JPS6168543A - 検体における欠陥の光学的検査方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔利用分野〕 本発明は、検体における欠陥部のレンズ作用ないし球面
作用を利用してなるフィルムなどの検体における脈理、
膨大部などの欠陥の光学的検査方法及びその装置に関す
るものである。

〔従来の技術〕

従来、フィルムなどの検体における脈理、異物混入によ
る膨大部、表面上の翔みなどの欠陥の光学的検査方法と
しては、検体に平行光線を入射させてその透過光又は反
射光をスクリーンに投影させ、形成された投影像におけ
る明暗分布を観察することによって行う方法が知られて
いた。この方法は、検体の欠陥部と正常部との光線透過
率の差又は欠陥部における異常反射を利用したものであ
る。

従来の方法による検体検査における合否の判別は、スク
リーン上の投影像の明暗の程度に基づいて行われる。

〔解決すべき問題点〕

しかしながら、従来の方法では検査結果の信頼性に劣り
、高い検査精度を維持することが困難であるという問題
があった。

すなわち、投影像における明暗の程度の肉眼による識別
には限界があること、肉眼による明暗の識別は定性的に
なりやすいこと、高精度の検査を維持するためには微砂
な明るさの違い（明暗）を識別しなければならないこと
、さらに検体における欠陥の程度と投影像の明暗の程度
が必ずしも対応しないことなどが原因して均質性にすぐ
れて高品位の検体の選別検査全維持することが困難であ
ったＯ 〔問題点の解決手段〕 本発明者らは上記の問題点を克服し、高い検査精度を維
持できて、かつ、その作業が簡便な検査方法を開発する
ために鋭意研究を重ねた結果、検体の欠陥部がレンズ作
用ないし球面作用を有することを見出し、この知見に基
づいて本発明をなすに至った。

すなわち、本発明は、検体に光を入射させて検体に訃け
る欠陥部のレンズ作用ないし球面作用を受けた透過光又
は反射光を受光袋ＭＫ集束させることを特徴とする検体
における欠陥の光学的検査方法及び 点光源と検体支持体と、点光源から検体に入射した光束
の透過光束又は反射光束の投影を受ける受光装置とから
なり、検体支持体に支持された検体と受光装置との間隔
が可変であることを特徴とする検体における欠陥の光学
的検査装置を提供するものである。

〔実施例〕

本発明の方法をこれを使用した装置の実施例を表わした
図面に基づいて説明する。

第１図に表わした実施例は、透過光束に適用する場合の
ものである。この装置は、ランプ２及びピンホール３か
らなる点光源１と、点光源からの光束を平行光束とする
集光レンズ４と、集光レンズによって形成された平行光
束の入射を受ける透光性の検体５を支持する検体支持体
６と、検体を透過した光束の投影を受けるスクリーン７
とからなっている０台８に固定されたスクリーンは、台
ごと移動しうるようになっており、検体支持体６ひいて
は検体５からの距離を変えることができるようＫなって
いる。なお、９はデジタル式の表示ｋｇであり、これは
検体支持体６とスクリーン用の台８とのあいだに介在さ
せた抵抗型メジャー１ｏと連結させて検体とスクリーン
との距離を測定表示尽せるためのものである。

上記の装置を用いての検体における欠陥の検査は次のよ
うにして行われる。

すなわち％第２図のように例えば異物の混入などで膨大
部５ａヲ有する透光性のラミネートフィルムからなる検
体５を検体支持体６で固定し、これヲ集光レンズ４とス
クリーン７とのあいだに配置して検体５に集光レンズで
平行光束１１ｂとした点光源１からの光束１１ａ’ｉ入
射させ、その透過光束１１ｃ　ｑスクリーン７に投影さ
せる。その際、検体の膨大部５ａ’（５透過した光束は
膨大部のレンズ作用を受けて集束光線束１１ｃ′となる
ので、この集束光線束に対応させてヌクリーンを移動さ
せ膨大部のレンズとしての焦点なもし擬似焦点に相当す
る集束光線束１１ｃの集束点としての輝点像ｌｉｄをス
クリーンに結ばせ、そのときの検体からスクリーンまで
の距離を測定する。この測定値をあらかじめ設定した基
準値と比べその大小により検体の合否が決定される。こ
れは、検体における欠陥としての膨大部の曲率半撓（大
きさ）の逆数と前記測定値（レンズの（擬似）焦点距離
に相当）の逆数とが比例関係にあることに基づく。この
ように本発明では欠陥の程度を定量的に評価して検査を
行うことができる。

第３図はほかの実施例を表わしたものであシ、これは反
射光束に適用する場合の装置である。反射光束を利用す
るものけ、殊に非透光性の検体１２における窪み状の欠
陥１２ａの検査に有利である（第４図） この装置は第３図のように、上記した実施例（第２図）
における検体５とスクリーン７の平行光束１１ｂに対す
る垂直配置にかえて、検体１２を平行光束１１ｂに対し
て傾けて配置しその反射光束ｌｉｅを受けるようにスク
リーン７を配置したものである。

この装置による検体における欠陥の検査は、検体の窪み
状欠陥部１２ａにおける球面作用を受けた反射光束ｌｉ
ｅ’をスクリーンに投影させ、スクリーンｅ［動させて
反射光束が集束して形成する輝点の位置を求めるほかＦ
ｉ北記した実施例の装置による場合と同様である。

本発明の方法が検査の対象とする検体における欠陥は、
膨大部や窪みあるいは脈理などのレンズ作用又は球面作
用を有するものである。検体の材質、形態等に・ついて
特に限定はない。

また、本発明の装置においては前記の実施例で用いた集
光レンズ４は必須のものでない。さらに、凸レンズなど
を付加してこれを透過光束又は反射光束に適用すること
Ｋよシ、透過光束を利用した窪みなどの発散光束を形成
する欠陥に適用できる装置又は反射光束を利用した膨大
部などの収束光束を形成する欠陥に適用できる装置を構
成することも可能である。なお、装置における点光源を
形成するだめの光源としては、例えばハロゲンランプ、
キセノンランプ、タングステンランプ、レーザー光など
をあげることができる。もちろん、これらに限定するも
のでない。また、受光装置としては、例えば黒色布など
からなるスクリーンのほか、焦点面測定用光電装置など
をあげることができる。ざらに、装置における検体支持
体に支持された検体と受光装置との間隔は可変であるこ
とが必要であるが、その可変手段としては、検体（検体
支持体）又は受光装置のいずれか一方が移動しうるよう
になっていてもよいし、その両方が移動しうるようにな
っていてもよい。

〔発明の効果〕

本発明の方法によれば、検体における欠陥部のレンズ作
用ないし球面作用を受けた光を集束させて検査するよう
にしたので、検体における欠陥の程度を定量的に評価す
ることができる。その結果信頼性にすぐれる検査結果を
得ることができるとともに、高精度の検査を簡単な作業
で容易に維持することができる。

また、上記の方法を使用した本発明の装置によれば、簡
便な操作でかつ効率的に検査作業を行うことができて、
装置の組立ても容易である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の方法における透過光束に適用される装
置の実施例の斜視説明図、第２図は膨大部を有する透光
性検体（部分）の例を表わした断面図、第３図は本発明
の方法における反射光束に適用はれる装置の実施例の斜
視説明図、第４図は窪みを有する検体（部分）の例を表
わした断面図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、検体に光を入射させ、検体における欠陥部のレンズ
   作用ないし球面作用を受けた透過光又は反射光を受光装
   置に集束させることを特徴とする検体における欠陥の光
   学的検査方法。 ２、検体がフィルムである特許請求の範囲第１項記載の
   方法。 ３、点光源と、検体支持体と、点光源から検体に入射し
   た光束の透過光束又は反射光束の投影を受ける受光装置
   とからなり、検体支持体に支持された検体と受光装置と
   の間隔が可変であることを特徴とする検体における欠陥
   の光学的検査装置。 ４、点光源からの光束を平行光束とする集光レンズを点
   光源と検体支持体とのあいだに設けてなる特許請求の範
   囲第３項記載の装置。