JP5902069B2 - 被加工物の加工方法および加工装置 - Google Patents

Description

本発明は、被加工物の加工方法および加工装置に関し、特に、円筒状の外周面を有する被加工物の加工方法、および、当該被加工物を加工するための加工装置に関する。

従来、一般に行われているセラミックスの加工方法として、ダイヤモンドホイール、ダイヤモンドソー、ダイヤモンドバイトおよびダイヤモンド砥石などの工具を用いて、切断、研削・研磨などの加工を施す方法がある。特に円筒形状の部材の加工方法として、特開昭６１−２７９４５５号公報（特許文献１）に示すセンタレス研磨が知られている。これらの方法では、セラミックス材料のもつ高い機械強度、硬度により加工能率が低い問題があり、砥石や工具にダイヤモンドを使用するためコスト面での問題もある。

上記の方法に対して、レーザや電子ビームなどの高密度エネルギーを照射することによって加工する方法が提案されており、一般的に穴あけ・切断・スクライビング加工が知られている。さらに円筒状ワークの外径面を研削する方法として、特開昭５９−１２０３９０号公報（特許文献２）、特開昭６０−２３１５８８号公報（特許文献３）および特開平０７−０４８１８９号公報（特許文献４）に示す方法が提案されている。いずれも円筒状ワークを回転させながら加工面にレーザを照射する加工方法であり、かつ加工中にレーザ光ないしはワークを移動させることで加工寸法および加工位置を制御することができる。

またレーザなどの熱加工と物理的、化学的作用を組み合わせた加工として、特開昭６４−７７５０６号公報（特許文献５）、特開昭６２−３４７２７号公報（特許文献６）、特開昭６１−１５２３４５号公報（特許文献７）がある。

特開昭６１−２７９４５５号公報 特開昭５９−１２０３９０号公報 特開昭６０−２３１５８８号公報 特開平０７−０４８１８９号公報 特開昭６４−７７５０６号公報 特開昭６２−３４７２７号公報 特開昭６１−１５２３４５号公報

円筒状ワークの外径面の加工に関して、特開昭６０−２３１５８８号公報（特許文献３）および特開平０７−０４８１８９号公報（特許文献４）に、レーザを利用して円筒外径を加工する方法が図示されている。これらの方法では、被加工面である円筒外径に対して垂直にレーザ光が照射されるため、数百μｍの除去加工ができる高エネルギーレーザを照射した場合には、被加工物に熱影響が生じる問題がある。また精密な軸受用セラミックころの径寸法を満足する寸法制御が困難である。

特開昭５９−１２０３９０号公報（特許文献２）に示す加工方法は、被加工面である円筒外径の接線方向に対して水平にレーザ光を作用させることから、被加工物の熱影響は少ない加工方法である。しかし、完全に熱影響のない状態にするのは困難であり、精密な軸受用セラミックころの径寸法を満足する寸法制御も難しい。また、ワークを個別に固定して加工する方法であり、量産性は低い。

特開昭６４−７７５０６号公報（特許文献５）、特開昭６２−３４７２７号公報（特許文献６）、特開昭６１−１５２３４５号公報（特許文献７）では、レーザ加工に加えて、エッチングや超音波加工、研削加工を行なうことによってそれぞれの加工の特長を活かした効率的な加工を目指すものである。しかしながら、工程が２工程以上になってしまうことから、ころ材のような単純形状では、加工効率の点で問題がある。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、その主たる目的は、連続加工性を有する被加工物の外周面の加工方法および加工装置を提供することである。

本発明に係る被加工物の加工方法は、駆動ロールと、駆動ロールと軸方向に平行に配置された第２ロールと、駆動ロールと第２ロールとの両方に対向して配置された押さえ部材と、の間に、円筒状の外周面を有する被加工物を配置し、駆動ロールと第２ロールと押さえ部材とにより被加工物を支持する工程を備える。駆動ロールと第２ロールとの少なくともいずれか一方は、軸方向に沿う被加工物の移動方向の下流側へ向かって径が急拡大する急拡径部を有する。加工方法はさらに、被加工物を回転させながら外周面に対し外周面の接線方向からレーザを照射することにより外周面を加工し、被加工物を急拡径部を通過して軸方向に移動する工程を備える。

好ましくは、移動する工程の後に、外周面を砥石によって研磨する工程を備える。
好ましくは、研磨する工程において、被加工物に冷却用クーラントが供給されて被加工物は冷却される。冷却用クーラントは水溶性クーラントであってもよい。

好ましくは、被加工物はセラミックス製である。好ましくは、被加工物はサイアロンまたは窒化ケイ素系セラミックス製である。

本発明に係る加工装置は、円筒状の外周面を有する被加工物を運動させる駆動部を備える。駆動部は、駆動ロールと、駆動ロールと軸方向に平行に配置された第２ロールと、駆動ロールと第２ロールとの両方に対向して配置された押さえ部材と、被加工物を軸方向に移動させる軸方向駆動部と、を含む。被加工物は駆動ロールと第２ロールと押さえ部材との間に支持される。駆動ロールと第２ロールとの少なくともいずれか一方は、軸方向に沿う被加工物の移動方向の下流側へ向かって径が急拡大する急拡径部を有する。加工装置はさらに、回転している被加工物の外周面に対し外周面の接線方向からレーザを照射して外周面を加工する加工部を備える。

好ましくは、加工装置は、加工部により加工された外周面を研磨する砥石を備える。
好ましくは、加工装置は、外周面を砥石によって研磨するときに被加工物に冷却用クーラントを供給して被加工物を冷却する冷却部を備える。冷却用クーラントは水溶性クーラントであってもよい。

好ましくは、被加工物はセラミックス製である。好ましくは、被加工物はサイアロンまたは窒化ケイ素系セラミックス製である。

本発明の被加工物の加工方法によれば、連続加工性を有する加工方法を提供でき、被加工物の加工効率および加工品質を向上することができる。

実施の形態１に係る加工装置の概略構成を示す模式図である。 駆動ロールと被加工物との接触部付近を拡大して示す模式図である。 実施の形態２に係る加工装置の概略構成を示す模式図である。 被加工物の外周面を研磨する砥石の模式図である。 比較例１の加工装置の概略構成を示す模式図である。 比較例２の加工装置の概略構成を示す模式図である。 比較例４の加工装置の概略構成を示す模式図である。

以下、図面に基づいてこの発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において、同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰返さない。

（実施の形態１）
図１は、実施の形態１に係る加工装置１００の概略構成を示す模式図である。一例として、図１に示す加工装置１００を用いて、被加工物１を加工する機構を説明する。被加工物１は、円筒または円柱形状を有し、円筒状の外周面２を有する。たとえば、被加工物１は、軸受に用いられるセラミックころであってもよい。

加工装置１００は、被加工物１を運動させる駆動部１０を備える。駆動部１０は、被加工物１の下側を支持する２本のロール、すなわち駆動ロール１２および第２ロール１４と、被加工物１の上側に配置された押さえ部材１６と、後述する軸方向駆動部２６とを含む。

駆動ロール１２と第２ロール１４とは、円柱形状を有し、円筒状の外周面を有する。駆動ロール１２と第２ロール１４とは、軸方向に互いに平行に配置されており、それぞれ周方向に回転可能に設けられている。被加工物１と、駆動ロール１２および第２ロール１４とは、軸方向に平行に配置されている。

たとえばモータなどの図示しない駆動力源が発生する回転力が駆動ロール１２へ伝達されて、駆動ロール１２は回転する。２本のロールのうち駆動側のロールである駆動ロール１２は、図１中に示す矢印方向に、回転軸まわりに回転する。駆動ロール１２の外周面と被加工物１の外周面２とが接触しているので、駆動ロール１２が回転することで、被加工物１に回転運動が付与される。駆動ロール１２から被加工物１へ回転力が伝達され、被加工物１は図１中に示す矢印方向に回転する。被加工物１は、回転と共に、図１中に示す矢印の方向に沿って、軸方向に移動する。

第２ロール１４は、駆動ロール１２と共に、被加工物１を下側から支持する。２本のロールのうち従動側のロールである第２ロール１４は、被加工物１の回転運動により回転運動を付与される。第２ロール１４は、被加工物１の回転運動に伴って被加工物１から回転力を伝達されてつれ回りする従動ロールである。なお、第２ロール１４は、図示しない他の駆動力源から回転力を伝達され、駆動ロール１２と協働して回転する第２の駆動ロールであってもよい。

駆動ロール１２は、軸方向の途中から径が太くなり、駆動ロール１２の外周面には段差が形成されている。駆動ロール１２は、被加工物１の軸方向に沿う移動方向の下流側へ向かって径が急拡大する急拡径部１８を有する。第２ロール１４もまた、急拡径部１８と同様の、被加工物１の移動方向の下流側へ向かって径が急拡大する急拡径部を有する。第２ロール１４の急拡径部は、軸方向において駆動ロール１２に形成された急拡径部１８と同じ位置に設けられている。第２ロール１４の急拡径部における径の増加は、駆動ロール１２の急拡径部１８における径の増加と等しい。

駆動ロール１２と第２ロール１４とは、相対的に径の小さい小径部分をそれぞれ有する。駆動ロール１２の小径部分と第２ロール１４の小径部分とは、互いに等しい径を有する。駆動ロール１２と第２ロール１４とは、相対的に径の大きい大径部分をそれぞれ有する。駆動ロール１２の大径部分と第２ロール１４の大径部分とは、互いに等しい径を有する。典型的には、駆動ロール１２と第２ロール１４とは、同一の外周形状を有する。

なお、第２ロール１４には、必ずしも急拡径部が形成されなくてもよい。たとえば、軸方向に間隔を空けて並べられた径の異なる二つの円柱形状の部材によって第２ロールが形成されてもよい。この場合、軸方向に沿う被加工物１の移動方向において、急拡径部１８よりも上流側に相対的に径の小さい円柱部材を配置し、急拡径部１８よりも下流側に相対的に径の大きい円柱部材を配置することができる。また、駆動ロール１２に急拡径部１８が形成されず、替わりに第２ロール１４に急拡径部が形成されてもよい。つまり、急拡径部は、駆動ロール１２と第２ロール１４との少なくともいずれか一方に設けられていればよい。

押さえ部材１６は、駆動ロール１２と第２ロール１４との両方に対向して、被加工物１の上側に配置されている。押さえ部材１６は、円筒状の外周面を有する。被加工物１は、駆動ロール１２と、第２ロール１４と、押さえ部材１６と、の間に支持されている。被加工物１の外周面２は、駆動ロール１２の外周面と、第２ロール１４の外周面と、押さえ部材１６の外周面とにそれぞれ接触する。

駆動ロール１２から回転力を伝達されて被加工物１が回転すると、押さえ部材１６に被加工物１から回転運動が付与され、押さえ部材１６は回転する。押さえ部材１６は、その回転軸が被加工物１の回転軸に対し平行になるように、配置されている。

加工装置１００は、レーザ３８を発生するレーザ光源である加工部３０を備える。レーザ３８は、回転している被加工物１の外周面２に対し、外周面２の接線方向から入射される。レーザ３８が外周面２に照射されることにより、外周面２が研削され、被加工物１の径が小さくなるように、被加工物１は加工される。レーザ３８は、被加工物１の軸方向において、駆動ロール１２に設けられた急拡径部１８の位置に照射される。加工装置１００は、レーザ加工によって生じる被加工物１の溶融物を吹き飛ばすための機構、たとえば図示しないアシストガス噴出部などをさらに備えてもよい。

図２は、駆動ロール１２と被加工物１との接触部付近を拡大して示す模式図である。加工装置１００には、加工対象となる被加工物１に加え、被加工物１の次に加工対象となる被加工物６が保持される。被加工物６は、円筒状の外周面を有する。軸方向駆動部２６は、被加工物６を支持し、被加工物６を軸方向に移動させる。軸方向駆動部２６は、被加工物６を介して、被加工物１を図１，２中に示す矢印方向に沿って、軸方向に移動させる。軸方向駆動部２６が被加工物６を軸方向に移動させることにより、加工中の被加工物１が軸方向に沿う矢印方向に押されて移動する。

被加工物１は、駆動ロール１２の急拡径部１８の位置において、駆動ロール１２の径の変化により形成された段差によって保持される。この位置で、被加工物１の外周面２の接線方向からレーザ３８を照射し、レーザ３８により被加工物１の外周面２が研削加工される。外周面２を研削された被加工物１の径が小さくなると、急拡径部１８において被加工物１を保持できなくなり、図１，２中に示す矢印方向に被加工物１が移動する。このように外周面２の加工が連続的に進行して、被加工物１の全体が順次加工される。

加工装置１００で加工される被加工物１の材質は、セラミックスが望ましい。被加工物１の材質が樹脂や鉄系の材料である場合、被加工物１にレーザ３８を照射すると、加工部位が溶融し、ロールへの付着が生じる。また溶融による凹凸が加工部位に生じ、寸法が安定しない。その結果、急拡径部１８の段差を利用した被加工物１の送り機構が有効に作用しなくなり、加工が適切に進行しない。

より望ましくは、被加工物１の材質は、窒化ケイ素またはその複合化合物である。レーザ光による加工作用点では、加工物とその近傍の表層部とに大きな熱勾配が生じる。アルミナのように熱衝撃に弱いセラミックスを用いる場合、冷却用クーラントにより被加工物１が急冷されたときに割れが生じてしまう。窒化ケイ素は、耐熱衝撃性に優れ加工後の熱影響が少なく、被加工物１の外周面２に欠陥が生じることを抑制できるので、より高品質な加工が可能になるため好適である。

次に、上述した加工装置１００による被加工物１の加工方法について説明する。当該加工方法では、まず、駆動ロール１２と第２ロール１４と押さえ部材１６との間に被加工物１を配置し、駆動ロール１２と第２ロール１４と押さえ部材１６とにより被加工物１を支持する。駆動ロール１２には急拡径部１８が形成されている。この状態で駆動ロール１２を回転させると、被加工物１が回転する。このとき、軸方向駆動部２６によって図１の右方向から次に加工される被加工物６が供給されると、加工中の被加工物１は次の被加工物６に押されて、軸方向に沿って図１，２中の矢印方向に移動する。被加工物１は、急拡径部１８が形成する駆動ロール１２の外周面の段差によって、所定の位置に保持される。

軸方向において急拡径部１８により所定の位置に位置決めされた被加工物１を回転させながら、外周面２に対し外周面２の接線方向からレーザ３８を照射する。これにより、被加工物１の外周面２が研削される。外周面２が加工されると、被加工物１の直径が小さくなる。被加工物１の直径の減少が、急拡径部１８における駆動ロール１２の直径の拡大分を超えると、急拡径部１８の段差による被加工物１の保持が効かなくなり、被加工物１は急拡径部１８を通過して、軸方向に沿って図１，２中の矢印方向に移動する。

レーザ３８による被加工物１の外周面２の研削と、被加工物１の径の縮小に伴う被加工物１の軸方向への移動とが順次進められ、外周面２の全面が加工されると、被加工物１の全体が急拡径部１８を超えて移動する。そして、次に加工される被加工物６が、急拡径部１８が形成する駆動ロール１２の外周面の段差によって、所定の位置に保持される。その後被加工物６にレーザ３８が照射され、被加工物６が加工される。

このようにして、複数の被加工物の加工を連続的に進行することができ、被加工物の加工の連続性を達成し加工効率を向上することができる。被加工物１の加工寸法は、急拡径部１８におけるロールの径の変化によって決められる。また、被加工物１の加工精度は、２本のロールである駆動ロール１２および第２ロール１４と押さえ部材１６との位置関係によって決められる。そのため、複数の被加工物を連続的に加工する際も、被加工物の加工寸法および加工精度は均一になる。これにより、被加工物１の加工品質を向上することができる。

さらに、ロールに設けられた急拡径部における段差、および、２本のロールと押さえ部材との位置関係を調整することで、様々なサイズの被加工物１を所望の寸法に精度よく加工することができる。これにより、加工の汎用性を達成することができる。

（実施の形態２）
図３は、実施の形態２に係る加工装置１００の概略構成を示す模式図である。図３に示す実施の形態２の加工装置１００は、実施の形態１の加工装置の構成に加えて、砥石４０をさらに備える。砥石４０は、加工部３０で発生したレーザ３８により外周面２が加工された被加工物１に対し、外周面２を研磨する。砥石４０はたとえばダイヤモンド製であって、円筒状の外周面を有する。砥石４０の外周面に対し被加工物１の外周面２が摺動することにより、被加工物１の外周面２が研磨される。

図４は、被加工物１の外周面２を研磨する砥石４０の模式図である。図３に示すように、砥石４０に外周面２が接触した状態で被加工物１が回転することにより、外周面２が研磨される。加工装置１００は、冷却部４６をさらに備える。冷却部４６は、被加工物１の外周面２を砥石４０によって研磨するときに、被加工物１に冷却用クーラント４８を供給して、被加工物１を冷却する。

砥石４０と冷却部４６とは、被加工物１の回転軸に直交する同一平面上に、冷却用クーラント４８が砥石４０と干渉しないように配置されている。被加工物１の回転に伴って、砥石４０で研磨された外周面２に冷却用クーラント４８が供給される。このようにして外周面２が研磨され、所望の表面粗さの外周面２を有する被加工物１が得られる。

冷却部４６から供給される冷却用クーラント４８は、水溶性クーラントであることが望ましい。水溶性クーラントを使用することにより、所望の仕様の外周面２を有する被加工物１を得るために必要な加工時間を短縮することができる。

実施の形態２に係る被加工物１の加工方法では、被加工物１の外周面２は、急拡径部１８を通過した後、ダイヤモンド製の砥石４０によって研磨される。このとき、外周面２の研磨と同時に、図３に示すように、被加工物１に冷却用クーラント４８が供給されて被加工物１は冷却される。実施の形態２の加工方法によると、実施の形態１と同様に被加工物１の加工品質を向上でき、加えて、レーザ３８による被加工物１の外周面２の研削と、砥石４０を用いた外周面２の研磨とを連続的に行なうことができるので、被加工物１の加工時間をより短縮し、加工効率をより向上することができる。

被加工物１の加工効率および加工精度を比較する実験を行なった。被加工物として、円柱形状に成形し、一般的な条件で焼結を行なった、窒化ケイ素系セラミックスを供した。加工取代は直径で４００μｍとした。したがって、加工取代は半径で２００μｍであり、これがロール段差部においてロールの径が増大する寸法になる。ロールの回転数は３０００ｒｐｍとした。

実施例１では、図１に示す実施の形態１の加工装置１００を用いて被加工物を加工した。実施例２では、図３に示す実施の形態２の加工装置１００を用いて被加工物を加工した。比較例１では、通常のセンタレス加工方法により被加工物を加工した。図５は、比較例１の加工装置の概略構成を示す模式図である。図５に示す加工装置では、被加工物１は支持刃１５０の上を案内されて、回転している調整車１１２および砥石車１４０の間を通るときに、被加工物１の外周面が研削加工される。

比較例２では、センタレス加工機を模擬した２つのロールとシューとの構成の途中にレーザ照射点を設けて加工する方法により、被加工物を加工した。図６は、比較例２の加工装置の概略構成を示す模式図である。図６に示す加工装置では、砥石車１４０が軸方向に二分割されており、分割された砥石車１４０の間を経由してレーザ１３８が被加工物１に照射され、被加工物１の外周面が研削加工される。

比較例３では、図６に示す比較例２の加工装置で被加工物を加工した後、図５に示す通常のセンタレス加工を行ない、被加工物を加工した。

比較例４では、端面をチャックした被加工物を回転させて外周面をレーザ加工する方法により、被加工物を加工した。図７は、比較例４の加工装置の概略構成を示す模式図である。図７に示す加工装置では、被加工物１の端面が三つのチャック１６０により保持された状態で、被加工物１を回転させ、このときレーザ１３８が被加工物１に照射され、被加工物１の外周面が研削加工される。

実施例１〜２および比較例１〜４では、１００個の被加工物の加工時間および加工精度の比較を行なった。実施例１〜２および比較例１〜４の結果を表１に示す。

比較例１の加工方法では、一パス当たり１０μｍの加工となり、４００μｍの加工では４０回の繰り返し加工が必要で、総加工時間は５０２６０ｓｅｃであった。形状精度は、真円度、円筒度とも良好であった。

比較例２の加工方法では、一パス当たり１５μｍの加工となり、４００μｍの加工では約２７回の繰り返し加工が必要で、総加工時間は２２５０ｓｅｃであった。形状精度は、真円度、円筒度とも通常のセンタレス加工機より精度は低かった。

比較例３の加工方法では、３０２５ｓｅｃの総加工時間を要した。形状精度は、真円度、円筒度とも良好であった。

比較例４の加工方法では、一個当たりのサイクルタイムは２６ｓｅｃで、１００個の加工では２９５０ｓｅｃを要した。形状精度は、真円度はセンタレス加工機並みに良好であったが、円筒度は比較試験の中で最も劣っていた。

実施の形態１の加工装置１００を使用した実施例１の加工方法では、原理上一パスで４００μｍの加工が可能であり、加工時間は１２１０ｓｅｃと比較例１〜４と比べて高い加工効率を示した。また実施の形態２の加工装置１００を使用した実施例２の加工方法では、加工時間は１１６０ｓｅｃと、実施例１と比べてさらに高い加工効率を示した。実施例１〜２における形状精度は真円度、円筒度ともほぼセンタレス加工機に近い精度であり、良好であった。これらの結果により、比較例１〜４の加工方法と比較して、実施例１〜２の加工方法は、加工効率および加工精度において優れていることが示された。

本発明に係る加工装置１００に適した冷却用クーラントを調査する実験を行なった。被加工物１の外周面２をレーザ加工してから１０ｓｅｃ後、図４に示す装置を用いて、被加工物１の外周面２を砥石４０により研磨した。冷却部４６から冷却用クーラント４８を供給しない加工方法（比較例５）、冷却用クーラント４８をエアーにした加工方法（比較例６）、冷却用クーラント４８を油性クーラントにした加工方法（比較例７）、および、冷却用クーラント４８を水溶性クーラントにした加工方法（実施例３）において、１００個の被加工物１の総加工時間の比較を行なった。実施例３および比較例５〜７の結果を表２に示す。

冷却用クーラント４８を用いない比較例５では、総加工時間は３８９０ｓｅｃであった。冷却用クーラント４８にエアーを用いた比較例６では、総加工時間は３１１０ｓｅｃであった。冷却用クーラント４８に油性クーラントを用いた比較例７では、総加工時間は２４８０ｓｅｃであった。冷却用クーラント４８に水溶性クーラントを用いた実施例３では、総加工時間は２０６０ｓｅｃであった。これらの結果から、水溶性クーラントを使用すれば被加工物１の加工時間を短縮できるので、冷却用クーラント４８として水溶性クーラントが好適であることが明らかとなった。

本発明に係る加工装置１００に適した被加工物１の材質を調査する実験を行なった。ポリアミド、ナイロン、ＳＵＳ、ＳＵＪ２、アルミナ、窒化ケイ素およびサイアロンを円柱形状に成型したもの１００個を実験に供した。加工後の被加工物１の外観から、加工可否を評価した。結果を表３に示す。

比較例８，９に示すプラスチック材料、すなわちポリアミドおよびナイロンは、融点がセラミックスと比較して低いため、レーザ光が被加工物１に照射された瞬間に加工部周囲の部位も溶融する。この溶融物がロールに付着し、加工不可であった。

比較例１０，１１に示す鉄系材料、すなわちＳＵＳおよびＳＵＪ２に関しては、溶融したドロスが外径面に付着して、ロール段差を越えて被加工物１が進行せず、加工不可であった。

比較例１２に示すアルミナ材では、加工はできたものの、加工後の被加工物１の表層に大きなクラックが生じており、品質に問題があった。

実施例４，５に示す窒化ケイ素およびサイアロンは、加工後の熱影響が少なく、被加工物１の表層に欠陥が生じなかった。これらの結果から、窒化ケイ素およびサイアロンが本発明に係る加工装置１００に適した材質であることが示された。

以上のように本発明の実施の形態について説明を行なったが、今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。この発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

本発明は、軸受などに使用されるセラミックころの加工方法および加工装置として、好適に適用され得る。

１，６ 被加工物、２ 外周面、１０ 駆動部、１２ 駆動ロール、１４ 第２ロール、１６ 押さえ部材、１８ 急拡径部、２６ 軸方向駆動部、３０ 加工部、３８ レーザ、４０ 砥石、４６ 冷却部、４８ 冷却用クーラント、１００ 加工装置。

Claims (10)

1. 駆動ロールと、前記駆動ロールと軸方向に平行に配置された第２ロールと、前記駆動ロールと前記第２ロールとの両方に対向して配置された押さえ部材と、の間に、円筒状の外周面を有する被加工物を配置し、前記駆動ロールと前記第２ロールと前記押さえ部材とにより前記被加工物を支持する工程を備え、
   前記駆動ロールと前記第２ロールとの少なくともいずれか一方は、前記軸方向に沿う前記被加工物の移動方向の下流側へ向かって径が急拡大する急拡径部を有し、
   さらに、前記被加工物を回転させながら前記外周面に対し前記外周面の接線方向からレーザを照射することにより前記外周面を加工し、前記被加工物を前記急拡径部を通過して前記軸方向に移動する工程を備える、被加工物の加工方法。
2. 前記移動する工程の後に、前記外周面を砥石によって研磨する工程を備える、請求項１に記載の被加工物の加工方法。
3. 前記研磨する工程において、前記被加工物に冷却用クーラントが供給されて前記被加工物は冷却される、請求項２に記載の被加工物の加工方法。
4. 前記冷却用クーラントは水溶性クーラントである、請求項３に記載の被加工物の加工方法。
5. 前記被加工物はセラミックス製である、請求項１から請求項４のいずれかに記載の被加工物の加工方法。
6. 円筒状の外周面を有する被加工物を運動させる駆動部を備え、
   前記駆動部は、駆動ロールと、前記駆動ロールと軸方向に平行に配置された第２ロールと、前記駆動ロールと前記第２ロールとの両方に対向して配置された押さえ部材と、前記被加工物を前記軸方向に移動させる軸方向駆動部と、を含み、
   前記被加工物は前記駆動ロールと前記第２ロールと前記押さえ部材との間に支持され、
   前記駆動ロールと前記第２ロールとの少なくともいずれか一方は、前記軸方向に沿う前記被加工物の移動方向の下流側へ向かって径が急拡大する急拡径部を有し、
   さらに、回転している前記被加工物の前記外周面に対し前記外周面の接線方向からレーザを照射して前記外周面を加工する加工部を備える、加工装置。
7. 前記加工部により加工された前記外周面を研磨する砥石を備える、請求項６に記載の加工装置。
8. 前記外周面を前記砥石によって研磨するときに前記被加工物に冷却用クーラントを供給して前記被加工物を冷却する冷却部を備える、請求項７に記載の加工装置。
9. 前記冷却用クーラントは水溶性クーラントである、請求項８に記載の加工装置。
10. 前記被加工物はセラミックス製である、請求項６から請求項９のいずれかに記載の加工装置。

Images