JP5878684B2 - ガラスシート内の欠陥検出方法および装置 - Google Patents
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Description
Lcoh=0.16Rλ/RS (1)
とするとき、距離Lcohだけ離れたガラス上の点におけるザイズRSの光源から発せられた光は、88%空間的干渉性を有し(非特許文献1)、ここで、Rは光源からガラスまでの距離、λは平均光波長である。空間的干渉性は、表面摂動のサイズwが
w≦(λL)1/2 (2)
を満足させるときに著しい。空間的干渉性による回折は、欠陥の影の鮮明さを拡散させ、または或る場合には、スクリーン上の輝度変調を増幅させる。
サイズの異なる種々のガラスシートの全域にわたって一貫した検査結果を得るために、如何にして光源からスクリーン上に一様な照度分布を提供するかにある。
Eν=IνCos3α/S2 (3)
ここで、Iνは光度、αは光源10によって発せられる光線18の方向と光軸16との間の角度、Sは点状光源10からスクリーン14までの距離である。等式(3)においては、検査されるガラスシートの光透過度の入射角による依存度は考慮されていない。これは、入射角が35度を超えず、かつ光源10からの光が偏光されていなければ、正当とされる。もし必要であれば、入射角に応じた透過係数を導入することによって、より正確な表現が得られる。等式(3)から、スクリーン14の中心において(すなわち光軸16において)照度が最大であり、スクリーン14の隅に向かってCos3αに従って低下する。本発明の態様は、検査員によって一様と感知されるスクリーン14における理想的な照度分布を如何にして作成するかに取り組むことにある。用語「理想的な照度分布」とは、板ガラス12が検出可能な欠陥を有しないか、または光源10とスクリーン14との間にガラスシート(または透明な物質)が置かれていない場合を想定した照度分布の説明に用いられる。板ガラス12内の検出可能な欠陥は、スクリーン14における照度分布の歪みとして自らを曝け出す。したがって、理想的な照度分布は、高品質領域全体の一貫した検査を行なうために一様でなければならない。
(イ)等式(3)により説明される、スクリーンへの(光源からの)距離およびスクリーン上の入射角。
T(ρ)=T 0 {(d 2 +ρ 2 )/(d 2 +ρ max 2 )} 3/2 (4)
ここで、T0は基板層36の透過率、dは光源22から可変透過度光学フィルタ24の位置までの距離、ρmaxはフィルタ平面における最大ビーム半径であり(フィルタ平面25およびρに関しては図4参照)、等式(5)によって与えられる。すなわち、
ρmax=d・Tanαmax (5)
等式(5)において、αmaxは一様な照度分布を提供する円錐33の角度として定義される最大動作ビーム角である。望ましいことではあるが、光源22から可変透過度光学フィルタ24までの距離は、光源22から放散される熱のために、短か過ぎてはならない。もし、光源22と可変透過度光学フィルタ24との間の実際の動作距離dおよびαmaxが決定されれば、等式(5)はρmaxを定義する。等式(4)から判るように、透過度は、フィルタの中心(α=0、ρ=0)におけるT0Cos3αmaxから、フィルタの外周近傍(α=αmax、ρ=ρmax)におけるT0まで増大する。換言すれば、光学フィルタ24を通過する光の透過度Tは、最大動作ビーム角αmaxにおいてT0の100%であり、フィルタの中心(α=0)に近付くにつれて減少する。図5における実施例は、T0=85%、d=70.8mm、αmax=27度の場合の可変透過度光学フィルタの透過度分布を示す。これらのパラメータを用いると、ρmaxは約36mmである。フィルタの透過率Tは、フィルタ平面における半径方向位置ρに対してプロットされている。
Ti=(I0/Ii)T0 (6)
ここで、T0は基板の透過度、Iiは点Piにおける輝度である。次に、透過率分布が適当な方法、例えば多項式補間で補間される。上述で定義された手順で製造されたフィルタが光源とスクリーンとの間に配置された場合に、スクリーンの輝度は本質的に一様である。
h(α)=rSinα+(S−rCosα)Tanφ (7)
ここで、φはレンズを出た後の光線の角度である。もしνが第2面の法線と光軸との間の角度であるとすると、スネルの屈折法則は下記の式で表される。すなわち、
nSin(ν−α)=Sin(ν−φ) (8)
ここで、nはレンズ材料の屈折率である。上記面に対する法線の角度の正接は下記の式で表される。すなわち、
光ビームを放射する光源、
上記光ビームが投影されるスクリーン、および
上記光源と上記スクリーンとの間に配置されて、該スクリーン上に投影される光ビームを遮る光学素子であって、上記光ビームの少なくとも一部分の光度を変え、かつほぼ一様な照度分布を上記スクリーン上に生成させるように構成された光学素子、
を備えている。
光源からの光ビームを、透明な材料を透過させてスクリーンへ投影して該スクリーンを照射し、
上記光源からの上記光ビームの少なくとも一部分の光度を変えるように構成された光学素子を用いて、上記光源と上記スクリーンとの間において上記光ビームを遮り、かつほぼ一様な照度分布を上記スクリーン上に生成させ、かつ
上記スクリーン上の照度分布を観察または記録する、
ことを含む。
12 板ガラスまたは平らな透明材料
14 スクリーン
16 光軸
18 光線
20 LCDガラス検査装置
22 光源
24 可変透過度光学フィルタ
25 フィルタ平面
26 スクリーン
28 光学軸
30 板ガラス
32 光ビーム
33 円錐
34 フィルタ層
35 入力側
36 基板層
37 出力側
38 反射防止層
40 光屈折素子
41 カメラ
42 第1の非球面
43 プロセッサ
44 第2の非球面
45 焦点面
50 第1の非球面輪郭
52 第2の非球面輪郭
54 球面輪郭
Claims (9)
- 透明な材料内の欠陥を一様検出する装置であって、
発散光ビームを放射するように構成された光源、
前記発散光ビームの投影を受けるために前記光源から距離を隔てて配置されたスクリーン、および
前記光源と前記スクリーンとの間に配置されて、該スクリーン上に前記光源から投影される前記発散光ビームを遮る光学素子であって、該光学素子は可変透過度光学フィルタまたは少なくとも1つの非球面を有する光屈折素子であり、当該発散光ビームによって画成される光の円錐内の前記スクリーン上の照度分布が、前記光学素子と前記スクリーンとの間に欠陥のある透明材料が配置されていない状態においてほぼ一様になるように、前記光源から投影された前記発散光ビームの前記円錐内における角度的光度分布を変えるように構成された光学素子、
を備えた装置。 - 前記可変透過度光学フィルタは、可変透過度を有するフィルタ層と、ほぼ一様な光透過度を有する基板層と、前記フィルタ層の一方側または両側に形成された反射防止層とを備えていることを特徴とする請求項1記載の装置。
- 前記可変透過度光学フィルタは、K(d2+ρ2)3/2によって定義される透過度輪郭を有し、ここで、ρは前記可変透過度光学フィルタの中心から該可変透過度光学フィルタ上の任意の点まで測定された半径であり、かつdおよびKは定数であり、前記可変透過度光学フィルタは、ほぼ一様な光透過度を有する基板層上に形成された、可変光透過度を有するフィルタ層を備えていることを特徴とする請求項1記載の装置。
- 前記可変透過度光学フィルタは、前記フィルタ層および前記基板層の少なくとも一方上に形成された反射防止層を備えていることを特徴とする請求項3記載の装置。
- 前記定数Kは、K=T0(d2+ρmax 2)-3/2として定義され、ここで、T0は前記基板層の透過度、ρmaxは前記可変透過度光学フィルタが前記光度を変えるためのρの所定の最大値であり、かつdは前記可変透過度光学フィルタと前記光源との間の距離であることを特徴とする請求項3または4記載の装置。
- 前記光源が、点状光源および直線状光源からなる群から選ばれたものであることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項記載の装置。
- 透明な材料内の欠陥を一様検出する方法であって、
光源から放射された発散光ビームの投影を受けるために、前記光源から距離を隔てて、スクリーンを配置し、
前記光源から前記スクリーンへ投影された前記発散光ビームを遮断するために、前記光源と前記スクリーンの間に光学素子を配置し、該光学素子は、該光学素子は可変透過度光学フィルタまたは少なくとも1つの非球面を有する光屈折素子であり、当該発散光ビームによって画成される光の円錐内の前記スクリーン上の照度分布が、前記光学素子と前記スクリーンとの間に欠陥のある透明材料が配置されていない状態においてほぼ一様になるように、前記光源から投影された前記発散光ビームの前記円錐内における角度的光度分布を変えるように構成された光学素子、
前記光学素子と前記スクリーンとの間に、欠陥検出される前記透明な材料を配置し、
前記スクリーンを照射するために、前記光源からの前記発散光ビームを、前記光学素子を透過させて、さらに、前記透明な材料を透過させて前記スクリーンへ投影し、
前記スクリーン上の照度分布を観察または記録する、
各ステップを含むことを特徴とする方法。 - 前記光屈折素子は、前記発散光ビームを屈折させ、前記スクリーン上の明るい領域から前記スクリーン上の暗い領域へ前記発散光ビームを向け直すことによって前記発散光ビームの前記角度的光度分布を変更するように構成されたものであることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記光屈折素子は、前記光源に対抗する凹状の球面である第1の表面を有し、
前記光屈折素子が備える前記少なくとも1つの非球面は、前記光源に背を向けているものであり、
前記光屈折素子が備える前記少なくとも1つの非球面の形状は、以下の極座標によって定義され、
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