６］
　比較例６の表面処理条件及び結果を表４に示す。
　比較例６では、図２の処理装置１Ｘを用い、かつ重合性モノマーとしてアクリル酸のみを用いて、ＴＡＣフィルムを表面処理した。第１ガス供給系３の操作は実施例９と同じにし、アクリル酸を用い、第１処理空間２２Ａにおいて実施例９と同じ条件で第１プラズマ処理工程を実行した。第２ガス供給系４については、第２気化器４０内を空にした。したがって、第２重合性モノマーを含まない、１００％の窒素ガスを供給路４６に通した。この１００％の窒素ガスをノズル５２から第２処理空間２２Ｂに導入し、窒素プラズマによる第２プラズマ処理工程を行なった。第２気化器４０及び供給路４６の設定温度を、第１気化器３０及び供給路３６と同じく８０℃とした。第２プラズマ処理部２Ｂの供給電力及び印加電圧は、実施例９と同一とした。

　表面処理の後、実施例１と同じ方法で偏光板試料を作製し、実施例１と同じ方法で接着強度を測定した。測定結果は、ＴＡＣフィルムの実施例１～４、７、９、１０より劣り、平均で１６．１Ｎ／ｉｎｃｈであった。実施例５とは略同程度の接着強度であった。比較例６の接着強度が比較例１より良好であった理由は、第１プラズマ処理工程で未反応のアクリル酸が第２プラズマ処理工程で活性化されて接着性促進層の形成に寄与したためと考えられる。

　実施例１１の表面処理条件及び結果を表５に示す。
　図４に示すように、実施例１１では、平行平板電極構造のプラズマ表面処理装置１Ｚを用いた。接地電極を兼ねたステージ６０の上方に平板状の電界印加電極７１を含む処理ヘッド７０を配置した。処理ヘッド７０は、ステージ６０に対して図４の左右方向に移動可能であった。電界印加電極７１の長手方向（図４の紙面と直交する方向）の寸法は、２００ｍｍであった。電界印加電極７１の下面とステージ兼接地電極６０の上面間の距離は、２．７ｍｍであった。電界印加電極７１の下面とステージ兼接地電極６０の上面には、それぞれ厚さ１ｍｍの固体誘電体層６１，７２を設けた。上下の固体誘電体層６１，７２間のギャップの厚さは０．７ｍｍであった。

　下側の固体誘電体層６１の上面に枚葉状の難接着性樹脂フィルム１１を配置した。難接着性フィルム１１として、ポリプロピレンフィルム（東洋紡製、商品名パイレンフィルム、型式ＣＴ）を用いた。フィルム１１の巾（処理ヘッド７０の移動方向と直交する方向の寸法）は、１５０ｍｍであった。フィルム１１の長さ（処理ヘッド７０の移動方向に沿う寸法）は、２００ｍｍであった。フィルム１１の厚さは、８０μｍであった。

　図４において図示を省略するが、実施例１１における第１ガス供給系３及び第２ガス供給系４の構成は、図１と実質的に同じであった。第１重合性モノマーとしてアクリル酸（ＡＡ）を用いた。不活性ガス供給路３３にＮ_２　２ｓｌｍを流し、その全量を気化器３０に導入した。気化器３０の設定温度を５０℃とし、供給路３６の設定温度を６０℃とした。第２重合性モノマーとしてジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。ＤＣＰＤは、オレフィン系モノマーに属する。不活性ガス供給路４３にＮ_２　８ｓｌｍを流し、その全量を気化器４０に導入した。気化器４０の設定温度を８０℃とし、供給路４６の設定温度を９０℃とした。これら第１、第２重合性モノマー含有ガスを処理ヘッド７０の内部（フィルム１１の近傍）で混合して処理ヘッド７０の吹出し口７３から吹出し、フィルム１１に吹き付けた。第１、第２重合性モノマー含有ガスの混合ガス中のアクリル酸濃度は０．０８５ｖｏｌ％（計算値）であり、ＤＣＰＤ濃度は０．３３９ｖｏｌ％（計算値）であり、残部は窒素であった。モノマー（アクリル酸及びジシクロペンタジエン）の濃度は、別途、供給系３，４にキャリアガス（Ｎ_２）　１０ｓｌｍを１０分間流し、各気化器３０，４０内のモノマー液の重量変化（気化量）を測定し、この測定結果から換算した（以下の実施例１２～１８において同様）。フィルム温度調節手段２８の設定温度を２５℃とした。上記第１、第２重合性モノマー含有ガスの吹き付けと併行して、処理ヘッド７０を往復移動させた。処理ヘッド７０の移動速度は、０．５ｍ／ｍｉｎとした。処理ヘッド７０の移動回数は、往方向、復方向の片道移動を１回として、５回とした。処理ヘッド７０の片道１回分の移動距離は４００ｍｍであった。その後、第１、第２重合性モノマー含有ガスの吹き付けを停止した。

　続いて、１００％の窒素ガスを処理ヘッド７０の吹出し口７４から吹き出した。窒素ガスの流量は１０ｓｌｍとした。これと併行して、電源２３から電極７１に電力を供給した。電源２３におけるパルス変換前の直流電圧は１１０Ｖ、直流電流は３．８Ａであり、投入電力は４１８Ｗであった。電界印加電極７１とステージ兼接地電極６０との間の印加電圧はＶｐｐ＝１６．５ｋＶであった。これにより、電界印加電極７１とステージ兼接地電極６０との間に大気圧プラズマ放電を生成して、窒素ガスをプラズマ化し、フィルム１１に窒素プラズマを照射した。プラズマ照射と併行して、処理ヘッド７０を片道１回だけ移動させた。処理ヘッド７０の移動距離は４００ｍｍであり、移動速度は１ｍ／ｍｉｍとした。
　なお、上記の第１、第２重合性モノマー含有ガス及びプラズマ生成用の窒素ガスの吹出しと併行して、処理ヘッド７０の移動方向の両端からカーテンガスを吹き出した。カーテンガスとしてＮ_２を用いた。カーテンガスの流量は、３０ｓｌｍであった。

　表面処理後、実施例１と同じ組成の接着剤１３を被処理フィルム１１に塗布した。このフィルム１１をＰＶＡフィルムの型面に接着した。さらに、鹸化したＴＡＣフィルムをＰＶＡフィルムの反端側の面にＰＶＡ接着剤にて接着した。接着剤１３の乾燥条件は８０℃、５分間とした。これにより、偏光板試料を作成した。この偏光板試料における被処理フィルム１１とＰＶＡフィルムとの間の接着強度を浮動ローラー法（ＪＩＳ　Ｋ６８５４）にて測定した。表５に示すように、測定結果は１０．４Ｎ／ｉｎｃｈであり、十分な接着強度が得られた。

　実施例１２の表面処理条件及び結果を表５に示す。
　実施例１２では、実施例１１と同じ装置１Ｚを用いた。処理対象の難接着性樹脂フィルム１１として、ＣＯＰフィルム（積水化学工業製、商品名エスシーナ）を用いた。フィルム１１の大きさは、実施例１１と同じとした。

　第１重合性モノマーとして、アセトアルデヒド（ＣＨ_３ＣＨＯ）を用いた。不活性ガス供給路３３にＮ_２　０．５ｓｌｍを流し、その全量を気化器３０に導入した。気化器３０の設定温度を２５℃とし、供給路３６の設定温度を３０℃とした。第２重合性モノマーとして、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。不活性ガス供給路４３にＮ_２　９．５ｓｌｍを流し、その全量を気化器４０に導入した。第１、第２重合性モノマー含有ガスの混合ガス中のアセトアルデヒド濃度は０．１７４ｖｏｌ％（計算値）であり、ＤＣＰＤ濃度は０．４０３ｖｏｌ％（計算値）であった。気化器４０の設定温度を８０℃とし、供給路４６の設定温度を９０℃とした。実施例１２におけるその他の処理条件は、実施例１１と同じとした。

　表面処理後、実施例１１と同様にして偏光板試料を作成した。この試料のフィルム１１とＰＶＡフィルムとの間の接着強度を実施例１１と同一方法で測定したところ、結果は９．２Ｎ／ｉｎｃｈであり、十分な接着強度が得られた。

　実施例１３の表面処理条件及び結果を表５に示す。
　実施例１３では、実施例１１と同じ装置１Ｚを用いた。処理対象の難接着性樹脂フィルム１１として、実施例１２と同じＣＯＰフィルムを用いた。

　第１重合性モノマーとして、アクリル酸（ＡＡ）を用いた。不活性ガス供給路３３にＮ_２　４ｓｌｍを流し、その全量を気化器３０に導入した。気化器３０の設定温度を５０℃とし、供給路３６の設定温度を６０℃とした。第２重合性モノマーとして、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。不活性ガス供給路４３にＮ_２　６ｓｌｍを流し、その全量を気化器４０に導入した。第１、第２重合性モノマー含有ガスの混合ガス中のアクリル酸濃度は０．１７ｖｏｌ％（計算値）になり、ＤＣＰＤ濃度は０．２５４ｖｏｌ％（計算値）であった。気化器４０の設定温度を８０℃とし、供給路４６の設定温度を９０℃とした。実施例１３におけるその他の処理条件は、実施例１１と同じとした。

　表面処理後、実施例１１と同様にして偏光板試料を作成した。この試料のフィルム１１とＰＶＡフィルムとの間の接着強度を実施例１１と同一方法で測定したところ、結果は１０．１Ｎ／ｉｎｃｈであり、十分な接着強度が得られた。

　実施例１４の表面処理条件及び結果を表５に示す。
　実施例１４では、実施例１１と同じ装置１Ｚを用いた。処理対象の難接着性樹脂フィルム１１としては、実施例１２と同じＣＯＰフィルムを用いた。

　第１重合性モノマーとして、アクリル酸（ＡＡ）を用いた。不活性ガス供給路３３にＮ_２　３ｓｌｍを流し、その全量を気化器３０に導入した。気化器３０の設定温度を５０℃とし、供給路３６の設定温度を６０℃とした。第２重合性モノマーとして、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。不活性ガス供給路４３にＮ_２　７ｓｌｍを流し、その全量を気化器４０に導入した。第１、第２重合性モノマー含有ガスの混合ガス中のアクリル酸濃度は０．１２７ｖｏｌ％（計算値）であり、ＤＣＰＤ濃度は０．２９７ｖｏｌ％（計算値）であった。気化器４０の設定温度を８０℃とし、供給路４６の設定温度を９０℃とした。実施例１４におけるその他の処理条件は、実施例１１と同じとした。

　表面処理後、実施例１１と同様にして偏光板試料を作成した。この試料のフィルム１１とＰＶＡフィルムとの間の接着強度を実施例１１と同一方法で測定したところ、結果は１０．２Ｎ／ｉｎｃｈであり、十分な接着強度が得られた。

　実施例１５の表面処理条件及び結果を表６に示す。
　実施例１５では、実施例１１と同じ装置１Ｚを用いた。処理対象の難接着性樹脂フィルム１１としては、実施例１２と同じＣＯＰフィルムを用いた。

　第１重合性モノマーとして、アクリル酸（ＡＡ）を用いた。不活性ガス供給路３３にＮ_２　２ｓｌｍを流し、その全量を気化器３０に導入した。気化器３０の設定温度を５０℃とし、供給路３６の設定温度を６０℃とした。第２重合性モノマーとして、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。不活性ガス供給路４３にＮ_２　８ｓｌｍを流し、その全量を気化器４０に導入した。第１、第２重合性モノマー含有ガスの混合ガス中のアクリル酸濃度は０．０８５ｖｏｌ％（計算値）であり、ＤＣＰＤ濃度は０．３３９ｖｏｌ％（計算値）であった。気化器４０の設定温度を８０℃とし、供給路４６の設定温度を９０℃とした。実施例１５におけるその他の処理条件は、実施例１１と同じとした。

　表面処理後、実施例１１と同様にして偏光板試料を作成した。この試料のフィルム１１とＰＶＡフィルムとの間の接着強度を実施例１１と同一方法で測定したところ、結果は１０．３Ｎ／ｉｎｃｈであり、十分な接着強度が得られた。

　実施例１６の表面処理条件及び結果を表６に示す。
　実施例１６では、実施例１１と同じ装置１Ｚを用いた。処理対象の難接着性樹脂フィルム１１としては、実施例１２と同じＣＯＰフィルムを用いた。

　第１重合性モノマーとして、アクリル酸（ＡＡ）を用いた。不活性ガス供給路３３にＮ_２　１ｓｌｍを流し、その全量を気化器３０に導入した。気化器３０の設定温度を５０℃とし、供給路３６の設定温度を６０℃とした。第２重合性モノマーとして、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。不活性ガス供給路４３にＮ_２　９ｓｌｍを流し、その全量を気化器４０に導入した。第１、第２重合性モノマー含有ガスの混合ガス中のアクリル酸濃度は０．０４２ｖｏｌ％（計算値）であり、ＤＣＰＤ濃度は０．３８２ｖｏｌ％（計算値）であった。気化器４０の設定温度を８０℃とし、供給路４６の設定温度を９０℃とした。実施例１６におけるその他の処理条件は、実施例１１と同じとした。

　表面処理後、実施例１１と同様にして偏光板試料を作成した。この試料のフィルム１１とＰＶＡフィルムとの間の接着強度を実施例１１と同一方法で測定したところ、結果は８．５Ｎ／ｉｎｃｈであり、十分な接着強度が得られた。

　実施例１７の表面処理条件及び結果を表６に示す。
　実施例１７では、実施例１１と同じ装置１Ｚを用いた。処理対象の難接着性樹脂フィルム１１としては、ＣＯＰとＰＥの共重合体からなるＣＯＣフィルム（積水化学工業製、商品名エスシーナ）を用いた。フィルムの大きさは、実施例１１と同じとした。実施例１７におけるそれ以外の処理条件は、実施例１５と同一とした。

［比較例７］
　比較例７の表面処理条件及び結果を表６に示す。
　比較例７では、実施例１１と同じ装置（図４）を用いた。被処理フィルム１１として、実施例１２と同じＣＯＰフィルムを用いた。

　比較例７では、第１重合性モノマー含有ガスの供給を停止し、第２重合性モノマー含有ガスのみ供給を行なった。第２重合性モノマーとして、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。第２ガス供給系４のキャリアガス（Ｎ_２）の流量は１０ｓｌｍとした。気化器４０の設定温度を８０℃とした。供給路４６の温度は９０℃とした。比較例７におけるそれ以外の処理条件は、実施例１１と同一とした。

　表面処理後、実施例１１と同様にして偏光板試料を作成した。この試料のフィルム１１とＰＶＡフィルムとの間の接着強度を実施例１１と同一方法で測定したところ、結果は０．８Ｎ／ｉｎｃｈであり、所要の接着強度が得られなかった。

　実施例１８の表面処理条件及び結果を表７に示す。
　実施例１８では、図３に示すプラズマ表面処理装置１Ｙを用いた。ロール電極２１，２１の外周面どうし間の最も狭くなった箇所の距離は、２．７ｍｍであった。各ロール電極２１，２１の外周面には固体誘電体層として厚さ１ｍｍのシリコンゴムを被膜した。電極間空間２２の最も狭い箇所のギャップは、０．７ｍｍであった。

　処理対象の難接着性樹脂フィルム１１としては、実施例１２と同じＣＯＰフィルムからなる連続フィルムを用いた。フィルム１１の巾（電極２１の軸方向に沿う寸法）は、１５０ｍｍであった。フィルム１１を電極２１，２１に巻き付けた。ロール電極２１，２１を図３において時計まわりに回転させてフィルム１１を右方向（矢印方向ａ）に搬送した。フィルム１１の搬送速度は１０ｍ／ｍｉｎであった。

　第１重合性モノマーとして、アクリル酸（ＡＡ）を用いた。不活性ガス供給路３３にＮ_２　２ｓｌｍを流し、その全量を気化器３０に導入した。気化器３０の設定温度を５０℃とし、供給路３６の設定温度を６０℃とした。第２重合性モノマーとして、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。不活性ガス供給路４３にＮ_２　８ｓｌｍを流し、その全量を気化器４０に導入した。気化器４０の設定温度を８０℃とし、供給路４６の設定温度を９０℃とした。これら第１、第２重合性モノマー含有ガスを噴射ノズル５０の内部（フィルム１１の近傍）で混合して噴射ノズル５０から吹出し、フィルム１１に吹き付けた。第１、第２重合性モノマー含有ガスの混合ガス中のアクリル酸濃度は０．０８５ｖｏｌ％（計算値）であり、ＤＣＰＤ濃度は０．３３９ｖｏｌ％（計算値）であった。フィルム温度調節手段２８の設定温度を２５℃とした。

　噴射ノズル５３からＮ_２　１０ｓｌｍを電極間空間２２に吹き出した。併せて、電源２３からの電力供給によって、ロール電極２１，２１間に電界を印加し、電極間空間２２に大気圧プラズマ放電を生成した。電源２３の出力は実施例１１と同じとした。

　以上の結果より、本発明に係る実施例によれば、難接着性樹脂フィルムの接着性を向上でき、かつ供給路内での重合反応を回避でき、供給路の閉塞を防止できることが確認された。

　本発明は、例えば液晶表示パネルの偏光板の製造に適用可能である。

１，１Ｘ，１Ｙ，１Ｚ　　表面処理装置
１０　　偏光板
１１　　ＴＡＣフィルム（難接着性樹脂フィルム）
１２　　ＰＶＡフィルム（易接着性樹脂フィルム）
１３　　接着剤
２　　　共通プラズマ処理部
２Ａ　　第１プラズマ処理部
２Ｂ　　第２プラズマ処理部
２１　　ロール電極（支持手段、移動手段）
２２　　共通処理空間
２２Ａ　第１処理空間
２２Ｂ　第２処理空間
２３　　共通電源
２３Ａ　第１電源
２３Ｂ　第２電源
２７　　折り返しロール（支持手段、移動手段）
２８　　フィルム温度調節手段
３　　　第１ガス供給系
３０　　第１気化器
３１　　不活性ガス供給源
３２　　加熱器
３３　　不活性ガス供給路
３４　　希釈路
３５　　キャリア路
３６　　第１供給路
３８　　ガス温調手段
４　　　第２ガス供給系
４０　　第２気化器
４１　　不活性ガス供給源
４２　　加熱器
４３　　不活性ガス供給路
４４　　希釈路
４５　　キャリア路
４６　　第２供給路
４８　　ガス温調手段
５０　　共通噴射ノズル
５０ａ　第１噴射路
５０ｂ　第２噴射路
５０ｃ　合流部
５０ｄ　共通吹出し口
５１　　第１噴射ノズル
５２　　第２噴射ノズル

Claims

　易接着性樹脂フィルムと接着されるべき難接着性樹脂フィルムの表面を大気圧近傍下で処理する方法であって、
　第１の重合性モノマーを蒸気の状態で前記難接着性樹脂フィルムの近傍まで導く第１供給工程と、
　前記第１の重合性モノマーとは別種類の第２の重合性モノマーを蒸気の状態で、かつ前記第１の重合性モノマーと混合させることなく前記難接着性樹脂フィルムの近傍まで導く第２供給工程と、
　前記第１及び第２の重合性モノマーを大気圧近傍のプラズマにより活性化させて、前記難接着性樹脂フィルムと反応させるプラズマ処理工程と、
　を備えたことを特徴とするフィルム表面処理方法。
　前記第１及び第２の重合性モノマーどうしを前記プラズマ処理工程の直前または前記プラズマ処理工程と併行して互いに混合する混合工程を、更に備えたことを特徴とする請求項１に記載のフィルム表面処理方法。
　前記プラズマ処理工程が、前記第１の重合性モノマーを大気圧近傍のプラズマにより活性化させ、前記難接着性樹脂フィルムの所定部位と反応させる第１プラズマ処理工程と、前記第１プラズマ処理工程の後、前記第２の重合性モノマーを前記活性化前の第１の重合性モノマーと混合させることなく大気圧近傍のプラズマにより活性化させて、前記難接着性樹脂フィルムの前記所定部位と反応させる第２プラズマ処理工程とを含むことを特徴とする請求項１に記載のフィルム表面処理方法。
　前記第２プラズマ処理工程において前記大気圧近傍のプラズマを形成するための電界強度が、前記第１プラズマ処理工程において前記大気圧近傍のプラズマを形成するための電界強度より大きいことを特徴とする請求項３に記載のフィルム表面処理方法。
　前記第１及び第２重合性モノマーを前記難接着性樹脂フィルムに接触させて前記難接着性樹脂フィルム上に凝縮させ、その後、前記プラズマ処理工程を行なうことを特徴とする請求項１に記載のフィルム表面処理方法。
　前記難接着性樹脂フィルムが透明な保護フィルムであり、前記易接着性樹脂フィルムが、偏光フィルムであり、請求項１～５の何れか１項に記載のフィルム表面処理方法を実行した後、前記難接着性樹脂フィルムを易接着性樹脂フィルムに透明な接着剤を介して接着することを特徴とする偏光板の製造方法。
　易接着性樹脂フィルムと接着されるべき難接着性樹脂フィルムの表面を大気圧近傍下で処理する装置であって、
　前記難接着性樹脂フィルムを支持する支持手段と、
　第１の重合性モノマーを蒸気化する第１の気化器と、
　前記第１の気化器から延び、前記蒸気化した第１の重合性モノマーを前記難接着性樹脂フィルムの近傍まで導く第１の供給路と、
　前記第１の重合性モノマーとは別種類の第２の重合性モノマーを、前記第１の重合性モノマーとは別個に蒸気化する第２の気化器と、
　前記第２の気化器から延び、前記蒸気化した第２の重合性モノマーを前記第１の重合性モノマーとは別個に前記難接着性樹脂フィルムの近傍まで導く第２の供給路と、
　前記第１の供給路からの前記第１の重合性モノマーを大気圧近傍のプラズマにより活性化させ、前記難接着性樹脂フィルムと反応させる第１のプラズマ処理部と、
　前記第２の供給路からの前記第２の重合性モノマーを大気圧近傍のプラズマにより活性化させ、前記難接着性樹脂フィルムと反応させる第２のプラズマ処理部と、
　を備えたことを特徴とするフィルム表面処理装置。
　前記第１及び第２のプラズマ処理部が、互いに共通のプラズマ処理部にて構成されており、前記共通のプラズマ処理部が、大気圧近傍の放電空間を互いの間に形成する一対の電極を含み、更に噴射ノズルを備え、前記噴射ノズルの基端が、前記第１の供給路の先端及び前記第２の供給路の先端に連なり、前記噴射ノズルの先端が、前記放電空間に臨んでいることを特徴とする請求項７記載のフィルム表面処理装置。
　前記第１、第２の各プラズマ処理部が、大気圧近傍の放電空間を互いの間に形成する一対の電極を含んでおり、
　前記第１の供給路の先端に設けられ、かつ前記第１のプラズマ処理部の前記放電空間に臨む第１噴射ノズルと、
　前記第２の供給路の先端に設けられ、かつ前記第２のプラズマ処理部の前記放電空間に臨む第２噴射ノズルと、
　前記難接着性樹脂フィルムの所定部位が、前記第１のプラズマ処理部にて処理され、その後、前記第２のプラズマ処理部にて処理されるよう、前記難接着性樹脂フィルムを前記第１、第２のプラズマ処理部に対し相対移動させる移動手段と、
　を更に備えたことを特徴とする請求項７に記載のフィルム表面処理装置。
　前記第２のプラズマ処理部における前記大気圧近傍のプラズマを形成するための電界強度が、前記第１のプラズマ処理部における前記大気圧近傍のプラズマを形成するための電界強度より大きいことを特徴とする請求項９に記載のフィルム表面処理装置。
　前記第１及び第２のプラズマ処理部が、互いに共通のプラズマ処理部にて構成されており、前記共通のプラズマ処理部が、大気圧近傍の放電空間を互いの間に形成する一対の電極を含み、
　更に、前記難接着性樹脂フィルムを前記共通のプラズマ処理部に対し一方向に相対移動させる移動手段と、噴射ノズルとを備え、前記噴射ノズルの基端が、前記第１の供給路の先端及び前記第２の供給路の先端に連なり、前記噴射ノズルの先端が、前記放電空間より前記移動方向の上流側に配置されていることを特徴とする請求項７に記載のフィルム表面処理装置。
　前記一対の電極が、一対のロール電極であることを特徴とする請求項８～１１の何れか１項に記載のフィルム表面処理装置。