JP6635811B2 - 測定装置 - Google Patents
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 84
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 13
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 9
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 description 20
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 7
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 3
- 230000036316 preload Effects 0.000 description 3
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 229920005177 Duracon® POM Polymers 0.000 description 1
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Description
前記搬送機構に連結される連結部と、
前記水準器を保持する保持部と、
前記保持部に取り付けられており、前記測定面に当接することによって前記保持部の鉛直方向に対する傾きを前記測定面に倣わせる当接部と、
前記連結部と前記保持部との間に配置され、前記当接部と前記測定面との間に生じる力を制御する制御部とを有し、
前記制御部は、前記連結部と前記保持部との間に配置され,流体を出し入れすることで膨縮可能となっているバッグと、前記バッグ内の流体圧を検出する圧力センサと、前記圧力センサの出力に応じて、前記バッグ内に前記流体を導入し或いは前記バッグ内から前記流体を排出するエア圧調整器とを有することを特徴とする。
m1(x)=f(x−d)+ez(x)−d・Ep(x) (1)
m2(x)=f(x)+ez(x) (2)
m3(x)=f(x+d)+ez(x)+d・Ep(x) (3)
μ1(x)=m3(x)−m2(x)=f(x+d)−f(x)+d・Ep(x) (4)
μ2(x)=m2(x)−m1(x)=f(x)−f(x−d)+d・Ep(x) (5)
Δμ(x)=μ1(x)−μ2(x)=f(x+d)−2f(x)+f(x−d) (6)
Δ2f(x)
={f(x+d)−2・f(x)+f(x−d)}/d2
=[{f(x+d)−f(x)}−{f(x)−f(x−d)}]/d2
={m3(x)−2・m2(x)−m1(x)}/d2 (7)
m1(x)=f(x−d)+ez(x)−d・Ep(x)+k1 (1)′
m2(x)=f(x)+ez(x)+k2 (2)′
m3(x)=f(x+d)+ez(x)+d・Ep(x)+k3 (3)′
Δ2f(x)
={f(x+d)−2・f(x)+f(x−d)}/d2
={m3(x)−2・m2(x)−m1(x)}/d2−{k3−2・k2+k1}/d2
={m3(x)−2・m2(x)−m1(x)}−k123/d2 (7)′
ただし、式(7)′において、k3−2・k2+k1=k123とした。
μ1(x+d)=f(x+2d)−f(x+d)+d・Ep(x+d) (4)′
μ2(x)=f(x)−f(x−d)+d・Ep(x)+α (5)′
ΔEp(x)≡d(Ep(x+d)−Ep(x))=μ1(x+d)−μ2(x)+α (8)
300 測定装置
301 ホルダ
301a 側面
301b 側面
301c 側面
301d 上面
301e ねじ孔
302 パッド
302a 当接面
303 パッド
303a 当接面
304 エアバッグ
305 ブラケット
305a 斜板
305b 貫通孔
306 載置板
306a 貫通孔
307 ボルト
310 配管
311 エア制御装置
320 固定軸
320a 雄ねじ部
321 ワッシャ
322 円筒ゴム
323 ナット
350 アッパステー
351 固定板
352 保持板
352a 貫通孔
353 補強板
354 スタッドボルト
355 ナット
360 ロアステー
361 固定板
362 保持板
362a 貫通孔
363 補強板
365 ナット
OBJ 被測定物
RBT ロボット
Claims (2)
- 搬送機構により位置決めされて、水準器を用いて鉛直方向に対する測定面の傾きを測定可能な測定装置において、
前記搬送機構に連結される連結部と、
前記水準器を保持する保持部と、
前記保持部に取り付けられており、前記測定面に当接することによって前記保持部の鉛直方向に対する傾きを前記測定面に倣わせる当接部と、
前記連結部と前記保持部との間に配置され、前記当接部と前記測定面との間に生じる力を制御する制御部とを有し、
前記制御部は、前記連結部と前記保持部との間に配置され,流体を出し入れすることで膨縮可能となっているバッグと、前記バッグ内の流体圧を検出する圧力センサと、前記圧力センサの出力に応じて、前記バッグ内に前記流体を導入し或いは前記バッグ内から前記流体を排出するエア圧調整器とを有することを特徴とする測定装置。 - 前記搬送機構はロボットであることを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016017002A JP6635811B2 (ja) | 2016-02-01 | 2016-02-01 | 測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016017002A JP6635811B2 (ja) | 2016-02-01 | 2016-02-01 | 測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017138108A JP2017138108A (ja) | 2017-08-10 |
JP6635811B2 true JP6635811B2 (ja) | 2020-01-29 |
Family
ID=59564857
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016017002A Active JP6635811B2 (ja) | 2016-02-01 | 2016-02-01 | 測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6635811B2 (ja) |
-
2016
- 2016-02-01 JP JP2016017002A patent/JP6635811B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017138108A (ja) | 2017-08-10 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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