CN116973311B - 一种膜上膜下异物的检测装置及检测方法 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 134
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 114
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 37
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 31
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 16
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 7
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 238000013461 design Methods 0.000 abstract description 15
- 230000002146 bilateral effect Effects 0.000 abstract description 9
- 238000005242 forging Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 8
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000010009 beating Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000001028 reflection method Methods 0.000 description 3
- 238000013528 artificial neural network Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000009877 rendering Methods 0.000 description 2
- 241001270131 Agaricus moelleri Species 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000011895 specific detection Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01V—GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
- G01V8/00—Prospecting or detecting by optical means
- G01V8/10—Detecting, e.g. by using light barriers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
- G01N2021/8887—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques
Abstract
本发明公开了一种膜上膜下异物的检测装置及检测方法，本发明采用双边反射的方式，替代了传统垂直打法中反射光线与镜头法线同轴的反射方式，来进行产品成像；由此，则可避免传统光源反射出来的缺陷都是黑色缺陷的问题，从而使得到的检测图像对膜上异物和膜下异物具有不同的图像差异；通过上述设计，本发明则可通过图像的差异，来实现膜上膜下异物的自动化检测，进而达到提高检测效率以及降低人力成本的目的。
Description
技术领域
本发明属于机器视觉技术领域，具体涉及一种膜上膜下异物的检测装置及检测方法。
背景技术
目前在产品的线扫高精度瑕疵检测时，大多都会使用TDI相机，而不使用线扫相机，其原因为：线扫相机是单线曝光，而TDI相机可以多线曝光，因此，同规格的线扫相机和TDI相机存在以下差异：（1）TDI相机与线扫相机相比，亮度不需要太高；（2）TDI相机与线扫相机相比，打光效果更佳；如此，TDI相机更适应于进行产品的线扫高精度瑕疵检测。
虽然TDI相机功能强大，但是其芯片很像面阵相机，因此，相机只能垂直打法，参见图1所示（图1中的（a）表示产品存在膜下异物的光线反射示意图，图1中的（b）则为膜上异物的光线反射示意图），即现有的线扫高精度瑕疵检测时，TDI相机位于产品的正上方，通过设置一个光源以及分光镜，来向产品发射光线（分光镜反射的光线与相机镜头法线同轴），从而得到产品的膜上膜下异物检测图像；但是，前述检测方式存在以下不足：在膜上膜下异物检测，反射的光线垂直打在凸起点上，如此，反射的光都会被散射出去，打出来的缺陷都是黑色缺陷，无法判别是膜上还是膜下异物，由此，则需要通过人员再次判别，无法达到自动化检测效果，不仅降低了检测效率，还增加了大量的人力成本；基于此，如何提供一种可实现膜上膜下异物自动化检测的检测装置，已成为一个亟待解决的问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种膜上膜下异物的检测装置及检测方法，用以解决现有技术中得到的检测图像无法区分产品是膜上异物，还是膜下异物，需要通过人工再次判别所导致的无法达到自动化检测，从而降低了检测效率，以及增加了人力成本的问题。
为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：
第一方面，提供了一种膜上膜下异物的检测装置，包括：
成像器和检测终端，其中，所述成像器包括分光镜、相机、第一光源和第二光源，所述相机设置于所述分光镜的正上方，且所述分光镜的正下方设置有待测产品；
所述第一光源和所述第二光源用于向分光镜发射成像光线，所述分光镜用于将第一光源和第二光源发出的成像光线反射至待测产品上的指定位置上，其中，所述指定位置为所述相机中镜头的法线与所述待测产品的交点位置，所述分光镜反射的成像光线与所述法线之间的夹角大于0度，且所述相机用于接收所述待测产品反射的光线，以生成所述待测产品的膜上膜下异物检测图像；
所述检测终端，用于获取所述成像器生成的待测产品的膜上膜下异物检测图像，并基于所述膜上膜下异物检测图像，得到所述待测产品的膜上膜下异物检测结果。
基于上述公开的内容，本发明所提供的检测装置，重新设计了产品的线扫高精度瑕疵检测的成像光路，即该成像器中设置有两个光源，其中，两个光源以不同的入射角度向分光镜发射成像光线，而分光镜则将两个光源发出的成像光线，以不同角度反射至待测产品的指定位置上，且该指定位置为相机镜头的法线与产品的交点位置；如此，分光镜反射的光线，与镜头法线实质是存在一定的夹角，基于此，本发明相当于是采用双边反射的方式，替代了传统垂直打法中反射光线与镜头法线同轴的反射方式，来进行产品成像；由此，则可避免传统光源反射出来的缺陷都是黑色缺陷的问题，从而使得到的检测图像对膜上异物和膜下异物具有不同的图像差异；通过上述设计，检测终端即可通过图像的差异，来实现膜上膜下异物的自动化检测，进而达到提高检测效率以及降低人力成本的目的。
在一个可能的设计中，所述第一光源发出的成像光线在所述分光镜上的入射角度介于20°～60°之间，所述第二光源发出的成像光线在所述分光镜上的入射角度介于40°～80°之间。
在一个可能的设计中，所述第一光源和所述第二光源发出的成像光线分别通过光纤传输至所述分光镜。
在一个可能的设计中，所述相机采用TDI相机。
第二方面，提供了一种膜上膜下异物的检测方法，该检测方法适应于如第一方面或第一方面中任意一种可能设计的所述膜上膜下异物的检测装置中的检测终端执行，其中，所述方法包括：
获取待测产品的膜上膜下异物检测图像；
从所述膜上膜下异物检测图像中确定出缺陷区域，其中，所述缺陷区域包括膜上异物区域或膜下异物区域；
基于所述缺陷区域的灰度值，得到所述待测产品的膜上膜下异物检测结果。
在一个可能的设计中，从所述膜上膜下异物检测图像中确定出缺陷区域，包括：
获取缺陷掩模图像，其中，所述缺陷掩模图像是利用所述膜上膜下异物检测图像生成的；
基于所述缺陷掩模图像，从所述膜上膜下异物检测图像中，确定出所述缺陷区域。
在一个可能的设计中，所述缺陷区域对应有缺陷掩模图像，且所述缺陷区域是根据所述缺陷掩模图像在所述膜上膜下异物检测图像中确定得到的，其中，基于所述缺陷区域的灰度值，得到所述待测产品的膜上膜下异物检测结果，包括：
获取所述缺陷区域在所述缺陷掩模图像中各个像素点的灰度值；
基于所述缺陷区域在所述缺陷掩模图像中各个像素点的灰度值，以及所述缺陷区域中各个像素点的灰度值，得到所述待测产品的膜上膜下异物检测结果。
在一个可能的设计中，基于所述缺陷区域在所述缺陷掩模图像中各个像素点的灰度值，以及所述缺陷区域中各个像素点的灰度值，得到所述待测产品的膜上膜下异物检测结果，包括：
基于所述缺陷区域在所述缺陷掩模图像中各个像素点的灰度值，计算出所述缺陷区域在所述缺陷掩模图像中的第一灰度标准差和第一灰度均值；以及
根据所述缺陷区域中各个像素点的灰度值，计算出所述缺陷区域在所述膜上膜下异物检测图像中的第二灰度标准差和第二灰度均值；
依据所述第一灰度标准差、所述第一灰度均值、所述第二灰度标准差和所述第二灰度均值，得出所述待测产品的膜上膜下异物检测结果。
在一个可能的设计中，依据所述第一灰度标准差、所述第一灰度均值、所述第二灰度标准差和第二灰度均值，得出所述待测产品的膜上膜下异物检测结果，包括：
判断所述第二灰度标准差是否大于所述第一灰度标准差，以及判断所述第二灰度均值是否大于所述第二灰度均值；
若是，则生成所述膜上膜下异物检测结果为膜下异物。
在一个可能的设计中，所述方法还包括：
若否，则生成所述膜上膜下异物检测结果为膜上异物。
第三方面，提供了一种电子设备，包括依次通信相连的存储器、处理器和收发器，其中，所述存储器用于存储计算机程序，所述收发器用于收发消息，所述处理器用于读取所述计算机程序，执行如第二方面或第二方面中任意一种可能设计的所述膜上膜下异物的检测方法。
第四方面，提供了一种存储介质，存储介质上存储有指令，当所述指令在计算机上运行时，执行如第二方面或第二方面中任意一种可能设计的所述膜上膜下异物的检测方法。
第五方面，提供了一种包含指令的计算机程序产品，当指令在计算机上运行时，使计算机执行如第二方面或第二方面中任意一种可能设计的所述膜上膜下异物的检测方法。
有益效果：
（1）本发明采用双边反射的方式，替代了传统垂直打法中反射光线与镜头法线同轴的反射方式，来进行产品成像；由此，则可避免传统光源反射出来的缺陷都是黑色缺陷的问题，从而使得到的检测图像对膜上异物和膜下异物具有不同的图像差异；通过上述设计，本发明则可通过图像的差异，来实现膜上膜下异物的自动化检测，进而达到提高检测效率以及降低人力成本的目的。
附图说明
图1为本发明提供的垂直打法的光线反射示意图；
图2为本发明实施例提供的成像器的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的成像器的光路合并示意图；
图4为本发明实施例提供的双边反射与同轴反射的成像对比示意图；
图5为本发明实施例提供的采用双边反射方式所得到的膜下和膜上异物的检测图；
图6为本发明实施例提供的膜上膜下异物的检测方法的步骤流程示意图；
图7为本发明实施例提供的电子设备的结构示意图。
附图标记：
1-分光镜；2-相机；3-第一光源；4-第二光源。
具体实施方式
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将结合附图和实施例或现有技术的描述对本发明作简单地介绍，显而易见地，下面关于附图结构的描述仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在此需要说明的是，对于这些实施例方式的说明用于帮助理解本发明，但并不构成对本发明的限定。
应当理解，尽管本文可能使用术语第一、第二等等来描述各种单元，但是这些单元不应当受到这些术语的限制。这些术语仅用于区分一个单元和另一个单元。例如可以将第一单元称作第二单元,并且类似地可以将第二单元称作第一单元，同时不脱离本发明的示例实施例的范围。
应当理解，对于本文中可能出现的术语“和/或”，其仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，单独存在B，同时存在A和B三种情况；对于本文中可能出现的术语“/和”，其是描述另一种关联对象关系，表示可以存在两种关系，例如，A/和B，可以表示：单独存在A，单独存在A和B两种情况；另外，对于本文中可能出现的字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”关系。
实施例：
参见图1～2所示，本实施例所提供的膜上膜下异物的检测装置，可以但不限于包括：成像器和检测终端，其中，成像器用于对待测产品进行线扫高精度瑕疵检测，得到瑕疵检测图像，即得到待测产品的膜上膜下异物检测图；而检测终端则基于该膜上膜下异物检测图，来得到待测产品的膜上膜下异物检测结果，从而实现待测产品的膜上膜下异物的自动化检测。
参见图2所示，下述公开前述成像器的其中一种具体结构：
在本实施例中，举例所述成像器可以但不限于包括：分光镜1和相机2，其中，所述相机2设置于所述分光镜1的正上方，且所述分光镜1的正下方设置有待测产品；同时，在具体实施时，本实施例设置有两个光源，来向待测产品发射成像光线；参见图2所示，举例所述第一光源3和所述第二光源4用于向分光镜1发射成像光线，而所述分光镜1则用于将第一光源3和第二光源4发出的成像光线反射至待测产品上的指定位置上，以使待测产品将分光镜1反射的光线，反射至相机2中，以便相机2接收所述待测产品反射的光线，来生成所述待测产品的膜上膜下异物检测图像；可选的，举例前述指定位置为所述相机2中镜头的法线与所述待测产品的交点位置，且所述分光镜1反射的成像光线与所述法线之间的夹角大于0度。
参见图2所示，第一光源3和第二光源4的入射角度不同，且由于入射角度不同，使得分光镜1反射的两成像光线与相机2的镜头的法线之间存在一定夹角，如此，则可使分光镜1反射的成像光线与镜头法线不同轴，从而形成双边反射方式；即分光镜1所反射的两条成像光线以不同角度照射至待测产品上的同一位置，并最终实现两条光路的合并；其中，双边反射的光路合并等效示意图可参见图3所示。
在一个具体的实施方式中，举例所述第一光源3发出的成像光线在所述分光镜1上的入射角度可以但不限于介于20°～60°之间，所述第二光源4发出的成像光线在所述分光镜1上的入射角度可以但不限于介于40°～80°之间；同时，两个光源发出的成像光线可分别通过一光纤传输至所述分光镜1，且举例相机2可以但不限于采用TDI相机。
基于此，本实施例所提供的成像器，通过采用双边反射的方式，来替代传统垂直打法中反射光线与镜头法线同轴的反射方式进行产品成像；如此，则可避免传统光源反射出来的缺陷都是黑色缺陷的问题，从而使得到的检测图像对膜上异物和膜下异物具有不同的图像差异。
可选的，参见图4和图5所示，图4给出了采用本实施例所提供的双边反射方式得到的产品成像图像（如图4中的（a）、（b）和（c）所示），与采用传统同轴反射方式得到的产品成像图像（如图4中的（d）、（e）和（f）所示）的对比示意图；从图4中的（d）、（e）和（f）中可以看出，传统方式得到的成像图像，所检测出的缺陷（即无论是膜上异物还是膜下异物），其都是黑色缺陷区域，无法区分出膜上异物和膜下异物；而本实施例所提供的成像器所得到的图像，明显可看出存在灰度不同的缺陷区域；更进一步的，参见图5所示，图5中的（a）表示膜下异物对应的检测图，图5中的（b）表示膜上异物对应的检测图，从图5中可明显看出，膜上和膜下异物对应的检测图具有明显的差异，其中，膜下异物对应的图像，其缺陷区域上下会有偏白影像，而膜上则只有黑色缺陷；由此，即可基于膜上和膜下异物对应的图像差异，来实现膜上膜下异物的自动化检测。
基于此，检测终端，则可获取所述成像器生成的待测产品的膜上膜下异物检测图像，并基于所述膜上膜下异物检测图像，来自动得到所述待测产品的膜上膜下异物检测结果；在本实施例中，检测终端可以但不限于为个人电脑（personal computer，PC）、平板电脑或智能手机，当然，还可为其余具有图像处理功能的处理器等，在此不限定于前述举例。
在一个具体的实施方式中，下述公开前述检测终端进行膜上膜下异物检测的具体过程：
在本实施例中，在双边反射打光条件下所得到的检测图像，若图像中存在膜下异物，则膜下异物呈现周边较亮，图像灰度级高，中部较暗，图像灰度级低的特点；而若图中存在膜下异物，则是膜上异物呈现整体上较暗，图像灰度级低于背景灰度级的特点；如此，检测终端则基于前述特征，来进行异物检测。
在具体应用时，检测终端在获取到基于前述成像器生成的膜上膜下异物检测图像后，先从从所述膜上膜下异物检测图像中确定出缺陷区域（在本实施例中，所述缺陷区域包括膜上异物区域或膜下异物区域），然后基于所述缺陷区域的灰度值，得到所述待测产品的膜上膜下异物检测结果。
可选的，可以但不限于采用如下方式从所述膜上膜下异物检测图像中确定出缺陷区域：
第一步：获取缺陷掩模图像，其中，所述缺陷掩模图像是利用所述膜上膜下异物检测图像生成的；在具体实施时，可以但不限于对膜上膜下有检测图像进行周期检来得到缺陷掩模图像；当然，生成缺陷掩模图像的方法为常用的掩模图像生成技术，其原理不再赘述；如此通过前述设计，相当于就生成缺陷模板图像（指缺陷掩模图像），而后，即可基于该缺陷模板图像，从膜上膜下异物检测图像中提取出缺陷区域；其中，提取过程如下述第二步所示。
第二步：基于所述缺陷掩模图像，从所述膜上膜下异物检测图像中，确定出所述缺陷区域；在本实施例中，以缺陷掩模图像为窗口，在膜上膜下异物检测图像中进行滑动，得到一个滑动区域，其中，通过对比滑动区域的灰度与缺陷掩模图像的灰度，来判定该滑动区域是否为缺陷区域（区域内的灰度是否相近，如大于预设值则认定为缺陷区域）；如此，直至将整个检测图像遍历完毕，即可得到缺陷区域（即得到了可能存在异物的区域）。
在从检测图像中确定出缺陷区域后，即可根据缺陷区域与缺陷掩模图像中各个像素点的灰度值，来确定出待测产品存在膜上异物还是膜下异物；可选的，具体的检测过程如下述步骤所示。
第三步：获取所述缺陷区域在所述缺陷掩模图像中各个像素点的灰度值。
第四步：基于所述缺陷区域在所述缺陷掩模图像中各个像素点的灰度值，以及所述缺陷区域中各个像素点的灰度值，得到所述待测产品的膜上膜下异物检测结果；在具体实施时，可以但不限于先基于缺陷区域在所述缺陷掩模图像中各个像素点的灰度值，计算出所述缺陷区域在所述缺陷掩模图像中的第一灰度标准差和第一灰度均值；然后再根据所述缺陷区域中各个像素点的灰度值，计算出所述缺陷区域在所述膜上膜下异物检测图像中的第二灰度标准差和第二灰度均值；最后，则可根据前述第一灰度标准差、第一灰度均值、第二灰度标准差和第二灰度均值，来得出所述待测产品的膜上膜下异物检测结果。
具体的，是判断所述第二灰度标准差是否大于所述第一灰度标准差，以及判断所述第二灰度均值是否大于所述第二灰度均值；其中，若是，则生成所述膜上膜下异物检测结果为膜下异物；否则，则生成所述膜上膜下异物检测结果为膜上异物。
由此通过前述设计，检测终端即可通过图像的差异，来实现膜上膜下异物的自动化检测，进而达到提高检测效率以及降低人力成本的目的。
如图6所示，本实施例第二方面提供了一种膜上膜下异物的检测方法，其中，该方法适应于实施例第一方面中所述的膜上膜下异物的检测装置中的检测终端执行，且所述方法包括：
S1. 获取待测产品的膜上膜下异物检测图像。
S2. 从所述膜上膜下异物检测图像中确定出缺陷区域，其中，所述缺陷区域包括膜上异物区域或膜下异物区域；在本实施例中，可以但不限于先获取缺陷掩模图像；然后，基于所述缺陷掩模图像，从所述膜上膜下异物检测图像中，确定出所述缺陷区域；可选的，举例所述缺陷掩模图像是利用所述膜上膜下异物检测图像生成的，且前述缺陷区域提取过程可参见实施例第一方面，于此不再赘述。
在从检测图像中提取出缺陷区域后，即可进行异物检测，如下述步骤S3所示。
S3. 基于所述缺陷区域的灰度值，得到所述待测产品的膜上膜下异物检测结果；在本实施例中，举例可以但不限于采用如下步骤S31和步骤S32，来得出异物检测结果。
S31. 获取所述缺陷区域在所述缺陷掩模图像中各个像素点的灰度值。
S32. 基于所述缺陷区域在所述缺陷掩模图像中各个像素点的灰度值，以及所述缺陷区域中各个像素点的灰度值，得到所述待测产品的膜上膜下异物检测结果；在具体应用时，可以但不限于先基于所述缺陷区域在所述缺陷掩模图像中各个像素点的灰度值，计算出所述缺陷区域在所述缺陷掩模图像中的第一灰度标准差和第一灰度均值；然后再根据所述缺陷区域中各个像素点的灰度值，计算出所述缺陷区域在所述膜上膜下异物检测图像中的第二灰度标准差和第二灰度均值；最后，则可依据所述第一灰度标准差、所述第一灰度均值、所述第二灰度标准差和所述第二灰度均值，得出所述待测产品的膜上膜下异物检测结果。
其中，依据所述第一灰度标准差、所述第一灰度均值、所述第二灰度标准差和所述第二灰度均值，得出所述待测产品的膜上膜下异物检测结果，可以但不限于采用如下方式：
S32a.判断所述第二灰度标准差是否大于所述第一灰度标准差，以及判断所述第二灰度均值是否大于所述第二灰度均值。
S32b. 若是，则生成所述膜上膜下异物检测结果为膜下异物；否则，则生成所述膜上膜下异物检测结果为膜上异物。
本实施例提供的方法的工作过程、工作细节和技术效果，可以参见实施例第一方面，于此不再赘述。
如图7所示，本实施例第三方面提供了一种电子设备，包括：依次通信相连的存储器、处理器和收发器，其中，所述存储器用于存储计算机程序，所述收发器用于收发消息，所述处理器用于读取所述计算机程序，执行如实施例第二方面所述的膜上膜下异物的检测方法。
具体举例的，所述存储器可以但不限于包括随机存取存储器（random accessmemory，RAM）、只读存储器（Read Only Memory ，ROM）、闪存（Flash Memory）、先进先出存储器（First Input First Output，FIFO）和/或先进后出存储器（First In Last Out，FILO）等等；具体地，处理器可以包括一个或多个处理核心，比如4核心处理器、8核心处理器等。处理器可以采用DSP(Digital Signal Processing，数字信号处理)、FPGA(Field－Programmable Gate Array，现场可编程门阵列)、PLA(Programmable Logic Array，可编程逻辑阵列)中的至少一种硬件形式来实现，同时，处理器也可以包括主处理器和协处理器，主处理器是用于对在唤醒状态下的数据进行处理的处理器，也称CPU(Central ProcessingUnit，中央处理器)；协处理器是用于对在待机状态下的数据进行处理的低功耗处理器。
在一些实施例中，处理器可以在集成有GPU(Graphics Processing Unit，图像处理器)，GPU用于负责显示屏所需要显示的内容的渲染和绘制，例如，所述处理器可以不限于采用型号为STM32F105系列的微处理器、精简指令集计算机（reduced instruction setcomputer,RISC）微处理器、X86等架构处理器或集成嵌入式神经网络处理器（neural-network processing units，NPU）的处理器；所述收发器可以但不限于为无线保真（WIFI）无线收发器、蓝牙无线收发器、通用分组无线服务技术（General Packet Radio Service，GPRS）无线收发器、紫蜂协议（基于IEEE802.15.4标准的低功耗局域网协议，ZigBee）无线收发器、3G收发器、4G收发器和/或5G收发器等。此外，所述装置还可以但不限于包括有电源模块、显示屏和其它必要的部件。
本实施例提供的电子设备的工作过程、工作细节和技术效果，可以参见实施例第二方面，于此不再赘述。
本实施例第四方面提供了一种存储包含有实施例第一方面所述的膜上膜下异物的检测方法的指令的存储介质，即所述存储介质上存储有指令，当所述指令在计算机上运行时，执行如实施例第二方面所述的膜上膜下异物的检测方法。
其中，所述存储介质是指存储数据的载体，可以但不限于包括软盘、光盘、硬盘、闪存、优盘和/或记忆棒(Memory Stick)等，所述计算机可以是通用计算机、专用计算机、计算机网络、或者其他可编程装置。
本实施例提供的存储介质的工作过程、工作细节和技术效果，可以参见实施例第二方面，于此不再赘述。
本实施例第五方面提供了一种包含指令的计算机程序产品，当所述指令在计算机上运行时，使所述计算机执行如实施例第二方面所述的膜上膜下异物的检测方法，其中，所述计算机可以是通用计算机、专用计算机、计算机网络、或者其他可编程装置。
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明的保护范围。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种膜上膜下异物的检测装置，其特征在于，包括：
成像器和检测终端，其中，所述成像器包括分光镜（1）、相机（2）、第一光源（3）和第二光源（4），所述相机（2）设置于所述分光镜（1）的正上方，且所述分光镜（1）的正下方设置有待测产品；
所述第一光源（3）和所述第二光源（4）用于向分光镜（1）发射成像光线，所述分光镜（1）用于将第一光源（3）和第二光源（4）发出的成像光线反射至待测产品上的指定位置上，其中，所述指定位置为所述相机（2）中镜头的法线与所述待测产品的交点位置，所述分光镜（1）反射的成像光线与所述法线之间的夹角大于0度，且所述相机（2）用于接收所述待测产品反射的光线，以生成所述待测产品的膜上膜下异物检测图像；
所述检测终端，用于获取所述成像器生成的待测产品的膜上膜下异物检测图像，并基于所述膜上膜下异物检测图像，得到所述待测产品的膜上膜下异物检测结果；
所述膜上膜下异物的检测装置的检测方法，适用于所述检测终端执行，所述方法包括：
获取待测产品的膜上膜下异物检测图像；
从所述膜上膜下异物检测图像中确定出缺陷区域，其中，所述缺陷区域包括膜上异物区域或膜下异物区域；
基于所述缺陷区域的灰度值，得到所述待测产品的膜上膜下异物检测结果；
所述缺陷区域对应有缺陷掩模图像，且所述缺陷区域是根据所述缺陷掩模图像在所述膜上膜下异物检测图像中确定得到的，其中，基于所述缺陷区域的灰度值，得到所述待测产品的膜上膜下异物检测结果，包括：
获取所述缺陷区域在所述缺陷掩模图像中各个像素点的灰度值；
基于所述缺陷区域在所述缺陷掩模图像中各个像素点的灰度值，以及所述缺陷区域中各个像素点的灰度值，得到所述待测产品的膜上膜下异物检测结果；
基于所述缺陷区域在所述缺陷掩模图像中各个像素点的灰度值，以及所述缺陷区域中各个像素点的灰度值，得到所述待测产品的膜上膜下异物检测结果，包括：
基于所述缺陷区域在所述缺陷掩模图像中各个像素点的灰度值，计算出所述缺陷区域在所述缺陷掩模图像中的第一灰度标准差和第一灰度均值；以及
根据所述缺陷区域中各个像素点的灰度值，计算出所述缺陷区域在所述膜上膜下异物检测图像中的第二灰度标准差和第二灰度均值；
依据所述第一灰度标准差、所述第一灰度均值、所述第二灰度标准差和所述第二灰度均值，得出所述待测产品的膜上膜下异物检测结果。
2.根据权利要求1所述的一种膜上膜下异物的检测装置，其特征在于，所述第一光源（3）发出的成像光线在所述分光镜（1）上的入射角度介于20°～60°之间，所述第二光源（4）发出的成像光线在所述分光镜（1）上的入射角度介于40°～80°之间。
3.根据权利要求1所述的一种膜上膜下异物的检测装置，其特征在于，所述第一光源（3）和所述第二光源（4）发出的成像光线分别通过光纤传输至所述分光镜（1）。
4.根据权利要求1所述的一种膜上膜下异物的检测装置，其特征在于，所述相机（2）采用TDI相机。
5.根据权利要求1所述的一种膜上膜下异物的检测装置，从所述膜上膜下异物检测图像中确定出缺陷区域，包括：
获取缺陷掩模图像，其中，所述缺陷掩模图像是利用所述膜上膜下异物检测图像生成的；
基于所述缺陷掩模图像，从所述膜上膜下异物检测图像中，确定出所述缺陷区域。
6.根据权利要求1所述的一种膜上膜下异物的检测装置，依据所述第一灰度标准差、所述第一灰度均值、所述第二灰度标准差和第二灰度均值，得出所述待测产品的膜上膜下异物检测结果，包括：
判断所述第二灰度标准差是否大于所述第一灰度标准差，以及判断所述第二灰度均值是否大于所述第二灰度均值；
若是，则生成所述膜上膜下异物检测结果为膜下异物。
7.根据权利要求6所述的一种膜上膜下异物的检测装置，还包括：
若否，则生成所述膜上膜下异物检测结果为膜上异物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311228264.8A CN116973311B (zh) | 2023-09-22 | 2023-09-22 | 一种膜上膜下异物的检测装置及检测方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311228264.8A CN116973311B (zh) | 2023-09-22 | 2023-09-22 | 一种膜上膜下异物的检测装置及检测方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN116973311A CN116973311A (zh) | 2023-10-31 |
| CN116973311B true CN116973311B (zh) | 2023-12-12 |
Family
ID=88478194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202311228264.8A Active CN116973311B (zh) | 2023-09-22 | 2023-09-22 | 一种膜上膜下异物的检测装置及检测方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN116973311B (zh) |
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| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |