JPS589051A - 鏡面状加工物表面検査装置 - Google Patents
鏡面状加工物表面検査装置Info
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- JPS589051A JPS589051A JP10873681A JP10873681A JPS589051A JP S589051 A JPS589051 A JP S589051A JP 10873681 A JP10873681 A JP 10873681A JP 10873681 A JP10873681 A JP 10873681A JP S589051 A JPS589051 A JP S589051A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は鏡面状加工物の表面の汚染、凸凹。
付着微粒子の分布、洗浄効果などの評価、検査を行なう
ことができる鏡面状加工物表面検査装置に関するもので
ある。
ことができる鏡面状加工物表面検査装置に関するもので
ある。
一般に、表面を鏡面状に高精度に加工する例えば８ｉウ
エハなどの鏡面状加工物ではその表面に付着する塵埃、
汚染物質、加工上の凸凹などが、ウェハ上に形成する素
子の電気特性、欠陥に大きく影響するため、その鏡面状
の表面を観察し、その表面の状態を検査することが必要
であり、従来は写真撮影による方法が用いられていた。
エハなどの鏡面状加工物ではその表面に付着する塵埃、
汚染物質、加工上の凸凹などが、ウェハ上に形成する素
子の電気特性、欠陥に大きく影響するため、その鏡面状
の表面を観察し、その表面の状態を検査することが必要
であり、従来は写真撮影による方法が用いられていた。
すなわち、第１図は従来の写真撮影法による表面検査装
置を示す概略構成図である。同図において、（１）はス
ライドプロジェクタなどの可視光の光源、（２）は表面
の状態を検査する８ｉウエハなどの試料、（３）はこの
試料（２）を保持する回転真空チャックなどの試料台、
（４）は試料（２）の表面を撮影するカメラ、（５）は
試料（２）の反射光を吸収するための光吸収板である。
置を示す概略構成図である。同図において、（１）はス
ライドプロジェクタなどの可視光の光源、（２）は表面
の状態を検査する８ｉウエハなどの試料、（３）はこの
試料（２）を保持する回転真空チャックなどの試料台、
（４）は試料（２）の表面を撮影するカメラ、（５）は
試料（２）の反射光を吸収するための光吸収板である。
次に上記構成による表面検査装置の動作について説明す
る。まず、光源（１）からの光ビームは試料（２）の表
面に照射する。そして、この試料（２）の表面に傷、凸
凹、汚染、塵埃の付着物があると、この試料（２）の表
面上から、照射した光による散乱光が発生する。したが
って、この散乱光を真上にあるカメラ（４）によって撮
影し、その散乱光の分布すなわち、表面の傷、凸凹、塵
埃付着などの状況が写真による観察評価可能となる。な
お、この散乱光は微弱であるため、試料の表面からの直
接反射光は撮影雰囲気の迷光となり、撮影感度を低下し
ないようにするため、試料（２）の反射光を光吸収板（
５）により吸収する。
る。まず、光源（１）からの光ビームは試料（２）の表
面に照射する。そして、この試料（２）の表面に傷、凸
凹、汚染、塵埃の付着物があると、この試料（２）の表
面上から、照射した光による散乱光が発生する。したが
って、この散乱光を真上にあるカメラ（４）によって撮
影し、その散乱光の分布すなわち、表面の傷、凸凹、塵
埃付着などの状況が写真による観察評価可能となる。な
お、この散乱光は微弱であるため、試料の表面からの直
接反射光は撮影雰囲気の迷光となり、撮影感度を低下し
ないようにするため、試料（２）の反射光を光吸収板（
５）により吸収する。
しかしながら、従来の写真撮影法による表面検査装置で
はに）迷光を完全になくすことが不可能であり、カメラ
と付属具が試料（２）の表面で反射し、いわゆる「写り
こみ」がある。（ハ）光散乱の現象では、側方散乱（例
えば直角散乱）配置のとき、散乱強度が弱い。すなわち
、撮影感度が低いため、１μｍ以下の粒子撮影が困難で
ある。０表頁の定量的な評価には不可能であり、試料を
自動的に交換し、自動的に評価を行なうことは出来ない
。０光源波長が可視赤外領域であるため、微粒子計測が
難であり、試料（２）が加熱するなどの欠点があった。
はに）迷光を完全になくすことが不可能であり、カメラ
と付属具が試料（２）の表面で反射し、いわゆる「写り
こみ」がある。（ハ）光散乱の現象では、側方散乱（例
えば直角散乱）配置のとき、散乱強度が弱い。すなわち
、撮影感度が低いため、１μｍ以下の粒子撮影が困難で
ある。０表頁の定量的な評価には不可能であり、試料を
自動的に交換し、自動的に評価を行なうことは出来ない
。０光源波長が可視赤外領域であるため、微粒子計測が
難であり、試料（２）が加熱するなどの欠点があった。
したがって、この発明の目的は撮影感度を高くすること
ができ、しかも、加工物表面などの試料表面を定量的に
評価することができる鏡面状加工物表面検査装置を提供
するものである。
ができ、しかも、加工物表面などの試料表面を定量的に
評価することができる鏡面状加工物表面検査装置を提供
するものである。
このような目的を達成するため、この発明は光源と、こ
の光源からの光ビームを加工物などの試料表面に直角に
照射する光学系と、この試料からの散乱光、螢光、ある
いは偏光を受けてアオリ撮影し、観察物に正比例した像
を得るカメラと、このカメラに結んだ儂を写し、映倫信
号を出力するＴＶカメラと、この映倫信号を処理し、試
料表面の傷の有無、傷の大きさ、凸凹、付着した粒子の
数、径および分布を示すデータ信号を出力するＴｖＷＩ
ｋｍ処理装置と、このＴＶ映像処理装置から出力するデ
ータ信号と記憶している基準値とそれぞれ比較検査し、
検査合格信号または検査不合格信号を出力するＴＶ映倫
判定装置とを備えるものであり、以下実施例を用いて詳
細に説明する。
の光源からの光ビームを加工物などの試料表面に直角に
照射する光学系と、この試料からの散乱光、螢光、ある
いは偏光を受けてアオリ撮影し、観察物に正比例した像
を得るカメラと、このカメラに結んだ儂を写し、映倫信
号を出力するＴＶカメラと、この映倫信号を処理し、試
料表面の傷の有無、傷の大きさ、凸凹、付着した粒子の
数、径および分布を示すデータ信号を出力するＴｖＷＩ
ｋｍ処理装置と、このＴＶ映像処理装置から出力するデ
ータ信号と記憶している基準値とそれぞれ比較検査し、
検査合格信号または検査不合格信号を出力するＴＶ映倫
判定装置とを備えるものであり、以下実施例を用いて詳
細に説明する。
第２図はこの発明に係る＃Ｉ！、面状加工物表面検査装
置の一実施例を示す構成図である。同図に詔いて、（６
）はこの光ビーム径を試料（２）よりもわずかｉこ大き
くするように、試料径または観察部の大きさに・合わせ
た光ビーム径となるように絞りレンズ（図示せず）を有
する強力な例えば高圧水銀灯、キセノンランプ２００ワ
ット以上などの光源、（７）はフィルタまたは偏光板、
（８）は光量測定器、（９ｍ）および（９ｂ）は反射板
、（１（Ｉはフィルタまたは偏光板、ａυはアオリ撮影
を可能にするため広角レンズ（図示せず）を有するカメ
ラ、Ｉはフィルム、ａｌはＴＶカメラ、（１４ｍ）およ
び（１４ｂ）は観察部分の迷光を減らすための光吸収板
、ａｌは前記ＴＶカメラ舖から出力する映像信号を処理
し、試料（２）の表面の傷の有無４傷の大きさ１．凸凹
５９表面に付着した粒子数、径１２分布などのデータ信
号を出力するＴＶ映像処理装置、−ｆｔこのＴＶ映像処
理装置（２）から出力するデータ信号と記憶している基
準値とを比較検査し、その出力端子（１６ａ）から検査
合格信号を出力し、その出力端子（１，６ｂ）から検査
不合格信号を出力するＴＶ映像判定装置、ａηは前記Ｔ
Ｖ映像処理装置−から出力するデータ信号、すなわち、
傷の大きさ、凸凹の状態、付着した粒子数、径９分布な
どを声示するプロッタ、ＣＲ，ＴなどのＴＶ映倫出力装
置、Ｑ引ま検査すべき試料を順次送り出す試料自動供給
装置、（１９ｍ） 、 （１９ｂ）および（１９ｃ）は
試料（２）の搬送路、（至）は前記検査合格信号の入力
によって動作し、検査合格の試料を収納する合格品収納
装置、０υは前記検査不合格信号の入力によって動作し
、検査不合格の試料を収納する不合格品収納装置である
。
置の一実施例を示す構成図である。同図に詔いて、（６
）はこの光ビーム径を試料（２）よりもわずかｉこ大き
くするように、試料径または観察部の大きさに・合わせ
た光ビーム径となるように絞りレンズ（図示せず）を有
する強力な例えば高圧水銀灯、キセノンランプ２００ワ
ット以上などの光源、（７）はフィルタまたは偏光板、
（８）は光量測定器、（９ｍ）および（９ｂ）は反射板
、（１（Ｉはフィルタまたは偏光板、ａυはアオリ撮影
を可能にするため広角レンズ（図示せず）を有するカメ
ラ、Ｉはフィルム、ａｌはＴＶカメラ、（１４ｍ）およ
び（１４ｂ）は観察部分の迷光を減らすための光吸収板
、ａｌは前記ＴＶカメラ舖から出力する映像信号を処理
し、試料（２）の表面の傷の有無４傷の大きさ１．凸凹
５９表面に付着した粒子数、径１２分布などのデータ信
号を出力するＴＶ映像処理装置、−ｆｔこのＴＶ映像処
理装置（２）から出力するデータ信号と記憶している基
準値とを比較検査し、その出力端子（１６ａ）から検査
合格信号を出力し、その出力端子（１，６ｂ）から検査
不合格信号を出力するＴＶ映像判定装置、ａηは前記Ｔ
Ｖ映像処理装置−から出力するデータ信号、すなわち、
傷の大きさ、凸凹の状態、付着した粒子数、径９分布な
どを声示するプロッタ、ＣＲ，ＴなどのＴＶ映倫出力装
置、Ｑ引ま検査すべき試料を順次送り出す試料自動供給
装置、（１９ｍ） 、 （１９ｂ）および（１９ｃ）は
試料（２）の搬送路、（至）は前記検査合格信号の入力
によって動作し、検査合格の試料を収納する合格品収納
装置、０υは前記検査不合格信号の入力によって動作し
、検査不合格の試料を収納する不合格品収納装置である
。
なお、前記光源（叫と高圧水釧灯、キセノンランプ２０
０ワット以上を用いることにより、照射光源強度と背影
照度を少なくともｉｏｏ、ｏｏｏ ： を以上にする。
０ワット以上を用いることにより、照射光源強度と背影
照度を少なくともｉｏｏ、ｏｏｏ ： を以上にする。
また、この装置の感度はサブミクロンまで及ぶので、試
料（２）が移動する搬送路（１９ｇ）〜（１９ｃ）を含
む部分、すなわち、点線で囲む範囲では少な（とも「ク
ラス１０００ Ｊ以上の清浄雰囲気が必要である。
料（２）が移動する搬送路（１９ｇ）〜（１９ｃ）を含
む部分、すなわち、点線で囲む範囲では少な（とも「ク
ラス１０００ Ｊ以上の清浄雰囲気が必要である。
次に、上記構成による鏡面状加工物表面検査装置の動作
について説明する。まず、光源（６）からの光ビームは
フィルタまたは偏光板（７）を通ったのち反射板（９ａ
）および（９ｂ）に反射して、試料（２）の表面に照射
する。そして、この試料（２）の表面に傷、凸凹、汚染
、塵埃の付着物があると、この試料（２）の表面上から
、照射°した光による散乱光（あるいは後述する螢光）
が発生する。このとき、試料（２）の表面の散乱光をよ
り効果的にカメラａすに入射させるために、前方散乱を
利用する。すなわち、カメラａｌと光軸を近づけるため
、カメラ（ＴＶカメラの光学系）はアオリ撮影法を利用
する。これにより、試料（２）と得られた曹は幾何学的
に比例したもの（相似形）になる。そして、光源（６）
を強力にすると同時に迷光を減らし、弱い散乱光を効果
的にすると共に、鏡面状試料への写りこみをなくすよう
にする。そして、この散乱光（あるいは螢光）はカメラ
ａυおよびフィルム（Ｉりに入射し、儂を結ぶ。この場
合、カメラＩの位置は試料（２）に写しこみかないよう
に斜めに位置し、試料（２）とカメラαυのレンズ（図
示せず）、フィルムＱりが互に平行関係になっている。
について説明する。まず、光源（６）からの光ビームは
フィルタまたは偏光板（７）を通ったのち反射板（９ａ
）および（９ｂ）に反射して、試料（２）の表面に照射
する。そして、この試料（２）の表面に傷、凸凹、汚染
、塵埃の付着物があると、この試料（２）の表面上から
、照射°した光による散乱光（あるいは後述する螢光）
が発生する。このとき、試料（２）の表面の散乱光をよ
り効果的にカメラａすに入射させるために、前方散乱を
利用する。すなわち、カメラａｌと光軸を近づけるため
、カメラ（ＴＶカメラの光学系）はアオリ撮影法を利用
する。これにより、試料（２）と得られた曹は幾何学的
に比例したもの（相似形）になる。そして、光源（６）
を強力にすると同時に迷光を減らし、弱い散乱光を効果
的にすると共に、鏡面状試料への写りこみをなくすよう
にする。そして、この散乱光（あるいは螢光）はカメラ
ａυおよびフィルム（Ｉりに入射し、儂を結ぶ。この場
合、カメラＩの位置は試料（２）に写しこみかないよう
に斜めに位置し、試料（２）とカメラαυのレンズ（図
示せず）、フィルムＱりが互に平行関係になっている。
そして、フィルムａ２の写真像ではな（、ＴＶカメラＱ
３により偉を得て、映倫処理装置α岨こ出力する。この
ため、この映偉処理装置ａっはその映倫信号を、処理し
て、試料（２）の表面の傷の有無、傷の大きさ、凸凹の
状態９表面に付着した粒子数、径１分布などのデータ信
号をＴＶ映倫判定装置舖に出力する。したがって、この
ＴＶ映偉判定装置αｅは記憶している基準値と比較検査
し、検査の結果、試料（２）の表面が良好の場合には良
品を示す検査合格信号を出力端子（１６ｍ）から出力す
る。一方、検査の結果、試料（２）の表面に傷あるいは
凸凹があったり、多数の粒子が付着している場合には不
良品を示す検査不合格信号が出力端子（１６ｂ）から出
力する。したがって、前記検査合格信号によって合格品
収納装置（至）が動作し、搬送路（１９ｂ）から送られ
てくる合格品の試料（２）を収納する。一方、前記検査
不合格信号によって不合格品収納装置（２１）が動作し
、搬送路（１９ｂ）および（１９８）を介して送られて
くる不合格品の試料（２）を収納する。
３により偉を得て、映倫処理装置α岨こ出力する。この
ため、この映偉処理装置ａっはその映倫信号を、処理し
て、試料（２）の表面の傷の有無、傷の大きさ、凸凹の
状態９表面に付着した粒子数、径１分布などのデータ信
号をＴＶ映倫判定装置舖に出力する。したがって、この
ＴＶ映偉判定装置αｅは記憶している基準値と比較検査
し、検査の結果、試料（２）の表面が良好の場合には良
品を示す検査合格信号を出力端子（１６ｍ）から出力す
る。一方、検査の結果、試料（２）の表面に傷あるいは
凸凹があったり、多数の粒子が付着している場合には不
良品を示す検査不合格信号が出力端子（１６ｂ）から出
力する。したがって、前記検査合格信号によって合格品
収納装置（至）が動作し、搬送路（１９ｂ）から送られ
てくる合格品の試料（２）を収納する。一方、前記検査
不合格信号によって不合格品収納装置（２１）が動作し
、搬送路（１９ｂ）および（１９８）を介して送られて
くる不合格品の試料（２）を収納する。
なお、光源（６）に紫外光成分の多い光源を用い、フィ
ルタ（７）およびＱｌを使用することにより、試料（２
）の表面の螢光物質の観察が可能になることはもちろん
である。また、以上の実施例では試料として８１ウエハ
を用いたが、他の鏡面状の加工物はもちろんのこと、表
面精密加工の試料、写真用マスク、８！以外の結晶板、
ミラー、レンズなどにも同様にできることはもちろんで
ある。また、試料（２）は必ずしも鏡面状でなくてもよ
く、パターンのついたものでも撮影可能であることはも
ちろんである。
ルタ（７）およびＱｌを使用することにより、試料（２
）の表面の螢光物質の観察が可能になることはもちろん
である。また、以上の実施例では試料として８１ウエハ
を用いたが、他の鏡面状の加工物はもちろんのこと、表
面精密加工の試料、写真用マスク、８！以外の結晶板、
ミラー、レンズなどにも同様にできることはもちろんで
ある。また、試料（２）は必ずしも鏡面状でなくてもよ
く、パターンのついたものでも撮影可能であることはも
ちろんである。
以上、詳細に説明したように、この発明に係る鏡面状加
工物表面検査装置によれば鏡面状に精密加工した加工物
の表面状態を高精度（サブミクロン）に定量的に検出す
ることができ、そして基準値と比較判定するので、従来
の人の眼に順っていた観察検査に比べて検査の信頼性を
大幅に向上することができる。
工物表面検査装置によれば鏡面状に精密加工した加工物
の表面状態を高精度（サブミクロン）に定量的に検出す
ることができ、そして基準値と比較判定するので、従来
の人の眼に順っていた観察検査に比べて検査の信頼性を
大幅に向上することができる。
第１図は従来の写真撮影法による表面検査装置を示す概
略構成図、第２図はこの発明に係る鏡面状加工物表面検
査装置の一実施例を示す構成図である。 （１）＠・・・光源、（２）・・・・試料、（３）ｅ・
・・試料台、（４）・・・・カメラ、（５１−・・・光
吸収板、（６１・・・・光源、（７）・・・・フィルタ
または偏光板、（８）・・・・光量測定器、（９ｍ）お
よび（９ｂ）・・の・反射板、叫・・・・フィルタまた
は偏光板、Ｕυ・・・・カメラ、Ｑｌ・・・・フィルム
、０３＠ １１１１ ＠ Ｔ Ｖカメラ、（１４ａ）お
よび（１４ｂ） −−・・光吸収板、ａ！！・・・・Ｔ
Ｖ映映倫連理装置αｅ・・・・ＴＶＶ像判定装置、鰭・
・・・ＴＶ映映出出力装置ａ醋・・・・試料自動供給装
置、（１９ｍ）、（１９ｂ）および（１９ｃ）−・・・
搬送路、（２）・拳・・合格品収納装置、１２１）・・
・・不合格品収納装置。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 葛 野信 −（外１名） 第１図 手続補正書（自発５ 特許庁長官殿 １、 Ｉ’ （’Ｆ 〕表示特願昭”−” ” ’
” ’号２、発明の名称 鏡面状加工物表面検査装置 ３、補正をする者 代表者片山仁へ部 ５、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 ６、補正の内容 （ロ 明細書第３頁第１行の「〜による方法」の後Ｋ「
又は目視」を加入する。 （２１同書第４頁第２０行の「直角に」を［直角又は出
来るだけ前方散乱光を利用可能な角度で」と補正する。 以 上
略構成図、第２図はこの発明に係る鏡面状加工物表面検
査装置の一実施例を示す構成図である。 （１）＠・・・光源、（２）・・・・試料、（３）ｅ・
・・試料台、（４）・・・・カメラ、（５１−・・・光
吸収板、（６１・・・・光源、（７）・・・・フィルタ
または偏光板、（８）・・・・光量測定器、（９ｍ）お
よび（９ｂ）・・の・反射板、叫・・・・フィルタまた
は偏光板、Ｕυ・・・・カメラ、Ｑｌ・・・・フィルム
、０３＠ １１１１ ＠ Ｔ Ｖカメラ、（１４ａ）お
よび（１４ｂ） −−・・光吸収板、ａ！！・・・・Ｔ
Ｖ映映倫連理装置αｅ・・・・ＴＶＶ像判定装置、鰭・
・・・ＴＶ映映出出力装置ａ醋・・・・試料自動供給装
置、（１９ｍ）、（１９ｂ）および（１９ｃ）−・・・
搬送路、（２）・拳・・合格品収納装置、１２１）・・
・・不合格品収納装置。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 葛 野信 −（外１名） 第１図 手続補正書（自発５ 特許庁長官殿 １、 Ｉ’ （’Ｆ 〕表示特願昭”−” ” ’
” ’号２、発明の名称 鏡面状加工物表面検査装置 ３、補正をする者 代表者片山仁へ部 ５、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 ６、補正の内容 （ロ 明細書第３頁第１行の「〜による方法」の後Ｋ「
又は目視」を加入する。 （２１同書第４頁第２０行の「直角に」を［直角又は出
来るだけ前方散乱光を利用可能な角度で」と補正する。 以 上
Claims (3)
- （１）光源と、この光源からの光ビームを加工物などの
試料表面に直角に照射する光学系と、この試料からの散
乱光、螢光、あるいは偏光を受けてアオリ撮影し、観察
物に正比例した像を得るカメラと、このカメラに結んだ
儂を写し、映倫信号を出力するＴＶカメラと、この映倫
信号を処理し、試料表面の傷の有無、傷の大きさ、凸凹
、付着した粒子の数、径および分布を示すデータ信号を
出力するＴＶ映偉処理装置と、このＴＶ映像処理装置か
ら出力するデータ信号と記憶している基準値とをそれぞ
れ比較検査し、検査合格信号または検査不合格信号を出
力する゛Ｔ■映偉判定装置とを備えたことを特徴とする
鏡面状加工物表面検査装置。 - （２）前記光源として高圧水銀灯あるいは２００Ｗ以上
のキセノンランプを用い、照射光源強度と背景照度との
比を少なくとも１００．０００ ： １以上にすること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の鏡面状加工物
表面検査装置。 - （３）試料は検査すべきものが試料自動供給装置によっ
て順次送り出され、検査合格のものが検査合格信号によ
って合格品収納装置に収納され、検査不合格のものが検
査不合格信号によって不合格品収納装置に収納されるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項に記載
の鏡面状加工物表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10873681A JPS589051A (ja) | 1981-07-09 | 1981-07-09 | 鏡面状加工物表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10873681A JPS589051A (ja) | 1981-07-09 | 1981-07-09 | 鏡面状加工物表面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS589051A true JPS589051A (ja) | 1983-01-19 |
| JPH0136577B2 JPH0136577B2 (ja) | 1989-08-01 |
Family
ID=14492218
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10873681A Granted JPS589051A (ja) | 1981-07-09 | 1981-07-09 | 鏡面状加工物表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS589051A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07146248A (ja) * | 1994-08-29 | 1995-06-06 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体異物検査装置 |
| EP1507137A1 (de) | 2003-08-12 | 2005-02-16 | Sick Ag | Verfahren und Vorrichtung zur polarisationsabhängigen und ortsaufgelösten Untersuchung einer Oberfläche oder einer Schicht |
| DE10362349B3 (de) * | 2003-08-12 | 2014-05-08 | Sick Ag | Verfahren zur Herstellung eines Sensors für optische Strahlung |
-
1981
- 1981-07-09 JP JP10873681A patent/JPS589051A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07146248A (ja) * | 1994-08-29 | 1995-06-06 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体異物検査装置 |
| EP1507137A1 (de) | 2003-08-12 | 2005-02-16 | Sick Ag | Verfahren und Vorrichtung zur polarisationsabhängigen und ortsaufgelösten Untersuchung einer Oberfläche oder einer Schicht |
| EP1507137B1 (de) * | 2003-08-12 | 2012-02-15 | Sick Ag | Verfahren und Vorrichtung zur polarisationsabhängigen und ortsaufgelösten Untersuchung einer Oberfläche oder einer Schicht |
| DE10337040B4 (de) * | 2003-08-12 | 2013-01-17 | Sick Ag | Vorrichtung zur Untersuchung einer Oberfläche oder einer Schicht |
| DE10362349B3 (de) * | 2003-08-12 | 2014-05-08 | Sick Ag | Verfahren zur Herstellung eines Sensors für optische Strahlung |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0136577B2 (ja) | 1989-08-01 |
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