JPH0547768B2 - - Google Patents

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JPH0547768B2
JPH0547768B2 JP59086297A JP8629784A JPH0547768B2 JP H0547768 B2 JPH0547768 B2 JP H0547768B2 JP 59086297 A JP59086297 A JP 59086297A JP 8629784 A JP8629784 A JP 8629784A JP H0547768 B2 JPH0547768 B2 JP H0547768B2
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JP
Japan
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measuring
thermal expansion
rod
fixed
measuring rod
Prior art date
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JP59086297A
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JPS59210315A (ja
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Atsufua Arufureeto
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Dr Johannes Heidenhain GmbH
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Dr Johannes Heidenhain GmbH
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0011Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
    • G01B5/0014Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、特許請求の範囲第1項の上位概念に
よる測定装置に関する。
(従来の技術) 特に工作機械では「機械の運転中」測定され又
は加工されるべき加工物に比して著しく加温され
る機械の工具と加工物との間の相対位置の測定又
は調整のための測定装置を機械部分に固定する必
要性がある。この場合同時に測定装置の測定尺が
加温されて伸長し、その結果測定誤差が生ずる。
そのような測定装置は無視できる小さい熱膨張率
を有する材料から成る測定尺を備えなければなら
ない。そのような石英又はインバから成る測定尺
は高価である。
(発明の課題) 本発明は上記の技術分野の測定装置を、無視で
きない熱膨張率を有する測定尺の加温があつても
測定精度が変わらないように構成することを課題
とする。
(課題の解決のための手段) 本発明の課題は本発明によれば特許請求の範囲
第1項の特徴部によつて解決される。
(実施例) 第1図に機械ベツド1を備えた工作機械が示さ
れ、ベツド上には往復台2がX方向に水平に移動
可能に案内される。往復台2と機械ベツド1又は
工具と加工物との間の相対位置の測定のために往
復台2に長さ測定装置Lが配設されている。
長さ測定装置LはハウジングGの形の測定尺支
持体から成り、その内部に目盛Tの測定尺Mが図
示しない弾性接着層によつて固定されており、接
着層はハウジングGに対するX方向(測定方向)
における測定尺Mの幾分の移動を可能にする。ハ
ウジングGは2つの固定要素B1,B2を介して往
復台2に固定されておりかつ図示しないシール要
素によつて閉塞された縦スリツト8を有し、公知
の手段を備えた測定尺Mの目盛Tの走査のための
機械ベツドに固定された走査ユニツトAがその縦
スリツトを通る。
駆動装置、伝導装置及び復台2の支承部に起因
する周囲温度に対する往復台2の加温による測定
尺Mの熱的長さ変化を補償するために、伸長要素
としてのハウジングGは一端G1で直接第1固定
要素B1にそして他端G2で第2固定要素B2に支承
されたてこ要素Sを介して測定尺Mの隣接した端
M2に結合している。このてこ要素Sはその前面
Vに2つの突起S1,S2を有し、突起はハウジング
G及び測定尺Mの他端G2,M2の相応した凹部に
係入しておりかつ後面Rで固定要素B2の突起D
と当接している。突起Dはてこ要素Sの支点であ
る。固定要素B2は〓間なく、ハウジングG及び
測定尺Mをてこ要素Sを介して結合するように往
復台2に取り付けられている。測定尺Mの一端
M1は第1の固定要素B1のストツパPと当接す
る。
工作機械の運転中に加工物の温度に対して往復
台2が加温されると、ハウジングG及び測定尺M
も同一の温度上昇をうける。しかし例えばアルミ
ニウムから成るハウジングGは例えば鋼又は鋳鋼
から成る往復台2の熱膨張率αSに比してかなり大
きい熱膨張率を有するので、ハウジングGの他端
G2は固定要素B2の回転中心Dに対してXの正方
向に移動し、その結果てこ要素Sの揺動運動のた
めの突起S2は測定尺Mの負方向において第1固定
要素B1のストツパに押当てる。レバ比が正しく
調整されると、測定尺Mの原測定長が温度変化の
際にこの据込みによつて保持される。正しいレバ
比a/b=(αG−αS)/αSによつて与えられ、αGは伸
長要素としてのハウジングGの熱膨張率、そして
αSは往復台2の熱膨張率を示す。突起S1回転中心
Dとの間の測定方向Xにおける距離をa、突起S2
と回転中心Dとの測定方向Xにおける距離bとす
る。
長さ測定装置Lを相異なる熱膨張率を有する機
械部分でも使用しうるために、てこ要素Sの旋回
比a/bは調整要素STによつて調整可能であり、
調整要素STは突起Dを有し、固定要素B2の測定
方向Xに対して垂直の案内中をスピンドルSPに
よつて移動可能である。汚染に対する遮蔽のため
に固定要素B2とハウジングGの他端G2との間に
ダイヤフラムHが配設されている。
第2図において長さ測定装置L′を備えた工作機
械が示されており、その際同種の要素は同一符号
でダツシユをつけて示す。
長さ測定装置L′はハウジングG′の形の測定尺支
持体から成り、その内方には目盛T′を備えた測
定帯板M′が溝N′中をハウジングG′に対してX′方
向(測定方向)に移動可能である。ハウジング
G′は2つの固定要素B1,B2を介して往復台2′に
固定されており、かつ図示しないシール要素によ
つて閉塞された縦スリツト8′を有し、縦スリツ
ト8′を通つて、測定帯板M′の目盛T′の走査のた
めに機械ベツド1′に固定された走査ユニツト
A′が通る。
周囲温度に対するスリツト2′の加温による測定
帯板M′の熱的長さ変化の補正のために伸長要素
としてのハウジングG′は一端G1′で直接第1固定
要素B1′と、他端G2′で第2固定要素B2′に支承さ
れたてこ要素S′を介して測定尺M′の隣接端M2′と
各1つのジヨイントU1′,T2′を介して結合されて
いる。このてこ要素S′は測定帯板M′に面した平
らな後面R′で調整要素ST′の突起D′と当接してお
り、調整要素ST′は固定要素B2′の案内中測定方
向X′に垂直にスピンドルSP′によつて移動可能に
されている。突起D′はてこ要素S′の回転中心とし
て役立ち、かつスピンドルSP′による調整要素
ST′の移動の際てこ要素S′のレバ比a′/b′の調整を
可能にする。測定帯板M′の一端M1′はクランプね
じC′の形のクランプ装置によつて第1固定要素
B1′に支承され、一方、固定要素B2′はてこ要素
S′を介してハウジングG′及び測定帯板M′とすき
まなく結合されるように往復台2′に取り付けら
れている。防塵のために固定要素B2′とハウジン
グG′の他端G2′との間にダイヤフラムH′が配設さ
れている。
測定帯板M′は常温では正しい測定長より短く
つくられている、即ち目盛T′の格子定数は正し
い格子定数に対して縮小されている。この縮小さ
れた測定帯板M′は長さ測定装置L′においてクラ
ンプねじC′によつて基準温度、例えば加工物の温
度で正しい測定長に伸びる。この状態ではハウジ
ングG′と測定帯板M′の長さは等しくかつ正しい
長さになる。従つて加工温度以下の、例えば常温
では加工温度におけるよりもハウジングG′も測
定帯板M′も短くなつているので、てこ要素S′の
支点である調整要素ST′の回転中心D′の位置を略
一定不変とすれば(ハウジングG′の熱膨張率は
第1対象物の熱膨張率に比して著しく大きい)、
ハウジングG′中には圧縮応力が、そして測定帯
板M′中には引つ張り応力が作用している。即ち、
ハウジングG′も測定帯板M′も工作機械の運転の
際加工物の温度に向かつて往復台2′の加温が生
ずるとハウジングG′も測定帯板M′も等しい温度
の上昇をうける。ハウジングG′は往復台2′の熱
膨張率に比して大きい熱膨張率を有するので、ハ
ウジングG′の他端G2′は調整要素ST′の回転中心
D′に対してX′の正方向に移動しその結果てこ要
素S′の揺動運動により、測定帯板M′は熱による
ハウジングG′の長さ変化との差を補正するため
に伸長をうける。この際ハウジングG′自体は加
工温度に至るまでは圧縮応力をうけている。
てこ要素S′の揺動運動によつて測定帯板M′の
温度上昇によつて生ずる長さ変化が補償され、そ
の結果測定帯板M′で、温度変化の際常に正しい
測定長が保持される。正しいレバ比はa′/b′=
(αG′−α′S)/α′S)によつて与えられ、その際
αG′は伸長要素としてのハウジングG′の熱膨張
率、そしてα′Sは往復台2は熱膨張率を意味する。
a′はジヨイントU1′回転中心D′との間の距離、
b′は回転中心D′からX′軸に対して垂直方向でジヨ
イントU2′までの距離を表す。
第3図において長さ測定装置L″を備えた工作
機械の断面図を示し、その同一の要素は同一符
号、しかし「”」を付して示す。
長さ測定装置L″は目盛T″を有する測定尺M″か
ら成り、測定尺は一端M1″にねじ3′によつて往
復台2″に固定されている。測定尺M″の他端
M2″は接着層K″を介して伸長要素G″の他端G2″と
結合しており、その一端G1″はねじ4″によつて
往復台2″に固定されている。測定尺M″の目盛
T″は機械ベツド1″に固定された走査ユニツト
A″によつて走査される。測定尺M″の熱膨張の補
正のために伸長要素G″は往復台2″よりもかなり
大きい熱膨張率を有し、その際伸長要素G″の熱
膨張は測定尺M″の相応した据込みによつて不変
に保持されるように設定されている。図示しない
方法で複数の伸長要素が設けられることもでき
る。
(発明の効果) 本発明によつてえられる利点は特に簡単な手段
による測定装置で、測定尺の熱的長さ変化の補正
が可能であり、その結果そのような測定装置では
測定装置の著しい高価に繋がるような特別な測定
尺を使用する必要がない。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による長さ測定装置の正面図、
第2図は長さ測定装置の第2実施例、そして第3
図は第3実施例を示す。 図中符号 2…第1対象物、G…伸長要素、
G1…伸長要素の一端、G2…伸長要素の他端、M
…測定尺、M1…測定尺の一端、M2…測定尺の他
端。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 2つの対象物、特に工作機械又は測定機の2
    つの機械部分の相対位置の測定又は調整のための
    測定装置にして、第1対象物に配設された測定尺
    と第2対象物に固定された、前記測定尺の走査の
    ための走査ユニツトとを備え、測定尺Mの熱的長
    さ変化の補償のために測定尺の一端M1が第1対
    象物2に固定されている測定装置において、 第1対象物2の熱膨脹率とは著しく相違する熱
    膨脹率を有する少なくとも1つの伸長要素Gは、
    伸長要素Gの熱的伸びにより測定尺Mの伸びを完
    全に打消して測定尺Mの測定長さを温度変化の際
    でも不変に維持するために、一端G1で第1対象
    物2に、他端G2で測定尺Mの他端M2に旋回要素
    を介して結合されたことを特徴とする測定装置。 2 伸長要素G,G′が測定尺M,M′のための測
    定尺支持体として形成されている、特許請求の範
    囲第1項記載の測定装置。 3 (a) 第1の対象物2に第1の固定要素B1
    第2の固定要素B2とが固定されていること、 (b) 第2の固定要素B2に測定方向Xに対して横
    に延びている旋回要素Sが支承されているこ
    と、 (c) 伸長要素として形成された測定尺支持体Gは
    一端G1で第1の対象物2の第1固定要素B1
    直接固定されていること、 (d) 測定尺支持体Gが他端G2で旋回比a/bの旋回
    要素Sを介して測定尺支持体Gに測定方向Xに
    移動可能な測定尺Mの他端M2と結合しており、
    その一端Mは第1の固定要素B1に支承されて
    いること、 (e) 測定尺支持体Gの両端G1,G2は測定方向X
    に配設されていること、 (f) 温度変化の際に測定尺Mの測定長さを不変に
    維持するために、旋回要素Sの旋回比率a/bが
    設定されていることとから成る特許請求の範囲
    第1項又は第2項記載の測定装置。 4 測定尺M′の他端M′1がクランプ装置C′により
    第1固定要素B1に固定される特許請求の範囲第
    3項記載の測定装置。 5 レバー比a/b=(αG−αS)/αSであり、ここで
    αGは測定尺支持体Gの熱膨脹率、αSは第1対象物
    2の熱膨脹率を示す、特許請求の範囲第3項記載
    の測定装置。 6 てこ要素Sのレバー比a/bが調整可能であ
    る、特許請求の範囲第3項記載の測定装置。 7 固定要素B2におけるてこ要素Sのレバー比
    a/bの調整のためにスピンドルSPによつて測定方
    向Xに対して垂直に移動可能な調整要素STが突
    起Dを備え、突起はてこ要素Sの支点としててこ
    要素Sの平らな後面Rを付勢する、特許請求の範
    囲第6項記載の測定装置。 8 クランプ装置C′がねじ機構によつて形成され
    ている、特許請求の範囲第4項記載の測定装置。 9 2つの対象物、特に工作機械又は測定機械の
    2つの機械部分の相対位置の測定又は調整のため
    の測定装置にして第1の対象物に配設された測定
    尺と測定尺の走査のために第2対象物に固定され
    た走査ユニツトと備えたものにおいて、 測定尺M″の熱的長さ伸長の補償のために測定
    尺は第1の対象物2″に一端M″で剛固に固定さ
    れ、その熱膨脹率が第1の対象物2″の熱膨脹率
    とは著しく相違している少なくとも1つの伸長要
    素G″が一端G″1で第1の対象物2″に剛固に固定
    されかつ他端G2″で接着層K″を介して測定尺
    M″と結合しておりそして温度変化があつても測
    定尺M″の測定長を不変に保持するために伸長要
    素G″の熱膨脹が測定尺M″の伸びと反作用するよ
    うに結合されていることを特徴とする前記測定装
    置。
JP59086297A 1983-05-03 1984-05-01 測定装置 Granted JPS59210315A (ja)

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DE33160821 1983-05-03
DE3316082A DE3316082A1 (de) 1983-05-03 1983-05-03 Messeinrichtung

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JPS59210315A JPS59210315A (ja) 1984-11-29
JPH0547768B2 true JPH0547768B2 (ja) 1993-07-19

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