WO2020022517A1 - 光源装置 - Google Patents

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Definitions

  • the present invention relates to a light source device that irradiates, for example, monochromatic light to an object and generates light close to monochromatic light for inspecting a product by generating interference fringes.
  • a sodium lamp generates light by an arc discharge in sodium vapor, and generates monochromatic light near orange having only a bright line spectrum of a sodium atom (D line, D1: 589.6 nm and D2: 589.0 nm). It is a hot cathode tube discharge lamp. By irradiating such monochromatic light on the product surface during product inspection, interference fringes are generated on the product surface. By observing the shape of the interference fringes, the processed state of the product surface can be visually recognized.
  • an inspection method and an inspection apparatus for observing interference fringes using a sodium lamp are described. More specifically, a backlight unit, a first polarizing plate disposed on the light exit surface, a substrate receiving stage spaced apart in front of the substrate and holding a liquid crystal display panel, a substrate receiving stage and a liquid crystal display. An inspection method using a second polarizing plate that is movably held further away from the display panel and a lamp for reflected illumination, wherein the angle of inclination of the substrate receiving stage is changed while the reflected light for reflected illumination is changed.
  • an inspection method for a liquid crystal display panel which comprises a second inspection step of inspecting for defects based on transmitted light coming forward through a polarizing plate.
  • the above object is constituted by a light source comprising a discharge tube containing mercury, and a first optical filter and a second optical filter sequentially arranged in front of the light source, and the first optical filter or the second optical filter
  • the optical filter has an optical characteristic of blocking a spectral component in a wavelength range shorter than one peak wavelength of the light generated from the light source, and the second optical filter or the first optical filter is the light generated from the light source.
  • a light source device having optical characteristics of blocking a spectral component in a wavelength region longer than the peak wavelength of the light, and diffusing light transmitted through the first optical filter and the second optical filter by the light diffusion plate. Is achieved by
  • the object is to provide a low-pressure light source comprising a discharge tube containing mercury having a peak wavelength in an ultraviolet region or a visible light region, and a first optical filter and a second optical filter sequentially arranged in front of the light source.
  • a milky white plastic light diffusing plate disposed in front of the first optical filter and the second optical filter, and the first optical filter or the second optical filter, It has an optical characteristic of blocking a spectral component in a wavelength range shorter than one peak wavelength of light generated from the light source, and the second optical filter or the first optical filter is the light generated from the light source. It has an optical characteristic of blocking a spectral component in a wavelength range longer than the peak wavelength, and is transmitted through the first optical filter and the second optical filter. Is diffused by the light diffusion plate removed nearly monochromatic light having a wavelength band around peak wavelength, characterized in that the light source device light source device is achieved.
  • the discharge tube containing mercury as a light source is turned on by supplying power from an external power supply, and light generated from the light source is used as a first optical filter as a high cut filter and a low cut filter as a low cut filter.
  • a first optical filter as a high cut filter and a low cut filter as a low cut filter.
  • the light source device is preferably characterized in that the light source is a discharge tube containing mercury that generates light having a peak wavelength near 550 nm. According to this configuration, by using a relatively inexpensive discharge tube containing mercury, which is widely used as a light source, a low-cost, substantially monochromatic light source device can be configured.
  • the first optical filter or the second optical filter has an optical property of blocking a spectral component in a wavelength range shorter than 540 nm in light generated from the light source. It is characterized by having.
  • the second optical filter or the first optical filter has an optical property of blocking a spectral component in a wavelength range longer than 560 nm in light generated from the light source. It is characterized by having.
  • the first optical filter as the high-cut filter and the second optical filter as the low-cut filter are superposed and arranged in front of the light source to transmit light in a wavelength band of 540 nm to 560 nm. Since only light near one peak wavelength of the discharge tube containing mercury can be extracted, light in this wavelength band, that is, substantially monochromatic light can be obtained.
  • the above object is constituted by a light source comprising a discharge tube containing mercury, and a third optical filter disposed in front of the light source, wherein the third optical filter is a light source that emits light from the light source.
  • the light source device is characterized by having an optical characteristic of blocking a spectral component in a wavelength range shorter than two peak wavelengths and blocking a spectral component in a wavelength range longer than the peak wavelength.
  • the object is to provide a low-pressure light source including a discharge tube containing mercury having a peak wavelength in an ultraviolet region or a visible light region, a third optical filter disposed in front of the light source, and the third optical filter.
  • a light-diffusing plate made of milky-white plastic disposed in front of the light source, wherein the third optical filter blocks a spectral component in a wavelength range shorter than one peak wavelength of light generated from the light source. And has an optical characteristic of blocking a spectral component in a wavelength range longer than the peak wavelength, and transmits the third optical filter to extract only substantially monochromatic light in a wavelength band near one peak wavelength to obtain the light.
  • the light source device is characterized in that the light is diffused by a diffusion plate.
  • the discharge tube containing mercury as a light source is turned on by supplying power from an external power supply, and light generated from the light source is transmitted through the third optical filter as a bandpass filter.
  • the third optical filter as a bandpass filter.
  • the light source is a discharge tube including mercury that generates light having a peak wavelength around 550 nm
  • the third optical filter is configured to emit light having a peak wavelength of about 540 nm. It is characterized by having optical characteristics of blocking a spectral component in a short wavelength range and blocking a spectral component in a wavelength range longer than 560 nm.
  • one band-pass filter is disposed in front of the light source, and transmits light in a wavelength band of 540 nm to 560 nm, so that only light near one peak wavelength of a discharge tube containing mercury is transmitted. Since the light can be extracted, light in this wavelength band, that is, light of substantially monochromatic light can be obtained.
  • the light source device is preferably characterized in that a milky white plastic light diffusion plate is arranged in front of the first optical filter and the second optical filter or the third optical filter. According to this configuration, the light transmitted through each optical filter is diffused by the light diffusion plate, so that substantially uniform irradiation light can be obtained.
  • substantially the same monochromatic light as that of the conventional low-pressure sodium lamp can be obtained.
  • an interference fringe generated on the surface is observed and visually recognized.
  • an extremely excellent light source device capable of emitting monochromatic light, for example, monochromatic light close to the emission line spectrum of a low-pressure sodium lamp, with a simple configuration.
  • FIG. 1 is a schematic perspective view showing an appearance of an embodiment of a light source device according to the present invention.
  • FIG. 2A is a front view
  • FIG. 2B is a right side view
  • FIG. FIG. 2 is a block diagram illustrating an internal configuration of the light source device of FIG. 1.
  • FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a main part of the light source device of FIG. 1.
  • FIG. 2 is a spectrum diagram showing a wavelength distribution of light from a gas discharge tube as a light source used in the light source device of FIG. 1.
  • the light source device 10 is incorporated in a case 11.
  • the case 11 has a light irradiation surface 11a on the front surface thereof, an exhaust fan 11b for emitting heat generated by an internal light source (described later) to the outside, and an intake port 11c provided on a side surface. And a handle 11d for movement.
  • the light illuminating surface 11a of the case 11 is provided with a light diffusing plate 11e, so that light emitted from inside the case 11 is always transmitted through the light diffusing plate 11e.
  • the light diffusion plate 11e is made of, for example, a milky white acrylic plate.
  • the light source device 10 includes a low-pressure light source 12, two optical filters 13 and 14, and a power supply device 15, as shown in FIGS.
  • the light source 12 has a known configuration, and uses a commercially available discharge tube containing mercury.
  • the discharge tube containing mercury has optical characteristics as shown in the spectrum diagram of FIG. 5, for example, rises from around 250 nm, and has one peak wavelength in the ultraviolet region around 370 nm and around 550 nm in the visible light region. It has a peak wavelength. In the present embodiment, a peak wavelength near 550 nm is extracted and used as substantially monochromatic light irradiation light.
  • the two optical filters 13 and 14 are sequentially arranged from the light source 12 side between the light source 12 and the light irradiation surface 11a of the case 11, respectively.
  • the first optical filter 13 is configured as a high cut filter having an optical characteristic of blocking a spectral component in a wavelength range shorter than 540 nm. As a result, of the light from the light source 12, light in a wavelength band shorter than the peak wavelength near 550 nm is cut off.
  • the second optical filter 14 is configured as a low-cut filter having an optical characteristic of blocking a spectral component in a wavelength range longer than 560 nm. As a result, of the light from the light source 12 described above, light in a wavelength band longer than the peak wavelength near 550 nm is cut off.
  • the power supply device 15 has a known configuration, is a power supply for driving and lighting the light source 11, and a commercially available power supply device can be used. Further, in the case shown, the power supply device 15 supplies power to the exhaust fan 11b.
  • the light source device 10 is configured as described above.
  • the light source 11 By supplying power to the light source 11 by the power supply device 15, the light source 11 emits light and is irradiated with light L as shown in FIG. You.
  • the light L emitted from the light source 11 sequentially passes through the two optical filters 13 and 14 disposed in front of the light L (rightward in FIG. 4), and further passes through the light diffusion plate 11e to the outside. Emit.
  • the light L passes through the first optical filter 13.
  • the first optical filter 13 blocks the spectral components in the wavelength range shorter than 540 nm, so that the light L becomes the light L1 having only the spectral components in the wavelength range longer than 540 nm as shown in FIG. Become.
  • the light L1 passes through the second optical filter 14.
  • the second optical filter 14 blocks the spectral components in the wavelength range longer than 560 nm, so that the light L1 is changed to the light L2 having only the spectral components in the wavelength range shorter than 560 nm as shown in FIG. Become.
  • the light L2 becomes almost monochromatic light in the wavelength range from 540 nm to 560 nm by blocking the spectral components in the wavelength range shorter than 540 nm and the spectral components in the wavelength range longer than 560 nm.
  • the light L2 is emitted to the outside through the light diffusion plate 11e provided on the light irradiation surface 11a of the case 11. At this time, the light L2 is diffused by the light diffusion plate 11e, so that the light transmitted through the light diffusion plate 11e becomes uniform irradiation light.
  • the light source device 10 having such a configuration is used to irradiate the object with the light L2, which is substantially monochromatic light having a wavelength of around 550 nm, to irradiate light of around 590 nm from a conventional sodium lamp. Similarly, it is possible to perform a visual inspection of cell gaps, surface scratches, dust, distortion, flatness, etc., depending on the state of occurrence of interference fringes on the object.
  • two optical filters 13 and 14 are used to convert the light L from the light source 11 into light L2 that is substantially monochromatic light.
  • a single optical filter having an optical characteristic of blocking a spectral component in a wavelength range shorter than 540 nm and blocking a spectral component in a wavelength range longer than 560 nm, that is, a so-called band-pass filter is used.
  • light L2 which is substantially monochromatic light, can be obtained.
  • the present invention can be implemented in various forms without departing from the spirit thereof.
  • the power supply device 15 is built in the case 11, but the invention is not limited thereto.
  • the power supply device 15 may be configured separately, or a commercially available power supply device may be used.
  • the power supply device 15 may not be provided in the light source device 10 itself.
  • the light from the light source 12 sequentially passes through the first optical filter 13 that is a high-cut filter and the second optical filter 14 that is a low-cut filter, but is not limited thereto.
  • the first optical filter 13 is configured as a low-cut filter having an optical characteristic of blocking a spectral component in a wavelength range longer than 560 nm
  • the second optical filter 14 is configured to block a spectral component in a wavelength range shorter than 540 nm. It may be configured as a high cut filter having characteristics.

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Abstract

単色光、例えば低圧ナトリウムランプの輝線スペクトルに近い単色光を発光させることが可能な光源装置を提供する。 そのために、水銀を含む放電管から成る低圧の光源１２と、光源の前方に順次に配置された第一の光学フィルタ１３及び第二の光学フィルタ１４と、光拡散板とから構成されており、第一の光学フィルタ１３が、光源から発生する光の一つのピーク波長より短い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えていて、第二の光学フィルタ１４が、光源から発生する光のピーク波長より長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備え、第一の光学フィルタ１３及び第二の光学フィルタ１４を透過した光を光拡散板によって拡散させる、光源装置１０を構成する。

Description

光源装置
　本発明は、例えば単色光を対象物に照射して、干渉縞の発生により製品の検査を行なうための単色光に近い光を発生させる光源装置に関するものである。
　従来、例えば液晶ディスプレイ装置等の製造工程において、貼り合わせた液晶パネル等の目視検査を行なう場合、対象物に対して単色光を照射して、干渉縞の発生状況により、セルギャップや表面の傷，ごみ，歪み，平坦性等の目視検査を行なうようにしている。
　このような製品検査で単色光を照射するための光源としては、従来ナトリウムランプ、特に低圧ナトリウムランプが広く使用されている。
　ナトリウムランプは、ナトリウム蒸気中のアーク放電により、光を発生させるもので、ナトリウム原子の輝線スペクトル（Ｄ線、Ｄ１：５８９．６ｎｍとＤ２：５８９．０ｎｍ）のみのオレンジに近い単色光を発生させる熱陰極管放電ランプである。
　このような単色光を製品検査の際に製品表面に照射することにより、製品表面に干渉縞が発生し、干渉縞の形状を観察することにより、製品表面の加工状態を視認することができる。
　また、特許文献１に記載の発明においてもナトリウムランプを使用して干渉縞を観察するための検査方法及び検査装置が記載されている。具体的には、バックライトユニットと、この出射面に配置される第１の偏光板と、この前方に離間して配置され、液晶表示パネルを保持する基板受けステージと、この基板受けステージ及び液晶表示パネルのさらに前方に離間して可動に保持される第２の偏光板と、反射照明用のランプとを用いる検査方法であって、基板受けステージの傾斜角度を変化させつつ、反射照明用のランプからの照明を行い、液晶表示パネルから反射されて出てくる反射光に基づき欠陥についての検査を行う第１検査工程と、この後、バックライトユニットから液晶表示パネル及び第１及び第２の偏光板を経て前方へと出て来る透過光に基づき欠陥についての検査を行う第２検査工程とからなる液晶表示パネルの検査方法が記載されている。
特開２０１５−７５７５号公報
　しかしながら、上述したナトリウムランプは、その製造をほぼ海外メーカーに依存しており、近年、当該海外メーカーが低圧ナトリウムランプの製造を中止したため、現在販売しているナトリウムランプは、在庫品に限られてしまっている。
　このため、前述したナトリウムランプの照射による干渉縞の発生状態による製品検査は、今後継続的に行なうことが困難になりつつある。
発明の目的
　本発明は、以上の点に鑑み、簡単な構成により、単色光、例えば低圧ナトリウムランプの輝線スペクトルに近い単色光を発光させることが可能な光源装置を提供することを目的としている。
　上記目的は、水銀を含む放電管から成る光源と、光源の前方に順次に配置された第一の光学フィルタ及び第二の光学フィルタと、から構成されており、第一の光学フィルタまたは第二の光学フィルタが、光源から発生する光の一つのピーク波長より短い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えていて、第二の光学フィルタまたは第一の光学フィルタが、光源から発生する光のピーク波長より長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備え、前記第一の光学フィルタ及び第二の光学フィルタを透過した光を前記光拡散板によって拡散させる、ことを特徴とする光源装置により、達成される。
　また、上記目的は、紫外線域または可視光域にピーク波長を有する水銀を含む放電管から成る低圧の光源と、前記光源の前方に順次に配置された第一の光学フィルタ及び第二の光学フィルタと、前記第一の光学フィルタ及び第二の光学フィルタの前方に配置される乳白色のプラスチック製の光拡散板と、から構成されており、前記第一の光学フィルタまたは第二の光学フィルタが、前記光源から発生する光の一つのピーク波長より短い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えていて、前記第二の光学フィルタまたは第一の光学フィルタが、前記光源から発生する光の前記ピーク波長より長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備え、前記第一の光学フィルタ及び第二の光学フィルタを透過させることにより、一つのピーク波長付近の波長帯域のほぼ単色光を取り出して前記光拡散板によって拡散させる、ことを特徴とする、光源装置光源装置により、達成される。
　上記第一の構成によれば、光源としての水銀を含む放電管に外部の電源から給電することにより点灯させ、光源から発生する光を、ハイカットフィルタとしての第一の光学フィルタ及びローカットフィルタとしての第二の光学フィルタを順次に透過させることにより、一つのピーク波長付近の波長帯域の光のみを取り出して、この一つのピーク波長付近の波長帯域のみのほぼ単色光を得ることができる。
　従って、例えば低圧ナトリウムランプ等の特殊な単色光ランプを使用することなく、一般的なランプ、即ち低価格のランプを使用して、実質的に単色光を得ることが可能である。
　これにより、従来の単色光ランプに替えて、本発明による光源装置を使用することにより、同様の効果が得られることとなる。
　本発明による光源装置は、好ましくは、光源が、５５０ｎｍ付近にピーク波長を有する光を発生する水銀を含む放電管であることを特徴とする。
　この構成によれば、光源として広く普及している比較的安価な水銀を含む放電管を使用することにより、低コストでほぼ単色光の光源装置が構成され得る。
　本発明による光源装置は、好ましくは、第一の光学フィルタまたは第二の光学フィルタが、光源から発生する光のうち、５４０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を遮断する光学特性を備えていることを特徴とする。
　本発明による光源装置は、好ましくは、第二の光学フィルタまたは第一の光学フィルタが、光源から発生する光のうち、５６０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を遮断する光学特性を備えていることを特徴とする。
　この構成によれば、ハイカットフィルタとしての第一の光学フィルタとローカットフィルタとしての第二の光学フィルタを重ねて光源の前方に配置して、５４０ｎｍから５６０ｎｍの波長帯域の光を透過させることによって、水銀を含む放電管の一つのピーク波長付近の光のみを取り出すことができるので、この波長帯域の光、即ちほぼ単色光の光を得ることができる。
　また、上記目的は、水銀を含む放電管から成る光源と、光源の前方に配置された第三の光学フィルタと、から構成されており、第三の光学フィルタが、光源から発生する光の一つのピーク波長より短い波長域のスペクトル成分を遮断し且つ前記ピーク波長より長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えていることを特徴とする、光源装置により達成される。
　また、上記目的は、紫外線域または可視光域にピーク波長を有する水銀を含む放電管から成る低圧の光源と、前記光源の前方に配置された第三の光学フィルタと、前記第三の光学フィルタの前方に配置される乳白色のプラスチック製の光拡散板と、から構成されており、前記第三の光学フィルタが、前記光源から発生する光の一つのピーク波長より短い波長域のスペクトル成分を遮断し且つ前記ピーク波長より長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備え、前記第三の光学フィルタを透過させることにより、一つのピーク波長付近の波長帯域のほぼ単色光のみを取り出して前記光拡散板によって拡散させる、ことを特徴とする、光源装置により達成される。
　上記構成によれば、光源としての水銀を含む放電管に外部の電源から給電することにより点灯させ、光源から発生する光を、バンドパスフィルタとしての第三の光学フィルタを透過させることにより、上述した第一の構成と同様にして、一つのピーク波長付近の波長帯域の光のみを取り出すことにより、この一つのピーク波長付近の波長帯域のみのほぼ単色光を得ることができる。
　本発明による光源装置は、好ましくは、光源が、５５０ｎｍ付近にピーク波長を有する光を発生する水銀を含む放電管であって、第三の光学フィルタが、光源から発生する光のうち、５４０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分を遮断し且つ５６０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えていることを特徴とする。
　この構成によれば、一枚のバンドパスフィルタを光源の前方に配置して、５４０ｎｍから５６０ｎｍの波長帯域の光を透過させることによって、水銀を含む放電管の一つのピーク波長付近の光のみを取り出すことができるので、この波長帯域の光、即ちほぼ単色光の光を得ることができる。
　本発明による光源装置は、好ましくは、第一の光学フィルタ及び第二の光学フィルタまたは第三の光学フィルタの前方に乳白色のプラスチック製の光拡散板が配置されていることを特徴とする。
　この構成によれば、各光学フィルタを透過した光を、光拡散板によって拡散させることにより、ほぼ均一な照射光とすることができる。
　従って、上述した構成によれば、従来の低圧ナトリウムランプとほぼ同じ単色光の光が得られることになり、例えば対象物に照射することにより、その表面に発生する干渉縞を観察し且つ視認することにより、当該対象物の表面に関して、セルギャップや表面の傷，ごみ，歪み，平坦性等の目視検査を行なうことができる。
　従って、現在製造中止となり、近い将来に供給がストップする低圧ナトリウムランプの代替として、本発明による光源装置を利用することにより、低圧ナトリウムランプの場合と同様の干渉縞の観察によって、対象物の目視検査を行なうことが可能である。
　このようにして、本発明によれば、簡単な構成により、単色光、例えば低圧ナトリウムランプの輝線スペクトルに近い単色光を発光させることが可能な極めて優れた光源装置を提供することができる。
本発明による光源装置の一実施形態の外観を示す概略斜視図である。 図１の光源装置を示す（Ａ）正面図，（Ｂ）右側面図及び（Ｃ）平面図である。 図１の光源装置の内部構成を示すブロック図である。 図１の光源装置の要部を示す概略図である。 図１の光源装置で使用される光源としてのガス放電管からの光の波長分布を示すスペクトル図である。
　以下、図面に示した実施形態に基づいて本発明を詳細に説明する。
　図１及び図２は、本発明による光源装置の一実施形態の全体構成を示している。
　図１及び図２において、光源装置１０は、ケース１１に内蔵されている。
　ケース１１は、その前面に光照射面１１ａを備えていると共に、内部の光源（後述）で発生する熱を外部に放出するための排気用ファン１１ｂと、側面に設けられた吸気口１１ｃと、移動のための把手１１ｄと、を備えている。
　ケース１１の光照射面１１ａには、光拡散板１１ｅが備えられており、ケース１１内から出射する光は、必ず光拡散板１１ｅを透過するように構成されている。
　ここで、光拡散板１１ｅは、例えば乳白色のアクリル板から構成されている。
　また、光源装置１０は、図３及び図４に示すように、低圧の光源１２と、二枚の光学フィルタ１３及び１４と、電源装置１５と、を備えている。
　光源１２は、公知の構成であって、市販の水銀を含む放電管を使用している。
　この水銀を含む放電管は、例えば図５のスペクトル図に示すような光学特性であって、２５０ｎｍ付近から立ち上がり、３７０ｎｍ付近の紫外線域に一つのピーク波長を、また可視光域では、５５０ｎｍ付近にピーク波長を有している。
　本実施形態においては、５５０ｎｍ付近のピーク波長を取り出して、ほぼ単色光の照射光として利用する。
　二枚の光学フィルタ１３及び１４は、それぞれ光源１２とケース１１の光照射面１１ａとの間で光源１２側から順次に配置されている。
　第一の光学フィルタ１３は、５４０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えたハイカットフィルタとして構成されている。
　これにより、前述した光源１２からの光のうち、５５０ｎｍ付近のピーク波長より短い波長帯域の光が遮断されることになる。
　第二の光学フィルタ１４は、５６０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えたローカットフィルタとして構成されている。
　これにより、前述した光源１２からの光のうち、５５０ｎｍ付近のピーク波長より長い波長帯域の光が遮断されることになる。
　電源装置１５は、公知の構成であって、光源１１を駆動点灯するための電源であり，市販の電源装置を利用することができる。
　さらに、図示の場合、電源装置１５は、排気用ファン１１ｂに給電するようになっている。
　本発明による光源装置１０は、以上のように構成されており、電源装置１５により、光源１１に対して給電することにより、図４に示すように、光源１１が発光し、光Ｌが照射される。
　これにより、光源１１から出射した光Ｌは、その前方（図４にて右方）に配置された二枚の光学フィルタ１３，１４を順次に通過し、さらに光拡散板１１ｅを通って外部に出射する。
　まず、光Ｌは、第一の光学フィルタ１３を透過する。
　その際、第一の光学フィルタ１３により、５４０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分が遮断されることによって、光Ｌは、図５に示すように、５４０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分のみの光Ｌ１となる。
　続いて、光Ｌ１は、第二の光学フィルタ１４を透過する。
　その際、第二の光学フィルタ１４により、５６０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分が遮断されることによって、光Ｌ１は、図５に示すように、５６０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分のみの光Ｌ２となる。
　かくして、光Ｌ２は、５４０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分及び５６０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分が遮断されることにより、５４０ｎｍから５６０ｎｍの波長域のほぼ単色光となる。
　その後、光Ｌ２は、ケース１１の光照射面１１ａに設けられた光拡散板１１ｅを通って、外部に出射する。その際、光Ｌ２は、光拡散板１１ｅにより拡散されることにより、光拡散板１１ｅを透過した光は、均一な照射光となる。
　このような構成の光源装置１０を使用して、５５０ｎｍ付近の波長を有するほぼ単色光である光Ｌ２を対象物に照射することにより、従来のナトリウムランプからの５９０ｎｍ付近の光を照射する場合と同様にして、対象物の干渉縞の発生状況により、セルギャップや表面の傷，ごみ，歪み，平坦性等の目視検査を行なうことができる。
　ここで、上述した光源装置１０においては、光源１１からの光Ｌをほぼ単色光である光Ｌ２にするために、二枚の光学フィルタ１３，１４を使用しているが、二枚の光学フィルタ１３，１４の代わりに、例えば５４０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分を遮断し且つ５６０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えた一枚の光学フィルタ、所謂バンドパスフィルタを使用することによっても、同様のほぼ単色光である光Ｌ２を得ることができる。
　本発明はその趣旨を逸脱しない範囲において様々な形態で実施することができる。
　例えば、上述した実施形態においては、ケース１１内に電源装置１５が内蔵されているが、これに限らず、電源装置１５が別体に構成されていてもよく、また市販の電源装置を使用することにより、光源装置１０自体には電源装置１５が設けられていなくてもよい。
　上述した実施形態においては、光源１２からの光は、ハイカットフィルタである第一の光学フィルタ１３及びローカットフィルタである第二の光学フィルタ１４を順次に透過するようになっているが、これに限らず、第一の光学フィルタ１３が５６０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えたローカットフィルタとして構成され、第二の光学フィルタ１４が５４０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えたハイカットフィルタとして構成されていてもよい。
　また、上述した実施形態においては、水銀を含む放電管の５５０ｎｍのピーク波長付近の光のみを取り出すようにしているが、異なる波長のピーク波長付近の光のみを取り出すようにしてもよい。
　さらに、上述した実施形態においては、光源１２として水銀を含む放電管を使用しているが、これに限らず、他のガス放電管を使用してもよい。
　１０　　光源装置
　１１　　ケース
　１２　　光源（水銀を含む放電管）
　１３　　第一の光学フィルタ
　１４　　第二の光学フィルタ
　１５　　電源装置

Claims (9)

  1. 　水銀を含む放電管から成る光源と、前記光源の前方に順次に配置された第一の光学フィルタ及び第二の光学フィルタと、光拡散板から構成されており、
    　前記第一の光学フィルタまたは第二の光学フィルタが、前記光源から発生する光の一つのピーク波長より短い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えていて、
    　前記第二の光学フィルタまたは第一の光学フィルタが、前記光源から発生する光の前記ピーク波長より長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備え、
    　前記第一の光学フィルタ及び第二の光学フィルタを透過した光を前記光拡散板によって拡散させる、
    　ことを特徴とする、光源装置。
  2. 　紫外線域または可視光域にピーク波長を有する水銀を含む放電管から成る低圧の光源と、前記光源の前方に順次に配置された第一の光学フィルタ及び第二の光学フィルタと、前記第一の光学フィルタ及び第二の光学フィルタの前方に配置される乳白色のプラスチック製の光拡散板と、から構成されており、
    　前記第一の光学フィルタまたは第二の光学フィルタが、前記光源から発生する光の一つのピーク波長より短い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えていて、
    　前記第二の光学フィルタまたは第一の光学フィルタが、前記光源から発生する光の前記ピーク波長より長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備え、
    　前記第一の光学フィルタ及び第二の光学フィルタを透過させることにより、一つのピーク波長付近の波長帯域のほぼ単色光を取り出して前記光拡散板によって拡散させる、
    　ことを特徴とする、光源装置。
  3. 　前記光源が、５５０ｎｍ付近にピーク波長を有する光を発生する水銀を含む放電管である、
    　ことを特徴とする、請求項１または２に記載の光源装置。
  4. 　前記第一の光学フィルタまたは第二の光学フィルタが、前記光源から発生する光のうち、５４０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を遮断する光学特性を備えている、
    　ことを特徴とする、請求項１~３のいずれか１項に記載の光源装置。
  5. 　前記第二の光学フィルタまたは第一の光学フィルタが、前記光源から発生する光のうち、５６０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を遮断する光学特性を備えている、
    　ことを特徴とする、請求項１~４のいずれか１項に記載の光源装置。
  6. 　水銀を含む放電管から成る光源と、前記光源の前方に配置された第三の光学フィルタと、から構成されており、
    　前記第三の光学フィルタが、前記光源から発生する光の一つのピーク波長より短い波長域のスペクトル成分を遮断し且つ前記ピーク波長より長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えている、
    　ことを特徴とする、光源装置。
  7. 　紫外線域または可視光域にピーク波長を有する水銀を含む放電管から成る低圧の光源と、前記光源の前方に配置された第三の光学フィルタと、前記第三の光学フィルタの前方に配置される乳白色のプラスチック製の光拡散板と、から構成されており、
    　前記第三の光学フィルタが、前記光源から発生する光の一つのピーク波長より短い波長域のスペクトル成分を遮断し且つ前記ピーク波長より長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備え、
    　前記第三の光学フィルタを透過させることにより、一つのピーク波長付近の波長帯域のほぼ単色光のみを取り出して前記光拡散板によって拡散させる、
    ことを特徴とする、光源装置。
  8. 　前記光源が、５５０ｎｍ付近にピーク波長を有する光を発生する水銀を含む放電管であって、
    　前記第三の光学フィルタが、前記光源から発生する光のうち、５４０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分を遮断し且つ５６０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えている、
    　ことを特徴とする、請求項６または７に記載の光源装置。
  9. 　前記第一の光学フィルタ及び前記第二の光学フィルタまたは前記第三の光学フィルタの前方に乳白色のプラスチック製の光拡散板が配置されている、
    　ことを特徴とする、請求項１から８の何れかに記載の光源装置。
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