JP5872983B2 - 塗布装置 - Google Patents
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Description
[実施形態における塗布装置の作用]
[他の実施形態または変形例]
10a 吐出口
10b マニホールド
10c ランド部
12 ノズル吐出区間選択部
14 薬液供給部
16 走査機構
18 制御部
22 ステージ
52 第1リップ
52a 第1リップのリップ先端部
52b 第1リップのリップ基部
54 第2リップ
54a 第2リップのリップ先端部
62 伸縮アクチエータ
70 金属部材
72 電熱線
Claims (7)
- 基板上に薬液を塗布するための塗布装置であって、
第1および第2のリップを一体的に突き合わせて構成され、前記第1および第2のリップの間に、スリット状の吐出口と、吐出前の薬液をいったん蓄えるマニホールドと、前記マニホールドから前記吐出口までの薬液通路を与えるランド部とが形成されているスリットノズルと、
前記スリットノズルの前記マニホールド内に薬液を供給するための薬液供給部と、
前記スリットノズルと前記基板との間で塗布走査のための相対的な移動を行わせる走査機構と、
前記スリットノズルの薬液が吐出されるノズル長手方向の区間を任意に選択するためのノズル吐出区間選択部と、
前記基板上に薬液の塗布膜が所望のパターンで形成されるように、前記薬液供給部、前記走査機構および前記ノズル吐出区間選択部の動作を制御する制御部と
を有し、
前記ノズル吐出区間選択部は、前記第1のリップの前記吐出口寄りのリップ先端部をそれ以外のリップ基部に対してノズル長手方向の単位区間毎に弾性的に変位可能に形成し、前記単位区間毎に前記第1のリップのリップ先端部を薬液の流路を塞がない第1の位置と薬液の流路を塞ぐ第2の位置との間で変位させるためのアクチエータを有し、
前記制御部は、前記単位区間毎に前記アクチエータを独立に制御する、
塗布装置。 - 前記アクチエータは、前記第1のリップの外側面に取り付けられ、一端が前記リップ先端部に接触または結合し、他端が前記リップ基部に接触または結合している伸縮制御可能な伸縮アクチエータを有し、
前記制御部は、前記第1のリップのリップ先端部を前記第1の位置に変位させるときは前記伸縮アクチエータを短縮する方向に動作させ、前記第1のリップのリップ先端部を前記第2の位置に変位させるときは前記伸縮アクチエータを伸長する方向に動作させる、
請求項1に記載の塗布装置。 - 基板上に薬液を塗布するための塗布装置であって、
第1および第2のリップを一体的に突き合わせて構成され、前記第1および第2のリップの間に、スリット状の吐出口と、吐出前の薬液をいったん蓄えるマニホールドと、前記マニホールドから前記吐出口までの薬液通路を与えるランド部とが形成されているスリットノズルと、
前記スリットノズルの前記マニホールド内に薬液を供給するための薬液供給部と、
前記スリットノズルと前記基板との間で塗布走査のための相対的な移動を行わせる走査機構と、
前記スリットノズルの薬液が吐出されるノズル長手方向の区間を任意に選択するためのノズル吐出区間選択部と、
前記基板上に薬液の塗布膜が所望のパターンで形成されるように、前記薬液供給部、前記走査機構および前記ノズル吐出区間選択部の動作を制御する制御部と
を有し、
前記ノズル吐出区間選択部は、ノズル長手方向に延在または分布して、前記第1のリップの前記ランド部と対向する壁面に取り付けられるシート状の可撓性部材と、前記単位区間毎に前記可撓性部材を薬液の流路を塞がない第1の位置と薬液の流路を塞ぐ第2の位置との間で変位させるアクチエータとを有し、
前記制御部は、前記単位区間毎に前記アクチエータを独立に制御する、
塗布装置。 - 前記アクチエータは、前記第1のリップの内側面に形成される凹部に取り付けられ、一端が前記可撓性部材に接触または結合し、他端が凹部の壁に接触または結合している伸縮制御可能な伸縮アクチエータを有し、
前記制御部は、前記可撓性部材を前記第1の位置に変位させるときは前記伸縮アクチエータを短縮する方向に動作させ、前記可撓性部材を前記第2の位置に変位させるときは前記伸縮アクチエータを伸長する方向に動作させる、
請求項3に記載の塗布装置。 - 前記伸縮アクチエータは、ピエゾ素子を有する、請求項2または請求項4に記載の塗布装置。
- 前記伸縮アクチエータは、熱膨張によって伸長する金属部材と、通電によって発熱する発熱部とを有する、請求項2または請求項4に記載の塗布装置。
- 前記制御部は、前記塗布膜の膜厚を制御するために、前記アクチエータを介して前記第1の位置を調整する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の塗布装置。
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