JP5871450B2 - 高温はんだ材料 - Google Patents
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Description
融点温度(Tm)の値が約962℃である銀(Ag)と、融点温度(Tm)の値が約157℃であるインジウム(In)を使用してはんだ材料を形成した。AgとInの金属粉末を無洗浄RMAフラックス材料(インジウム・コーポレーション(ニューヨーク)からTAC Flux 007という商品名で販売されている市販のRMAフラックス材料)と混合して前駆体ペースト材料を形成した。
実施例1において述べたAg−Inのはんだペースト材料を使用して、かつ250℃の処理温度(Tp)、毎秒1℃の加熱率、60分の保持時間を使用するTLPS工程によって、はんだ接合が形成された。はんだ接合は、純Snメッキをしたリード線を有するTSOPパッケージが取り付けられる基体に対し、はんだペースト材料を塗布することにより形成された。形成されたはんだ接合の組成は(EDXスペクトラム分析を使用して)約75重量%のAgと約25重量%のInと決定された。リード仕上げから溶融されたSnは、分析によって検知できないほどわずかな量であった。形成されたはんだ接合のSEM画像を図5に示す。特にはんだ接合の拡大図から明らかなように、Ag−In金属マトリクスの中に概ね球形のAgの粒子が存在しかつ埋め込まれている。
実施例1において述べたのと同様の方法で、金属粒子中のAg/Inの量が、金属粒子の総重量の約75%のAgと約25%のInであり、ペーストの総重量の約10%の量の無洗浄RMAフラックス材料がペーストの形成のために供給された二つのAg−Inはんだペースト材料(ペーストAとペーストB)が形成された。第一のペーストであるペーストAにおいて、AgとInのそれぞれの粒子の公称粒子径は(粒子の80%が約15ミクロンから約25ミクロンである、標準的なスクリーニング又はふるい分けの工程における(−500/+635)メッシュを使用して)約25ミクロン以下に限定された。第二のペーストであるペーストBにおいて、AgとInのそれぞれの粒子の公称粒子径は(粒子の80%が約25ミクロンから約45ミクロンである、標準的なスクリーニング又はふるい分けの工程における(−325/+500)メッシュを使用して)約50ミクロン以下に限定された。
銀―インジウムのはんだペースト材料が、実施例1において述べたものと同様の方法で(金属粉末の75重量%のAgと25重量%のIn、及びペースト材料の重量の約10%の無洗浄RMAフラックス材料を使用して)準備された。このペースト材料は、ステンシル印刷技術を使用して、金属蒸着基体の一部に塗布された。
Claims (23)
- 第一の融点温度が第二の融点温度を上回るような前記第一の融点温度を有する第一の金属と前記第二の融点温度を有する第二の金属とを含む複数の金属粒子を含有する前駆体材料を形成し、前記第一の金属及び前記第二の金属の少なくとも一方は、薄片形状の粒子からなり、
前記前駆体材料を前記第二の融点温度を上回るが前記第一の融点温度を下回りかつ使用温度(Ta)を下回る処理温度(Tp)に加熱し、
前記処理温度(Tp)を上回る融点温度(Tm)を有し、前記第一の金属と前記第二の金属とを含む金属合金材料を形成するため、予め設定された保持時間の間、前記前駆体材料を前記処理温度(Tp)にて定温に保ち、
前記金属合金材料が、少なくとも500℃の温度で安定性と接着の完全性を維持し、前記使用温度(Ta)が少なくとも400℃であり、かつ前記使用温度(Ta)の前記処理温度(Tp)に対する比が2より大きい(Ta/Tp>2)ことを特徴とするはんだ材料の形成方法。 - 前記前駆体材料は、さらに、ペースト材料を形成するために金属粒子と混合されたバインダー材料を含むことを特徴とする請求項1に記載のはんだ材料の形成方法。
- 前記バインダー材料がフラックス材料を含有することを特徴とする請求項2に記載のはんだ材料の形成方法。
- 前記前駆体材料中に存在する前記バインダー材料の量が、当該前駆体材料の重量の約5%から約15%であることを特徴とする請求項2又は3に記載のはんだ材料の形成方法。
- 前記前駆体材料中の前記金属粒子のサイズが約50ミクロンを超えないことを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載のはんだ材料の形成方法。
- 前記前駆体材料中の前記金属粒子のサイズが約10ミクロンを超えないことを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載のはんだ材料の形成方法。
- 前記前駆体材料中の前記第一の金属の量が、当該前駆体材料中の前記金属粒子の全重量の約30%から約95%であることを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載のはんだ材料の形成方法。
- 前記第一の金属が、Ag、Cu及びAuのうちの一つであることを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項に記載のはんだ材料の形成方法。
- 前記第二の金属が、In、Sn及びGaのうちの一つであることを特徴とする請求項1乃至8の何れか1項に記載のはんだ材料の形成方法。
- 前記第一の金属がAgであり、前記第二の金属がInであることを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項に記載のはんだ材料の形成方法。
- 前記前駆体材料が、当該前駆体材料中の前記金属粒子の重量の約75%の量のAgを含み、当該前駆体材料中の前記金属粒子の重量の約25%の量のInを含むことを特徴とする請求項10に記載のはんだ材料の形成方法。
- 前記処理温度(Tp)が約200℃から約400℃であることを特徴とする請求項1乃至7の何れかに記載のはんだ材料の形成方法。
- 前記処理温度(Tp)が約250℃から約300℃であることを特徴とする請求項12に記載のはんだ材料の形成方法。
- 前記前駆体材料が、毎秒約0.4℃から毎秒約2℃の加熱率で前記処理温度(Tp)に加熱されることを特徴とする請求項13に記載のはんだ材料の形成方法。
- 前記前駆体材料が、約20分から約90分の保持時間の間、前記処理温度(Tp)にて定温に保持されることを特徴とする請求項14に記載のはんだ材料の形成方法。
- 前記前駆体材料が、約45分から約60分の保持時間の間、前記処理温度(Tp)にて定温に保持されることを特徴とする請求項15に記載のはんだ材料の形成方法。
- 前記前駆体材料が、さらに、前記第一の融点温度を下回る第三の融点温度を有する第三の金属の金属粒子を含み、また形成された金属合金が、さらに、当該第三の金属を含むことを特徴とする請求項1乃至16の何れか1項に記載のはんだ材料の形成方法。
- 前記金属合金材料の融点が少なくとも約250℃であることを特徴とする請求項1乃至17の何れか1項に記載のはんだ材料の形成方法。
- 一つに接続される第一の部品と第二の部品を準備し、
第一の融点温度が第二の融点温度を上回るような前記第一の融点温度を有する第一の金属と前記第二の融点温度を有する第二の金属を含有し、前記第一の金属及び前記第二の金属の少なくとも一方が薄片形状の粒子からなるものである前駆体材料を前記第一の部品の表面に設け、
前記第二の部品を、前記前駆体材料を含む前記第一の部品の表面に設け、
前記前駆体材料を前記第二の融点温度を上回るが前記第一の融点温度を下回り且つ使用温度(Ta)を下回る処理温度(Tp)に加熱し、
前記処理温度(Tp)を上回る融点温度(Tm)を有し、前記第一の部品を前記第二の部品に接続する金属合金材料であって、少なくとも500℃の温度で安定性と接着の完全性を維持する金属合金材料を形成するため、予め設定された保持時間の間、前記前駆体材料を前記処理温度(Tp)にて定温に保ち、
前記使用温度(Ta)が少なくとも400℃であり、かつ前記使用温度(Ta)の前記処理温度(Tp)に対する比が2より大きい(Ta/Tp>2)ことを特徴とする2つの部品を1つに接続するはんだ結合の形成工程を含む装置の製造方法。 - 前記第一の金属がAgであり、前記第二の金属がInであることを特徴とする請求項19に記載の装置の製造方法。
- 前記第一の金属がAg、Cu及びAuのうちの一つであり、前記第二の金属がIn、Sn及びGaのうちの一つであることを特徴とする請求項19に記載の装置の製造方法。
- 装置が電子装置から成ることを特徴とする請求項19乃至21の何れか1項に記載の装置の製造方法。
- 前記第一の部品が、基板、基体及び電子部品のうちの一つから成り、前記第二の部品が電子部品から成ることを特徴とする請求項19乃至22の何れか1項に記載の装置の製造方法。
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