JP2006275704A - 膜厚ムラ検出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基材1表面に対し斜め方向から照射光Xを照射し、斜め方向に出射する反射光の光路上に凸レンズ2が配置されており、この凸レンズ2の作用によって基材1の像3が結像される。凸レンズ2の光軸2aは前記基材1の表面の法線1aに対して傾いており、像3も基材1表面の法線1aに対し傾いた位置に結像する。そして、この像3をカメラで撮影して画素に対応する領域ごとに反射光強度を測定する。次に、測定された反射光強度から塗布ムラを検出する。
【選択図】図1
Description
前記基材とカメラの間に凸レンズを配置し、この凸レンズによって結像した前記基材の像の全面に焦点を合わせて前記カメラで撮影することを特徴とする膜厚ムラ検出方法である。
2…レンズ
3…像
4…光源
5…拡散板
6…カメラ
Claims (3)
- 透明感光性樹脂被膜を備える基材に対し斜めから光照射し、その反射光強度をカメラで測定して前記被膜の膜厚ムラを検出する方法において、
前記基材とカメラの間に凸レンズを配置し、この凸レンズによって結像した前記基材の像の全面に焦点を合わせて前記カメラで撮影することを特徴とする膜厚ムラ検出方法。 - 前記凸レンズの光軸を、前記基材の表面の法線に対して傾けて配置することを特徴とする請求項1記載の検出方法。
- 前記凸レンズを、前記基材の表面の中心線を基準として光照射方向と反対側の位置に配置し、かつ、その光軸を前記表面の法線と平行とすることを特徴とする請求項1記載の検出方法。
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2005
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