JP4752507B2 - 透明プラスチックフィルム、および有機el素子 - Google Patents
透明プラスチックフィルム、および有機el素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4752507B2 JP4752507B2 JP2005516464A JP2005516464A JP4752507B2 JP 4752507 B2 JP4752507 B2 JP 4752507B2 JP 2005516464 A JP2005516464 A JP 2005516464A JP 2005516464 A JP2005516464 A JP 2005516464A JP 4752507 B2 JP4752507 B2 JP 4752507B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- transparent plastic
- plastic film
- magnesium fluoride
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45523—Pulsed gas flow or change of composition over time
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/54—Apparatus specially adapted for continuous coating
- C23C16/545—Apparatus specially adapted for continuous coating for coating elongated substrates
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
- Y02T50/00—Aeronautics or air transport
- Y02T50/60—Efficient propulsion technologies, e.g. for aircraft
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Description
(1)大気圧または大気圧近傍の圧力下、対向する電極間にフッ素化合物と有機マグネシウム化合物を含有する反応性ガスを供給し、高周波電圧をかけることにより、前記反応性ガスを励起状態とし、前記励起状態の反応性ガスに透明プラスチックフィルム基材を晒し、前記透明プラスチックフィルム基材上にフッ化マグネシウム薄膜を形成させたことを特徴とする透明プラスチックフィルム。
(2)前記高周波電圧が、1kHz〜2500MHzの範囲で、かつ、供給電力が1〜50W/cm2の範囲であることを特徴とする前記(1)に記載の透明プラスチックフィルム。
(3)前記高周波電圧が、1kHz〜1MHzの範囲の周波数の交流電圧と、1〜2500MHzの周波数の交流電圧を重畳させたことを特徴とする前記(1)に記載の透明プラスチックフィルム。
(4)前記フッ素化合物が、フッ素含有高分子フィルムから供給されることを特徴とする前記(1)に記載の透明プラスチックフィルム。
(5)前記フッ化マグネシウム薄膜への炭素・酸素の混入比率がいずれも10原子%以下であることを特徴とする前記(1)に記載の透明プラスチックフィルム。
(6)前記フッ化マグネシウム薄膜の水蒸気透過率が1.0g/m2/d以下であることを特徴とする前記(1)に記載の透明プラスチックフィルム。
(7)前記フッ化マグネシウム薄膜の酸素透過率が1.0ml/m2/d以下であることを特徴とする前記(1)に記載の透明プラスチックフィルム。
(8)前記フッ化マグネシウム薄膜の屈折率が1.35〜1.40であることを特徴とする前記(1)に記載の透明プラスチックフィルム。
(9)前記フッ化マグネシウム薄膜表面の平均表面粗さが3.0nm以下であることを特徴とする前記(1)に記載の透明プラスチックフィルム。
(10)外光反射率が1.0%以下であることを特徴とする前記(5)に記載の透明プラスチックフィルム。
(11)前記フッ化マグネシウム薄膜が形成された面の反対側の面に透明導電膜が形成されていることを特徴とする前記(5)に記載の透明プラスチックフィルム。
(12)大気圧または大気圧近傍の圧力下、フッ素化合物と有機マグネシウム化合物を含有する反応性ガスを対向する電極間に供給し、高周波電圧をかけることにより、前記反応性ガスを励起状態とし、前記励起状態の反応性ガスに透明プラスチックフィルム基材を晒すことにより、透明プラスチックフィルム基材上に積層膜を形成させた透明プラスチックフィルムであって、第1のフッ化マグネシウム薄膜上に、第2のフッ化マグネシウム薄膜を有し、前記第1のフッ化マグネシウム薄膜は炭素と酸素の混入比の少なくともいずれかが10原子%以上であり、前記第2のフッ化マグネシウム薄膜の炭素と酸素の混入比の少なくともいずれかが10原子%以下である前記積層膜を有することを特徴とする透明プラスチックフィルム。
(13)前記透明プラスチックフィルム基材のガラス転移温度が、180℃以上であることを特徴とする前記(5)に記載の透明プラスチックフィルム。
(14)前記透明プラスチックフィルム基材の屈折率が、1.6以上であることを特徴とする前記(5)に記載の透明プラスチックフィルム。
(15)前記透明プラスチックフィルム基材の屈折率が、1.6以上であることを特徴とする前記(12)に記載の透明プラスチックフィルム。
(16)前記透明プラスチックフィルム基材が、ポリエーテルスルホン(PES)であることを特徴とする前記(5)に記載の透明プラスチックフィルム。
(17)前記透明プラスチックフィルム基材が、ポリエーテルスルホン(PES)であることを特徴とする前記(12)に記載の透明プラスチックフィルム。
(18)前記(12)に記載の透明プラスチックフィルムが素子表面に形成されていることを特徴とする有機EL素子。
(ガスバリア層の屈折率をnb、ガスバリア層と接する一方の材料の屈折率をn1、ガスバリア層と接する他方の材料の屈折率をn2する)
これは、ガスバリア層の上面からと下面からの反射2光束が完全に打ち消し合うためには、まず2光束の強度が相等しくなる必要があり、そのためには各界面における屈折率比が等しいことが必要であるためである。上記式(1)をnbについて解くと、nb=√(n1×n2)が成立する必要がある。
次に、フッ化マグネシウム膜を得るために好ましい反応性ガスについて説明する。フッ化マグネシウム膜の原料としては、マグネシウムを含む化合物とフッ素を含む化合物を混合して用いる方法と、フッ素とマグネシウムの双方を含む化合物を用いる場合がある。
本発明のフッ化マグネシウム薄膜を形成するプラスチック(樹脂)基材としては、実質的に透明であれば特に限定はなく、具体的には、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、セロファン、セルロースジアセテート、セルローストリアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート、セルロースアセテートフタレート、セルロースナイトレート等のセルロースエステル類又はそれらの誘導体、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、ポリエチレンビニルアルコール、シンジオタクティックポリスチレン、ポリカーボネート、ノルボルネン樹脂、ポリメチルペンテン、ポリエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルスルホン(PES)、ポリスルホン類、ポリエーテルケトンイミド、ポリアミド、フッ素樹脂、ナイロン、ポリメチルメタクリレート、アクリル或いはポリアリレート類、あるいはこれらの樹脂とシリカなどとの有機無機ハイブリッド樹脂等をあげることが出来る。
A)プラスチックフィルム、ガスバリア層、透明導電層
B)ガスバリア層、プラスチックフィルム、透明導電層
の2種類が考えられるが、各層の屈折率を考えた場合、B)の構成の方が好ましい。これは前述の屈折率が異なる層の界面での反射を防ぐことができ、ディスプレイの光源からの光を効率良く取り出すことができるためである。
上記の反応ガス、基材フィルム、本実施形態の薄膜形成装置1を用いたフッ化マグネシウム薄膜の製膜について説明する。
なお、本発明は上記実施形態に限らず適宜変更可能であるのは勿論である。
なお本発明のフッ化マグネシウム薄膜の製造方法は、フッ化マグネシウム薄膜の製膜部分だけでなく、基材フィルム・クリーニングフィルムの搬送装置なども含まれるために比較的複雑な装置となるが、プラズマ発生が大気圧下で行われるために装置全体を減圧にする必要がないため、装置の運用・保守・点検が容易であり、高い生産性をあげることができる。
なお、有機EL素子は、陽極と陰極の一対の電極の間に発光層を挾持する構造をとる。具体的には、陰極と陽極からなる電極に電流を流した際に発光する有機化合物を含有する層のことを指す。陰極、発光層が水分に弱いため、有機EL素子を形成した後、陰極側の封止膜として、陰極上に直接、あるいはエポキシ樹脂等で封止を行った更にその上に、本発明のフッ化マグネシウム膜を形成することで、水分の浸透が抑えられ、有機EL表示装置の耐湿性がより一層向上し、ダークスポットの発生、成長を抑制することができ、長寿命の有機EL素子を得ることができる。また発光を取り出す側である陽極(ITO)側のフィルムの空気界面にも本発明のフッ化マグネシウム膜を形成することで、有機EL素子への水分・酸素の透過を防ぎ、かつ低屈折率であるフッ化マグネシウム層により光取り出し効率を向上させる効果も得られるものである。
厚さ100μmの、PESフィルム上にフッ化マグネシウム膜を表1に記載の条件で形成し、下記の評価を行った。
大気圧プラズマCVDによるフッ化マグネシウム膜の形成は、それぞれ図1に示す薄膜形成装置1を用い、プラズマ発生には、第1の電源としてハイデン研究所社製高周波電源PHF−2K(100kHz)、また第2の電源として日本電子社製高周波電源JRF−10000(13.56MHz)を用いて行った。フッ化マグネシウム膜の原料としては、下記の原料ガス1〜5を20slm(20℃におけるガス流量:L/min)、135℃で放電空間に送り込むことで製膜を行った。放電ガス種およびそれ以外の放電条件は、表1に記載し、それぞれ条件A〜Kとした。またクリーニングフィルムとしては、反応性ガス1〜4の場合は厚さ25μmのポリイミドフィルムの裏面にシリコーン離型剤を塗布したフィルムを、シリコーン離型剤塗布面が放電電極と接するようにして用いた。原料ガス5の場合は、厚さ30μmのテフロン(登録商標)フィルムをクリーニングフィルムとして用いた。なおクリーニングフィルムの搬送速度は3cm毎分で搬送した。
〈フッ化マグネシウム反応性ガス1〉
放電ガス:ヘリウム 99.3体積%
分解ガス:水素 0.5体積%
原料ガス:マグネシウムヘキサフルオロペンタンジオネート・ジメチルエーテル錯体
0.2体積%
*マグネシウムヘキサフルオロペンタンジオネート・ジメチルエーテル錯体は100℃で溶解し、液体として気化器に送りこみ、ヘリウム・水素混合気体中に気化させた。
放電ガス:アルゴン 99.3体積%
分解ガス:水素 0.5体積%
原料ガス:マグネシウムヘキサフルオロペンタンジオネート・ジメチルエーテル錯体
0.2体積%
〈フッ化マグネシウム反応性ガス3〉
放電ガス:窒素 99.3体積%
分解ガス:水素 0.5体積%
原料ガス:マグネシウムヘキサフルオロペンタンジオネート・ジメチルエーテル錯体
0.2体積%
〈フッ化マグネシウム反応性ガス4〉
放電ガス:窒素 99.3体積%
分解ガス:水素 0.5体積%
原料ガス1:マグネシウムメトキシエトキシド/メトキシエタノール
0.1体積%
原料ガス2:トリフルオロエタノール 0.1体積%
*マグネシウムメトキシエトキシドはメトキシエタノールの25%溶液として、トリフルオロエタノールと共に50℃で気化器に送りこみ、窒素・水素混合気体中に気化させた。
放電ガス:窒素 99.4体積%
分解ガス:水素 0.5体積%
原料ガス1:マグネシウムメトキシエトキシド/メトキシエタノール
0.1体積%
原料ガス2:テフロン(登録商標)フィルム(クリーニングフィルム)
*マグネシウムメトキシエトキシドはメトキシエタノールの25%溶液として50℃で気化器に送りこみ、窒素・水素混合気体中に気化させた。
VGサイエンティフィック社製X線光電子分光分析測定機(ESCA)を用いて、炭素、酸素、フッ素、マグネシウムの比率を測定した。
モダンコントロール社製水蒸気透過率測定装置PERMATRAN−W1Aを用いて、37℃、90%RHの条件で測定した。
モダンコントロール社製酸素透過率測定装置OX−TRAN100を用いて、23℃、0%RHの条件で測定した。
ガスバリア膜表面を日本電子社製JSM6100を用いて走査型電子顕微鏡写真を撮影し、中心線平均表面粗さRaを算出した。
JIS K5400に準拠した碁盤目試験を行った。形成された薄膜の表面に片刃のカミソリの刃を面に対して90度の切り込みを1mm間隔で縦横に11本ずつ入れ、1mm角の碁盤目を100個作成した。この上に市販のセロファンテープを貼り付け、その一端を手でもって垂直にはがし、切り込み線からの貼られたテープ面積に対する薄膜の剥がされた面積の割合を以下のランクで評価した。
また大気圧プラズマCVD法の中でも高周波・低周波の一方のみの周波数を印加した場合よりも、高周波・低周波の双方を重畳して印加した場合のほうが速くなることがわかる。
実施例1で炭素含有量が少ない膜が得られる条件1と、炭素含有量が多い膜が得られる条件Jと、を、表2に示すような膜厚で交互に連続的に製膜することで、合計膜厚が100nm程度であるフッ化マグネシウム積層膜201〜206を作製した。
厚さ100μmのPESフィルム上に国際公開特許WO00−36665号に記載された方法に従ってガスバリア層の製膜を行った。
視感度の高い550nm(緑色)の波長における反射率を、大塚電子社製FE3000を用いて測定した。
視感度の高い550nm(緑色)の波長における透過率を、日立製作所社製分光光度計U−3310を用いて測定した。
実施例3で作製した本発明の透明積層フィルム301〜306、比較例の透明積層フィルム307上に有機EL素子を作製した。
有機EL表示装置の構成は、先ず、透明な基材1として実施例2で作製した透明積層フィルム201〜207を用いて、フッ化マグネシウム膜を有する面と反対側にスパッタリングターゲットとして酸化インジウムと酸化すずとの混合物(Snの原子比Sn/(In+Sn)=0.08)からなる焼結体を用い、DCマグネトロンスパッタリング法にて透明導電膜であるITO(Indium Tin Oxide)膜を形成した。即ち、スパッタリング装置の真空装置内を1×10−3Pa以下にまで減圧し、アルゴンガスと酸素ガスとの体積比で1000:2.8の混合ガスを真空装置内が1×10−1Paになるまで真空装置内に導入した後、ターゲット印加電圧420V、基材温度60℃でDCマグネトロン法にて透明導電膜であるITO膜を厚さ250nm形成した。このITO膜に、パターニングを行いアノード(陽極)2とした後、この透明導電膜を設けた透明支持基材をイソプロピルアルコールで超音波洗浄し、乾燥窒素ガスで乾燥し、UVオゾン洗浄を5分間行った。
得られた透明導電膜上に、方形穴あきマスクを介して真空蒸着法により、有機EL層として、α−NPD層(膜厚25nm)、CBPとIr(ppy)の蒸着速度の比が100:6の共蒸着層(膜厚35nm)、BC層(膜厚10nm)、Alq3層(膜厚40nm)、フッ化リチウム層(膜厚0.5nm)を順次積層した、更に別のパターンが形成されたマスクを介して、膜厚100nmのアルミニウムからなるカソード(陰極)を形成した。
このように得られた積層体に、乾燥窒素気流下、基材として前記と同じ基材301〜307をフッ化マグネシウム膜側が外側となるように密着させ、周囲を光硬化型接着剤(東亞合成社製ラックストラックLC0629B)によって封止し、有機EL素子(表示装置OLED)301〜307を得た。
封入直後に、これらの有機EL素子に10V直流電圧を印加した際の輝度を評価した。
封入直後に50倍の拡大写真を撮影した。80℃、300時間保存後50倍の拡大写真を撮影し観察されたダークスポットの面積増加率を評価した。
封入直後に50倍の拡大写真を撮影した。素子を45°に折り曲げて元に戻す、折り曲げ試験を1000回繰り返した後に、評価項目2と同様の保存試験を行い、ダークスポット面積の増加率を評価した。
ダークスポットの増加率がOLED307と同等以上の場合 ×
ダークスポットの増加率がOLED307の50%以上100%未満 △
ダークスポットの増加率がOLED307の30%以上50%未満 ○△
ダークスポットの増加率がOLED307の15%以上30%未満 ○
ダークスポットの増加率がOLED307の15%未満 ◎
Claims (18)
- 大気圧または大気圧近傍の圧力下、対向する電極間にフッ素化合物と有機マグネシウム化合物を含有する反応性ガスを供給し、高周波電圧をかけることにより、前記反応性ガスを励起状態とし、前記励起状態の反応性ガスに透明プラスチックフィルム基材を晒し、前記透明プラスチックフィルム基材上にフッ化マグネシウム薄膜を形成させたことを特徴とする透明プラスチックフィルム。
- 前記高周波電圧が、1kHz〜2500MHzの範囲で、かつ、供給電力が1〜50W/cm2の範囲であることを特徴とする請求項1に記載の透明プラスチックフィルム。
- 前記高周波電圧が、1kHz〜1MHzの範囲の周波数の交流電圧と、1〜2500MHzの周波数の交流電圧を重畳させたことを特徴とする請求項1に記載の透明プラスチックフィルム。
- 前記フッ素化合物が、フッ素含有高分子フィルムから供給されることを特徴とする請求項1に記載の透明プラスチックフィルム。
- 前記フッ化マグネシウム薄膜への炭素・酸素の混入比率がいずれも10原子%以下であることを特徴とする請求項1に記載の透明プラスチックフィルム。
- 前記フッ化マグネシウム薄膜の水蒸気透過率が1.0g/m2/d以下であることを特徴とする請求項1に記載の透明プラスチックフィルム。
- 前記フッ化マグネシウム薄膜の酸素透過率が1.0ml/m 2 /d以下であることを特徴とする請求項1に記載の透明プラスチックフィルム。
- 前記フッ化マグネシウム薄膜の屈折率が1.35〜1.40であることを特徴とする請求項1に記載の透明プラスチックフィルム。
- 前記フッ化マグネシウム薄膜表面の平均表面粗さが3.0nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の透明プラスチックフィルム。
- 外光反射率が1.0%以下であることを特徴とする請求項1に記載の透明プラスチックフィルム。
- 前記フッ化マグネシウム薄膜が形成された面の反対側の面に透明導電膜が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の透明プラスチックフィルム。
- 大気圧または大気圧近傍の圧力下、フッ素化合物と有機マグネシウム化合物を含有する反応性ガスを対向する電極間に供給し、高周波電圧をかけることにより、前記反応性ガスを励起状態とし、前記励起状態の反応性ガスに透明プラスチックフィルム基材を晒すことにより、透明プラスチックフィルム基材上に積層膜を形成させた透明プラスチックフィルムであって、第1のフッ化マグネシウム薄膜上に、第2のフッ化マグネシウム薄膜を有し、前記第1のフッ化マグネシウム薄膜は炭素と酸素の混入比の少なくともいずれかが10原子%以上であり、前記第2のフッ化マグネシウム薄膜の炭素と酸素の混入比の少なくともいずれかが10原子%以下である前記積層膜を有することを特徴とする透明プラスチックフィルム。
- 前記透明プラスチックフィルム基材のガラス転移温度が、180℃以上であることを特徴とする請求項5に記載の透明プラスチックフィルム。
- 前記透明プラスチックフィルム基材の屈折率が、1.6以上であることを特徴とする請求項5に記載の透明プラスチックフィルム。
- 前記透明プラスチックフィルム基材の屈折率が、1.6以上であることを特徴とする請求項12に記載の透明プラスチックフィルム。
- 前記透明プラスチックフィルム基材が、ポリエーテルスルホン(PES)であることを特徴とする請求項5に記載の透明プラスチックフィルム。
- 前記透明プラスチックフィルム基材が、ポリエーテルスルホン(PES)であることを特徴とする請求項12に記載の透明プラスチックフィルム。
- 請求項12に記載の透明プラスチックフィルムが素子表面に形成されていることを特徴とする有機EL素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005516464A JP4752507B2 (ja) | 2003-12-24 | 2004-12-14 | 透明プラスチックフィルム、および有機el素子 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003426568 | 2003-12-24 | ||
JP2003426568 | 2003-12-24 | ||
JP2005516464A JP4752507B2 (ja) | 2003-12-24 | 2004-12-14 | 透明プラスチックフィルム、および有機el素子 |
PCT/JP2004/018617 WO2005061757A1 (ja) | 2003-12-24 | 2004-12-14 | フッ化マグネシウム薄膜の製造方法、フッ化マグネシウム薄膜、積層膜、透明プラスチックフィルム、および有機el素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2005061757A1 JPWO2005061757A1 (ja) | 2007-12-13 |
JP4752507B2 true JP4752507B2 (ja) | 2011-08-17 |
Family
ID=34708861
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005516464A Expired - Fee Related JP4752507B2 (ja) | 2003-12-24 | 2004-12-14 | 透明プラスチックフィルム、および有機el素子 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4752507B2 (ja) |
WO (1) | WO2005061757A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5224438B2 (ja) * | 2007-10-15 | 2013-07-03 | 俊郎 久慈 | 透明導電膜およびその製造方法 |
JP5561048B2 (ja) * | 2010-09-10 | 2014-07-30 | コニカミノルタ株式会社 | 補助電極を有する透明電極、発光素子、太陽電池 |
KR102153043B1 (ko) | 2014-01-07 | 2020-09-07 | 삼성전자주식회사 | 유기금속 화합물 및 이를 포함한 유기 발광 소자 |
KR102117945B1 (ko) * | 2017-02-09 | 2020-06-02 | 주식회사 메카로에너지 | 화학기상증착법을 이용한 반사방지막 제조방법 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02298252A (ja) * | 1989-05-11 | 1990-12-10 | Olympus Optical Co Ltd | プラスチック基板へのMgF↓2成膜方法 |
JPH11172447A (ja) * | 1997-12-12 | 1999-06-29 | Tadahiro Omi | プラズマ処理装置および光学部品の製造法 |
JP2000171630A (ja) * | 1998-12-04 | 2000-06-23 | Asahi Optical Co Ltd | 光学多層薄膜の形成方法 |
JP2003161808A (ja) * | 2001-11-27 | 2003-06-06 | Konica Corp | 反射防止材料およびその製造方法 |
JP2003205574A (ja) * | 2002-01-16 | 2003-07-22 | Konica Corp | 基板及び該基板を有する有機エレクトロルミネッセンス素子 |
-
2004
- 2004-12-14 JP JP2005516464A patent/JP4752507B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-12-14 WO PCT/JP2004/018617 patent/WO2005061757A1/ja active Application Filing
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02298252A (ja) * | 1989-05-11 | 1990-12-10 | Olympus Optical Co Ltd | プラスチック基板へのMgF↓2成膜方法 |
JPH11172447A (ja) * | 1997-12-12 | 1999-06-29 | Tadahiro Omi | プラズマ処理装置および光学部品の製造法 |
JP2000171630A (ja) * | 1998-12-04 | 2000-06-23 | Asahi Optical Co Ltd | 光学多層薄膜の形成方法 |
JP2003161808A (ja) * | 2001-11-27 | 2003-06-06 | Konica Corp | 反射防止材料およびその製造方法 |
JP2003205574A (ja) * | 2002-01-16 | 2003-07-22 | Konica Corp | 基板及び該基板を有する有機エレクトロルミネッセンス素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2005061757A1 (ja) | 2007-12-13 |
WO2005061757A1 (ja) | 2005-07-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5895687B2 (ja) | ガスバリア性フィルム | |
JP4876918B2 (ja) | 透明導電膜 | |
JP4858167B2 (ja) | 透明導電性フィルム、透明導電性フィルムの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
US7740917B2 (en) | Method for forming thin film and base and having thin film formed by such method | |
JPWO2002048428A1 (ja) | 薄膜形成方法、薄膜を有する物品、光学フィルム、誘電体被覆電極およびプラズマ放電処理装置 | |
JP5747915B2 (ja) | ガスバリアフィルムの製造方法 | |
JP2018027660A (ja) | 機能性積層体及びその製造方法 | |
JP2007113043A (ja) | ガスバリア性薄膜積層体、ガスバリア性樹脂基材とそれを用いた有機エレクトロルミネッセンスデバイス | |
JP2007038445A (ja) | ガスバリア性薄膜積層体、ガスバリア性樹脂基材及び有機エレクトロルミネッセンスデバイス | |
JP2004351832A (ja) | 透明ガスバリア積層フィルム | |
JP4752507B2 (ja) | 透明プラスチックフィルム、および有機el素子 | |
JP2005320583A (ja) | ガスバリア性透明プラスチックフィルムとその製造方法および該ガスバリア性透明プラスチックフィルムを用いた有機el素子 | |
WO2005108055A1 (ja) | ディスプレイ基板用フィルム、有機el素子及び酸化アルミニウム薄膜の製造方法 | |
JP2006236747A (ja) | 透明電極及び透明電極の製造方法 | |
JP5273074B2 (ja) | バリアフィルムの製造方法 | |
JP4946049B2 (ja) | アモルファス窒化硼素薄膜の製造方法 | |
JP2009013473A (ja) | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 | |
JP4686956B2 (ja) | 機能体の形成方法 | |
JPWO2016178391A1 (ja) | 長尺状のガスバリア性フィルムおよびその製造方法、ならびに短尺状のガスバリア性フィルムおよびその製造方法 | |
JP2016097500A (ja) | ガスバリアーフィルム、その製造方法及びプラズマ化学気相蒸着法用基材 | |
JP6319310B2 (ja) | ガスバリア性フィルムの製造方法 | |
JP6983039B2 (ja) | ガスバリア性フィルム及びフレキシブル電子デバイス | |
WO2015029795A1 (ja) | ガスバリア性フィルムの製造方法 | |
JP2005076099A (ja) | 薄膜の製造方法とそれにより造られた薄膜、積層薄膜、透明プラスチックフィルム、及び積層薄膜付き有機el素子 | |
JP2004010911A (ja) | 透明導電膜の形成方法及びた透明導電膜を有する物品 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071119 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110201 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110330 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110426 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110509 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140603 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |