JPH0332001B2 - - Google Patents
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- JPH0332001B2 JPH0332001B2 JP58220826A JP22082683A JPH0332001B2 JP H0332001 B2 JPH0332001 B2 JP H0332001B2 JP 58220826 A JP58220826 A JP 58220826A JP 22082683 A JP22082683 A JP 22082683A JP H0332001 B2 JPH0332001 B2 JP H0332001B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measuring
- length
- scale
- measuring machine
- machine according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
- G01B5/0014—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は二つの対象物の相対的位置の測定又は
調整のための測長機、特に密閉型測長機にして、
支持体に配設された測定尺を備え、測定尺は目盛
と目盛担体とから成り、かつ熱に依存する長さ変
化の際に実質上支持体とは無関係に測定方向に僅
かに移動可能であり、そして測定尺の支持体は固
定要素を介して測定されるべき対象物と結合して
いる測長機に関するものである。
調整のための測長機、特に密閉型測長機にして、
支持体に配設された測定尺を備え、測定尺は目盛
と目盛担体とから成り、かつ熱に依存する長さ変
化の際に実質上支持体とは無関係に測定方向に僅
かに移動可能であり、そして測定尺の支持体は固
定要素を介して測定されるべき対象物と結合して
いる測長機に関するものである。
測定尺の目盛担体は例えば弾性接着層を介して
測定尺のための支持体と結合されている不可撓ガ
ラス尺又は測定尺のための支持体の溝に形状拘束
的に、しかし実質上応力なく配設されている可撓
性金属帯材から形成されることができる。
測定尺のための支持体と結合されている不可撓ガ
ラス尺又は測定尺のための支持体の溝に形状拘束
的に、しかし実質上応力なく配設されている可撓
性金属帯材から形成されることができる。
(従来の技術)
西独国特許出願公告公報2643304から二つの対
象物の相対的位置の測定のためのカプセルに入つ
た長さ測定装置が公知であり、その際目盛のため
の目盛担体は中空形材の内方で縦溝の縁に載つて
おりかつその中央で非常に小さい弾性率の接着剤
によつてまた別の個所では高い弾性率の接着剤に
よつて固定されている。中空形材はその端に溝の
形の弱い個所を備えた各一つの固定要素を有し、
被測定対象物の構成面上の中空形材の固定の際の
応力は回避されるべきである。この測定装置では
目盛と目盛担体から成る測定尺はその中央に中空
形材に関する固定点(ゼロ点)を有する、しかし
中空形材と被測定対象物の相異なる熱膨脹の際に
被測定対象物への両端での中空形材の剛固な固定
のために固定点の移動、従つて測定精度の低下に
つらなりうる測定方向の縦力(強制力)が生ず
る。
象物の相対的位置の測定のためのカプセルに入つ
た長さ測定装置が公知であり、その際目盛のため
の目盛担体は中空形材の内方で縦溝の縁に載つて
おりかつその中央で非常に小さい弾性率の接着剤
によつてまた別の個所では高い弾性率の接着剤に
よつて固定されている。中空形材はその端に溝の
形の弱い個所を備えた各一つの固定要素を有し、
被測定対象物の構成面上の中空形材の固定の際の
応力は回避されるべきである。この測定装置では
目盛と目盛担体から成る測定尺はその中央に中空
形材に関する固定点(ゼロ点)を有する、しかし
中空形材と被測定対象物の相異なる熱膨脹の際に
被測定対象物への両端での中空形材の剛固な固定
のために固定点の移動、従つて測定精度の低下に
つらなりうる測定方向の縦力(強制力)が生ず
る。
西独国特許公開公報2853771から長さ測定装置
が公知であり、そのハウジングは両端で固定要素
を介して被測定対象物に結合されている。一方ハ
ウジングの一端は直接第一固定要素と結合されて
いるので、ハウジングの他端と第二固定要素との
間には長さ補償要素がハウジングの端で平面運動
の自由度を以つてハウジングの長手方向に支承さ
れているように配設されている。
が公知であり、そのハウジングは両端で固定要素
を介して被測定対象物に結合されている。一方ハ
ウジングの一端は直接第一固定要素と結合されて
いるので、ハウジングの他端と第二固定要素との
間には長さ補償要素がハウジングの端で平面運動
の自由度を以つてハウジングの長手方向に支承さ
れているように配設されている。
温度の変化があつた場合にハウジングの内方に
格納された測定尺のハウジングに対するゼロ点移
動のないようにするために、この長さ測定装置で
は測定尺がハウジングを直接固定要素と結合して
いるその一端でハウジングと固定されるべきであ
る。
格納された測定尺のハウジングに対するゼロ点移
動のないようにするために、この長さ測定装置で
は測定尺がハウジングを直接固定要素と結合して
いるその一端でハウジングと固定されるべきであ
る。
これに対して測定尺がその全長に亘つて例えば
ハウジングに弾性接着層によつて固定されており
かつ一端では固定されてない場合、測定尺は熱に
よる長さの変化がある場合、実質上ハウジングと
は無関係に測定方向に運動可能であり、固定点
(ゼロ点)はハウジングに関して測定尺の略中央
に生ずる。しかし第一固定要素へのハウジングの
一端の直接的固定のためにハウジング自体の熱に
よる長さ変化があるとハウジング及び被測定対象
物の熱膨脹係数が異なる場合に被測定対象に対す
る測定尺の全ての点の多かれ少なかれ移動が行わ
れる。
ハウジングに弾性接着層によつて固定されており
かつ一端では固定されてない場合、測定尺は熱に
よる長さの変化がある場合、実質上ハウジングと
は無関係に測定方向に運動可能であり、固定点
(ゼロ点)はハウジングに関して測定尺の略中央
に生ずる。しかし第一固定要素へのハウジングの
一端の直接的固定のためにハウジング自体の熱に
よる長さ変化があるとハウジング及び被測定対象
物の熱膨脹係数が異なる場合に被測定対象に対す
る測定尺の全ての点の多かれ少なかれ移動が行わ
れる。
本発明は上記の種類の長さ測定装置において被
測定対象物に関する測定尺の位置が温度変化があ
つても実質上不変であるように測定尺の支持体の
ための固定部を付与することを課題の基礎とす
る。
測定対象物に関する測定尺の位置が温度変化があ
つても実質上不変であるように測定尺の支持体の
ための固定部を付与することを課題の基礎とす
る。
(課題の解決のための手段)
この課題は本発明によれば特許請求の範囲第1
項の特徴部によつて解決される。
項の特徴部によつて解決される。
(発明の効果)
本発明によつて得られる利点はこの種の長さ測
定装置で、支持体及び被測定対象物が相異なる熱
膨脹率を有する材料から成ることができ、しかも
温度変化があつても測定精度が害されないことに
ある。測定尺の一端が追加的手段によつてハウジ
ングに固着される必要なしに、例えば簡単な方法
で均一な弾性接着層を介して支持体に固定される
ことができる。
定装置で、支持体及び被測定対象物が相異なる熱
膨脹率を有する材料から成ることができ、しかも
温度変化があつても測定精度が害されないことに
ある。測定尺の一端が追加的手段によつてハウジ
ングに固着される必要なしに、例えば簡単な方法
で均一な弾性接着層を介して支持体に固定される
ことができる。
ヨハン・ハイデンハイン社の文献「測定技術情
報」81980年3月発行中の33頁にアルフオン エ
ルムースト氏の「工作技術のための路程測定シス
テム」の記載中に長さ測定装置があり、そのハウ
ジングは第1図〜第3図によれば両端で固定要素
を介して被測定対象物と結合されている。測定長
が大きい場合、その自由度のためのハウジングの
たるみの回避のためにハウジングの端の固定要素
の間にハウジングのための他の固定アングルが配
設されている。
報」81980年3月発行中の33頁にアルフオン エ
ルムースト氏の「工作技術のための路程測定シス
テム」の記載中に長さ測定装置があり、そのハウ
ジングは第1図〜第3図によれば両端で固定要素
を介して被測定対象物と結合されている。測定長
が大きい場合、その自由度のためのハウジングの
たるみの回避のためにハウジングの端の固定要素
の間にハウジングのための他の固定アングルが配
設されている。
本発明の有利な構成は実施態様項が把握され
る。
る。
本発明の実施例を図面に基いて詳しく説明す
る。
る。
(実施例)
第1図において優先的なカプセルに包まれた長
さ測定装置が示されており、その撓み剛固な長い
中空型材の形の測定尺2のための支持体は例えば
アルミニウムから形成されている。ハウジング1
の内方には測定尺2の目盛2bのための目盛担体
2aが弾性接着層3によつてハウジング1の内面
4上に固定されており、測定尺2の目盛2bは公
知の方法で二つの対象物(例えばベツドと往復
台)の相対位置の測定のための図示しない走査ユ
ニツトによつて走査される。一方走査ユニツトは
図示しない方法で一方の対象物と結合されてお
り、ハウジング1は例えば鋳物から成る対象物5
に剛固に固定されている。
さ測定装置が示されており、その撓み剛固な長い
中空型材の形の測定尺2のための支持体は例えば
アルミニウムから形成されている。ハウジング1
の内方には測定尺2の目盛2bのための目盛担体
2aが弾性接着層3によつてハウジング1の内面
4上に固定されており、測定尺2の目盛2bは公
知の方法で二つの対象物(例えばベツドと往復
台)の相対位置の測定のための図示しない走査ユ
ニツトによつて走査される。一方走査ユニツトは
図示しない方法で一方の対象物と結合されてお
り、ハウジング1は例えば鋳物から成る対象物5
に剛固に固定されている。
本発明によればハウジング1は略その中央で第
一固定要素6を介して直接被測定対象物5にねじ
13,14によつて結合されている。更にハウジ
ング1はその両端7で長さ補償要素8を介して他
の固定要素10と結合しており、固定要素は一方
ではねじ11によつて各一つのボールジヨイント
12を介して対象物5に固定されている。
一固定要素6を介して直接被測定対象物5にねじ
13,14によつて結合されている。更にハウジ
ング1はその両端7で長さ補償要素8を介して他
の固定要素10と結合しており、固定要素は一方
ではねじ11によつて各一つのボールジヨイント
12を介して対象物5に固定されている。
長さ補償要素8は固定要素10と一体の構成部
分でありかつ測定方向X(ハウジング1の長手方
向)に対して略垂直の平面内に経過するじくざく
状のスリツト9によつて形成されている。長さ補
償要素8を備えた固定要素10はハウジング1の
端7の測定方向Xにおける平面運動可能な支承を
可能にする。
分でありかつ測定方向X(ハウジング1の長手方
向)に対して略垂直の平面内に経過するじくざく
状のスリツト9によつて形成されている。長さ補
償要素8を備えた固定要素10はハウジング1の
端7の測定方向Xにおける平面運動可能な支承を
可能にする。
ハウジング1と対象物5の熱膨脹率の相違にも
拘らず、略その中央で対象物5に第1固定要素6
を介してハウジング1を直接剛固に固定すること
及び対象物5への測定方向Xにおけるハウジング
1の端7の運動可能な固定によつて被測定対象物
5に関する測定尺2の位置が温度変化の際に実質
上保持される、そのわけはハウジング1も測定尺
2もその長さ変化は中央に対して対称に測定方向
Xにおける両方向に向つて行われるからであり、
その結果測定尺中央には固定した測定基準点(固
定点)が保持され、それによつて精度が向上す
る。ハウジング1の端7の運動可能な支承のため
に対象物5に関するハウジング1の温度に依存し
た長さ変化の際に縦力も発生しえず従つて測定尺
2の中央で測定基準点の移動も生じ得ない。
拘らず、略その中央で対象物5に第1固定要素6
を介してハウジング1を直接剛固に固定すること
及び対象物5への測定方向Xにおけるハウジング
1の端7の運動可能な固定によつて被測定対象物
5に関する測定尺2の位置が温度変化の際に実質
上保持される、そのわけはハウジング1も測定尺
2もその長さ変化は中央に対して対称に測定方向
Xにおける両方向に向つて行われるからであり、
その結果測定尺中央には固定した測定基準点(固
定点)が保持され、それによつて精度が向上す
る。ハウジング1の端7の運動可能な支承のため
に対象物5に関するハウジング1の温度に依存し
た長さ変化の際に縦力も発生しえず従つて測定尺
2の中央で測定基準点の移動も生じ得ない。
弾性接着層3は例えばガラス製の測定尺2の目
盛担体2aと、アルミニウム製のハウジング1と
の間の相異なる熱的長さ変化を補償し、その結果
測定尺2の全ての部分がその位置における被測定
対象物5の対応した部分に所属している。
盛担体2aと、アルミニウム製のハウジング1と
の間の相異なる熱的長さ変化を補償し、その結果
測定尺2の全ての部分がその位置における被測定
対象物5の対応した部分に所属している。
図示しない方法で測定尺の目盛担体が可撓金属
バンドからも成ることができ、金属バンドは測定
尺のための担体の溝に形状拘束的にしかし実質上
無力に配設されている。
バンドからも成ることができ、金属バンドは測定
尺のための担体の溝に形状拘束的にしかし実質上
無力に配設されている。
第2図においてハウジング1aの端7aは閉鎖
蓋15によつて閉鎖されており、閉鎖蓋は長さ補
償要素8aを介して、被測定物5aに配設された
固定要素10aによつて二つのばねジヨイント8
a′と結合されている。固定要素10aと補償要素
8aは二重L形に形成されておりかつ閉鎖蓋15
と一体である。両ばねジヨイント8a′は測定方向
Xに対して垂直に経過する各一つの回転軸を有す
る。
蓋15によつて閉鎖されており、閉鎖蓋は長さ補
償要素8aを介して、被測定物5aに配設された
固定要素10aによつて二つのばねジヨイント8
a′と結合されている。固定要素10aと補償要素
8aは二重L形に形成されておりかつ閉鎖蓋15
と一体である。両ばねジヨイント8a′は測定方向
Xに対して垂直に経過する各一つの回転軸を有す
る。
図示しない方法で長さ補償要素は測定方向Xに
対して垂直に経過する回転軸線を備えた相互に結
合された二つの回転ジヨイントからも成ることが
できる。更に長さ補償要素は西独国特許公開公報
2853771によるばね要素又は縦支承部スラストベ
アリングによつて形成されることができる。
対して垂直に経過する回転軸線を備えた相互に結
合された二つの回転ジヨイントからも成ることが
できる。更に長さ補償要素は西独国特許公開公報
2853771によるばね要素又は縦支承部スラストベ
アリングによつて形成されることができる。
ボールジヨイント12は固定要素10では対象
物5の平坦でない取付面へのハウジング1の応力
のない取付に役立つ。長さ補償要素8が測定方向
Xに対して平行かつ対象物5の取付面に対して垂
直な平面内においてはハウジング1の僅かな角運
動を可能にし、ボールジヨイント12は省略され
ることもできる。固定要素10は同時にハウジン
グ1のための閉鎖蓋として役立つ。
物5の平坦でない取付面へのハウジング1の応力
のない取付に役立つ。長さ補償要素8が測定方向
Xに対して平行かつ対象物5の取付面に対して垂
直な平面内においてはハウジング1の僅かな角運
動を可能にし、ボールジヨイント12は省略され
ることもできる。固定要素10は同時にハウジン
グ1のための閉鎖蓋として役立つ。
第1図は本発明による特徴を備えた長さ測定装
置の側面図、そして第2図は長さ測定装置のハウ
ジング端のための固定要素を示す。 図中符号、1……支持体、2……測定尺、5…
…被測定対象物、6……固定要素、7……両端、
8……長さ補償要素、10……固定要素。
置の側面図、そして第2図は長さ測定装置のハウ
ジング端のための固定要素を示す。 図中符号、1……支持体、2……測定尺、5…
…被測定対象物、6……固定要素、7……両端、
8……長さ補償要素、10……固定要素。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 2つの対象物の相対位置の測定又は調整のた
めの測長機、特に密閉型測長機にして、その際目
盛と目盛担体から成る測定尺は測定基準点を備え
たその中央範囲で測定尺支持体に固定して配設さ
れておりかつこの中央の固定点以外の点では熱的
長さ変化の際に測定尺支持体とは無関係に測定方
向に僅かに運動可能であり、かつその際測定尺支
持体は両端で固定要素を介して測定されるべき対
象物と結合されている、前記密閉閉型測長機にお
いて、 測定尺2の支持体1はその略中央で第1の固定
要素6を介して測定されるべき対象物5と直接剛
固に結合され、そして両端7で別の固定要素10
と測定方向Xにおける測定尺支持体1の両端7の
平面運動可能な支承のための各1つの長さ補償要
素8を介して結合されていることを特徴とする測
長機。 2 固定要素10と長さ補償要素8とが一体にな
つている特許請求の範囲第1項記載の測長機。 3 長さ補償要素8は測定方向Xに対して直角に
向き、固定要素10のジグザク状のスリツトの形
成のためのスリツト9から成る、特許請求の範囲
第2項記載の測長機。 4 長さ補償要素8aと固定要素10aとが共に
二重L形アングルから形成されている、特許請求
の範囲第2項記載の測長機。 5 長さ補償要素8aが測定方向Xに対して垂直
に向いた回転軸線を備えた相互に結合された2つ
のばねジヨイント8a′から形成されている、特許
請求の範囲第1項又は第4項記載の測長機。 6 長さ補償要素が測定方向Xに対して垂直に向
いた回転軸線を備えた相互に結合された2つの回
転ジヨイントから形成されている、特許請求の範
囲第1項記載の測長機。 7 長さ補償要素がばね要素から形成されてい
る、特許請求の範囲第1項記載の測長機。 8 長さ補償要素がスラストベアリングによつて
形成されている、特許請求の範囲第1項記載の測
長機。 9 測定尺支持体1は測定尺2の収容のためのハ
ウジングとして形成されており、その目盛2bの
ための目盛支持体2aは弾性接着層3を介して測
定尺2のためのハウジング内に固定されている、
特許請求の範囲第1項記載の測長機。 10 固定要素10が同時にハウジング1の閉鎖
蓋である特許請求の範囲第9項記載の測長機。 11 少なくとも1つの固定要素10が測定尺2
の支持体1の端7でボールジヨイント12を介し
て測定されるべき対象物5と結合されている、特
許請求の範囲第1項記載の測長機。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19823243966 DE3243966A1 (de) | 1982-11-27 | 1982-11-27 | Laengenmesseinrichtung |
| DE32439660 | 1982-11-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59109810A JPS59109810A (ja) | 1984-06-25 |
| JPH0332001B2 true JPH0332001B2 (ja) | 1991-05-09 |
Family
ID=6179228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58220826A Granted JPS59109810A (ja) | 1982-11-27 | 1983-11-25 | 長さ測定装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4530157A (ja) |
| EP (1) | EP0110059B1 (ja) |
| JP (1) | JPS59109810A (ja) |
| AT (1) | ATE31455T1 (ja) |
| DE (2) | DE3243966A1 (ja) |
Families Citing this family (32)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3316082A1 (de) * | 1983-05-03 | 1984-11-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Messeinrichtung |
| DE3530776A1 (de) * | 1984-08-31 | 1986-03-06 | Sony Magnescale Inc., Tokio/Tokyo | Geradlinige messskala |
| DE3625795A1 (de) * | 1986-07-30 | 1988-02-04 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Laengenmesseinrichtung |
| JPS6358107A (ja) * | 1986-08-28 | 1988-03-12 | Sony Magnescale Inc | スケ−ル装置の保持機構 |
| DE3637628C1 (de) * | 1986-11-05 | 1988-02-11 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren zur Herstellung einer Massverkoerperung |
| DE3709220A1 (de) * | 1987-03-20 | 1988-09-29 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Messeinrichtung |
| DE3711070A1 (de) * | 1987-04-02 | 1988-11-24 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Laengen- oder winkelmesseinrichtung |
| DE3719409A1 (de) * | 1987-06-11 | 1988-12-22 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmesseinrichtung |
| US5016359A (en) * | 1988-05-31 | 1991-05-21 | Sony Magnescale Inc. | Linear scale arrangement |
| JP2524390B2 (ja) * | 1988-12-29 | 1996-08-14 | 株式会社ミツトヨ | 直線変位検出器 |
| AT401819B (de) * | 1990-10-02 | 1996-12-27 | Rsf Elektronik Gmbh | Längenmesssystem |
| EP0506649B1 (de) * | 1991-03-25 | 1995-04-19 | RSF-Elektronik Gesellschaft m.b.H. | Längenmesssystem |
| DE4212970A1 (de) * | 1992-04-18 | 1993-10-21 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längenmeßeinrichtung |
| EP0575666B1 (en) * | 1992-06-23 | 1997-03-19 | Océ-Nederland B.V. | Electro-optical head assembly |
| GB9215767D0 (en) * | 1992-07-24 | 1992-09-09 | Lk Ltd | Scale assembly |
| DE4406799C2 (de) * | 1994-03-02 | 1997-11-06 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| DE4406798C2 (de) * | 1994-03-02 | 1997-11-27 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| JPH08178694A (ja) * | 1994-12-27 | 1996-07-12 | Canon Inc | 変位センサ用のスケール |
| ATE230103T1 (de) * | 1996-10-11 | 2003-01-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Massstab einer längenmesseinrichtung sowie verfahren zur anbringung eines massstabs |
| DE19751019C2 (de) * | 1997-11-18 | 2002-11-28 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| JP4174096B2 (ja) * | 1998-03-31 | 2008-10-29 | ソニーマニュファクチュアリングシステムズ株式会社 | 位置検出装置 |
| DE19854318A1 (de) * | 1998-11-25 | 2000-05-31 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längenmeßeinrichtung |
| DE19918654B4 (de) | 1999-04-16 | 2004-07-15 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Sicherungsvorrichtung für den Transport und die Montage einer Meßeinrichtung |
| DE10041692A1 (de) * | 2000-08-24 | 2002-03-07 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längen- oder Winkelmeßgerät |
| US6820348B2 (en) * | 2001-02-09 | 2004-11-23 | Acu-Rite, Inc. | Mounting tool for linear encoders |
| JP3806328B2 (ja) * | 2001-09-27 | 2006-08-09 | 株式会社ミツトヨ | ユニット型直線変位測定装置、及び、その端部固定具 |
| US6868620B2 (en) * | 2002-08-01 | 2005-03-22 | Solar Wide Industrial, Ltd. | Digital measuring instrument having flexible measuring line |
| JP2006030086A (ja) * | 2004-07-20 | 2006-02-02 | Mitsutoyo Corp | 長さ測定装置の弾性固定具及び固定方法 |
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