JPH0814878A - 位置測定装置 - Google Patents
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- JPH0814878A JPH0814878A JP7042192A JP4219295A JPH0814878A JP H0814878 A JPH0814878 A JP H0814878A JP 7042192 A JP7042192 A JP 7042192A JP 4219295 A JP4219295 A JP 4219295A JP H0814878 A JPH0814878 A JP H0814878A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
- G01D5/34761—Protection devices, e.g. caps; Blowing devices
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- Devices For Conveying Motion By Means Of Endless Flexible Members (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明の目的は、支持体と支持体が固定され
ている測定されるべき対象物との相異なる熱的特性の際
に、実際上測定値の悪化の原因とならずかつ支持体が比
較的応力なしにかつそれにもかかわらず安定に支承され
るような、位置測定装置を創造することである。 【構成】 ２つの対象物の相対位置の測定のための位置
測定装置にして、その際一方の対象物に、他方の対象物
６に固定可能な走査装置４によって走査可能な目盛板２
を備えた支持体１が固定されておりかつ支持体１と一方
の対象物５との間の平面運動による長さ補償が可能であ
る、前記位置測定装置において、支持体１と一方の対象
物５との間に測定方向Ｘに延び、支持体１の平面運動可
能な支承のための弾性接着剤層１０、１６が設けられて
いることを特徴とする前記位置測定装置。
ている測定されるべき対象物との相異なる熱的特性の際
に、実際上測定値の悪化の原因とならずかつ支持体が比
較的応力なしにかつそれにもかかわらず安定に支承され
るような、位置測定装置を創造することである。 【構成】 ２つの対象物の相対位置の測定のための位置
測定装置にして、その際一方の対象物に、他方の対象物
６に固定可能な走査装置４によって走査可能な目盛板２
を備えた支持体１が固定されておりかつ支持体１と一方
の対象物５との間の平面運動による長さ補償が可能であ
る、前記位置測定装置において、支持体１と一方の対象
物５との間に測定方向Ｘに延び、支持体１の平面運動可
能な支承のための弾性接着剤層１０、１６が設けられて
いることを特徴とする前記位置測定装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、２つの対象物の相対位
置の測定のための位置測定装置にして、その際一方の対
象物に、他方の対象物に固定可能な走査装置によって走
査可能な目盛板を備えた支持体が固定されておりかつ支
持体と一方の対象物との間の平面運動による長さ補償が
可能である、前記位置測定装置に関する。
置の測定のための位置測定装置にして、その際一方の対
象物に、他方の対象物に固定可能な走査装置によって走
査可能な目盛板を備えた支持体が固定されておりかつ支
持体と一方の対象物との間の平面運動による長さ補償が
可能である、前記位置測定装置に関する。
【０００２】この種の位置測定装置は工作機械又は座標
測定機械の２つの構成部分の相対位置の測定のために使
用される。
測定機械の２つの構成部分の相対位置の測定のために使
用される。
【０００３】
【従来の技術】西独国特許明細書２５０５５８７ Ｃ３
から、長さ測定装置が公知であり、その際目盛支持体は
合理的に一端で枢支的に形成された固定要素によって測
定されるべき一方の構成部分に固定されている。
から、長さ測定装置が公知であり、その際目盛支持体は
合理的に一端で枢支的に形成された固定要素によって測
定されるべき一方の構成部分に固定されている。
【０００４】類似して形成された長さ測定装置はヨーロ
ッパ特許明細書０１１００５９ Ｂ１に記載されてい
る。ハウジングの端に弾性固定要素がそして中央には剛
固な固定要素が設けられている。目盛板と支持体との間
の相異なる熱膨張率の際の追加の測定精度不良を回避す
るために、高弾性接着剤層によって目盛板の固定が行わ
れる。
ッパ特許明細書０１１００５９ Ｂ１に記載されてい
る。ハウジングの端に弾性固定要素がそして中央には剛
固な固定要素が設けられている。目盛板と支持体との間
の相異なる熱膨張率の際の追加の測定精度不良を回避す
るために、高弾性接着剤層によって目盛板の固定が行わ
れる。
【０００５】ヨーロッパ特許明細書０２６４８０１Ａ１
によれば、長さ補償のための目盛板はボール上に支承さ
れている。西独国特許明細書３５０９３９０ Ａ１−本
発明はこれから出発している−による長さ測定装置はハ
ウジングの端に弾性固定要素をそしてこれらの間に位置
する他の固定要素を有する。この他の固定要素では、溝
に嵌入する溝挿入物によってハウジングに締付け固定さ
れる固定アングルが対象とされる。弾性中間層はハウジ
ングと固定アングルとの間の平面運動を可能にすべきで
ある。しかしねじ固定によって応力のない結合が行われ
ることが欠点である。実際にはねじを溝挿入物と共に均
一に占めることは不可能であり、その結果ハウジングに
は個々の固定個所で相異なる力が作用し、このことは誤
差の原因となり得る。
によれば、長さ補償のための目盛板はボール上に支承さ
れている。西独国特許明細書３５０９３９０ Ａ１−本
発明はこれから出発している−による長さ測定装置はハ
ウジングの端に弾性固定要素をそしてこれらの間に位置
する他の固定要素を有する。この他の固定要素では、溝
に嵌入する溝挿入物によってハウジングに締付け固定さ
れる固定アングルが対象とされる。弾性中間層はハウジ
ングと固定アングルとの間の平面運動を可能にすべきで
ある。しかしねじ固定によって応力のない結合が行われ
ることが欠点である。実際にはねじを溝挿入物と共に均
一に占めることは不可能であり、その結果ハウジングに
は個々の固定個所で相異なる力が作用し、このことは誤
差の原因となり得る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、支持
体と支持体が固定されている測定されるべき対象物との
相異なる熱的特性の際に、実際上測定値の悪化の原因と
ならずかつ支持体が比較的応力なしにかつそれにもかか
わらず安定に支承されるような、位置測定装置を創造す
ることを課題とする。更に本発明によって簡単かつスペ
ースを節約した固定が行われることを課題とする。
体と支持体が固定されている測定されるべき対象物との
相異なる熱的特性の際に、実際上測定値の悪化の原因と
ならずかつ支持体が比較的応力なしにかつそれにもかか
わらず安定に支承されるような、位置測定装置を創造す
ることを課題とする。更に本発明によって簡単かつスペ
ースを節約した固定が行われることを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、この課
題は、支持体と一方の対象物との間に測定方向に延び、
支持体の平面運動の支承のための弾性接着剤層が設けら
れていることを特徴とする前記位置測定装置によって解
決される。
題は、支持体と一方の対象物との間に測定方向に延び、
支持体の平面運動の支承のための弾性接着剤層が設けら
れていることを特徴とする前記位置測定装置によって解
決される。
【０００８】本発明の利点は、支持体と測定されるべき
対象物との間の殆ど妨げられない長さ補償が行われるこ
とができることにある。更に安定したかつ振動のない固
定が保証される。本発明による位置測定装置は簡単かつ
スペース節約的な構成によって特徴づけられる。
対象物との間の殆ど妨げられない長さ補償が行われるこ
とができることにある。更に安定したかつ振動のない固
定が保証される。本発明による位置測定装置は簡単かつ
スペース節約的な構成によって特徴づけられる。
【０００９】本発明の有利な構成は従属請求項に記載さ
れている。 ( 実施例)本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
れている。 ( 実施例)本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【００１０】図１〜３には目盛板２のための支持体とし
てのハウジング１を備えた密閉型長さ測定装置が示され
ている。目盛板２には走査装置４によって光電式に走査
される目盛３が付けられている。ハウジング１はアルミ
ニウムから成る中空体であり、その内室にはガラスから
成る目盛板２が固定されている。２つの対象物５、６の
間の相対運動を測定するために、ハウジング１はこの一
方の対象物５にそして走査装置４は連行体７を介して他
方の対象物６に固定されている。一方の対象物は例えば
往復台５でありかつ他方の対象物は工作機械のベット６
である。
てのハウジング１を備えた密閉型長さ測定装置が示され
ている。目盛板２には走査装置４によって光電式に走査
される目盛３が付けられている。ハウジング１はアルミ
ニウムから成る中空体であり、その内室にはガラスから
成る目盛板２が固定されている。２つの対象物５、６の
間の相対運動を測定するために、ハウジング１はこの一
方の対象物５にそして走査装置４は連行体７を介して他
方の対象物６に固定されている。一方の対象物は例えば
往復台５でありかつ他方の対象物は工作機械のベット６
である。
【００１１】目盛板２は弾性接着剤８によってハウジン
グ１の内面に固定されており、その結果目盛板の平面運
動の支承が中央Ｍから対称的に可能である。往復台５の
面へのハウジング１の固定のために、鋼から成るレール
９が設けられている。ハウジングをレールを介して固定
することは、既に西独国特許明細書２３４９９４４ Ｃ
３及び米国特許明細書４５８６７６０号から公知であ
る。この公知の長さ測定装置ではハウジングとレールと
の間の連結はねじを介して行われ、それによってハウジ
ングの締付けが生じかつ温度変化の際にレールとハウジ
ングとの間の自由な長さ補償は不可能である。これに対
して本発明では連結は高弾性接着剤層１０によって行わ
れる。レール９はハウジング１の全長に亘ってハウジン
グ１の溝１１中に嵌着されている。この連結を特別に安
定にかつ振動なしに形成するために、レール９の側面の
接着剤層１０と溝１１の側面との間に比較的硬く凝固す
る注入材料１２が挿入される。接着剤層１０は略０. １
ｍｍの均一な厚さを有し、このことはハウジングの全長
に亘って等しい特性を保証する。ハウジング１の中央Ｍ
に安定した測定基準点を得るために、この個所Ｍにねじ
１５が取りつけられ、ねじによってハウジング１がレー
ル９に剛固に従って往復台５に剛固に結合される。この
結合は図３に詳しく記載されている。小さいかつ従って
軽いハウジング１ではねじ１５は省略されかつ図２に示
す結合によって置換される。この場合強制的にハウジン
グ１の中央Ｍに測定基準点が生じ、温度変化の際ハウジ
ング１が測定基準点から測定方向Ｘに対称的に伸びるこ
とができる。
グ１の内面に固定されており、その結果目盛板の平面運
動の支承が中央Ｍから対称的に可能である。往復台５の
面へのハウジング１の固定のために、鋼から成るレール
９が設けられている。ハウジングをレールを介して固定
することは、既に西独国特許明細書２３４９９４４ Ｃ
３及び米国特許明細書４５８６７６０号から公知であ
る。この公知の長さ測定装置ではハウジングとレールと
の間の連結はねじを介して行われ、それによってハウジ
ングの締付けが生じかつ温度変化の際にレールとハウジ
ングとの間の自由な長さ補償は不可能である。これに対
して本発明では連結は高弾性接着剤層１０によって行わ
れる。レール９はハウジング１の全長に亘ってハウジン
グ１の溝１１中に嵌着されている。この連結を特別に安
定にかつ振動なしに形成するために、レール９の側面の
接着剤層１０と溝１１の側面との間に比較的硬く凝固す
る注入材料１２が挿入される。接着剤層１０は略０. １
ｍｍの均一な厚さを有し、このことはハウジングの全長
に亘って等しい特性を保証する。ハウジング１の中央Ｍ
に安定した測定基準点を得るために、この個所Ｍにねじ
１５が取りつけられ、ねじによってハウジング１がレー
ル９に剛固に従って往復台５に剛固に結合される。この
結合は図３に詳しく記載されている。小さいかつ従って
軽いハウジング１ではねじ１５は省略されかつ図２に示
す結合によって置換される。この場合強制的にハウジン
グ１の中央Ｍに測定基準点が生じ、温度変化の際ハウジ
ング１が測定基準点から測定方向Ｘに対称的に伸びるこ
とができる。
【００１２】振動強度を高めるために、ハウジング１は
往復台５の面に支持される。この支持範囲Ａには他の接
着剤層１６が設けられている、接着剤層は往復台の面に
当接する滑り層１７によってカバーされている。この措
置によって支持範囲Ａにおいてもハウジング１と往復台
５との間の阻止されない長さ伸張が保証される。支持範
囲Ａにおいても他の弾性層をつけることも可能である。
支持範囲Ａにおいて唯１つの接着剤層が設けられること
もできる。
往復台５の面に支持される。この支持範囲Ａには他の接
着剤層１６が設けられている、接着剤層は往復台の面に
当接する滑り層１７によってカバーされている。この措
置によって支持範囲Ａにおいてもハウジング１と往復台
５との間の阻止されない長さ伸張が保証される。支持範
囲Ａにおいても他の弾性層をつけることも可能である。
支持範囲Ａにおいて唯１つの接着剤層が設けられること
もできる。
【００１３】図４〜図９による実施例において、レール
９はダブテール状に形成されており、それによってハウ
ジング１とレール９との間の形状一体的結合は改良され
る。アンダカットを備えた他の溝形態も可能である。図
４においてレール９はハウジング１のダブテール形の溝
１１の底に接着剤層１０によって固定されている。レー
ルの側面には同様に接着剤層１０がつけられ、接着剤層
はレールと注入材料１２との間の分離層として作用す
る。注入材料１２によってレール９が応力なしに固定さ
れ、その際接着剤層１０によって、ハウジング上の力が
測定誤差の原因となり得ることなしに、レール９の平面
運動伸張が可能にされる。接着剤層１０にはこの平面運
動が補償される。
９はダブテール状に形成されており、それによってハウ
ジング１とレール９との間の形状一体的結合は改良され
る。アンダカットを備えた他の溝形態も可能である。図
４においてレール９はハウジング１のダブテール形の溝
１１の底に接着剤層１０によって固定されている。レー
ルの側面には同様に接着剤層１０がつけられ、接着剤層
はレールと注入材料１２との間の分離層として作用す
る。注入材料１２によってレール９が応力なしに固定さ
れ、その際接着剤層１０によって、ハウジング上の力が
測定誤差の原因となり得ることなしに、レール９の平面
運動伸張が可能にされる。接着剤層１０にはこの平面運
動が補償される。
【００１４】強制力なしにかつ長さ方向に運動可能に固
定を構成するために、図５によれば接着剤層１０と注入
材料１２との間に滑り層１８が設けられている。この滑
り層１８はテフロンフィルム又は油紙であり得る。保護
紙が滑り層として役立つ接着フィルムが使用される場合
には特に有利である。滑り層は代わりに又は追加的に接
着剤層と溝の側面又はレールの側面との間に設けられて
いることもできる。
定を構成するために、図５によれば接着剤層１０と注入
材料１２との間に滑り層１８が設けられている。この滑
り層１８はテフロンフィルム又は油紙であり得る。保護
紙が滑り層として役立つ接着フィルムが使用される場合
には特に有利である。滑り層は代わりに又は追加的に接
着剤層と溝の側面又はレールの側面との間に設けられて
いることもできる。
【００１５】図６によれば、レール９は底及び溝１１の
側面に接着剤層１０を介して固定されている。レール９
の他の側面は同様に接着剤層１０及び追加的に滑り層１
８を備える。溝１１中でのレール９の締付けは、滑り層
１８と溝１１の他の側面との間の自由空間に固定凝固さ
れる注入材料１２が挿入されることにより行われる。
側面に接着剤層１０を介して固定されている。レール９
の他の側面は同様に接着剤層１０及び追加的に滑り層１
８を備える。溝１１中でのレール９の締付けは、滑り層
１８と溝１１の他の側面との間の自由空間に固定凝固さ
れる注入材料１２が挿入されることにより行われる。
【００１６】図７によればレール９は溝１１の底及び側
面に滑りつつ位置する。レール９の他の側面は接着剤層
１０から成る接着フィルムと滑り層１８を備える。滑り
層１８と溝１１の他の側面との間に注入材料１２が挿入
される。
面に滑りつつ位置する。レール９の他の側面は接着剤層
１０から成る接着フィルムと滑り層１８を備える。滑り
層１８と溝１１の他の側面との間に注入材料１２が挿入
される。
【００１７】図８によるレール９の固定は図４の場合に
類似して行われる。ダブテール形の溝の代わりに矩形状
の溝１１が設けられている。注入材料１２はシール要素
２１によって周囲への影響に対して保護されている。
類似して行われる。ダブテール形の溝の代わりに矩形状
の溝１１が設けられている。注入材料１２はシール要素
２１によって周囲への影響に対して保護されている。
【００１８】以上述べた例では分離層は接着剤層１０又
は接着剤層１０とレール９の側面と充填材料１２との間
の滑り層１８の形の分離層が設けられている。図９の例
では、これらの分離層１０、１８が注入材料１２とハウ
ジング１１の面との間にも位置することができる。平面
運動性を高めるために、分離層はレール９と注入材料１
２並びに追加的に注入材料１２とハウジング１１の面と
の間にも設けられることができる。
は接着剤層１０とレール９の側面と充填材料１２との間
の滑り層１８の形の分離層が設けられている。図９の例
では、これらの分離層１０、１８が注入材料１２とハウ
ジング１１の面との間にも位置することができる。平面
運動性を高めるために、分離層はレール９と注入材料１
２並びに追加的に注入材料１２とハウジング１１の面と
の間にも設けられることができる。
【００１９】図１０には、ハウジング１とレール９との
間の固定が専ら接着剤層１０によって可能にされること
が示されている。接着剤層１０の内部の可撓性によって
ハウジング１とレール９との間従ってハウジング１と往
復台５との間においても補償されることができる。
間の固定が専ら接着剤層１０によって可能にされること
が示されている。接着剤層１０の内部の可撓性によって
ハウジング１とレール９との間従ってハウジング１と往
復台５との間においても補償されることができる。
【００２０】レール９の組立を一層簡単にするために、
図１１によればレール９は少なくとも往復台５による固
定のために設けられている範囲でハウジング１から突出
する。この範囲に孔が設けられており、孔によってレー
ル９が使用者によって往復台５に剛固に取りつけられる
ことができる。レール９自体はダブテール形の突起によ
ってハウジング１の溝１１中に嵌入する。溝１１の内面
とレール９の表面との間に本発明によれば高弾性の薄い
接着剤層１０が設けられている。残りの空間は図２〜図
９に記載されたように、注入材料１２が充填されてい
る。
図１１によればレール９は少なくとも往復台５による固
定のために設けられている範囲でハウジング１から突出
する。この範囲に孔が設けられており、孔によってレー
ル９が使用者によって往復台５に剛固に取りつけられる
ことができる。レール９自体はダブテール形の突起によ
ってハウジング１の溝１１中に嵌入する。溝１１の内面
とレール９の表面との間に本発明によれば高弾性の薄い
接着剤層１０が設けられている。残りの空間は図２〜図
９に記載されたように、注入材料１２が充填されてい
る。
【００２１】良好な取扱のために、レール９の幅は小さ
くされるので、ハウジング１が追加的に支持範囲Ａに支
持されることは有利である。この実施例は図１２に記載
されている。支持範囲Ａの構成は図２及び図３に詳しく
記載されているのでここでは省略する。
くされるので、ハウジング１が追加的に支持範囲Ａに支
持されることは有利である。この実施例は図１２に記載
されている。支持範囲Ａの構成は図２及び図３に詳しく
記載されているのでここでは省略する。
【００２２】図１３にはハウジング１と往復台５との間
の形状一体的な固定が、注入材料１２を使用することな
しに実現されることが示される。ハウジング１は測定方
向（Ｘ）に延びるダブテール形の突起２１を有しする。
突起２１の両縦側に２つのレール９. １と９. ２が嵌入
している。レール９. １及び９. ２は往復台５に剛固に
固定されており、レールに対する、ハウジング１の突起
２１の面とレール９.１及び９. ２との間のハウジング
１の平面運動の支承のために、弾性接着剤１０が設けら
れている。往復台５に向かい合って位置する突起２１の
面と往復台５との間の摩擦を回避するために、中間空間
又は他の接着剤層１０が設けられることができる。
の形状一体的な固定が、注入材料１２を使用することな
しに実現されることが示される。ハウジング１は測定方
向（Ｘ）に延びるダブテール形の突起２１を有しする。
突起２１の両縦側に２つのレール９. １と９. ２が嵌入
している。レール９. １及び９. ２は往復台５に剛固に
固定されており、レールに対する、ハウジング１の突起
２１の面とレール９.１及び９. ２との間のハウジング
１の平面運動の支承のために、弾性接着剤１０が設けら
れている。往復台５に向かい合って位置する突起２１の
面と往復台５との間の摩擦を回避するために、中間空間
又は他の接着剤層１０が設けられることができる。
【００２３】図示の例から、長い固定レール９の使用に
よってレール９がハウジング１内に内蔵されて簡単かつ
スペース節約的組立が可能にされることが明らかであ
る。図１４に示すように、内蔵されたレール９の代わり
に本発明によれば他のハウジング側レール９. ４と縦移
動可能に結合したレール９. ３を使用することも可能で
ある。レール９. ３は往復台５に剛固にかつレール９.
４はハウジング１に剛固に固定され、例えばねじ止めさ
れている。レール９. ３とそのレール９. ４との間の長
手方向Ｘにおける弾性的結合の例として弾性接着剤１０
が示される。勿論ここでも既に記載した層及び層組合せ
並びに溝１１の形態が使用される。
よってレール９がハウジング１内に内蔵されて簡単かつ
スペース節約的組立が可能にされることが明らかであ
る。図１４に示すように、内蔵されたレール９の代わり
に本発明によれば他のハウジング側レール９. ４と縦移
動可能に結合したレール９. ３を使用することも可能で
ある。レール９. ３は往復台５に剛固にかつレール９.
４はハウジング１に剛固に固定され、例えばねじ止めさ
れている。レール９. ３とそのレール９. ４との間の長
手方向Ｘにおける弾性的結合の例として弾性接着剤１０
が示される。勿論ここでも既に記載した層及び層組合せ
並びに溝１１の形態が使用される。
【００２４】図１４による実施例では、既に使用された
測長機が特別に簡単に装備されることができるという利
点を有する。レール９. ４はハウジング１に剛固に固定
されているので、レールは組立られた状態で同様にハウ
ジング１に組み込まれた構成部分である。
測長機が特別に簡単に装備されることができるという利
点を有する。レール９. ４はハウジング１に剛固に固定
されているので、レールは組立られた状態で同様にハウ
ジング１に組み込まれた構成部分である。
【００２５】本発明の範囲内でも、全測定長に渡って延
びるレール９、９. １、９. ２、９. ３、９. ４の代わ
りに、上記の説明の例に従って形成されかつ固定されて
いる相互に間隔をおいて個々のレール部材を使用するこ
ともできる。例は図１７及び図１８に示されており、そ
の際図１８は図１７による長さ測定装置の横断面図であ
る。測定装置の固定は両端でそれぞれ１つの端部材２２
によって行われる。往復台５に向かい合って位置する端
部材２２の面には溝１１が形成され、溝中には固定要素
９. ５が形状一体的に接着されている。端部材２２にお
ける固定要素９. ５の固定は既に説明した例におけるハ
ウジング１にレール９の固定と同様に行われる。固定要
素９. ５と端部材２２との間の弾性接着剤１０の中間挿
入によって往復台５に剛固に固定された固定要素９. ５
に対するハウジング１の応力のない平面運動の支承が保
証される。
びるレール９、９. １、９. ２、９. ３、９. ４の代わ
りに、上記の説明の例に従って形成されかつ固定されて
いる相互に間隔をおいて個々のレール部材を使用するこ
ともできる。例は図１７及び図１８に示されており、そ
の際図１８は図１７による長さ測定装置の横断面図であ
る。測定装置の固定は両端でそれぞれ１つの端部材２２
によって行われる。往復台５に向かい合って位置する端
部材２２の面には溝１１が形成され、溝中には固定要素
９. ５が形状一体的に接着されている。端部材２２にお
ける固定要素９. ５の固定は既に説明した例におけるハ
ウジング１にレール９の固定と同様に行われる。固定要
素９. ５と端部材２２との間の弾性接着剤１０の中間挿
入によって往復台５に剛固に固定された固定要素９. ５
に対するハウジング１の応力のない平面運動の支承が保
証される。
【００２６】端部材２２は、端部材が弾性接着剤１０を
介して直接往復台５に固定されることができるように形
成されている。この例は図１５及び図１６に表されてい
る。ハウジング１は追加的に中央で往復台に剛固に固定
されている。
介して直接往復台５に固定されることができるように形
成されている。この例は図１５及び図１６に表されてい
る。ハウジング１は追加的に中央で往復台に剛固に固定
されている。
【００２７】ハウジング１の応力のないかつ摩擦の少な
い平面運動の支承を保証するために、ハウジング１自体
も弾性接着剤１０を介して往復台５に固定されている。
このために図１９〜図２２によれば直接ハウジング１の
面上に接着剤１０が塗布されている。中央の固定は省略
されることができる、そのわけは弾性的固定では必然的
に中央での固定が行われるからである。側方の案内のた
めに追加の案内要素２４が設けられることができる。摩
擦及び側方の遊隙を防止するために、案内要素２４とハ
ウジング１との間に同様に弾性接着剤層１０が塗布され
ている。
い平面運動の支承を保証するために、ハウジング１自体
も弾性接着剤１０を介して往復台５に固定されている。
このために図１９〜図２２によれば直接ハウジング１の
面上に接着剤１０が塗布されている。中央の固定は省略
されることができる、そのわけは弾性的固定では必然的
に中央での固定が行われるからである。側方の案内のた
めに追加の案内要素２４が設けられることができる。摩
擦及び側方の遊隙を防止するために、案内要素２４とハ
ウジング１との間に同様に弾性接着剤層１０が塗布され
ている。
【００２８】接着剤層１０は全面に塗布されなければな
らない、接着剤層は特に測定方向においてストリップ状
に間隔をおいて設けられることができる。接着剤層１０
は乾燥後も高い弾性を有し、従って持続的に弾性的であ
る。充填剤１２の使用では、接着剤層１０がいかなる場
合でも注入材料１２よりも弾性的であることが保証され
なければならない。
らない、接着剤層は特に測定方向においてストリップ状
に間隔をおいて設けられることができる。接着剤層１０
は乾燥後も高い弾性を有し、従って持続的に弾性的であ
る。充填剤１２の使用では、接着剤層１０がいかなる場
合でも注入材料１２よりも弾性的であることが保証され
なければならない。
【００２９】図示しない方法で本発明は開放した長さ測
定装置でも使用されることができる。ハウジング１の代
わりに目盛板２がレール状の支持体によって保持され
る。本発明は、レール又はレール部材中の溝及び相応し
た突起がハウジングに設けられている又は取りつけられ
ている場合にも実現される。
定装置でも使用されることができる。ハウジング１の代
わりに目盛板２がレール状の支持体によって保持され
る。本発明は、レール又はレール部材中の溝及び相応し
た突起がハウジングに設けられている又は取りつけられ
ている場合にも実現される。
【００３０】本発明による全ての実施形態ではハウジン
グの接着面及び又は固定要素の接着面が西独国特許明細
書８９１１３１３ Ｕ１による凹部を有することができ
る。凹部は、接着剤層がその溶解の防止のために溝又は
突起のアンダカットを形状一体的に充足し又は把持し、
ヨーロッパ特許明細書０４６５９６６ Ａ２で説明した
ように、その内容に表現上参照されるように説明され
る。
グの接着面及び又は固定要素の接着面が西独国特許明細
書８９１１３１３ Ｕ１による凹部を有することができ
る。凹部は、接着剤層がその溶解の防止のために溝又は
突起のアンダカットを形状一体的に充足し又は把持し、
ヨーロッパ特許明細書０４６５９６６ Ａ２で説明した
ように、その内容に表現上参照されるように説明され
る。
【００３１】
【発明の効果】本発明によれば支持体と支持体が固定さ
れている測定されるべき対象物との相異なる熱的特性の
際に実際上測定値の悪化の原因とならずかつ支持体が比
較的応力なしにかつそれにもかかわらず安定に支承され
る位置測定装置が得られる。
れている測定されるべき対象物との相異なる熱的特性の
際に実際上測定値の悪化の原因とならずかつ支持体が比
較的応力なしにかつそれにもかかわらず安定に支承され
る位置測定装置が得られる。
【図１】本発明による位置測定装置として役立つ長さ測
定装置の部分断面図である。
定装置の部分断面図である。
【図２】図１による測定装置のＩＩ−ＩＩ線に沿う横断
面図である。
面図である。
【図３】図１による測定装置のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う
横断面図である。
横断面図である。
【図４】測定装置の他の固定範囲の横断面図である。
【図５】測定装置の他の固定範囲の横断面図である。
【図６】測定装置の他の固定範囲の横断面図である。
【図７】測定装置の他の固定範囲の横断面図である。
【図８】測定装置の他の固定範囲の横断面図である。
【図９】測定装置の他の固定範囲の横断面図である。
【図１０】測定装置の他の固定範囲の横断面図である。
【図１１】測定装置の他の固定範囲の横断面図である。
【図１２】測定装置の他の固定範囲の横断面図である。
【図１３】測定装置の他の固定範囲の横断面図である。
【図１４】本発明によって構成された、別個の固定要素
を示す図である。
を示す図である。
【図１５】本発明によって構成された端部材を備えた測
定装置を示す図である。
定装置を示す図である。
【図１６】本発明によって構成された端部材を備えた測
定装置を示す図である。
定装置を示す図である。
【図１７】本発明によって構成された端部材を備えた測
定装置を示す図である。
定装置を示す図である。
【図１８】本発明によって構成された端部材を備えた測
定装置を示す図である。
定装置を示す図である。
【図１９】本発明による測定装置である。
【図２０】本発明による測定装置である。
【図２１】本発明による測定装置である。
【図２２】本発明による測定装置である。
１ 支持体 ２ 目盛板 ４ 走査装置 ５ 一方の対象物 ６ 他方の対象物 １０ 接着剤層 １６ 接着剤層 Ｘ 測定方向
フロントページの続き (72)発明者 アルフレート・アッフア ドイツ連邦共和国、83371 シユタイン ／ トラウン、ホッホフエルンストラー セ、６
Claims (15)
- 【請求項１】 ２つの対象物の相対位置の測定のための
位置測定装置にして、その際一方の対象物に、他方の対
象物（６）に固定可能な走査装置（４）によって走査可
能な目盛板（２）を備えた支持体（１）が固定されてお
りかつ支持体（１）と一方の対象物（５）との間の平面
運動による長さ補償が可能である、前記位置測定装置に
おいて、 支持体（１）と一方の対象物（５）との間に測定方向
（Ｘ）に延び、支持体（１）の平面運動の支承のための
弾性接着剤層（１０、１６）が設けられていることを特
徴とする前記位置測定装置。 - 【請求項２】 弾性接着剤層（１０）が支持体（１）の
少なくとも1 つの端部材（２２、２３）と一方の対象物
（５）との間に設けられている、請求項1 記載の位置測
定装置。 - 【請求項３】 一方の対象物（５）に剛固に固定可能な
少なくとも1 つの固定要素（９）が設けられており、そ
の際固定要素（９）は弾性接着剤層（１０）の中間介在
の下に支持体（１）に固定されている、請求項1 又は２
記載の位置測定装置。 - 【請求項４】 支持体（１）には溝（１１）又は突起
（２１）が設けられており、溝（１１）又は突起（２
１）には少なくとも1 つの固定要素（９）が平面運動の
自由度をもって固定されており、その際少なくとも溝
（１１）又は突起（２１）の測定方向（Ｘ）に延びる面
と固定要素（９）の面との間に弾性接着剤層（１０）が
設けられている、請求項３記載の位置測定装置。 - 【請求項５】 固定要素が測定方向（Ｘ）に延びるレー
ル（９）である、請求項２から４までのうちのいずれか
一記載の位置測定装置。 - 【請求項６】 測定方向（Ｘ）に相互間隔をおいて複数
の固定要素（９）が設けられている請求項２から４まで
のうちのいずれか一記載の位置測定装置。 - 【請求項７】 溝（１１）又は突起（２１）がアンダカ
ットを有する、請求項４から６までのうちのいずれか一
記載の位置測定装置。 - 【請求項８】 固定要素（９）と溝（１１）又は突起
（２１）の側面との間の測定方向（Ｘ）に延びる隙間が
比較的非弾性的に凝固される注入材料（１２）によって
充填されておりかつ固定要素（９）の面と注入材料（１
２）との間及び又は注入材料（１２）と溝（１１）又は
突起（２１）の側面との間に弾性層（１０）が設けられ
ている、請求項４から７までのうちのいずれか一記載の
位置測定装置。 - 【請求項９】 弾性層（１０）と注入材料（１２）との
間及び又は弾性層（１０）と溝（１１）又は突起（２
１）の側面との間に追加的に滑り層（１８）が設けられ
ている、請求項８記載の位置測定装置。 - 【請求項１０】 注入材料（１２）を備えた隙間がシー
ル要素（２１）によってカバーされている、請求項８記
載の位置測定装置。 - 【請求項１１】 支持体（１）が一方の対象物（５）の
面に支持されそしてこの支持範囲（Ａ）に支持体（１）
と対象物（５）との間の弾性層（１６）が設けられてい
る請求項１から１０までのうちのいずれか一記載の位置
測定装置。 - 【請求項１２】 目盛板（２）が弾性的手段（８）を介
して支持体（１）に固定される、請求項１から１１まで
のうちのいずれか一記載の位置測定装置。 - 【請求項１３】 目盛板（２）が弾性接着剤（８）の中
間挿入の下に支持体（１）に固定されている、請求項１
２記載の位置測定装置。 - 【請求項１４】 支持体（１）が追加的にその中央（１
１）で一方の対象物（５）に剛固に固定可能である、請
求項１から１３までのうちのいずれか一記載の位置測定
装置。 - 【請求項１５】 支持体がその中空空間に目盛板（２）
が固定されているハウジング（１）である、請求項１か
ら１４までのうちのいずれか一記載の位置測定装置。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4406799A DE4406799C2 (de) | 1994-03-02 | 1994-03-02 | Positionsmeßeinrichtung |
| DE4406799:2 | 1994-03-02 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0814878A true JPH0814878A (ja) | 1996-01-19 |
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ID=6511606
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7042192A Expired - Fee Related JP3007277B2 (ja) | 1994-03-02 | 1995-03-01 | 位置測定装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5655311A (ja) |
| EP (1) | EP0671608B1 (ja) |
| JP (1) | JP3007277B2 (ja) |
| AT (1) | ATE182402T1 (ja) |
| DE (2) | DE4406799C2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19543647C2 (de) * | 1995-11-23 | 2000-05-04 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längenmeßeinrichtung zur Messung der Relativlage zweier Objekte |
| ATE230103T1 (de) * | 1996-10-11 | 2003-01-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Massstab einer längenmesseinrichtung sowie verfahren zur anbringung eines massstabs |
| EP0841540B1 (de) * | 1996-11-11 | 2001-08-22 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Längenmesseinrichtung |
| JP3081178B2 (ja) * | 1997-10-03 | 2000-08-28 | バンドー化学株式会社 | アクセルポジションセンサ |
| DE19831744A1 (de) * | 1998-07-15 | 2000-01-20 | Zeiss Carl Fa | Stellvorrichtung |
| DE19836003A1 (de) | 1998-08-08 | 2000-02-10 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren zur Montage einer Positionsmeßeinrichtung und Positioniermittel zur Montage |
| DE19912310B4 (de) * | 1999-03-19 | 2007-11-29 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmeßeinrichtung |
| DE19914311A1 (de) | 1999-03-29 | 2000-10-05 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren und Vorrichtung zum Anbringen eines Maßstabes |
| DE19918654B4 (de) | 1999-04-16 | 2004-07-15 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Sicherungsvorrichtung für den Transport und die Montage einer Meßeinrichtung |
| DE10059308A1 (de) * | 2000-11-29 | 2002-06-13 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren zur Montage eines Längenmessgerät und entsprechendes Längenmessgerät |
| US6820348B2 (en) | 2001-02-09 | 2004-11-23 | Acu-Rite, Inc. | Mounting tool for linear encoders |
| US6829838B1 (en) * | 2003-09-09 | 2004-12-14 | Hexagon Metrology Ab | Temperature compensation system for a coordinate measuring machine |
| US7299562B2 (en) * | 2005-09-22 | 2007-11-27 | Acu-Rite Companies, Inc. | Device and method for mounting a position measuring device onto a machine tool, and position measuring system |
| US7191541B1 (en) | 2005-12-06 | 2007-03-20 | Hexagon Metrology Ab | Temperature compensation system for a coordinate measuring machine |
| DE102009047120A1 (de) * | 2009-11-25 | 2011-05-26 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Anordnung mit einem an einem Träger befestigten Maßstab |
| DE102011079464A1 (de) * | 2011-07-20 | 2013-01-24 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Längenmesseinrichtung |
| DE102012203193A1 (de) * | 2012-03-01 | 2013-09-05 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Längenmesseinrichtung |
| JP2014224705A (ja) * | 2013-05-15 | 2014-12-04 | キヤノン株式会社 | スケール保持装置、およびエンコーダ |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3833303A (en) * | 1972-10-06 | 1974-09-03 | Bausch & Lomb | Measuring apparatus using the moire fringe concept of measurement |
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| US4198757A (en) * | 1976-07-09 | 1980-04-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Fastening apparatus for longitudinal measuring system |
| DE2853771C2 (de) * | 1978-12-13 | 1986-08-28 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längenmeßeinrichtung |
| DE3201887C2 (de) * | 1982-01-22 | 1983-11-24 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längenmeßeinrichtung |
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| DE3219083C2 (de) * | 1982-05-21 | 1986-01-23 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längenmeßeinrichtung |
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| DE3302643A1 (de) * | 1983-01-27 | 1984-08-02 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Laengenmesseinrichtung |
| DD224655A1 (de) * | 1984-05-02 | 1985-07-10 | Zeiss Jena Veb Carl | Gekapselte laengenmesseinrichtung |
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| DE3625795A1 (de) * | 1986-07-30 | 1988-02-04 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Laengenmesseinrichtung |
| DE3635511A1 (de) * | 1986-10-18 | 1988-04-28 | Zeiss Carl Fa | Halterung fuer mass- und formverkoerperung |
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