JP5891405B2 - 基板のプラズマ処理方法およびプラズマ処理装置 - Google Patents
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本発明の一の実施の形態に係るプラズマエッチング処理装置の一例としてICP(誘導結合プラズマ)型のドライエッチング装置1の構成図を図1に示す。
まず、トレイ搬入処理を実施する。具体的には、ドライエッチング装置1において、チャンバ3を開放状態とさせる。その後、4個の基板収容孔19にそれぞれ基板2が収容された状態のトレイ15を、搬送機構によりチャンバ3内に搬入する。
次に、エッチング処理を実施する。具体的には、エッチング処理用のガスとしては、BCl3が主体のガスにCF4ガスを所定の混合比率にて混合した混合ガスが用いられ、ガス導入口3bを通じて混合ガスがチャンバ3内に供給される。それとともに、圧力制御部13によりチャンバ3内は所定圧力に調整される。続いて、第1の高周波電源部7からICPコイル5に高周波電圧を印加する。これによりチャンバ3内にプラズマが発生する。
続いて、チャンバ3内からそれぞれの基板2をトレイ15とともに搬出するトレイ搬出処理を実施する。具体的には、駆動機構17によりそれぞれのトレイ押上ロッド18を上昇させて、その上端でトレイ15の下面15cが押し上げられ、ステージ上部23のトレイ支持部28からトレイ15が浮き上がる。トレイ押上ロッド18とともにトレイ15がさらに上昇すると、トレイ15の基板支持部21と基板2の縁部2aの下面とが接触して、それぞれの基板2がトレイ15により支持された状態にて押し上げられ、基板保持部29の保持面31から浮き上がる。
2 基板
2a 縁部
3 チャンバ
4 天板
5 ICPコイル
7 第1の高周波電源部
9 基板ステージ
13 圧力制御部
15 トレイ
15a トレイ本体
17 駆動機構
18 トレイ押上ロッド
19 基板収容孔
21 基板支持部
23 ステージ上部
24 金属ブロック
25 絶縁体
28 トレイ支持部
29 基板保持部
30 ガイドリング
31 保持面
40 ESC電極
41 ESC駆動電源部
56 第2の高周波電源部
59 冷却ユニット
61 第1壁部
62 第2壁部
63 ディンプル部
71 冷却ガス供給孔
73 冷却ガス排気孔
75 冷却ガス制御部
Claims (5)
- レジスト膜によりマスクパターンが表面に形成されたサファイア基板を、トレイに開口された基板収容部に収容した状態で、チャンバ内の基板保持部にそれぞれのサファイア基板を載置する基板搬入工程と、
基板保持部とサファイア基板との間の空間に冷却ガスを充填しながらサファイア基板に対してプラズマ処理を行い、表面にマスクパターンに応じた凹凸構造を形成するプラズマ処理工程と、を備え、
プラズマ処理工程において、サファイア基板の中央領域に接する空間内の冷却ガスの圧力がサファイア基板の周縁領域に接する空間内の冷却ガスの圧力よりも低くして、サファイア基板における中央領域の温度を周縁領域の温度よりも高くした状態にて、プラズマ処理を行うことにより、サファイア基板の凹凸構造の高さを均一化する、サファイア基板のプラズマ処理方法。 - 基板保持部とサファイア基板との間の空間内において、サファイア基板の周縁領域に接する第1空間部分に冷却ガスを供給しながら、サファイア基板の中央領域に接する第2空間部分より冷却ガスを排気することにより、第1空間部分における冷却ガスの圧力よりも第2空間部分における圧力を低くした状態でプラズマ処理を行う、請求項1に記載のサファイア基板のプラズマ処理方法。
- 基板保持部とサファイア基板との間の空間内において、基板保持部の表面に形成された複数の突起構造が、第1空間部分から第2空間部分へ向かう冷却ガスの流れを阻害することにより、第1空間部分における冷却ガスの圧力よりも第2空間部分における圧力を低くした状態を形成する、請求項2に記載のサファイア基板のプラズマ処理方法。
- チャンバ内に、トレイに開口された基板収容部に収容されるとともにレジスト膜によりマスクパターンが表面に形成されたサファイア基板を、基板収容部を下方から貫通して保持する基板保持部を備え、基板保持部とサファイア基板との間の空間に冷却ガスを充填しながらサファイア基板に対してプラズマ処理を行い、表面にマスクパターンに応じた凹凸構造を形成するプラズマ処理装置であって、
基板保持部の上面には、サファイア基板の周縁領域に臨む第1領域に形成された複数の冷却ガス供給孔と、サファイア基板の中央領域に臨む第2領域に形成された少なくとも1つの冷却ガス排気孔を設け、
複数の冷却ガス供給孔より冷却ガスを供給するとともに基板保持部とサファイア基板との間の空間内に供給された冷却ガスを冷却ガス排気孔から排気することにより、基板保持部とサファイア基板との間の空間内においてサファイア基板の周縁領域に接する第1空間部分における冷却ガスの圧力よりもサファイア基板の中央領域に接する第2空間部分における圧力を低くすることにより、プラズマ処理中においてサファイア基板における中央領域の温度を周縁領域の温度よりも高くする冷却ガス制御部を備える、プラズマ処理装置。 - 基板保持部の上面には、第1空間部分から第2空間部分へ向かう冷却ガスの流れを阻害する複数の突起構造が形成されている、請求項4に記載のプラズマ処理装置。
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