JP5896760B2 - 加工装置、及び、加工方法 - Google Patents
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- Laser Beam Processing (AREA)
Description
光源 :YAGレーザー
波長 :355nm(YAGレーザーの第3高調波)
エネルギー密度 :40〜60J/cm2
1パルスあたりの加工量 :3μm
照射パルス数 :33
16 搬送装置
18 チャックテーブル
24 レーザービーム照射ユニット
52 重量測定装置
54 厚み算出部
56 加工条件選定部
58 加工手段稼働部
60 制御装置
W ウェーハ
Claims (1)
- 被加工物に加工を施す加工装置であって、
該被加工物を保持する保持手段と、
該保持手段で保持された該被加工物に加工を施す加工手段と、
加工が実施される前の該被加工物の重量を測定する重量測定手段と、
該重量測定手段で測定された該重量を該被加工物の比重と面積とで除して該被加工物の厚みを算出する厚み算出部と、
該厚み算出部で算出された該厚みに基づいて該被加工物を加工する加工条件を選定する加工条件選定部と、
該加工条件選定部で選定された該加工条件に基づいて少なくとも該加工手段を稼働させる加工手段稼働部と、を有する制御手段と、
を備えることを特徴とする加工装置。
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