CN116642830A - 一种新型的线扫图像检测方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种新型的线扫图像检测方法，包括以下步骤：S1：通过电脑向线阵相机和光源控制器输出信号，光源控制器接收信号后控制对应光源动作；S2：通过线阵相机对待测样品进行拍照，再对图像进行采集；S3：对线阵相机采集的图像进行预处理；S4：对不同视场下的同一图像的缺陷信息进行处理，最后输出缺陷结果。本发明的有益效果是：通过光源控制器控制多种光源动作，从而使线阵相机在扫描一次待测样品后，可同时得到多幅图像，进而产生更多的特征量，提高图像的对比度，降低了误检率，便于后续检测图像处理。
Description
技术领域
本发明涉及线扫图像检测技术领域，特别是一种新型的线扫图像检测方法。
背景技术
现有检测方法通常为一个工位对应一个相机和一个光源，只能检测单独视场、单独颜色光下的图像，图像效果单一，不能对同一图像上的同一缺陷进行复判，图像缺陷检出率较低，误检率较高，若想输出多种图像，一般是增加工位或者单工位增加扫描次数去检测，这无疑会导致成本变高，时间变长，而且占用空间大。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种新型的线扫图像检测方法。
本发明的目的通过以下技术方案来实现：一种新型的线扫图像检测方法，包括以下步骤：
S1：通过电脑向线阵相机和光源控制器输出信号，光源控制器接收信号后控制对应光源动作；
S2：通过线阵相机对待测样品进行拍照，再对图像进行采集；
S3：对线阵相机采集的图像进行预处理；
S4：对不同视场下的同一图像的缺陷信息进行处理，最后输出缺陷结果。
优选的，步骤S1中，光源包括红光源、蓝光源和绿光源，光源控制器分别控制对应光源。
优选的，红光源和蓝光源位于待测样品的侧上方，红光源用于拍摄明场图像，蓝光源用于拍摄暗场图像，绿光源位于待测样品的正下方，绿光源用于拍摄背光图像。
优选的，红光源离待测样品的高度高于蓝光源离待测样品的高度。
优选的，步骤S1中，线阵相机为高速高灵敏度彩色TDI数字线阵相机。
本发明具有以下优点：本发明通过光源控制器控制多种光源动作，从而使线阵相机在扫描一次待测样品后，可同时得到多幅图像，进而产生更多的特征量，提高图像的对比度，降低了误检率，便于后续检测图像处理。
附图说明
图1 为线扫图像检测方法流程的结构示意图；
图2 为线扫图像检测原理的结构示意图；
图中，1-线阵相机，2-待测样品，3-红光源，4-蓝光源，5-绿光源。
具体实施方式
为使本发明实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施方式的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此，以下对在附图中提供的本发明的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施方式及实施方式中的特征可以相互组合。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本实施例中，如图1所示，一种新型的线扫图像检测方法，包括以下步骤：
S1：通过电脑向线阵相机1和光源控制器输出信号，光源控制器接收信号后控制对应光源动作；
S2：通过线阵相机1对待测样品2进行拍照，再对图像进行采集；
S3：对线阵相机1采集的图像进行预处理；
S4：对不同视场下的同一图像的缺陷信息进行处理，最后输出缺陷结果。通过光源控制器控制多种光源动作，从而使线阵相机1在扫描一次待测样品2后，可同时得到多幅图像，进而产生更多的特征量，提高图像的对比度，降低了误检率，便于后续检测图像处理。
进一步的，如图2所示，步骤S1中，光源包括红光源3、蓝光源4和绿光源5，光源控制器分别控制对应光源。也就是说，光源控制器也有三个，分别为光源控制器a、光源控制器b和光源控制器c，光源控制器a、光源控制器b和光源控制器c对应控制红光源3、蓝光源4和绿光源5，通过改变光源的角度以及光源通道，使线阵相机1在扫描一次待测样品2后，可同时得到多幅图像。
再进一步的，红光源3和蓝光源4位于待测样品2的侧上方，优选的，红光源3离待测样品2的高度高于蓝光源4离待测样品2的高度。红光源3用于拍摄明场图像，蓝光源4用于拍摄暗场图像，绿光源5位于待测样品2的正下方，绿光源5用于拍摄背光图像。具体地说，三种不同的光场可对不同缺陷进行检测，其中明场图像用于检测particle或油污，暗场图像用于检测mura，背光图像用于检测背污、光阻残留和异物附着。
在本实施例中，步骤S1中，线阵相机1为高速高灵敏度彩色TDI数字线阵相机。具体地说，通过高速高灵敏度彩色TDI数字线阵相机实现同一时间输出不同的图像，也就是说，红色传感器捕捉红光，蓝色传感器捕捉蓝光以及绿色传感器捕捉绿光。
尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种新型的线扫图像检测方法，其特征在于：包括以下步骤：
S1：通过电脑向线阵相机（1）和光源控制器输出信号，光源控制器接收信号后控制对应光源动作；
S2：通过所述线阵相机（1）对待测样品（2）进行拍照，再对图像进行采集；
S3：对所述线阵相机（1）采集的图像进行预处理；
S4：对不同视场下的同一图像的缺陷信息进行处理，最后输出缺陷结果。
2.根据权利要求1所述的一种新型的线扫图像检测方法，其特征在于：所述步骤S1中，光源包括红光源（3）、蓝光源（4）和绿光源（5），所述光源控制器分别控制对应光源。
3.根据权利要求2所述的一种新型的线扫图像检测方法，其特征在于：所述红光源（3）和所述蓝光源（4）位于所述待测样品（2）的侧上方，所述红光源（3）用于拍摄明场图像，所述蓝光源（4）用于拍摄暗场图像，所述绿光源（5）位于所述待测样品（2）的正下方，所述绿光源（5）用于拍摄背光图像。
4.根据权利要求3所述的一种新型的线扫图像检测方法，其特征在于：所述红光源（3）离所述待测样品（2）的高度高于所述蓝光源（4）离所述待测样品（2）的高度。
5.根据权利要求4所述的一种新型的线扫图像检测方法，其特征在于：所述步骤S1中，所述线阵相机（1）为高速高灵敏度彩色TDI数字线阵相机。
Priority Applications (1)
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Publications (1)
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Country Status (1)
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116773152A (zh) * | 2023-08-25 | 2023-09-19 | 成都中嘉微视科技有限公司 | 一种镜头性能的检测方法、装置、电子设备及存储介质 |
| CN116973311A (zh) * | 2023-09-22 | 2023-10-31 | 成都中嘉微视科技有限公司 | 一种膜上膜下异物的检测装置及检测方法 |
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2023
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