JP5884493B2 - 重金属含有排水の処理方法 - Google Patents
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Description
(i)アルカリ凝集沈殿法(アルカリ性とすることにより水酸化物を生成させ沈殿させる(例えば特許文献1,2))
(ii)Fe−Ca置換法(FeCl3で凝集あるいはキレート系重金属をFeで置換させた後アルカリ性にしてCaと置換。Fe、重金属は水酸化物として析出させる(例えば特許文献3))
(iii)Mg法(塩化マグネシウムを添加し次いでアルカリ性とすることにより金属を水酸化物として沈殿除去する(例えば特許文献4))が用いられてきた。
重金属含有排水としては、銅配線基板のポリッシング工程などCuを多量に、例えば5〜20mg/L程度含む排水などが例示される。
この重金属含有排水に添加する塩化マグネシウムの量は、重金属含有排水中の重金属1モルに対し25〜200モル特に30〜100モル程度が好適である。
重金属及びマグネシウムの水酸化物を析出させた後、ポリマー凝集剤を添加して析出フロックを成長させる。このフロックは正に帯電しているので、ポリマー凝集剤としてはアニオン系ポリマー凝集剤を用いるのが好ましい。アニオン系ポリマー凝集剤の添加量は、1〜5mg/L特に2〜3mg/Lとなる程度が好ましい。
ポリマー凝集剤を添加してフロックを成長させた後、好ましくは沈降分離、遠心分離などの比重差分離によってフロックを除去する。これにより重金属及びマグネシウムの水酸化物がほぼ除去された第1固液分離処理水が得られる。
第1固液分離処理水に残留する重金属を除去するために、第1固液分離処理水に鉄系無機凝集剤を添加する。鉄系無機凝集剤としては、塩化第二鉄、ポリ硫酸鉄などが挙げられるが、特に好ましくは塩化第二鉄が挙げられる。鉄系無機凝集剤の添加量は100〜300mg/L特に150〜200mg/L程度が好ましい。この鉄系無機凝集剤の添加により、残留していた重金属がFeとの共沈反応により除去される。また、鉄系無機凝集剤中の鉄も水酸化鉄として析出する。
鉄系無機凝集剤添加後の固液分離としては、濾材層に通水する濾過が望ましい。濾材としては、砂、アンスラサイトなどを用いることができる。この第2固液分離処理により、重金属及び鉄の水酸化物が除去され、重金属濃度が著しく低い処理水が得られる。
銅配線基板のポリッシング工程から排出されるCu含有排水(Cu:10mg/L、pH7.2)を図1の通り反応槽1に導入し、塩化マグネシウムを200mg/L(as Mg)を添加した後、NaOHを添加してpH=11.5に調整した。これを凝集槽2に導入し、アニオン系ポリマー凝集剤(栗田工業(株)クリフロック PA372)を3mg/L添加した。これを沈降槽3に導入し、第1固液分離処理し、上澄水を反応槽4内に導入し、塩化第二鉄を100mg/Lとなるように添加し、NaOHを添加してpH=9.5に調整した。これを第2固液分離手段としての二層濾過器5(濾材:砂、アンスラサイト)にてLV=8m/hrにて濾過した。濾過処理水のSDI値及びCu濃度を表1に示す。
反応槽4のpHを10としたこと以外は実施例1と同様にして処理を行った。濾過処理水のSDI値及びCu濃度を表1に示す。
反応槽4のpHを11としたこと以外は実施例1と同様にして処理を行った。濾過処理水のSDI値及びCu濃度を表1に示す。
反応槽4のpHを11.5としたこと以外は実施例1と同様にして処理を行った。濾過処理水のSDI値及びCu濃度を表1に示す。
反応槽4のpHを9としたこと以外は実施例1と同様にして処理を行った。濾過処理水のSDI値及びCu濃度を表1に示す。
実施例1において、反応槽4以下を省略し、沈降槽3までの処理とした。沈降槽3から流出する上澄水のSDI値及びCu濃度を表1に示す。
2 凝集槽
3 沈降槽
4 反応槽
5 二層濾過器
Claims (4)
- 重金属含有排水に塩化マグネシウムを添加し、pHを11以上とした後、アニオン系ポリマー凝集剤を添加し、
第1固液分離処理し、
その後、該第1固液分離処理の処理水に鉄系無機凝集剤を添加し、pH9.5〜11とした後、第2固液分離処理する重金属含有排水の処理方法であって、
該塩化マグネシウムの添加量が該重金属含有排水中の重金属1モルに対して25〜200モルであり、
該アニオン系ポリマー凝集剤の添加量が1〜5mg/Lであり、
該鉄系無機凝集剤の添加量が100〜300mg/Lであることを特徴とする重金属含有排水の処理方法。 - 請求項1において、鉄系無機凝集剤は塩化第二鉄であることを特徴とする重金属含有排水の処理方法。
- 請求項1又は2において、重金属含有排水はCuを0.1mg/L以上含有することを特徴とする重金属含有排水の処理方法。
- 請求項1ないし3のいずれか1項において、前記第2固液分離処理の処理水を逆浸透処理することを特徴とする重金属含有排水の処理方法。
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