JP7307589B2 - 熱処理炉 - Google Patents
熱処理炉 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7307589B2 JP7307589B2 JP2019093236A JP2019093236A JP7307589B2 JP 7307589 B2 JP7307589 B2 JP 7307589B2 JP 2019093236 A JP2019093236 A JP 2019093236A JP 2019093236 A JP2019093236 A JP 2019093236A JP 7307589 B2 JP7307589 B2 JP 7307589B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- furnace
- space
- intermediate chamber
- furnace space
- pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Description
熱処理を行う炉体と、
該炉体が有する炉内空間と隣接する中間室と、
上記炉内空間に回転自在に設けられ、該炉内空間の雰囲気を撹拌するインペラーと、
上記炉内空間から上記中間室を貫通して設けられた上記インペラーの回転軸と、
該回転軸の外周面に対し上記中間室及び上記炉内空間に開放される隙間が生じる間隔を隔てて、該回転軸が挿通され、上記炉内空間と該中間室とに連通している外周管と、
上記中間室内に、上記外周管に対して、上記炉内空間から離れた該炉内空間とは反対側に配置された上記回転軸の軸受けと、
上記中間室を通って上記外周管内に冷却用のガスを導入する導入管と、
上記炉体に設けられ、上記炉内空間の内外を連通可能な連通管とを備え、
上記冷却用のガスは、
上記炉内空間を加熱する際、当該冷却用のガスが上記外周管に導入され、上記中間室の内圧を高めて該中間室へ該炉内空間の雰囲気が流入するのを防止しかつ上記回転軸及び上記軸受けに供給して冷却するために、上記導入管から少量導入され、
該炉内空間を冷却する際、当該冷却用のガスが上記外周管に導入され、該外周管から上記インペラーが回転される該炉内空間に流入されて当該炉内空間を冷却しかつ該外周管内の該回転軸及び該中間室の該軸受けを冷却するために、該導入管から大量に導入されることを特徴とする。
2 インペラー
3 炉体
3a 炉体の側壁部
3b 炉体の上部
4 中間室
5 連通管
6 回転軸
6a 回転軸の外周面
7 圧力調整バルブ
8 仕切り部材
9 軸支持筒部
10 軸受け
11 外周管
12 導入管
13 流量調整弁
S1 炉内空間
S2 外部空間
Claims (3)
- 熱処理を行う炉体と、
該炉体が有する炉内空間と隣接する中間室と、
上記炉内空間に回転自在に設けられ、該炉内空間の雰囲気を撹拌するインペラーと、
上記炉内空間から上記中間室を貫通して設けられた上記インペラーの回転軸と、
該回転軸の外周面に対し上記中間室及び上記炉内空間に開放される隙間が生じる間隔を隔てて、該回転軸が挿通され、上記炉内空間と該中間室とに連通している外周管と、
上記中間室内に、上記外周管に対して、上記炉内空間から離れた該炉内空間とは反対側に配置された上記回転軸の軸受けと、
上記中間室を通って上記外周管内に冷却用のガスを導入する導入管と、
上記炉体に設けられ、上記炉内空間の内外を連通可能な連通管とを備え、
上記冷却用のガスは、
上記炉内空間を加熱する際、当該冷却用のガスが上記外周管に導入され、上記中間室の内圧を高めて該中間室へ該炉内空間の雰囲気が流入するのを防止しかつ上記回転軸及び上記軸受けに供給して冷却するために、上記導入管から少量導入され、
該炉内空間を冷却する際、当該冷却用のガスが上記外周管に導入され、該外周管から上記インペラーが回転される該炉内空間に流入されて当該炉内空間を冷却しかつ該外周管内の該回転軸及び該中間室の該軸受けを冷却するために、該導入管から大量に導入されることを特徴とする熱処理炉。 - 前記導入管は、流量調整弁を備えていることを特徴とする請求項1に記載の熱処理炉。
- 前記連通管には、前記炉内空間の圧力を調整可能なバルブが設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の熱処理炉。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019093236A JP7307589B2 (ja) | 2019-05-16 | 2019-05-16 | 熱処理炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019093236A JP7307589B2 (ja) | 2019-05-16 | 2019-05-16 | 熱処理炉 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020186881A JP2020186881A (ja) | 2020-11-19 |
JP7307589B2 true JP7307589B2 (ja) | 2023-07-12 |
Family
ID=73222419
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019093236A Active JP7307589B2 (ja) | 2019-05-16 | 2019-05-16 | 熱処理炉 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7307589B2 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070037109A1 (en) | 2005-07-28 | 2007-02-15 | Lange Erik A | Self-cooled high-temperature fan apparatus |
JP2018066499A (ja) | 2016-10-18 | 2018-04-26 | トヨタ自動車株式会社 | 加熱炉 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5839499U (ja) * | 1981-09-11 | 1983-03-15 | マツダ株式会社 | 熱処理炉の変成ガス導入装置 |
JPS59221587A (ja) * | 1983-05-31 | 1984-12-13 | 石川島播磨重工業株式会社 | 金属熱処理炉用フアン軸のシ−ル装置 |
US5934871A (en) * | 1997-07-24 | 1999-08-10 | Murphy; Donald G. | Method and apparatus for supplying a anti-oxidizing gas to and simultaneously cooling a shaft and a fan in a heat treatment chamber |
-
2019
- 2019-05-16 JP JP2019093236A patent/JP7307589B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070037109A1 (en) | 2005-07-28 | 2007-02-15 | Lange Erik A | Self-cooled high-temperature fan apparatus |
JP2018066499A (ja) | 2016-10-18 | 2018-04-26 | トヨタ自動車株式会社 | 加熱炉 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020186881A (ja) | 2020-11-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4310302A (en) | Batch coil annealing furnace baseplate | |
JP5394360B2 (ja) | 縦型熱処理装置およびその冷却方法 | |
US8253075B2 (en) | Heat treatment apparatus, heater, and method for manufacturing the heater | |
JP2002075890A (ja) | 熱処理装置の降温レート制御方法および熱処理装置 | |
TWI781096B (zh) | 熱處理裝置 | |
JP7055075B2 (ja) | 熱処理装置及び熱処理方法 | |
JP4607678B2 (ja) | 熱処理装置、ヒータ及びヒータの製造方法 | |
JP2013004904A (ja) | 熱処理炉及び熱処理装置 | |
US7507368B2 (en) | Hot air circulation furnace | |
JP7307589B2 (ja) | 熱処理炉 | |
JP6998347B2 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、及びプログラム | |
JP4495498B2 (ja) | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 | |
TWI774560B (zh) | 線材捲線用之裝載治具及使用其之線材捲線之熱處理方法 | |
JP2014009879A (ja) | 回転式熱処理炉 | |
JP5770042B2 (ja) | 熱処理装置 | |
JP5201127B2 (ja) | 熱処理装置 | |
JP7198283B2 (ja) | 金属浴内におけるガラスリボンの放射冷却のための装置 | |
JP4466038B2 (ja) | 熱処理装置 | |
JPH11260744A (ja) | 熱処理炉 | |
KR101869409B1 (ko) | 연속소둔로 | |
JP2001077042A (ja) | 縦型熱処理装置 | |
JP2005265322A (ja) | バッチ式ロータリーキルンオーブン | |
JP2023152674A (ja) | 処理装置、および温度調整方法 | |
JPS6021389Y2 (ja) | 熱処理炉 | |
KR20200071383A (ko) | 연속소둔로 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211012 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220922 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220927 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221107 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230307 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230404 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20230427 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230627 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230630 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7307589 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |