JP3619438B2 - ユニット型リニアスケール - Google Patents

ユニット型リニアスケール Download PDF

Info

Publication number
JP3619438B2
JP3619438B2 JP2000271270A JP2000271270A JP3619438B2 JP 3619438 B2 JP3619438 B2 JP 3619438B2 JP 2000271270 A JP2000271270 A JP 2000271270A JP 2000271270 A JP2000271270 A JP 2000271270A JP 3619438 B2 JP3619438 B2 JP 3619438B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
frame
fixed
fixed block
scale
type linear
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2000271270A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2002081929A (ja
Inventor
洋明 川田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp filed Critical Mitutoyo Corp
Priority to JP2000271270A priority Critical patent/JP3619438B2/ja
Publication of JP2002081929A publication Critical patent/JP2002081929A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3619438B2 publication Critical patent/JP3619438B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Description

【0001】
【発明が属する技術分野】
本発明は、メインスケールが収容されている枠体に対して、該スケールに沿って移動するインデックススケールの相対移動量から長さ方向の移動量を検出する検出ヘッドが一体的に形成されているユニット型リニアスケールに関する。
【0002】
【従来の技術】
相対移動する対象物(移動体)の直線変位を検出する装置として、メインスケールが収容されている長尺状の枠体と、該枠体に対して相対移動可能なインデックススケール等の検出部が収容されている検出ヘッドが一体的に形成されているユニット型リニアスケールが一般に用いられている。
【0003】
図4(A)、(B)、(C)は、このようなユニット型リニアスケールの一例を一方の対象物に固定した状態の平面図、左側面図、正面図をそれぞれ示したものである。この図に示されるように、このユニット型リニアスケールは、前記メインスケール(図示せず)が収容されているアルミ枠(枠体)10と、前記検出部(図示せず)が収容されている検出ヘッド12とが一体的に形成され、該検出ヘッド12がアルミ枠10の長手方向である測長方向に沿って移動可能になっている。
【0004】
このユニット型リニアスケールでは、アルミ枠10がその測長方向の両端部に取付けられた固定ブロック14の固定位置にあたるねじ孔14Aを介して、一方の対象物(図中、相手面)にねじ止めすることにより不動状態に固定されると共に、前記検出ヘッド12が図示しない他方の対象物に固定され、両対象物の相対移動量をアルミ枠10と検出ヘッド12の相対移動量から検出するようになっている。
【0005】
このようなユニット型リニアスケールとしては、前記図4に相当する図5に示すように、アルミ枠10の対象物に対する固定を、測長方向両端部の固定ブロック14だけでなく、測長方向の途中(例えば、中心位置である中央部)に取付けた固定部材16の固定位置16Aをねじ止めして、同様に相手面に3点で固定するものもある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述したアルミ枠10の両端部に取付けられた固定用ブロックによる2点固定や、それと測長方向途中の固定部材による3点固定を行うユニット型リニアスケールには、該アルミ枠10を固定する対象物が鉄をベースとする構造体であることが多いため、測定環境の温度が変化すると鉄よりもアルミの方が線膨張係数が大きいため、アルミ枠が変形し、結果として収容されているメインスケールに曲がりやうねり等の変形が生じるため、該スケールの精度の直線性が低下するという問題がある。
【0007】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、アルミ枠等の枠体と該枠体を固定する対象物との線膨張係数の差が大きい場合でも、メインスケールの精度の直線性が低下することを防止できるユニット型リニアスケールを提供することを課題とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、メインスケールが収容されている測長方向に延びる枠体を、測長方向両端部に配した固定ブロックをそれぞれねじ止めして、対象物に固定するユニット型リニアスケールにおいて、前記両端部のいずれか一方が、前記固定ブロックに直結され、該固定ブロックを介して不動状態に固定され、他方の端部が、前記固定ブロックに対して、測長方向のみに自由度を有した、前記枠体の伸びを吸収する熱膨張吸収機構を介して係止され、前記熱膨張吸収機構が、測長方向に延びる滑り軸と、該軸が滑動する軸受とを備えた滑り軸受機構であり、更に、前記滑り軸が、前記枠体及び前記固定ブロックのいずれか一方に固定されている支持部材により支持され、前記軸受が他方の固定ブロック又は枠体に形成されているようにしたことにより、前記課題を解決したものである。
【0009】
即ち、本発明においては、枠体の測長方向両端部のいずれか一方を不動状態に固定し、他方を固定ブロックに対して、測長方向のみの伸びを吸収できる熱膨張吸収機構を介して係止するようにしたので、温度変化により枠体が熱膨張したとしても、該枠体に変形が生じることを防止できる。
【0010】
本発明は、又、メインスケールが収容されている測長方向に延びる枠体を、測長方向両端部に配した固定ブロックと、測長方向途中に配した固定部材をそれぞれねじ止めして、対象物に固定するユニット型リニアスケールにおいて、前記測長方向途中が、前記固定部材に直結され、該固定部材を介して不動状態に固定され、前記両端部が、前記固定ブロックに対して、測長方向のみに自由度を有した、前記枠体の伸びを吸収する熱膨張吸収機構を介してそれぞれ係止され、前記熱膨張吸収機構が、測長方向に延びる滑り軸と、該軸が滑動する軸受とを備えた滑り軸受機構であり、更に、前記滑り軸が、前記枠体及び前記固定ブロックのいずれか一方に固定されている支持部材により支持され、前記軸受が他方の固定ブロック又は枠体に形成されているようにしことにより、同様に前記課題を解決したものである。
【0011】
即ち、本発明においては、枠体を測長方向途中で不動状態に固定するとともに、測長方向途中で不動状態に固定するとともに、測長方向両端部ではいずれも前記熱膨張吸収機構により、温度変化による伸びを吸収できるようにしたので、同様に枠体に変形が生じることを防止できる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【0013】
図1は、本発明に係る第1実施形態のユニット型リニアスケールが備えているアルミ枠10を、前記図4(C)と同じ方向から見た測長方向両端部の近傍を拡大して示したものである。但し、相手面(対象物)は図示を省略してある。
【0014】
本実施形態では、ユニット型リニアスケール10を構成するアルミ枠(枠体)の右側の測長方向端部が、従来と同様の固定ブロック14にねじ18により直結され、該固定ブロック14を固定位置(ねじ孔)14Aを介して対象物(図示せず)にねじ止めして固定すると、測長方向、これに直交する相手面に垂直な方向及び相手面に平行な方向の3軸方向の全ての方向に対してアルミ枠10の動きが規制されるため、この右側端部は完全に不動状態の固定端になっている。
【0015】
一方、左側端部は、固定ブロック20に対して従来と異なる方法で取付けられている。図2には、アルミ枠10の内側壁に板ばね22が固定され、該板ばね22に測長方向に延びる丸棒形状の滑り軸24が支持され、該滑り軸24が前記固定ブロック20に形成されている穴からなる軸受26に滑動可能になっている。即ち、この端部は、ねじ孔20Aでねじ止めされる固定ブロック20に対して、測長方向のみの伸びを吸収することができる滑り軸24と軸受26からなる滑り軸受機構(熱膨張吸収機構)を介して係止されている。従って、滑り軸24の軸方向、即ち測長方向に直交する方向には動きが完全に規制されるが、移動方向には伸縮する自由度が残されている自由端になっている。
【0016】
以上詳述した本実施形態によれば、外気(環境)温度の変化によるアルミ枠10の測長方向(長手方向)への伸びは、軸受26に対する軸24の滑りとともに、板ばね22の撓みによっても吸収することができるため、アルミ枠10の曲がりやうねり等の発生が有効に防止できる。又、測長方向以外の方向に対するズレ(伸び)が発生しないため、温度変化による測定精度の低下(メインスケールの精度の直線性の低下等)を防止することができる。
【0017】
又、測長方向両端部の片側を固定端とし、他方の片側を自由端とすることにより、アルミ枠10に対する伸びの基準点の設定と、伸びの方向の設定が可能となる。
【0018】
又、滑り軸24が板ばね22により支持されているため、図3に示すように、アルミ枠10を取付けるときに、相手面の傾きを吸収できることから、該アルミ枠10やこれに収容されているメインスケールに曲がり等の無理な力が加わることを緩和できるという利点もある。
【0019】
次に、本発明に係る第2実施形態として、図示は省略するが、前記図5を用いて説明したような、測長方向両端部及びその中央部(測長方向途中)の3点で固定する方式のユニット型リニアスケールであって、中央部を従来と同様に不動状態に固定し、測長方向両端部のいずれにも前記図2に示した自由端側と同様の熱膨張吸収機構により係止されているブロック20を配置するものを挙げることができる。
【0020】
本実施形態によれば、アルミ枠10の中央部を固定端とすることにより、該中央部を伸びの基準点に設定することが可能となり、アルミ枠10に左右に均等な伸びを生じさせることが可能となることから、スケール精度の直線性の低下を効果的に防止することができる。
【0021】
以上、本発明について具体的に説明したが、本発明は、前記実施形態に示したものに限られるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【0022】
例えば、前記実施形態では、滑り軸が板ばねに支持されている場合を示したが、板ばね以外の支持部材に支持されているようにしてもよい。
【0023】
又、前記実施形態では、滑り軸24がアルミ枠10側に支持され、軸受26が固定ブロック20側に形成されている場合を示したが、逆に滑り軸24が固定ブロック20側に支持され、軸受26がアルミ枠10側に形成されているようにしてもよい。
【0024】
【発明の効果】
以上説明したとおり、本発明によれば、メインスケールが収容されている枠体と、該枠体を固定する対象物との間の線膨張係数の差が大きい場合でも、該スケールの精度の直線性が低下することを有効に防止でき、結果として測定精度を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る一実施形態のユニット型リニアスケールが備えているアルミ枠の要部を示す概略部分正面図
【図2】上記アルミ枠の自由端側の端部近傍を示す断面図
【図3】本実施形態の効果を示す図2に相当する断面図
【図4】従来のユニット型リニアスケールの外観を示す平面図、左側面図、正面図
【図5】従来の他のユニット型リニアスケールの外観を示す平面図、左側面図、正面図
【符号の説明】
10…アルミ枠
12…検出ヘッド
14…固定ブロック
16…固定部材
18…ねじ
20…固定ブロック
22…板ばね
24…滑り軸
26…軸受

Claims (2)

  1. メインスケールが収容されている測長方向に延びる枠体を、測長方向両端部に配した固定ブロックをそれぞれねじ止めして、対象物に固定するユニット型リニアスケールにおいて、
    前記両端部のいずれか一方が、前記固定ブロックに直結され、該固定ブロックを介して不動状態に固定され、
    他方の端部が、前記固定ブロックに対して、測長方向のみに自由度を有した、前記枠体の伸びを吸収する熱膨張吸収機構を介して係止され
    前記熱膨張吸収機構が、測長方向に延びる滑り軸と、該軸が滑動する軸受とを備えた滑り軸受機構であり、更に、
    前記滑り軸が、前記枠体及び前記固定ブロックのいずれか一方に固定されている支持部材により支持され、前記軸受が他方の固定ブロック又は枠体に形成されていることを特徴とするユニット型リニアスケール。
  2. メインスケールが収容されている測長方向に延びる枠体を、測長方向両端部に配した固定ブロックと、測長方向途中に配した固定部材をそれぞれねじ止めして、対象物に固定するユニット型リニアスケールにおいて、
    前記測長方向途中が、前記固定部材に直結され、該固定部材を介して不動状態に固定され、
    前記両端部が、前記固定ブロックに対して、測長方向のみに自由度を有した、前記枠体の伸びを吸収する熱膨張吸収機構を介してそれぞれ係止され
    前記熱膨張吸収機構が、測長方向に延びる滑り軸と、該軸が滑動する軸受とを備えた滑り軸受機構であり、更に、
    前記滑り軸が、前記枠体及び前記固定ブロックのいずれか一方に固定されている支持部材により支持され、前記軸受が他方の固定ブロック又は枠体に形成されていることを特徴とするユニット型リニアスケール。
JP2000271270A 2000-09-07 2000-09-07 ユニット型リニアスケール Expired - Fee Related JP3619438B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000271270A JP3619438B2 (ja) 2000-09-07 2000-09-07 ユニット型リニアスケール

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000271270A JP3619438B2 (ja) 2000-09-07 2000-09-07 ユニット型リニアスケール

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002081929A JP2002081929A (ja) 2002-03-22
JP3619438B2 true JP3619438B2 (ja) 2005-02-09

Family

ID=18757582

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000271270A Expired - Fee Related JP3619438B2 (ja) 2000-09-07 2000-09-07 ユニット型リニアスケール

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3619438B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105423981A (zh) * 2015-12-22 2016-03-23 大连国检计量有限公司 一种基于比较测量法的碳纤维量仪及其校准与测量方法

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011079464A1 (de) * 2011-07-20 2013-01-24 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Längenmesseinrichtung
JP6300431B2 (ja) * 2012-04-27 2018-03-28 キヤノン株式会社 エンコーダ、レンズ装置、および、カメラ
DE102018100516B4 (de) * 2018-01-11 2022-01-20 Turck Holding Gmbh Messgerät, insbesondere linearwegmessgerät

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105423981A (zh) * 2015-12-22 2016-03-23 大连国检计量有限公司 一种基于比较测量法的碳纤维量仪及其校准与测量方法
CN105423981B (zh) * 2015-12-22 2017-12-22 大连国检计量有限公司 一种基于比较测量法的碳纤维量仪及其校准与测量方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2002081929A (ja) 2002-03-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6255081B2 (ja)
JPS59210314A (ja) 測定装置
JPH0332001B2 (ja)
JP4434452B2 (ja) 測尺装置
JPH0547768B2 (ja)
JP3806328B2 (ja) ユニット型直線変位測定装置、及び、その端部固定具
JPS6337208A (ja) 測長機
JP2004069510A (ja) デジタル測定ヘッド
JP3619438B2 (ja) ユニット型リニアスケール
JPH0814878A (ja) 位置測定装置
JPH0374925B2 (ja)
US7356940B2 (en) Elastic fixture and attachment method for length measuring apparatus
JP2962507B2 (ja) 位置測定装置
JPH0226725B2 (ja)
US11519763B2 (en) Assembly including a main support, an intermediate support disposed on the main support, and a scale disposed on the intermediate support
JP3641141B2 (ja) 光学式測長機
JP3668111B2 (ja) ユニット型リニアスケール
JP2515842B2 (ja) 2つの対象物の相対位置の決定のための測定装置
JP3619439B2 (ja) ユニット型リニアスケール
JP2004028770A (ja) 枠多点固定タイプのユニット型直線変位測定装置、及び、その固定方法
JP2000131046A (ja) 変位測定装置
JP5111755B2 (ja) 直線ガイド搭載装置
JP2582210B2 (ja) 変位測定装置
CN209920482U (zh) 成型机以及用于成型机的操作装置
JPH11500230A (ja) 物体間の相対距離を測定するための距離測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20040811

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040817

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20041014

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20041109

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20041112

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 3619438

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101119

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131119

Year of fee payment: 9

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees