JP5893619B2 - ステップモータ作動の平衡型流量制御弁 - Google Patents
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Description
以下に、出願時の特許請求の範囲の記載を付記する。
[条項1] ボディの長手方向軸に同軸状に配向されたボディ孔と、この孔内に延びる弁座部材とを有するボディと、
前記孔内に摺動可能に配置され、前記ボディの長手方向軸に同軸状に配向された弁部材とを備え、この弁部材は非円形の幾何学的成形ヘッドを含み、更に、
前記弁部材の軸回転を阻止すると共に、前記弁部材の幾何学的成形ヘッドを摺動可能に収容するヘッド収容凹部を含むドライプアダプタと、
前記ドライブアダプタに接続されるステップモータとを備え、このステップモータは弁部材に直接係合するシャフトを軸回転するように作動する、流量制御弁。
[条項2] 前記幾何学的成形ヘッドは、少なくとも1の平坦なヘッド面を有する、条項1に記載の流量制御弁。
[条項3] 前記ヘッド収容凹部は、少なくとも1の平坦なヘッド面に当接して弁部材の軸回転を防止する少なくとも1の空洞面を含む、条項2に記載の流量制御弁。
[条項4] 前記弁部材は更に、弁部材から外方に半径方向に延び、弁座部材にシール係合し、流量制御弁の閉位置を規定する少なくとも1の弁座係合部材を含む、条項1に記載の流量制御弁。
[条項5] 前記シャフトの第1方向の回転は、流量制御弁を閉位置から開位置に、ボディ孔内で弁部材を長手方向に移動する作用をなし、前記シャフトの反対の第2方向の回転は、開位置から弁閉位置に弁部材を戻す作用をなす、条項4に記載の流量制御弁。
[条項6] 前記弁部材は更に、
弁部材の幾何学的成形ヘッドから反対側端部に配置された第1ピストンと、
前記第1ピストンと幾何学的成形ヘッドとの間に配置された第2ピストンとを含み、これらの第1,第2ピストンは、弁部材がボディ孔内で摺動するときに、シリンダ壁に対してシールするように作用する、条項1に記載の流量制御弁。
[条項7] 前記第1,第2ピストンは、第1,第2ピストンに反対側に作用する加圧流体が弁部材に作用するバランスされた圧力となるように、実質的に等しい径を有する、条項6に記載の流量制御弁。
[条項8] 更に、電子インターフェース装置を備え、コマンド信号を受取り、この電子インターフェース装置でステップモータを作動するための出力に変換される、条項1に記載の流量制御弁。
[条項9] 更に、内部に電子インターフェース装置が配置される電子インターフェースハウジングと、この電子インターフェースハウジングを大気から密封し、流量制御弁に対する電気接続部を形成する電気コネクタとを含む、条項8に記載の流量制御弁。
[条項10] 前記孔は、弁部材がボディ内に摺動可能に収容されたときに、ボディの長手方向軸と同軸状に配向される、条項1に記載の流量制御弁。
[条項11] 前記非円形幾何学的成形ヘッドは、前記シャフトを螺合して収容するねじ付孔を含み、前記シャフトは、ステップモータに接続されかつこれから延びる雄ねじ付シャフトであり、ステップモータの漸進的回転で、ねじ付孔に螺合する雄ねじ付シャフトが回転し、弁部材が漸進的に軸方向に平行移動する、条項1に記載の流量制御弁。
[条項12] 前記非円形の幾何学的成形ヘッドは、一体的に接続されかつこれから延びるシャフトを有し、このシャフトは雄ねじ付シャフトであり、更に、ステップモータの雌ねじ付孔内に螺合し、ステップモータ及びシャフトに螺合する雌ねじ付孔の漸進的回転で、弁部材を漸進的に軸方向に平行移動する、条項1に記載の流量制御弁。
[条項13] 前記ドライブアダプタは、ボディに取外し可能に接続される、条項1に記載の流量制御弁。
[条項14] 前記ドライブアダプタは、ボディに一体的に接続され、前記弁部材の幾何学的成形ヘッドは、この幾何学的成形ヘッドの対応する面に適合する複数の空洞面を有するヘッド収容凹部内に摺動可能に収容され、弁部材の軸回転を阻止する、条項1に記載の流量制御弁。
[条項15] 前記弁部材は、スプール弁部材を規定する、条項1に記載の流量制御弁。
[条項16] 前記弁部材は、ポペット弁部材を規定する、条項1に記載の流量制御弁。
[条項17] ボディの長手方向軸に同軸状に配向されたボディ孔を有するボディと、
前記孔内に摺動可能に配置され、ボディの長手方向軸に同軸状に配向された弁部材とを備え、この弁部材は、
孔を有する非円形幾何学的成形ヘッドと、
少なくとも1の半径方向外方に延びる弁座係合部材と第1,第2ピストンとを含み、これらの第1,第2ピストンは、第1,第2ピストンに反対側に作用する加圧流体がバランスされるように、実質的に等しい径を有し、更に、
弁部材の幾何学的成形ヘッドを摺動可能に収容し、弁部材の軸回転を阻止するヘッド収容凹部を含むドライブアダプタと、
前記ドライブアダプタに接続されるステップモータとを備え、このステップモータは弁部材の孔内に直接係合したシャフトを回転し、弁部材を軸方向に平行移動する、流量制御弁。
[条項18] 前記なくとも1の半径方向外方に延びる弁座係合部材は、それぞれ第1,第2ピストンの径に等しい径を有する第1,第2弁座係合部材を備える、条項17に記載の流量制御弁。
[条項19] 前記ボディは、3方弁ボディであり、
前記孔内に延びる第1,第2弁座部材と、
入口ポートと出口ポートと排気ポートと、を含む、条項18に記載の流量制御弁。
[条項20] 弁開位置で、第1弁座係合部材は第1弁座部材に接触し、第2弁座係合部材は第2弁座部材から移動され、入口ポートを出口ポートに連通させ、入口ポートと出口ポートとの双方を排気ポートから分離させ、更に、
弁閉位置で、第1弁座係合部材は第1弁座部材に接触し、第2弁座係合部材は第2弁座部材に接触し、入口、出口及び排気ポートがそれぞれ分離される、条項19に記載の流量制御弁。
[条項21] 第1弁座係合部材は第1弁座部材から移動され、第2弁座部材は第2弁座部材に接触し、出口ポートが排気ポートに連通しかつ入口ポートが出口ポートと排気ポートとの双方から分離される排気位置を規定する、条項19に記載の流量制御弁。
[条項22] 少なくとも1の半径方向外方に延びる弁座係合部材は、それぞれ第1及び第2ピストンの径と等しい径を有する第1,第2,第3及び第4弁座係合部材を備える、条項18に記載の流量制御弁。
[条項23] 前記ボディは4方弁ボディであり、
個々に弁座係合部材の1つに接触されるように位置する孔内に延びる複数の弁座部材と、
入口ポートと、第1及び第2出口ポートと、第1及び第2排気ポートと、を含む、条項18に記載の流量制御弁。
[条項24] 前記ボディは2方弁ボディであり、
孔内に延びる弁座部材と、
入口ポート及び出口ポートとを含み、少なくとも1の半径方向外方に延びる弁座係合部材は弁閉位置で弁座部材に接触し、入口ポートを出口ポートから分離する、条項17に記載の流量制御弁。
[条項25] ボディの長手方向軸に同軸に配向されたボディ孔と、第1及び第2シリンダ壁とを有するボディと、
前記孔内に摺動可能に配置され、前記ボディの長手方向軸に同軸状に配向される弁部材
とを備え、この弁部材は、
前記長手方向軸に同軸状に整合するねじ付孔を有する非円形幾何学的成形ヘッドと、
前記弁部材の前記幾何学的成形ヘッドと反対側端部に配置される第1ピストンと、
前記第1ピストンと幾何学的成形ヘッドとの間に配置される第2ピストンとを含み、更に、
前記ボディに接続されるドライブアダプタを備え、このドライブアダプタは、前記弁部材の幾何学的成形ヘッドを摺動可能に収容し、弁部材の軸回転を阻止するヘッド収容凹部を含み、更に、
前記ドライブアダプタに接続されるステップモータを備え、このステップモータは弁部材のねじ付孔内に直接螺合するねじ付シャフトを回転する、流量制御弁。
[条項26] 前記弁ボディは、更に、孔内に延びる弁座部材を含む、条項25に記載の流量制御弁。
[条項27] 前記弁部材は、更に、弁部材から外方に半径方向に延び、弁座部材に密閉状態に係合し、流量制御弁の閉位置を規定する弁座係合部材を含む、条項26に記載の流量制御弁。
[条項28] 前記第1及び第2ピストンの径と弁座係合部材の径とは、弁閉位置で、第1ピストンに作用する加圧流体の力が弁座係合部材に作用する加圧流体の力でバランスされるように、実質的に等しい、条項27に記載の流量制御弁。
[条項29] 第1ピストンの径は、弁座係合部材が弁座部材から移動した弁開位置で、第1ピストンに作用する加圧流体の力が、第2ピストンに作用する加圧流体の力でバランスされるように、第2ピストンの径と実質的に等しい、条項27に記載の流量制御弁。
[条項30] 前記弁部材はスプール部材であり、第1及び第2ピストンの径と弁座係合部材の径とが実質的に等しい、条項25に記載の流量制御弁。
[条項31] 前記弁部材はポペット弁であり、弁係合部材の径が弁座部材の径よりも大きい、条項25に記載の流量制御弁。
Claims (31)
- 矩形形状のボディであって、前記ボディは、前記ボディの長手方向軸に平行に延びている4つの長手方向面を有すると共に、前記ボディの前記長手方向軸に同軸状に配向されたボディ孔と、前記ボディ孔内に延びる弁座部材とを画定する矩形形状のボディと、
前記ボディ孔内に摺動可能に配置され、前記ボディの長手方向軸に同軸状に配向された弁部材であって、この弁部材は4つのヘッド面を呈する矩形形状のヘッドを含む弁部材と、
前記矩形形状のヘッドから一体的に延びているシリンダ形状のスプール弁部材であって、前記シリンダ形状のスプール弁部材は、前記ボディ孔内での前記弁部材の摺動動作中に前記ボディ孔のシリンダ壁に摺動可能で封止的に係合する弾性シール部材を有するスプール弁部材と、及び、
前記矩形形状のヘッド及び前記シリンダ形状のスプール弁部材の両者を貫通して形成されたネジ孔と、
前記弁部材の軸回転を阻止すると共に、前記弁部材の矩形形状のヘッドを摺動可能に収容する矩形形状のヘッド収容凹部を含むドライブアダプタであって、前記ヘッド収容凹部は、更に、前記矩形形状の全周に関してクリアランス隙間を備えており、前記弾性シール部材によって前記クリアランス隙間または前記ヘッド収容凹部に前記ボディ孔内の流体が入ることを防止されているドライブアダプタと、
前記ドライブアダプタに接続されるステップモータであって、このステップモータは前記弁部材に直接係合するシャフトを軸回転するように作動するステップモータと、
前記ボディのポートが設けられた長手方向面を画定するために、前記ボディ孔から前記ボディの前記長手方向面の1つまで前記ボディを貫通して延びる入口ポートであって、前記入口ポートは、前記ポートが設けられた長手方向面に対して開いており、前記ボディの他の複数の長手方向面に対して閉じている、入口ポートと、
前記入口ポートと隣り合った関係で配置された出口ポートであって、前記出口ポートは、前記ボディ孔から前記ボディの前記ポートが設けられた長手方向面まで前記ボディを貫通して延びており、前記出口ポートは、前記ポートが設けられた長手方向面に対して開いており、前記ボディの他の複数の長手方向面に対して閉じている、出口ポートと、
を備えた流量制御弁。 - 前記矩形形状のヘッドは、少なくとも1の平坦なヘッド面を有する、請求項1に記載の流量制御弁。
- 前記弁部材の軸回転を防止するために、前記ヘッド収容凹部は、前記矩形形状のヘッドの4つのヘッド面に当接する4つの空洞面を含む、請求項2に記載の流量制御弁。
- 前記弁部材は更に、弁部材から外方に半径方向に延び、弁座部材にシール係合し、流量制御弁の閉位置を規定する少なくとも1の弁座係合部材を含む、請求項1に記載の流量制御弁。
- 前記シャフトの第1方向の回転は、流量制御弁を閉位置から開位置に、ボディ孔内で弁部材を長手方向に移動する作用をなし、前記シャフトの反対の第2方向の回転は、開位置から弁閉位置に弁部材を戻す作用をなす、請求項4に記載の流量制御弁。
- 前記弁部材は更に、
前記矩形形状のヘッドから弁部材の反対側端部に配置された第1ピストンと、
前記第1ピストンと前記矩形形状のヘッドとの間に配置された第2ピストンとを含み、これらの第1,第2ピストンは、弁部材がボディ孔内で摺動するときに、シリンダ壁に対してシールするように作用する、請求項1に記載の流量制御弁。 - 前記第1,第2ピストンは、第1,第2ピストンに反対側に作用する加圧流体が弁部材に作用するバランスされた圧力となるように、実質的に等しい径を有する、請求項6に記載の流量制御弁。
- 更に、電子インターフェース装置を備え、コマンド信号を受取り、この電子インターフェース装置でステップモータを作動するための出力に変換される、請求項1に記載の流量制御弁。
- 更に、内部に電子インターフェース装置が配置される電子インターフェースハウジングと、この電子インターフェースハウジングを大気から密封し、流量制御弁に対する電気接続部を形成する電気コネクタとを含む、請求項8に記載の流量制御弁。
- 前記弁部材がボディ内に摺動可能に収容される、請求項1に記載の流量制御弁。
- 前記ねじ付孔は、前記シャフトを螺合して収容し、前記シャフトは、前記ステップモータに接続されかつこれから延びる雄ねじ付シャフトであり、前記ステップモータの漸進的回転で、前記ねじ付孔に螺合する雄ねじ付シャフトが回転し、前記弁部材が漸進的に軸方向に平行移動する、請求項1に記載の流量制御弁。
- 前記矩形形状のヘッドは、一体的に接続されかつこれから延びるシャフトを有し、このシャフトは雄ねじ付シャフトであり、更に、ステップモータの雌ねじ付孔内に螺合し、ステップモータ及びシャフトに螺合する雌ねじ付孔の漸進的回転で、弁部材を漸進的に軸方向に平行移動する、請求項1に記載の流量制御弁。
- 前記ドライブアダプタは、ボディに取外し可能に接続される、請求項1に記載の流量制御弁。
- 前記ドライブアダプタは、ボディに一体的に接続され、前記弁部材の矩形形状に成形されたヘッドは、この矩形形状に成形されたヘッドの4つのヘッド面に適合する4つの空洞面を有するヘッド収容凹部内に摺動可能に収容され、弁部材の軸回転を阻止する、請求項1に記載の流量制御弁。
- 前記弁部材は、スプール弁部材を規定する、請求項1に記載の流量制御弁。
- 前記弁部材は、ポペット弁部材を規定する、請求項1に記載の流量制御弁。
- 流量制御弁であって、前記流量制御弁は、
ボディであって、前記ボディは、前記ボディの長手方向軸に同軸状に配向されたボディ孔と、前記ボディと接触するエンドキャップとを有し、前記エンドキャップは、前記ボディ孔を通気するためのボディ孔と連通している前記エンドキャップを貫通しているエンドキャップ通路を有し、前記ボディ孔は孔直径を有しており、弁部材であって、前記弁部材は、前記ボディ孔内に摺動可能に配置され、前記ボディの長手方向軸に同軸状に配向され、この弁部材は、
前記弁部材の部品としてお互いに一体的に結合されている矩形形状のヘッドとシリンダ形状のボディ部分であって、前記矩形形状のヘッドとシリンダ形状のボディ部分は、その内部に形成されたネジ付き孔を有し、
少なくとも1の半径方向外方に延びる弁座係合部材と第1,第2ピストンとを含み、これらの第1,第2ピストンは、前記弁部材の部品として互いに一体的に結合されており、前記第1,第2ピストンに対し反対側に作用する加圧流体がバランスされるように、前記ボアの直径と精密な誤差許容度の嵌め合いを生成する実質的に等しい径を有し、更に、
弁部材の矩形形状のヘッドを摺動可能に収容し、弁部材の軸回転を阻止するヘッド収容凹部を含むドライブアダプタと、
前記ドライブアダプタに接続されるステップモータであって、このステップモータは、前記弁部材を軸方向に平行移動するために、前記弁部材の前記ネジ付き孔内に直接係合したシャフトを回転するステップモータと、を備え、
前記流量制御弁は実質的に矩形形状を有し、前記ボディの各々、前記エンドキャップ、前記ドライブアダプタ、及び前記ステップモータは、実質的に等しい幅を有しており、前記流量制御弁の全体的な幅を画定し、
前記弁部材の前記シリンダ形状のボディ部分は、前記ボアの直径と精密な誤差許容度の嵌め合いを生成する直径を有し、前記弁部材は、前記矩形形状のヘッドから前記シリンダ形状のボディ部分へと先細になっており、前記弁部材の前記矩形形状のヘッドは、前記シリンダ形状のボディ部分の直径よりも大きな直径の所定の幅を有している、
流量制御弁。 - 前記少なくとも1の半径方向外方に延びる弁座係合部材は、それぞれ第1,第2ピストンの径に等しい直径と前記弁部材の前記シリンダ形状のボディ部分の直径を有する第1,第2弁座係合部材を備える、請求項17に記載の流量制御弁。
- 前記ボディは、3方弁ボディであり、
前記ボディ孔内に延びる第1,第2弁座部材と、
前記ドライブアダプタと前記第2弁座部材との間に長手方向に配置された入口ポートと、前記第1,第2弁座部材の間に長手方向に配置された出口ポートと、前記エンドキャップと前記前記第1弁座部材の間に長手方向に配置された排気ポートと、を含む、請求項18に記載の流量制御弁。 - 弁開位置で、前記第1弁座係合部材は前記第1弁座部材に接触し、前記第2弁座係合部材は前記第2弁座部材から移動され、前記入口ポートを前記出口ポートに連通させ、前記入口ポートと前記出口ポートとの双方を前記排気ポートから隔離させ、更に、
弁閉位置で、前記第1弁座係合部材は前記第1弁座部材に接触し、前記第2弁座係合部材は前記第2弁座部材に接触し、前記入口ポート、前記出口ポート及び前記排気ポートがそれぞれ隔離される、請求項19に記載の流量制御弁。 - 前記第1弁座係合部材は前記第1弁座部材から移動され、前記第2弁座部材は前記第2弁座部材に接触し、前記出口ポートが前記排気ポートに連通しかつ前記入口ポートが前記出口ポートと前記排気ポートとの双方から隔離される排気位置を規定する、請求項19に記載の流量制御弁。
- 少なくとも1の半径方向外方に延びる弁座係合部材は、それぞれ第1及び第2ピストンの径と等しい径を有する第1,第2,第3及び第4弁座係合部材を備える、請求項18に記載の流量制御弁。
- 前記ボディは4方弁ボディであり、
個々に弁座係合部材の1つに接触されるように位置する前記ボディ孔内に延びる複数の弁座部材と、
入口ポートと、第1及び第2出口ポートと、第1及び第2排気ポートと、を含む、請求項18に記載の流量制御弁。 - 前記ボディは2方弁ボディであり、
前記ボディ孔内に延びる弁座部材と、
入口ポート及び出口ポートを含み、少なくとも1の半径方向外方に延びる弁座係合部材は弁閉位置で弁座部材に接触し、入口ポートを出口ポートから隔離する、請求項17に記載の流量制御弁。 - 流量制御弁であって、前記流量制御弁は、
ボディの長手方向軸に平行に延びている少なくとも1つの長手方向面を有するボディであって、前記ボディは第1及び第2シリンダ壁と前記ボディの前記長手方向軸に同軸に配向されたボディ孔とを画定するボディと、
前記ボディ孔内に摺動可能に配置され、前記ボディの長手方向軸に同軸状に配向される弁部材とを備え、この弁部材は、
非円形幾何学的成形ヘッドであって、前記非円形幾何学的成形ヘッドを貫通して延びる前記長手方向軸に同軸状に整合するねじ付孔を有する非円形幾何学的成形ヘッドと、
前記弁部材の前記非円形幾何学的成形ヘッドと反対側端部に配置される第1ピストンと、
前記第1ピストンと前記幾何学的成形ヘッドとの間に配置される第2ピストンとを含み、更に、
前記ボディに接続されるドライブアダプタを備え、このドライブアダプタは、前記弁部材の前記幾何学的成形ヘッドを摺動可能に収容し、前記弁部材の軸回転を阻止するヘッド収容凹部を含み、更に、
前記ドライブアダプタに接続されるステップモータを備え、このステップモータは前記弁部材の前記ねじ付孔内に直接螺合するねじ付シャフトを回転し、
前記ボディの前記少なくとも1つの長手方向面と前記ボディ孔との間に延びている前記ボディによって画定される第1弁座部材を備え、前記第1弁座部材は、前記ドライブアダプタから最も遠くに位置された外側エッジと前記第1弁座部材を横方向に2等分する中心線とを有し、
前記ボディの前記少なくとも1つの長手方向面と前記ボディ孔との間に延びている前記ボディによって画定される第2弁座部材を備え、前記第2弁座部材は、前記ドライブアダプタから最も近くに位置された外側エッジと前記第2弁座部材を横方向に2等分する中心線とを有し、
前記ドライブアダプタと前記第2弁座部材との間で横方向に位置されている、前記ボディ孔から前記ボディの前記少なくとも1つの長手方向面まで貫通して延出している入口ポートと、
前記第1弁座部材と前記第2弁座部材との間で横方向に位置されている、前記ボディ孔から前記ボディの前記少なくとも1つの長手方向面まで貫通して延出している出口ポートと、
前記ボディと接触するエンドキャップと前記第1弁座部材との間で横方向に位置されている、前記ボディ孔から前記ボディの前記少なくとも1つの長手方向面まで貫通して延出している排出ポートと、
前記第1弁座部材と前記第2弁座部材とは、前記第1弁座部材の外側エッジと前記第2弁座部材の外側エッジ間の距離と等しい外側空間スペース、及び、前記第1弁座部材の中心線と前記第2弁座部材の中心線との間の距離と等しい中心線空間スペースを画定し、
前記弁部材は、さらに前記弁部材から延びている第1弁座係合部材及び第2弁座係合部材を含んでおり、それらは前記第1及び第2弁座部材の外側の間隔よりも小さく、前記第1及び第2弁座部材の中心線の間隔よりも大きい決まった距離で縦方向に互いに離間しており、前記弁部材が、下記の弁開位置、弁閉位置、排出位置の1つに動かされ、
前記第1弁座係合部材が前記第1弁座部材に接触し、前記第2弁座係合部材が前記第2弁座部材から外れており、前記入口ポートと前記出口ポート間の流体連通が可能であり、前記入口ポートと前記出口ポートの両者が前記排出ポートから隔離している、弁開位置、
前記第1弁座係合部材が前記第1弁座部材に接触し、前記第2弁座係合部材が前記第2弁座部材に接触しており、前記入口ポートと前記出口ポートと前記入口ポートと前記出口ポートとが互いに離隔している、弁閉位置、及び、
前記第1弁座係合部材が前記第1弁座部材から外れ、前記第2弁座係合部材が前記第2弁座部材に接触しており、前記出口ポートと前記排出ポート間の流体連通が可能であり、前記出口ポートと前記排出ポートの両者を前記入口ポートから隔離する、排出位置、
を備える流量制御弁。 - バイアス部材が前記非円形幾何学的成形ヘッドの端部面に対向して受け入れられ、反対側の端部は前記ステップモータに当接し、前記バイアス部材は、前記ねじ付シャフトと前記弁部材のねじ付孔との間のねじのクリアランスを除去するために、弁部材にバイアス力を付与し、ねじのピッチによって変化し得る前記ステップモータの所定の回転数によって、開位置に前記弁部材が繰り返し位置されることを可能にすることを特徴とする、請求項25に記載の流量制御弁。
- 第1及び第2の弁座係合部材は、前記弁部材から半径方向に外方に延び、前記弁部材が閉位置にあるとき、第1及び第2の弁座部材に密閉状態に係合する、請求項25に記載の流量制御弁。
- 前記第1及び第2ピストンの径と前記第1及び第2弁座係合部材の径とは、前記弁部材が弁閉位置にセットされたとき、前記第1ピストンに作用する加圧流体の力が前記第1及び第2弁座係合部材に作用する加圧流体の力でバランスされるように、実質的に等しい、請求項27に記載の流量制御弁。
- 前記第1ピストンの径は、前記弁が弁開位置にセットされたとき、前記第1ピストンに作用する加圧流体の力が、前記第2ピストンに作用する加圧流体の力でバランスされるように、前記第2ピストンの径と実質的に等しい、請求項27に記載の流量制御弁。
- 前記弁部材はスプール部材であり、前記第1及び第2ピストンの径と前記第1及び第2弁座係合部材の径とが実質的に等しい、請求項25に記載の流量制御弁。
- 前記弁部材はポペット弁であり、第1及び第2の弁係合部材の径が第1及び第2の弁座部材の径よりも大きい、請求項25に記載の流量制御弁。
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