JP5912670B2 - ワークのガス冷却装置 - Google Patents
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Description
5…ワーク
10、80…容器
11…排気バルブ
12…排気路
16…導入バルブ
17…導入路
20…貯留部
24…外筒
27…出入口
30…支持台
32…中間筒
34…上蓋
35…底板
37、38、39…流体通路
40、40’…内部ダクト
40a…コア部
40b…ガイド片
42…内部空間
45…整流機構
45a、45a’…整流流路
45b…排出部
47、47’…環状壁
49…回転軸
50…循環ファン
51…モーター
60…上部整流板
61…下部整流板
70…冷却パイプ
72…供給側パイプ
73…排出側パイプ
82…冷媒流路
84…流路部分
86…伝熱フィン
Claims (12)
- ワークに冷却ガスを接触させて冷却するガス冷却装置であって、
ワークを入れる密閉容器と、
前記密閉容器内を真空引きする真空ポンプと、
前記密閉容器内に冷却ガスを供給する冷却ガス供給源と、を有し、
前記密閉容器は上蓋、底板及び外筒からなり、
前記外筒の中心部に設けられる前記ワークを支持する支持台と、
前記外筒と前記支持台との間に配置される中間筒と、
前記中間筒と前記外筒、前記上蓋及び前記底板との間にそれぞれ形成される冷却ガス流路と、
前記中間筒内の上部に配置される循環ファンと、
前記中間筒内に配置される環状壁と、
前記中間筒内において前記支持台の上方に配置される内部ダクトと、
前記中間筒と前記支持台の間に設けられ、冷却ガスをワークに向けて整流する整流機構と、を備え、
前記内部ダクト及び前記整流機構は、当該内部ダクト及び整流機構を冷却する冷却機構を有している、ガス冷却装置。 - 前記冷却機構は、前記内部ダクト及び前記整流機構に取り付けられ、内部に冷媒が流れる構成の冷却パイプである、請求項1に記載のガス冷却装置。
- 前記内部ダクトは2重管構造であり、前記冷却機構は前記内部ダクトの内部を通る冷媒流路である、請求項1に記載のガス冷却装置。
- 前記整流機構は、冷却ガスを整流する整流流路と、冷却ガスを排出する排出部から構成され、前記整流流路は2重管構造であり、当該整流流路の内部には冷媒流路が設けられている、請求項1に記載のガス冷却装置。
- 前記環状壁には、内部に冷媒が流れる冷却パイプが取り付けられている、請求項1〜4のいずれかに記載のガス冷却装置。
- 前記環状壁は2重管構造であり、当該環状壁の内部には冷媒流路が設けられている、請求項1〜4のいずれかに記載のガス冷却装置。
- 前記環状壁は、前記中間筒内において前記支持台を囲むように配置される、請求項1〜6のいずれかに記載のガス冷却装置。
- 前記循環ファンの回転数は可変である、請求項1〜7のいずれかに記載のガス冷却装置。
- 前記内部ダクトは、円錐台形状のコア部と、前記コア部の外周面に沿った方向に互いに相離れ、上下方向および半径方向に延び、その先端部が互いに同一円周方向に弧状に湾曲する複数のガイド片とから成る、請求項1〜8のいずれかに記載のガス冷却装置。
- 前記底板の上面に、その中央部が円錐台形状に上方に盛り上がり、周辺部が弧状に上方に湾曲する下部整流板を有する、請求項1〜9のいずれかに記載のガス冷却装置。
- 前記上蓋の下面に、その中央部が逆円錐台形状に下方に突出する上部整流板を有する、請求項1〜10のいずれかに記載のガス冷却装置。
- 前記冷却ガスは、1MPa以下の圧力の不活性ガス、水素ガスまたはこれら2種の混合ガスである、請求項1〜11のいずれかに記載のガス冷却装置。
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