JP5864328B2 - セラミックス接合体の製造装置 - Google Patents
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Description
前記製造装置は、各被接合材の端部をそれらの側面において把持可能な把持部を有し、かつ該把持部が向き合うように配置された一対の把持手段と、
前記把持手段の間に配置され、突き合わされた状態の前記端面どうしの接合部及びその近傍の局所加熱が可能な加熱手段と、
前記把持手段と前記加熱手段との間に配置された、前記被接合材を保持するための保持手段と、
前記把持手段のうちの少なくとも一方を押圧して、突き合わされた状態の前記端面を加圧することが可能な加圧手段とを備え、
前記把持手段のうちの一方は、その背面側に、該把持手段の開口部内に挿入された前記被接合材が、該把持手段の背面側に突き出ることを規制するための閉塞部材を備え、
前記把持手段のうちの他方は、前記把持部を備えた本体部を有し、該本体部に、該被接合材の挿入が可能であり、且つ該被接合材の長手方向に沿って貫通した開口部が形成されており、
前記把持手段のうちの他方は、前記本体部が、基盤部の上面に固定されているとともに、該基盤部が、該基盤部の下側に配置された下部基盤部に対して摺動自在に取り付けられており、
前記把持手段のうちの他方に、前記加圧手段が、前記下部基盤部の上面で且つ該把持手段における背面側の位置に取り付けられており、該加圧手段を作動させることで、前記本体部及び前記基盤部が、該下部基盤部上を摺動自在に移動できるようになっており、
一対の前記把持手段はそれぞれ、各被接合材を、その水平状態下に、該被接合材どうしの軸心を一致させて前記端面どうしが突き合わされるように把持可能になっていると共に、前記端面どうしが突き合わされた状態における各被接合材を、それらの軸周りに同方向にかつ同速で同期して回転させることが可能な回転部を有している、セラミックス接合体の製造装置を提供するものである。
図6は、把持手段3BのX方向に沿う断面図である。図6に示すように、一対の把持手段3A,3Bのうち把持手段3Bは、該把持手段に把持された被接合材10Bにおける、突き合い状態とならない側の端部10bから、被接合材10A,10Bの内部への非酸化性ガスの供給が可能なガス供給手段を有している。具体的には、ガス供給手段は、上述した突き当て部材(閉塞部材)35に形成されてX方向に貫通する貫通孔35aからなる。貫通孔35aは、突き当て部材35に固設されて非酸化性ガスのガス源(図示せず)と接続したガス供給管91と連通している。なお、図6に示す例においては、突き当て部材35は、その加熱炉4側の端面からX方向に突出する円筒状突起部35bを有しており、該円筒状突起部35bは、その内部が貫通孔35aの一部を構成している。被接合材10Bの端部10bが突き当て部材35に突き当てられた状態において、該円筒状突起部35bは被接合材10Bの内部に挿入され、ガス供給管91から供給された非酸化性ガスを被接合材10Bの内部に案内可能となっている。ここで、円筒状突起部35bを、突き当て部材35の一部とする代わりに、突き当て部材35に固設された別部材としてもよい。また円筒状突起部35bを設ける代わりに、ガス供給管91と連通して貫通孔35a内を通るガス管を配置し、該ガス管によって非酸化性ガスを被接合材10A,10Bの内部に供給してもよい。
被接合材10A,10Bの端面どうしを突き合わせ、加圧手段6により被接合材10A,10Bの端面を加圧し、その状態において、貫通孔35aを通じて非酸化性ガスを被接合材10A,10B内部に供給すると共に、ガス排出管92を被接合材10Aの端部10aに挿入する。被接合材10A,10B内の気体は、ガス排出管92から排出される。この流通状態を所定時間続けることにより、被接合材10A,10B内の空気が非酸化性ガスで押し出されて、被接合材10A,10B内部の空気が非酸化性ガスに置換される。ガス置換後も非酸化性ガスを流通し続けることにより空気(酸素)が被接合材10A,10B内部に流入することが効果的に防止される。このガス流通状態において、被接合材10A,10Bを回転させ、加熱手段4によって2本の被接合材10A,10Bの突き合わせ部を加熱する。加熱手段4が室温まで冷却されたら、被接合材10A,10B内部への非酸化性ガスの供給を停止し、ガス排出管92を被接合材10Aから抜去する。被接合材10A,10B内部に供給する非酸化性ガスは、加熱炉4における前記の各内部空間に流通させる非酸化性ガスと同じものを用いることができるが、異なっていてもよい。
なお、製造装置1がガス供給手段を備えていても、該ガス供給手段を使用せずに該製造装置1を運転することで、2本の被接合材10A,10Bがいずれも棒状の場合であっても、セラミックス接合体を製造することができる。
2 支持台座
3A,3B 把持部材
31 把持部(チャック部)
35a 貫通孔(ガス供給手段)
4 加熱手段(加熱炉)
4a 本体部
4b 側部チャンバー部
43 端壁部
41b 本体部の外壁部の端壁
4d 第1開口部
4e 第2開口部
5A〜5C 保持手段
6 加圧手段(エアシリンダ)
7A,7B 摺動手段
10A,10B 被接合材
12 セラミックス接合体
Claims (7)
- 管状若しくは棒状の2本のセラミックス製被接合材を、又は、管状若しくは棒状のセラミックス製被接合材と管状若しくは棒状の金属製被接合材とを、それらの端面において突き合わせた状態で加圧加熱下に接合させるセラミックス接合体の製造装置において、
前記製造装置は、各被接合材の端部をそれらの側面において把持可能な把持部を有し、かつ該把持部が向き合うように配置された一対の把持手段と、
前記把持手段の間に配置され、突き合わされた状態の前記端面どうしの接合部及びその近傍の局所加熱が可能な加熱手段と、
前記把持手段と前記加熱手段との間に配置された、前記被接合材を保持するための保持手段と、
前記把持手段のうちの少なくとも一方を押圧して、突き合わされた状態の前記端面を加圧することが可能な加圧手段とを備え、
前記把持手段のうちの一方は、その背面側に、該把持手段の開口部内に挿入された前記被接合材が、該把持手段の背面側に突き出ることを規制するための閉塞部材を備え、
前記把持手段のうちの他方は、前記把持部を備えた本体部を有し、該本体部に、該被接合材の挿入が可能であり、且つ該被接合材の長手方向に沿って貫通した開口部が形成されており、
前記把持手段のうちの他方は、前記本体部が、基盤部の上面に固定されているとともに、該基盤部が、該基盤部の下側に配置された下部基盤部に対して摺動自在に取り付けられており、
前記把持手段のうちの他方に、前記加圧手段が、前記下部基盤部の上面で且つ該把持手段における背面側の位置に取り付けられており、該加圧手段を作動させることで、前記本体部及び前記基盤部が、該下部基盤部上を摺動自在に移動できるようになっており、
一対の前記把持手段はそれぞれ、各被接合材を、その水平状態下に、該被接合材どうしの軸心を一致させて前記端面どうしが突き合わされるように把持可能になっていると共に、前記端面どうしが突き合わされた状態における各被接合材を、それらの軸周りに同方向にかつ同速で同期して回転させることが可能な回転部を有している、セラミックス接合体の製造装置。 - 前記加熱手段は、突き合わされた状態の2本の前記被接合材の挿入抜去が可能な貫通孔と、該貫通孔と連通しかつ非酸化性ガス源に接続する非酸化性ガスの供給路とを、該加熱手段の内部に備えている、請求項1に記載の製造装置。
- 前記加熱手段は、発熱体が設置された内部空間が形成された本体部と、前記把持部の対向方向における該本体部の両端側に位置し、かつ該本体部と一体に形成された一対の側部チャンバー部とを有し、
前記本体部の前記内部空間と前記側部チャンバー部の内部空間とは、該本体部における前記対向方向と垂直な両端壁に開口した第1開口部を介して連通しており、
前記側部チャンバー部においては、前記本体部と反対側の端部に第2開口部が開口しており、
前記端面どうしが突き合わされた状態における各被接合材は、第1開口部及び第2開口部を介して前記本体部内に挿入抜去が可能となっている請求項2に記載の製造装置。 - 前記側部チャンバー部は、その内部空間と連通する被酸化性ガスの供給口と、該非酸化性ガスの排出口とを備えている請求項3に記載の製造装置。
- 前記把持手段は、水平面内の一方向に摺動可能な状態で支持台座上に配置されており、
前記支持台座は、各把持手段をそれぞれ独立して、又は両把持手段を同期して摺動させる摺動手段を備えており、
前記摺動手段は、前記加圧手段と、該加圧手段が押圧する前記把持手段とを一体に摺動させる、請求項1ないし4のいずれか一項に記載の製造装置。 - 管状の2本の前記被接合材を接合するために用いられ、
一対の前記把持手段のうち一方の把持手段は、該把持手段に把持された管状の前記被接合材の2の端部のうち、突き合い状態とならない側の端部から、該被接合材の内部への非酸化性ガスの供給が可能なガス供給手段を有し、
2本の管状の前記被接合材が突き合わされた状態において、それらの被接合材の内部を前記非酸化性ガスが流通するようになっている、請求項1ないし5のいずれか一項に記載の製造装置。 - 窒化珪素、炭化珪素又はアルミナ製の被接合材の接合に用いられる請求項1ないし6のいずれか一項に記載の製造装置。
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