CN115015112A - 一种缺陷检测装置和方法 - Google Patents

Abstract

本发明实施例公开一种缺陷检测装置和方法，在一个具体的示例中，所述检测装置包括：多个成像单元、采集镜头、分光器件和处理器，多个所述成像单元的焦点形成于待测产品的不同位置；采集镜头接收待测产品的光束并通过分光器件将光束分别传输给多个所述成像单元，多个所述成像单元对来自待测产品的成像光束进行成像，得到焦点不同的多张图像；所述处理器，用于对多张所述图像进行缺陷识别以得到缺陷，并根据所述缺陷的清晰度确定所述缺陷在产品的位置。本方法对缺陷位置判断的准确率高、处理速度快，通过普通相机进行拍摄，降低了检测成本，且多台成像单元布置于同一侧，节约了空间，从而弥补了现有技术中存在的问题。

Description

一种缺陷检测装置和方法

技术领域

本发明涉及缺陷检测领域，具体而言，涉及一种缺陷检测装置和方法。

背景技术

在当前的工业视觉领域，类似显示屏、导光板等透明产品在生产过程中都需要进行缺陷检测，但是检测中存在一类点状不良是检测的难题，也就是一些屏下的异物与屏表面的异物不能有效区分，待测显示屏表面的灰尘不能判别为不良，内部的灰尘需要判定为不良。

在显示屏的生产中，由于显示模组是一个多层工艺的制程，在生产中可能会有灰尘会进入到贴合工艺从而造成产品缺陷，这些缺陷产品需要被筛选出来，所以大部分的不良是玻璃盖板(Cover Glass)底部的灰尘。

目前市场应用中并没有较好的方案实现上述缺陷的区分

发明内容

本发明的目的在于提供一种缺陷检测装置和方法，解决现有技术的问题中的至少之一。

为此，本发明一方面提供一种缺陷检测装置，所述检测装置包括：

多个成像单元、采集镜头、分光器件和处理器，

多个所述成像单元的焦点形成于待测产品的不同位置；

采集镜头接收待测产品的光束并通过分光器件将光束分别传输给多个所述成像单元，多个所述成像单元对来自待测产品的成像光束进行成像，得到焦点不同的多张图像；

所述处理器，用于对多张所述图像进行缺陷识别以得到缺陷，并根据所述缺陷的清晰度确定所述缺陷在产品的位置。

可选地，所述第一成像单元包括第一镜筒、分光器件、第二镜筒和第一相机组件，所述第二成像单元包括第三镜筒和第二相机组件，所述第一镜筒用于接收所述待测产品的成像光束，所述分光器件用于将所述成像光束的一部分分光至所述第二镜筒并将所述成像光束的另一部分分光至所述第三镜筒；所述第二镜筒用于将所述成像光束的一部分输出至第一相机组件，所述第三镜筒用于将所述成像光束的另一部分输出至所述第二相机组件。

可选地，所述第二成像单元还包括反射镜和第四镜筒，所述分光器件用于将所述成像光束的另一部分分光至所述第四镜筒，所述第四镜筒用于将所述成像光束的另一部分输出至所述反射镜，所述反射镜用于将所述成像光束的另一部分反射至所述第三镜筒。

可选地，所述分光器件为半透半反镜。

可选地，

所述处理器，用于对多张所述图像进行缺陷识别以得到缺陷，并根据所述缺陷的清晰度确定所述缺陷在产品的位置包括：

判断多张所述图像中的所述缺陷的清晰度的关系：

若第一图像中的所述缺陷的清晰度高于第二图像中的所述缺陷的清晰度，则判定所述缺陷位于所述第一成像单元的焦点所对应的待测产品的第一位置；

若所述第二图像中的所述缺陷的清晰度高于所述第一图像中的所述缺陷的清晰度，则判定所述缺陷位于所述第二成像单元的焦点所对应的待测产品的第二位置。

可选地，通过标准差法判断所述第一图像和第二图像中缺陷的清晰度：

遍历图像中缺陷区域各像素点的灰度值，根据公式(1)计算该图像的灰度标准差σ：

其中，n表示区域内像素点的个数，x_i表示区域内第i个像素点对应的灰度值，

表示区域内像素点灰度值的均值；

所述缺陷区域的灰度标准差σ与所述缺陷的清晰度正相关。

可选地，通过梯度法判断所述第一图像和第二图像中的所述缺陷的清晰度，利用公式(2)-(4)对图像中缺陷区域像素的梯度值进行计算：

▽G(x，y)＝|Gx|+|Gy|……(2)

其中，x和y分别为点(x，y)在图像中的坐标，Gx表示该区域在像素点(x，y)处x方向上的梯度；Gy表示该区域在像素点(x，y)处y方向上的梯度，绝对值表示梯度的近似式，▽G(x，y)表示点(x，y)处的梯度向量的值；

遍历缺陷区域内各个点的梯度值，利用公式(5)计算所述缺陷区域的梯度量化参考值G_T：

其中，(X_start，Y_start)为所述缺陷区域的起始点，(X_end，Y_end)为所述缺陷区域的终点；

所述缺陷区域的梯度量化参考值与所述缺陷的清晰度呈正相关。

可选地，所述第一成像单元与所述第二成像单元分别设置在待测产品的出光侧。

可选地，所述第一相机组件与所述第二相机组件轴线平行并列设置。

可选地，所述检测装置还包括控制器，用于控制所述待测产品进行显示。

可选地，所述检测装置还包括，

光源，用于照射所述待测产品以使得照射光束在所述待测产品反射形成成像光束。

可选地，所述缺陷包括灰尘。

本发明第二方面提供一种基于本发明第一方面提供的检测装置的缺陷检测方法，所述方法包括：

多个所述成像单元对来自待测产品的成像光束进行成像，得到焦点不同的多张图像；

对多张所述图像进行缺陷识别以得到缺陷，并根据所述缺陷的清晰度确定所述缺陷在产品的位置。

本发明的有益效果如下：

本发明针对目前现有的问题提供了一种缺陷检测装置，通过多个成像单元进行拍摄，并将其焦点分别设置于待测产品的不同深度，将拍摄到的图像上传至处理器进行缺陷识别，通过缺陷的清晰度实现缺陷位置的准确判定，用于产品不同深度缺陷或分层缺陷的检测，其判断的准确率高、处理速度快，通过普通相机进行拍摄，降低了检测成本，且多台相机布置于同一侧，节约了空间，从而弥补了现有技术中存在的问题。

附图说明

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步详细的说明。

图1示出本发明的一个实施例提供的缺陷检查装置的硬件架构图；

图2出本发明的一个实施例提供的、第一成像单元和第二成像单元的结构示意图；

图3示出本发明的一个实施例提供的成像原理示意图；

图4示出本发明的一个实施例提供的半透半反镜的工作原理图；

图5示出本发明的一个实施例提供的缺陷检查装置获取第一图像和第二图像中缺陷的成像示意图。

具体实施方式

为了更清楚地说明本发明，下面结合实施例和附图对本发明做进一步的说明。附图中相似的部件以相同的附图标记进行表示。本领域技术人员应当理解，下面所具体描述的内容是说明性的而非限制性的，不应以此限制本发明的保护范围。

为了克服现有技术中存在的问题，本发明的第一个实施例提供了一种缺陷检测装置，待测产品以显示模组为例，待测显示模组包括显示面板及贴合于所述显示面板的出光侧的盖板，如图1所示，所述检测装置包括：多个成像单元、采集镜头、分光器件和处理器，

多个所述成像单元的焦点形成于待测产品的不同位置；

采集镜头接收待测产品的光束并通过分光器件将光束分别传输给多个所述成像单元，多个所述成像单元对来自待测产品的成像光束进行成像，得到焦点不同的多张图像；

所述处理器，用于对多张所述图像进行缺陷识别以得到缺陷，并根据所述缺陷的清晰度确定所述缺陷在产品的位置。

以两组成像单元为例：

第一成像单元1和第二成像单元2的其中之一的焦点设置于所述盖板的出光侧表面且另一的焦点设置于所述盖板的入光侧表面，即两个成像单元的焦点分别聚焦在显示模组盖板的表面和底面；

所述第一成像单元1用于对来自待测显示模组4的成像光束进行成像，得到第一图像；所述第二成像单元2用于对来自待测显示模组4的成像光束进行成像，得到第二图像；

所述处理器3，用于对所述第一图像和/或所述第二图像进行缺陷识别以得到缺陷，并根据所述第一图像中的所述缺陷的清晰度及所述第二图像中的所述缺陷的清晰度，确定所述缺陷的位置。

本发明针对目前现有的问题提供了一种缺陷检测装置，通过第一成像单元和第二成像单元进行拍摄，并将其焦点分别设置于所述待测显示模组的盖板的出光侧表面和入光侧表面，将拍摄到的图像上传至处理器进行缺陷识别，以实现缺陷位置的准确判定，其判断的准确率高、处理速度快，且通过普通相机进行拍摄，降低了检测成本。

本方案主要用于待测产品不同深度缺陷或不同层缺陷的位置判断；本领域技术人员应当理解的是，所述待测产品并不限于显示模组，常规的带有透明层的产品均适用，例如导光板。

在一个具体的实施例中，所述待测显示模组例如包括LCD显示屏、LED显示屏或OLED显示屏。

应当说明的是，如图2所示，为相机镜头的成像原理，根据镜头成像原理，当成像目标脱离对焦点时，目标成像点会脱离相机的感光元件(sensor)，而在sensor的面上呈现一个弥散圆，从图像表现上看，虚焦的物体会变得更加模糊，应用到本实施例上，即可通过图片中缺陷的清晰度判断其所处位置。

下面以第一成像单元的焦点设置于所述待测显示模组的盖板的出光侧表面，所述第二成像单元的焦点设置于所述待测显示模组的盖板的入光侧表面为例进行详细解释：

若所述第一成像单元获取的第一图像中缺陷的清晰度高于所述第二成像单元获取的第二图像中缺陷的清晰度时，则判定所述缺陷位于待测显示模组的盖板的出光侧表面；

若所述第一成像单元获取的第一图像中缺陷的清晰度低于所述第二成像单元获取的第二图像中缺陷的清晰度高，则判定所述缺陷位于待测显示模组的盖板的入光侧表面。

在一个具体的实施例中，如图3所示，所述采集镜头包括第一镜筒101所述第一成像单元包括第二镜筒103和第一相机组件104，所述第二成像单元包括第三镜筒201和第二相机组件204，所述第一镜筒101用于接收所述待测显示模组的成像光束，所述分光器件102用于将所述成像光束的一部分分光至所述第二镜筒103并将所述成像光束的另一部分分光至所述第三镜筒201；所述第二镜筒103用于将所述成像光束的一部分输出至第一相机组件104，所述第三镜筒201用于将所述成像光束的另一部分输出至所述第二相机组件204。

具体的，所述第一镜筒101设置于待测显示模组的盖板和所述分光器件102之间，所述待测显示模组的成像光束沿所述第一镜筒101的轴线方向射入至所述分光器件102；经过所述分光器件102的部分成像光束沿所述第二镜筒103的轴线方向射入所述第一相机组件104，剩余部分成像光束沿所述第三镜筒201的轴线方向射入所述第二相机组件204。

本方案利用所述分光器件将成像光束分为两束光分别射入第一相机组件和第二相机组件，使得所述第一相机组件和第二相机组件分别获取所述成像光束，只需进行一次拍摄，即可得到相同区域不同焦点的两张图像，能够直接进行图像中缺陷的识别以及缺陷清晰度的比对，进一步提高了检测效率。

在一种可能的实现方式中，所述第二成像单元还包括反射镜202和第四镜筒203，所述分光器件102用于将所述成像光束的另一部分分光至所述第三镜筒201，所述第三镜筒201用于将所述成像光束的另一部分输出至所述反射镜202，所述反射镜202用于将所述成像光束的另一部分反射至所述第四镜筒203。

具体的，所述待测显示模组的成像光束沿所述第一镜筒101的轴线方向射入至所述分光器件102；经过所述分光器件102的部分成像光束沿所述第二镜筒103的轴线方向射入所述第一相机组件104，剩余部分成像光束沿所述第三镜筒201的轴线方向射入所述反射镜，所述反射镜反射的成像光束沿所述第四镜筒203的轴线方向射入所述第二相机组件204。

本实施例通过设置所述反射单元和第四镜筒，使得所述第二相机组件和第一相机组件均向同一方向采集，使得所述检测设备的整体结构更加紧凑，降低了所述检测设备的场地占用率，从而解决了现有技术中存在的问题。

在一个具体的实施例中，所述第一相机组件与所述第二相机组件轴线平行并列设置。

在一个具体的实施例中，所述分光器件102为半透半反镜。

如图4所示，为所述半透半反镜的原理图，半透半反镜俗称分光镜，当外部光源射入时，一半穿透一半反射，将光分为两束，具体的，所述第一相机组件104和第二相机组件204接收到的成像光束均为所述第一镜筒101接收的光量的50％。

应当说明的是，能够利用棱镜或其他光学结构替换所述半透半反镜。

本实施例利用所述半透半反镜的特性将所述待测显示模组反射的成像光束分为两束相同光束分别进入第一相机组件和第二相机组件，使得二者拍摄的待测显示模组的区域相同且拍照环境一致，降低了缺陷位置检测的误差率。

在一个具体的实施例中，如图5所示，为第一成像单元获取的第一图像和第二成像单元获取的第二图像的相同区域的缺陷图，所述处理器4，用于根据所述第一图像中的所述缺陷的清晰度及所述第二图像中的所述缺陷的清晰度，确定所述缺陷的位置包括：

判断所述第一图像中的所述缺陷的清晰度与所述第二图像中的所述缺陷的清晰度的关系：

若所述第一图像中的所述缺陷的清晰度高于所述第二图像中的所述缺陷的清晰度，则判定所述缺陷位于所述第一成像单元的焦点所对应的盖板侧；

若所述第二图像中的所述缺陷的清晰度高于所述第一图像中的所述缺陷的清晰度，则判定所述缺陷位于所述第二成像单元的焦点所对应的盖板侧。

在一个可能的实现方式中，对于成像中缺陷的清晰度的判断例如通过标准差法：

通过对离散数据之间的离散/偏离程度进行测量，方差值越大，表示这一组数据之间的偏差就越大，对焦清晰画面的数据偏离较大，能量集中在成像点；方差值越小，表示这一组数据之间的偏离就越小，虚焦画面中的数据偏离较小，能量相对更均匀分布；具体的，

根据该区域各像素点的灰度值以及现有的计算图像灰度标准差的公式计算该区域的灰度标准差，所述标准差σ的计算公式如式(1)：

其中，σ表示该区域的灰度标准差，n表示该区域内像素点的个数，x_i表示该区域内第i个像素点对应的灰度值，

表示该区域中所有像素点对应的灰度值的均值。

标准差越大则图像越清晰，反之越模糊；具体的，若第一图像的缺陷区域的灰度标准差高于所述第二图像的缺陷区域的灰度标准差，则所述第一图像中的缺陷成像更清晰，缺陷位于所述第一成像单元的焦点所对应的盖板侧；若第一图像的缺陷区域的灰度标准差低于所述第二图像的缺陷区域的灰度标准差，则所述第二图像中的缺陷成像更清晰，缺陷位于所述第二成像单元的焦点所对应的盖板侧。

在一种可能的实现方式中，例如采用梯度法实现对图像中缺陷的清晰度判断：通过对成像的像素梯度进行计算判断其清晰度，具体的，对图像中每个像素的梯度值进行计算。

同时，为了提高计算效率，能够直接使用近似值对图像G中的每一个像素的梯度值进行计算：

▽G(x，y)＝|Gx|+|Gy|……(2)

在上式中，用绝对值表示梯度的近似式，其中，x和y分别为点(x，y)在图像中的坐标，Gx表示该区域在像素点(x，y)处x方向上的梯度；Gy表示该区域在像素点(x，y)处y方向上的梯度，▽G表示点(x，y)处的梯度向量的值。

利用公式(5)计算缺陷的目标ROI区域的量化参考值G_T：

具体的，缺陷区域的梯度量化参考值越高，表示图像越清晰，其梯度值越小，表示图像越模糊，即，若第一图像的缺陷区域的梯度量化参考值高于所述第二图像的缺陷区域的梯度量化参考值，则所述第一图像中的缺陷更清晰，缺陷位于所述第一成像单元的焦点所对应的盖板侧；若第一图像的缺陷区域的梯度量化参考值低于所述第二图像的缺陷区域的梯度量化参考值，则所述第二图像中的缺陷更清晰，缺陷位于所述第二成像单元的焦点所对应的盖板侧。

在一个具体的实施例中，所述检测装置还包括控制器，用于控制所述待测显示模组进行显示，其中，

所述控制器和与处理器集成为一个器件，例如，处理器既用于根据所述第一图像中的所述缺陷的清晰度及所述第二图像中的所述缺陷的清晰度，确定所述缺陷的位置，又用于控制所述待测显示模组进行显示出光，所述显示出光为成像光束。

在一种可能的实现方式中，所述检查装置还包括，

光源，用于照射所述待测显示模组以使得照射光束在所述待测显示模组反射形成成像光束。

在一种可能的实现方式中，所述光源包括第一光源和第二光源，所述第一光源垂直射入所述待测显示模组的侧面，所述第二光源为斜方向照明，采用多角度照射，通过所述第一光源和第二光源共同照明，能够更加均匀的照明，避免了不同光源造成的照明显示误差，提高了缺陷检查的准确率。

所述光源例如包括LED灯、萤光灯、卤素灯(光纤光源)和特殊光源；其照明方式例如为同轴光源。

本领域技术人员能够理解的是，显示模组能够自发光，能够依赖待测显示模组自身作为光源，其他待测产品在不具备自发光功能时可借助辅助光源打光。

在一种可能的实现方式中，所述第一成像单元与所述第二成像单元分别设置在待测显示模组的出光侧。

在一个具体的实施例中，所述缺陷例如为灰尘或杂质。

在一个具体的实施例中，所述反射单元为平面镜或半透半反镜。

本发明的一个实施例提供了一种显示模组缺陷检测方法，所述方法包括：

多个所述成像单元对来自待测产品的成像光束进行成像，得到焦点不同的多张图像；

对多张所述图像进行缺陷识别以得到缺陷，并根据所述缺陷的清晰度确定所述缺陷在产品的位置。

具体的，以两个成像单元为例：

第一成像单元和第二成像单元对来自待测产品的成像光束进行成像，得到焦点不同的第一图像和第二图像；

对第一图像和第二图像进行缺陷识别以得到缺陷，并根据所述第一图像中的所述缺陷的清晰度及所述第二图像中的所述缺陷的清晰度，确定所述缺陷在产品的位置。

本方法利用原始的相机拍摄条件，无需使用另外的光学条件和机构，降低了检测的空间成本和测量成本，解决目前AOI行业中，对表面异物和深层异物的辨别的高成本问题，同时提高了检测效率。

为了更清楚的说明本实施例，下面以第一成像单元的焦点设置于所述待测显示模组的盖板的出光侧表面，所述第二成像单元的焦点设置于所述待测显示模组的盖板的入光侧表面为例对所述缺陷位置的判断进行详细解释：

若所述第一成像单元获取的第一图像中缺陷的清晰度高于所述第二成像单元获取的第二图像中缺陷的清晰度时，则判定所述缺陷位于待测显示模组的盖板的出光侧表面；

若所述第一成像单元获取的第一图像中缺陷的清晰度低于所述第二成像单元获取的第二图像中缺陷点的清晰度高，则判定所述缺陷位于待测显示模组的盖板的入光侧表面。

本实施例通过图像中缺陷的清晰度进行缺陷位置的判断，加快了处理器的判断速度，进一步提高了检测效率和精确度。

在一种可能的实现方式中，通过标准差法或梯度法计算所述图像中缺陷的清晰度。

具体的，若所述缺陷位于显示模组的盖板的出光侧，则判断为良，若所述缺陷位于显示模组的盖板的入光侧，则判断为不良，为生产过程中灰尘进入到显示模组的层结构之间，为产品缺陷，需要被筛选出来。

需要说明的是，在本发明的描述中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

显然，本发明的上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定，对于本领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无法对所有的实施方式予以穷举，凡是属于本发明的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之列。

Claims (10)

1.一种缺陷检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：

多个成像单元、采集镜头、分光器件和处理器，

多个所述成像单元的焦点形成于待测产品的不同位置；

采集镜头接收待测产品的光束并通过分光器件将光束分别传输给多个所述成像单元，多个所述成像单元对来自待测产品的成像光束进行成像，得到焦点不同的多张图像；

所述处理器，用于对多张所述图像进行缺陷识别以得到缺陷，并根据所述缺陷的清晰度确定所述缺陷在产品的位置。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，

所述采集镜头包括第一镜筒，所述成像单元包括第一成像单元与第二成像单元，所述第一成像单元包括第二镜筒和第一相机组件，所述第二成像单元包括第三镜筒和第二相机组件，所述第一镜筒用于接收所述待测产品的成像光束，所述分光器件用于将所述成像光束的一部分分光至所述第二镜筒并将所述成像光束的另一部分分光至所述第三镜筒；所述第二镜筒用于将所述成像光束的一部分输出至第一相机组件，所述第三镜筒用于将所述成像光束的另一部分输出至所述第二相机组件。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，

所述第二成像单元还包括反射镜和第四镜筒，所述分光器件用于将所述成像光束的另一部分分光至所述第四镜筒，所述第四镜筒用于将所述成像光束的另一部分输出至所述反射镜，所述反射镜用于将所述成像光束的另一部分反射至所述第三镜筒。

4.根据权利要求1-3任一项所述的检测装置，其特征在于，

所述分光器件为半透半反镜。

5.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，

所述处理器，用于对多张所述图像进行缺陷识别以得到缺陷，并根据所述缺陷的清晰度确定所述缺陷在产品的位置包括：

判断多张所述图像中的所述缺陷的清晰度的关系：

若第一图像中的所述缺陷的清晰度高于第二图像中的所述缺陷的清晰度，则判定所述缺陷位于所述第一成像单元的焦点所对应的待测产品的第一位置；

若所述第二图像中的所述缺陷的清晰度高于所述第一图像中的所述缺陷的清晰度，则判定所述缺陷位于所述第二成像单元的焦点所对应的待测产品的第二位置。

6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，通过标准差法判断所述图像中缺陷的清晰度：

遍历图像中缺陷区域各像素点的灰度值，根据公式(1)计算该图像的灰度标准差σ：

其中，n表示区域内像素点的个数，x_i表示区域内第i个像素点对应的灰度值，

表示区域内像素点灰度值的均值；

所述缺陷区域的灰度标准差σ与所述缺陷的清晰度正相关。

7.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，

通过梯度法判断所述图像中的所述缺陷的清晰度，利用公式(2)-(4)对图像中缺陷区域像素的梯度值进行计算：

▽G(x，y)＝|Gx|+|Gy|……(2)

其中，x和y分别为点(x，y)在图像中的坐标，Gx表示该区域在像素点(x，y)处x方向上的梯度；Gy表示该区域在像素点(x，y)处y方向上的梯度，绝对值表示梯度的近似式，▽G(x，y)表示点(x，y)处的梯度向量的值；

遍历缺陷区域内各个点的梯度值，利用公式(5)计算所述缺陷区域的梯度量化参考值G_T：

其中，(X_start，Y_start)为所述缺陷区域的起始点，(X_end，Y_end)为所述缺陷区域的终点；

所述缺陷区域的梯度量化参考值与所述缺陷的清晰度呈正相关。

8.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述第一相机组件与所述第二相机组件轴线平行并列设置。

9.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述检测装置还包括，

光源，用于照射所述待测产品以使得照射光束在所述待测产品反射形成成像光束。

10.一种基于如权利要求1-9中任一项所述的检测装置的缺陷检测方法，其特征在于，包括：

多个所述成像单元对来自待测产品的成像光束进行成像，得到焦点不同的多张图像；

对多张所述图像进行缺陷识别以得到缺陷，并根据所述缺陷的清晰度确定所述缺陷在产品的位置。

Images