JP5889737B2 - 長さ測定装置 - Google Patents
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Description
2 対象
3 スケール
4 中空成形部材
5 走査ヘッド
6 シール
10 固定要素
11 第1の区間
14 シール
15.1 孔
15.2 孔
16.1 ネジ
16.2 ネジ
20 固定要素
40 中空成形部材
41 スリット
42.1 ウェブ
42.2 ウェブ
43 溝
44.1 折曲部
44.2 折曲部
110 挟持メカニズム
111.1 当接部
111.2 当接部
112.1 支持部
112.2 支持部
113 ネジ
114 ネジ
115 孔
116 ネジ
131 固体ジョイント
132 固体ジョイント
133 固体ジョイント
134 固体ジョイント
212.1 折曲部
212.2 折曲部
400 中空成形部材
X 測定方向
Claims (13)
- 1つの中空成形部材(4)と、この中空成形部材(4)内に配設された1つのスケール(3)と、第1の区間(11)を備える1つの固定要素(10,20)とを有し、この第1の区間(11)が、一方でスケール(3)を第1の区間(11)に測定方向(X)に位置不動に固定し、他方で第1の区間(11)を測定すべき対象(1)の一方に測定方向(X)に位置不動に固定するために設定され、固定要素(10,20)が、少なくとも1つの第2の区間(12.1,12.2)を備え、この第2の区間によって、固定要素(10,20)が中空成形部材(4)に固定され、固定要素(10,20)の第1の区間(11)と第2の区間(12.1,12.2)間に、第2の区間(12.1,12.2)に対して相対的な第1の区間(11)の測定方向(X)の運動を可能にするために形成された少なくとも1つの長さ補正要素(131,132,133,134)が設けられている、互いに相対的に移動可能な2つの対象(1,2)の測定方向(X)の位置を測定するための長さ測定装置。
- 長さ補正要素(131,132,133,134)が、第2の区間(12.1,12.2)に対して相対的な第1の区間(11)の測定方向(X)だけの運動を可能にし、他のすべての方向(Y,Z)の運動を遮断するように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の長さ測定装置。
- 長さ補正要素(131,132,133,134)が、固体ジョイントの装置であることを特徴とする請求項2に記載の長さ測定装置。
- 固定ジョイントが、測定方向(X)に対して垂直に延在するそれぞれ1つの曲げ可能なウェブを備え、このウェブが、第1の区間(11)と第2の区間(12.1,12.2)間に延在することを特徴とする請求項3に記載の長さ測定装置。
- 固定要素(10,20)の第1の区間(11)が、挟持することによりスケール(3)をこの第1の区間(11)に位置不動に固定するために設定されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の長さ測定装置。
- 第1の区間(11)が、測定方向(X)に対して横に互いに間隔を置いた、下面でスケール(3)に当接するための当接部(111.1,111.2)を備えること、第1の区間(11)が、測定方向(X)に対して横に互いに間隔を置いた2つの支持部(112.1,112.2)を備え、これら支持部が、挟持時にスケール(3)の上面と接触し、スケール(3)を当接部(111.1,111.2)と支持部(112.1,112.2)間に挟持することを特徴とする請求項5に記載の長さ測定装置。
- 第1の区間(11)が、第1の区間(11)を位置不動に固定する際に測定すべき対象(1,2)の一方と一致する、ネジ(116)を収容するための孔(115)を備えることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つに記載の長さ測定装置。
- 第2の区間(12.1,12.2)が、測定方向(X)に互いに間隔を置いた2つの部分区間を有し、それぞれ両部分区間と第1の区間(11)間に、少なくとも1つの長さ補正要素(131,132,133,134)が配設されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1つに記載の長さ測定装置。
- 各部分区間が、ネジ(16.1,16.2)によって中空成形部材(4)に固定されていることを特徴とする請求項8に記載の長さ測定装置。
- スケール(3)が、メジャーテープであることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1つに記載の長さ測定装置。
- 中空成形部材(4)が、測定方向(X)に延在する溝(43)を備え、この溝内にスケール(3)が配設されていることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1つに記載の長さ測定装置。
- 測定方向(X)に相前後して配設された複数の中空成形部材(4,40,400)を有し、これら中空成形部材が、その結合箇所を、それぞれ弾性的なシール手段(6)によってシールされ、スケール(3)が、複数の中空成形部材(4,40,400)にわたって延在し、これら中空成形部材(4,40,400)の1つが、固定要素(10,20)を備えることを特徴とする請求項1〜11のいずれか1つに記載の長さ測定装置。
- スケール(3)が、その全長にわたって固定要素(10,20)だけに測定方向(X)に位置不動に固定され、さもなければ複数の中空成形部材(4,40,400)と測定すべき対象(1,2)に対して長手方向に移動可能に配設されていることを特徴とする請求項12に記載の長さ測定装置。
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AT401819B (de) * | 1990-10-02 | 1996-12-27 | Rsf Elektronik Gmbh | Längenmesssystem |
AT394446B (de) * | 1990-10-11 | 1992-03-25 | Rsf Elektronik Gmbh | Inkrementales laengenmesssystem |
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DE4406798C2 (de) * | 1994-03-02 | 1997-11-27 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
DE59404828D1 (de) * | 1994-05-06 | 1998-01-29 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Temperatur-kompensierte Positionsmesseinrichtung |
DE19912310B4 (de) * | 1999-03-19 | 2007-11-29 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmeßeinrichtung |
DE19922363A1 (de) * | 1999-05-14 | 2000-11-23 | Rexroth Star Gmbh | Einrichtung zur Ermittlung der Relativposition zweier relativ zueinander beweglicher Körper und Verfahren zur Herstellung einer solchen Einrichtung |
EP1111346A3 (en) * | 1999-11-30 | 2003-10-22 | RENISHAW plc | Device for holding a measurement scale |
JP3619438B2 (ja) * | 2000-09-07 | 2005-02-09 | 株式会社ミツトヨ | ユニット型リニアスケール |
JP3806328B2 (ja) * | 2001-09-27 | 2006-08-09 | 株式会社ミツトヨ | ユニット型直線変位測定装置、及び、その端部固定具 |
US7253609B2 (en) * | 2001-10-08 | 2007-08-07 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Encapsulated measuring apparatus for detecting a velocity and/or acceleration of a rotationally or linearly moved component |
US6612047B1 (en) * | 2002-02-19 | 2003-09-02 | Acu-Rite, Inc. | Length measuring device |
JP4509483B2 (ja) * | 2002-03-30 | 2010-07-21 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | リニアエンコーダ及びリニアガイドユニット |
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CN100460694C (zh) * | 2004-05-18 | 2009-02-11 | 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司 | 位置测量装置 |
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JP2006030086A (ja) * | 2004-07-20 | 2006-02-02 | Mitsutoyo Corp | 長さ測定装置の弾性固定具及び固定方法 |
DE102005027025B4 (de) * | 2005-06-11 | 2015-04-30 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Halterung für einen Maßstab |
DE102005060687A1 (de) * | 2005-12-15 | 2007-06-21 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Sicherungsvorrichtung für den Transport und die Montage einer Messeinrichtung |
DE102006003980A1 (de) * | 2006-01-27 | 2007-08-02 | Schaeffler Kg | Linearführungseinheit mit Längenmesssystem |
JP2008089027A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Nsk Ltd | リニアガイド及びエンドキャップ |
DE102007031976A1 (de) * | 2007-07-10 | 2009-01-15 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Längenmesseinrichtung |
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