JPS59159927A - 熱処理装置 - Google Patents
熱処理装置Info
- Publication number
- JPS59159927A JPS59159927A JP3343083A JP3343083A JPS59159927A JP S59159927 A JPS59159927 A JP S59159927A JP 3343083 A JP3343083 A JP 3343083A JP 3343083 A JP3343083 A JP 3343083A JP S59159927 A JPS59159927 A JP S59159927A
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- JP
- Japan
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- cooling
- work
- vessel
- cooling gas
- jacket
- Prior art date
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- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
- C21D1/74—Methods of treatment in inert gas, controlled atmosphere, vacuum or pulverulent material
- C21D1/773—Methods of treatment in inert gas, controlled atmosphere, vacuum or pulverulent material under reduced pressure or vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B5/00—Muffle furnaces; Retort furnaces; Other furnaces in which the charge is held completely isolated
- F27B5/06—Details, accessories, or equipment peculiar to furnaces of these types
- F27B5/16—Arrangements of air or gas supply devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Heat Treatment Of Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は、鋼材の熱処理分野等１こおいて利用できる真
空焼入方式ｆこよろ熱処理装置１こ関するものである。
空焼入方式ｆこよろ熱処理装置１こ関するものである。
（ロ）従来技術
ダイス鋼やハイスなどの型材の熱処理分野等１こおいて
は、所要温度１こまで加熱したワークを真空容器内ｌこ
配置しておき、この真空容器内を流れる冷却ガスで前記
ワークを冷却して焼入処理を施すようにした熱処理装置
が広く普及している。ところが、従来のものは、前記冷
却ガスを強制循環させるための送風機の吐出口と前記ワ
ークとの間ｌこクーリングタワー等から供給される冷水
ｆこより前記冷却ガスを冷すための熱交換器を無造作に
配置し１こだけのものがほとんどである。そのため、循
環する冷却ガスの風損が大きく、高い風速で前記冷却ガ
スを前記ワークＩこ吹き付けるのが難しい。
は、所要温度１こまで加熱したワークを真空容器内ｌこ
配置しておき、この真空容器内を流れる冷却ガスで前記
ワークを冷却して焼入処理を施すようにした熱処理装置
が広く普及している。ところが、従来のものは、前記冷
却ガスを強制循環させるための送風機の吐出口と前記ワ
ークとの間ｌこクーリングタワー等から供給される冷水
ｆこより前記冷却ガスを冷すための熱交換器を無造作に
配置し１こだけのものがほとんどである。そのため、循
環する冷却ガスの風損が大きく、高い風速で前記冷却ガ
スを前記ワークＩこ吹き付けるのが難しい。
ま１こ、このようなものは、送風機の定格を大きくして
風速を無理ｌこ増大させると、前記冷却ガスと前記冷水
との熱交換効率が太幅Ｉこ低下する。そのため、いずれ
ｌこしても、前記ワークを効果的に急冷することが難し
いという問題がある。したがって、従来のものは、焼入
硬度を高くするのが困難であり、特ｉこ、大物のワーク
Ｉこうまく焼入処理を施すことができないという欠点が
ある。
風速を無理ｌこ増大させると、前記冷却ガスと前記冷水
との熱交換効率が太幅Ｉこ低下する。そのため、いずれ
ｌこしても、前記ワークを効果的に急冷することが難し
いという問題がある。したがって、従来のものは、焼入
硬度を高くするのが困難であり、特ｉこ、大物のワーク
Ｉこうまく焼入処理を施すことができないという欠点が
ある。
（／３ 目 的
本発明は、このような事情に着目してなされれたもので
、その目的とするところは、ワークを効果的１こ急冷し
て焼入硬度を高めることが可能であり、特１こ、大物の
焼入れに威力を発揮し得る熱処理装置を提供することｆ
こゐる。
、その目的とするところは、ワークを効果的１こ急冷し
て焼入硬度を高めることが可能であり、特１こ、大物の
焼入れに威力を発揮し得る熱処理装置を提供することｆ
こゐる。
に） 構 成
本発明は、前記の目的を達成する１こめｔこ、送風手段
から逐次吐出される冷却ガスをワークを配設した冷却室
１ご案内する１こめの流線形の通風路′を真空容器の周
壁内面）ζ沿って設けるとともｆこ、この局壁内に冷却
用流体が流通するジャケットを設けｆこものである。
から逐次吐出される冷却ガスをワークを配設した冷却室
１ご案内する１こめの流線形の通風路′を真空容器の周
壁内面）ζ沿って設けるとともｆこ、この局壁内に冷却
用流体が流通するジャケットを設けｆこものである。
（ホ） 実施例
以下、本発明の一実施例を図面をび照して説明する。
第１図は、本発明１こ係る熱処理装置１の概略正断面図
でゐり、 、半壮で＝肚ヨ＝
、第２図は同装置１の概略側断面図を含むシステム説明
図である。これらの図面ｌこポされているよう１こ、本
熱処理装置１は中央Ｆａ ｔｔワークＡを配置するため
の冷却室２を形成した円筒体状の真空容器３と、この真
空容器３の内周壁面ｊこ沿って設けられ終端４ａｆＰＦ
Ｎ記ワークＡの下面部ｌこ臨ませｔコ流線形の通風路４
と、この通風路４に関連させて設け１こ熱交換手段５と
、前記真空容器、３内１こ封入し１コＮ２ガス等の冷却
ガスを前記通風路４を通して強制循環させる送風手段６
とを具備している。また、前記熱交換手段５１こ冷水を
供給する１こめの冷水供給系路７と、面熱交、交換十段
５Ｉこ温水を供給する１こめの温水供給系路８と、前記
真空容器３内のガスを排気するための排気手段９とを設
け、こわら両系路７．８および排気手段９を制御手段１
１＋こよって制御するようにしている。
でゐり、 、半壮で＝肚ヨ＝
、第２図は同装置１の概略側断面図を含むシステム説明
図である。これらの図面ｌこポされているよう１こ、本
熱処理装置１は中央Ｆａ ｔｔワークＡを配置するため
の冷却室２を形成した円筒体状の真空容器３と、この真
空容器３の内周壁面ｊこ沿って設けられ終端４ａｆＰＦ
Ｎ記ワークＡの下面部ｌこ臨ませｔコ流線形の通風路４
と、この通風路４に関連させて設け１こ熱交換手段５と
、前記真空容器、３内１こ封入し１コＮ２ガス等の冷却
ガスを前記通風路４を通して強制循環させる送風手段６
とを具備している。また、前記熱交換手段５１こ冷水を
供給する１こめの冷水供給系路７と、面熱交、交換十段
５Ｉこ温水を供給する１こめの温水供給系路８と、前記
真空容器３内のガスを排気するための排気手段９とを設
け、こわら両系路７．８および排気手段９を制御手段１
１＋こよって制御するようにしている。
具体的ｔコ説明すれは、真空容器３は、−側壁厨こ密閉
扉１２を有するとともに他側壁１ｃ中間扉１３を有して
なる円筒体状のもので、その内部１こ設けた２枚の鉛直
壁１４間ｆこ前記冷却室２が形成されている。また、前
記通風路４は、前記鉛直壁１４と前記真空容器３の周壁
１５との間ｌこ形成された通路で、半円弧状１こわん曲
させ１こ終端４ａの近傍部の開路幅を他の部位の開路幅
よりも小さく設定している。まＴコ、熱交換手段５は、
１３Ｍ記通風路４の開路幅の広い部位１こ配設した熱交
換器１６と、ｎ■記真空容器３の周壁１５内１こ形成さ
ね、内部を冷却用流体、つまり、８０記冷水まｆコは温
水が流れるジャケット１７とからなる。まＴこ、前記送
風手段６は、前記真空容器３内の天井部１こ設け１こタ
ーボ形の送風機であり、前記冷却室２から吸引した冷却
ガスを逐次前記通風路４の始端４ｂに送り込むようｌこ
なっている。ま１こ、冷水供給系路７は、前記熱交換器
１６の蛇行配置形フィン付パイプ１６ａの一端および前
記ジャケット１７の北端部から取り出しｔこ水をチリン
グユニット（冷凍機）１８Ｉこより所定の低温度にまで
冷却し、そｔｌ、＋こよって得１コ冷水をＥ＋Ｉ記パイ
プ１．６ ａの他端および前記ジャケット１７の下端部
ｆこ供給しｔｑるようｆこ構成し１こもので、その途中
ｌこ電磁弁１９．２１が介設しである。ま１こ、温水供
給系路８は、前記パイプ１６Ｂの一端および前記ジャケ
ット１７の上端部から取り出しｔこ水をサブタンク２２
内ｌこ導入し、このサブタ／り２２内でヒータ２３等１
こより所定の温度１こ調整した温水を前記パイプ１６ａ
の他端および前記ジャケット１７の下端部ｆこ供給し得
るよう１こ構成し１こもので、その途中！こ電磁弁２４
．２５が介設しである。なお、要すれは、前記真空容器
３Ｆこ隣接する加熱炉２６の炉ｘｊ！２’７内の温水（
約４０００）を前記サブタンク２２内Ｉこ導くようｉこ
してもよい。また、排気手段９は真空ポンプ等を内蔵し
た通常のもので、その入力端子Ｉこ作動指令信号が入力
され１こ場合Ｉこ作動するようｉこなっている。
扉１２を有するとともに他側壁１ｃ中間扉１３を有して
なる円筒体状のもので、その内部１こ設けた２枚の鉛直
壁１４間ｆこ前記冷却室２が形成されている。また、前
記通風路４は、前記鉛直壁１４と前記真空容器３の周壁
１５との間ｌこ形成された通路で、半円弧状１こわん曲
させ１こ終端４ａの近傍部の開路幅を他の部位の開路幅
よりも小さく設定している。まＴコ、熱交換手段５は、
１３Ｍ記通風路４の開路幅の広い部位１こ配設した熱交
換器１６と、ｎ■記真空容器３の周壁１５内１こ形成さ
ね、内部を冷却用流体、つまり、８０記冷水まｆコは温
水が流れるジャケット１７とからなる。まＴこ、前記送
風手段６は、前記真空容器３内の天井部１こ設け１こタ
ーボ形の送風機であり、前記冷却室２から吸引した冷却
ガスを逐次前記通風路４の始端４ｂに送り込むようｌこ
なっている。ま１こ、冷水供給系路７は、前記熱交換器
１６の蛇行配置形フィン付パイプ１６ａの一端および前
記ジャケット１７の北端部から取り出しｔこ水をチリン
グユニット（冷凍機）１８Ｉこより所定の低温度にまで
冷却し、そｔｌ、＋こよって得１コ冷水をＥ＋Ｉ記パイ
プ１．６ ａの他端および前記ジャケット１７の下端部
ｆこ供給しｔｑるようｆこ構成し１こもので、その途中
ｌこ電磁弁１９．２１が介設しである。ま１こ、温水供
給系路８は、前記パイプ１６Ｂの一端および前記ジャケ
ット１７の上端部から取り出しｔこ水をサブタンク２２
内ｌこ導入し、このサブタ／り２２内でヒータ２３等１
こより所定の温度１こ調整した温水を前記パイプ１６ａ
の他端および前記ジャケット１７の下端部ｆこ供給し得
るよう１こ構成し１こもので、その途中！こ電磁弁２４
．２５が介設しである。なお、要すれは、前記真空容器
３Ｆこ隣接する加熱炉２６の炉ｘｊ！２’７内の温水（
約４０００）を前記サブタンク２２内Ｉこ導くようｉこ
してもよい。また、排気手段９は真空ポンプ等を内蔵し
た通常のもので、その入力端子Ｉこ作動指令信号が入力
され１こ場合Ｉこ作動するようｉこなっている。
まｔ、＝、制御手段１１は、前記真空容器３内の温度を
検出する温度センサ２８および該真空容器８内の圧力を
検出する圧力士ノサ２９等から入力信号を受け、前記電
磁弁１９．２１．２４．２５および前記排気手段・９等
ｌこ向けて後述するような順序で指令信号を出力し得る
よう１こプログラムされている。
検出する温度センサ２８および該真空容器８内の圧力を
検出する圧力士ノサ２９等から入力信号を受け、前記電
磁弁１９．２１．２４．２５および前記排気手段・９等
ｌこ向けて後述するような順序で指令信号を出力し得る
よう１こプログラムされている。
なお、３１は給気系路８２１Ｆ介して前記真空容器３ｍ
接続しｔこ冷却ガス補給用のサージタンク３３は前記給
気系路８２ｔこ介設した電磁弁でゐる。
接続しｔこ冷却ガス補給用のサージタンク３３は前記給
気系路８２ｔこ介設した電磁弁でゐる。
ま１こ、３４は、前記ワークＡを冷却室２の所要高サ位
差−仁保持するエレベータである。
差−仁保持するエレベータである。
次いで、この熱処理装置宜１の作動全説明する。
ます、型材等のワークＡを加熱炉２６内で所定の温度（
例えは、１０５０°Ｃ程度）！こまで加熱する。しかる
後、このワーク八を中間扉１３を開けて真空容器３内（
こ移行させ、エレベータ８４）こよ。
例えは、１０５０°Ｃ程度）！こまで加熱する。しかる
後、このワーク八を中間扉１３を開けて真空容器３内（
こ移行させ、エレベータ８４）こよ。
り保持して冷却室２内の所要高さ位置１ｍ配箭する。
そして、排気手段９Ｉこより真空容器３円を排気し１こ
後、電磁弁３３を開いてサージタンク３１から冷却ガス
を前記真空容器３内ｌこ所要量供給して該真空容器３内
の圧力を、例えは、１．４ａｔｍｌこ保つ。この状態で
、冷水供給系路７の電磁弁１９．２１ｆＰ開くととも１
こ送風手段６７Ｉ−作動させる。その結果、チリングユ
ニット１８１こより冷却され１こ冷水が通風路４中ｆこ
設けた熱交換器１６と真空容器３の周壁１５内ｆこ設け
たジャケット１７１こ逐次供給さオ］ろととも＋Ｃ，前
記真空容器３内の冷却ガスが前記通風路４および冷却室
２を通して循環することｉこなる。このとき、送風手段
６から通風路４Ｉこ順次送り込まれる冷却カスは、この
ｍ風路４内を流れる間ｌこ前記熱交換器１６内および前
記ジャケット１７内を流通する冷水と熱交換して冷却さ
ね１、温度の低くなった冷却ガスが前記冷却室２内ｌこ
配置しＴこワークＡに吹き付けられる。その１こめ、こ
のワークＡが第３図Ｉｎ示すように急速ｌこ冷却される
。そして、このワークＡが所定の中間温度（ＭＳ点の近
傍）艮まで冷却された時点、換言すれは、温度センサ２
８＋こより検出される通風路４の始端近傍部１こおける
冷却ガスの温度が設定値ｆζ達した場合には、この時点
を境ｃ Ｌ／でワークＡの冷却条件を変更する。すなわ
ち、前記−冷却ガスの温度が設定値よりも低くなると、
冷水供給系路７の電磁弁１９．２１１閉成状態ｌこ切り
換えるとともｆこ、温水供給系路８の電磁弁２４１．２
５を開く。また、排気手段９を作動させて前記真空容器
３内の圧力を、例えは、６５０Ｔｏｒｒ程度にまで低下
させる。その結果、前記熱交換器１６およびジャケット
１７内ｆこ温水が供給されるとともに、通風路４および
冷却室２を密度の低い希薄な冷却ガスが循環することｌ
こなる。その１こめ、ワークＡの各部が比較的均一な状
態でゆっくりと冷却されることｌこなり、焼入歪の小さ
い良好な焼入れが行なオつ 第１ る 。
後、電磁弁３３を開いてサージタンク３１から冷却ガス
を前記真空容器３内ｌこ所要量供給して該真空容器３内
の圧力を、例えは、１．４ａｔｍｌこ保つ。この状態で
、冷水供給系路７の電磁弁１９．２１ｆＰ開くととも１
こ送風手段６７Ｉ−作動させる。その結果、チリングユ
ニット１８１こより冷却され１こ冷水が通風路４中ｆこ
設けた熱交換器１６と真空容器３の周壁１５内ｆこ設け
たジャケット１７１こ逐次供給さオ］ろととも＋Ｃ，前
記真空容器３内の冷却ガスが前記通風路４および冷却室
２を通して循環することｉこなる。このとき、送風手段
６から通風路４Ｉこ順次送り込まれる冷却カスは、この
ｍ風路４内を流れる間ｌこ前記熱交換器１６内および前
記ジャケット１７内を流通する冷水と熱交換して冷却さ
ね１、温度の低くなった冷却ガスが前記冷却室２内ｌこ
配置しＴこワークＡに吹き付けられる。その１こめ、こ
のワークＡが第３図Ｉｎ示すように急速ｌこ冷却される
。そして、このワークＡが所定の中間温度（ＭＳ点の近
傍）艮まで冷却された時点、換言すれは、温度センサ２
８＋こより検出される通風路４の始端近傍部１こおける
冷却ガスの温度が設定値ｆζ達した場合には、この時点
を境ｃ Ｌ／でワークＡの冷却条件を変更する。すなわ
ち、前記−冷却ガスの温度が設定値よりも低くなると、
冷水供給系路７の電磁弁１９．２１１閉成状態ｌこ切り
換えるとともｆこ、温水供給系路８の電磁弁２４１．２
５を開く。また、排気手段９を作動させて前記真空容器
３内の圧力を、例えは、６５０Ｔｏｒｒ程度にまで低下
させる。その結果、前記熱交換器１６およびジャケット
１７内ｆこ温水が供給されるとともに、通風路４および
冷却室２を密度の低い希薄な冷却ガスが循環することｌ
こなる。その１こめ、ワークＡの各部が比較的均一な状
態でゆっくりと冷却されることｌこなり、焼入歪の小さ
い良好な焼入れが行なオつ 第１ る 。
一万、ワークＡが太物でゐろ場合ＩＣは、以上のパター
ンとは異なり、第４図１乙示すようなパターンで焼入れ
を行なう。すなわち、この場合Ｉこは途中で冷却速度の
変更を行なうことなく、冷水を熱交換器１６およびジャ
ケット１７１こ供給しつづけるととも１こ、真空容器３
内の圧力を、例えは、１、４ ａｔｍ ｌこ保持し１こ
ままで焼入処理を行なう。
ンとは異なり、第４図１乙示すようなパターンで焼入れ
を行なう。すなわち、この場合Ｉこは途中で冷却速度の
変更を行なうことなく、冷水を熱交換器１６およびジャ
ケット１７１こ供給しつづけるととも１こ、真空容器３
内の圧力を、例えは、１、４ ａｔｍ ｌこ保持し１こ
ままで焼入処理を行なう。
以上のようｆこしてワークＡｔこ焼入処理を施すことが
できろわけであるが、水熱処理装置１では冷却ガスを流
線形の通風路４１こより案内してワークＡｌこ供給する
よう１こしているので、風損が小さく、前記ワークＡの
周囲部の風速を効率的Ｅこ増大させることかできる。そ
して、この実施例モは、前記通風路４の終端部分を狭小
化させて前記ワークへの下ｉｔこ臨ませているので、ワ
ークＡ１こ向ッて下方から垂直１こ吹き上げるような理
想的な流れをつくることができろ。また、前記通風路４
７／罰記真空容器８の周壁１５の内面ｌこ沿って設ける
とともＩコ、この周壁１５内ｆこ前記冷水等の冷却用流
体が流通オろジャケット１７を設けているので、前記通
風路４内を流れる冷却ガスを無理なく効果的ｆこ吊すこ
とができる。まｔこ、このような構成によれは、熱交換
器１６を配置するスペースを大き高めることができ、こ
の点からも冷却ガスの効率的な冷却が可能となる。
できろわけであるが、水熱処理装置１では冷却ガスを流
線形の通風路４１こより案内してワークＡｌこ供給する
よう１こしているので、風損が小さく、前記ワークＡの
周囲部の風速を効率的Ｅこ増大させることかできる。そ
して、この実施例モは、前記通風路４の終端部分を狭小
化させて前記ワークへの下ｉｔこ臨ませているので、ワ
ークＡ１こ向ッて下方から垂直１こ吹き上げるような理
想的な流れをつくることができろ。また、前記通風路４
７／罰記真空容器８の周壁１５の内面ｌこ沿って設ける
とともＩコ、この周壁１５内ｆこ前記冷水等の冷却用流
体が流通オろジャケット１７を設けているので、前記通
風路４内を流れる冷却ガスを無理なく効果的ｆこ吊すこ
とができる。まｔこ、このような構成によれは、熱交換
器１６を配置するスペースを大き高めることができ、こ
の点からも冷却ガスの効率的な冷却が可能となる。
しｊコがって、これらの事情から、前記冷却室２ｐ’３
＋こ配置したワークＡの効果的な急冷が可能となり、太
物であるか否かを問わず、種々の形状のワークＡを高い
硬度ｌこ焼入れすることができる。
＋こ配置したワークＡの効果的な急冷が可能となり、太
物であるか否かを問わず、種々の形状のワークＡを高い
硬度ｌこ焼入れすることができる。
なお、前記実施例では、冷却用流体として冷水と温水と
を選択吏用できるよう心し１こもの１ごついて説明し１
こが、本発明は、冷水のみしか用いることができない装
置ｆこも同様に適用可能である。
を選択吏用できるよう心し１こもの１ごついて説明し１
こが、本発明は、冷水のみしか用いることができない装
置ｆこも同様に適用可能である。
また、冷水を供給する手段は、クーリンダタワー等でゐ
っでもよいが、チリングユニットを用いれは夏場でもき
わめて低い温度の冷水を得ることができろという利点が
ある。
っでもよいが、チリングユニットを用いれは夏場でもき
わめて低い温度の冷水を得ることができろという利点が
ある。
（へ）効果
本発明は、以上のような構成であるから、ワークケ効果
的ｌこ急冷して焼入硬度を閥めることが可能であり、特
ｆこ、太物の焼入れｌこ威力を発揮し得る熱処理装置を
提供できるものである。
的ｌこ急冷して焼入硬度を閥めることが可能であり、特
ｆこ、太物の焼入れｌこ威力を発揮し得る熱処理装置を
提供できるものである。
図面は本発明の一実施例を示し、第１図は概略正断面図
、第２図はシステム説明図、第３図、第４図は焼入条件
を説明するための説明図である。 １・・・熱処理装置 ２・・・冷却室３・・・真空容
器 ４・・・通風路 ６・・・送風手段 １５・・・周壁 １７・・・ジャケット Ａ・・・ワーク代理人 弁理
士 赤澤−博 第３図 第４図 Ｂ１間
、第２図はシステム説明図、第３図、第４図は焼入条件
を説明するための説明図である。 １・・・熱処理装置 ２・・・冷却室３・・・真空容
器 ４・・・通風路 ６・・・送風手段 １５・・・周壁 １７・・・ジャケット Ａ・・・ワーク代理人 弁理
士 赤澤−博 第３図 第４図 Ｂ１間
Claims (1)
- 中央部にワークを配置するＴこめの冷却室を形成した真
空容器と、この真空容器の周壁内面１こ沿って設けられ
終端を前記ワーク１こ臨ませた流線形の通風路と、この
通風路に接する前記真空容器の周壁内に設けられ内部を
冷却用流体が流通するジャケットと、前記真空容器内１
こ封入した冷却ガスｌＦ前記通風路を通して循環させる
送風手段とを具備してなることを特徴とする熱処理装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3343083A JPS59159927A (ja) | 1983-02-28 | 1983-02-28 | 熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3343083A JPS59159927A (ja) | 1983-02-28 | 1983-02-28 | 熱処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59159927A true JPS59159927A (ja) | 1984-09-10 |
Family
ID=12386324
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3343083A Pending JPS59159927A (ja) | 1983-02-28 | 1983-02-28 | 熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59159927A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013181222A (ja) * | 2012-03-02 | 2013-09-12 | Dowa Thermotech Kk | ワークのガス冷却装置 |
| JP2015218367A (ja) * | 2014-05-20 | 2015-12-07 | 大同特殊鋼株式会社 | 真空焼入れ処理設備 |
| CN107058700A (zh) * | 2017-02-16 | 2017-08-18 | 北京科技大学 | 一种金属材料高温真空退火炉 |
| CN108342706A (zh) * | 2018-04-02 | 2018-07-31 | 杭州赛威斯真空技术有限公司 | 一种束线型磁控溅射生产线 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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